JP2013141643A - 電子産業プロセス排水の回収方法及び回収装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】電子産業プロセスからの低分子量有機物含有排水を、SS除去処理手段1でSS除去処理した後、RO膜分離装置2で処理し、RO膜透過水を、微生物担持量が106個/g−活性炭以上である生物活性炭塔3に通水して生物活性炭処理する。RO膜透過水中の低分子量有機物を生物活性炭塔3で効率的に除去することができ、TOC値が十分に低減された回収水を長期に亘り安定に得ることができる。
【選択図】図1
Description
(1) 排水を活性汚泥法又は担体方式で生物処理した後、凝集浮上濾過、凝集沈殿濾過、或いは限外濾過(UF)膜又は精密濾過(MF)膜膜分離処理により生物処理水中の菌体やSSを分離除去し、次いで逆浸透(RO)膜分離により脱塩処理し、RO膜透過水を回収する。
(2) 上記(1)の方法において、生物処理を省略して、凝集浮上濾過、凝集沈殿濾過、或いはUF膜又はMF膜膜分離処理により排水中のSSを分離除去した後、RO膜分離により脱塩処理し、RO膜透過水を回収する。
(2)の方法であれば、このような問題はないが、以下の問題がある。即ち、電子産業プロセス排水は、一般にIPA、エタノール、メタノールといった低分子量有機物を含有している場合が多い。(2)の方法では、生物処理を行わないため、これらの低分子量有機物は、RO膜分離処理で一部除去されるものの、RO膜による有機物の除去率は低いため、回収水のTOC値が高くなる。
(1) 活性炭による有機物吸着効果
(2) 生物膜による有機物分解効果
(3) 活性炭内の微生物が活性炭に吸着した有機物を分解して細孔容積を回復させる
生物再生効果
の3つの機構よりなり、RO膜透過水を生物活性炭塔に通水することにより、RO膜透過水中の低分子量有機物を高度に除去することができ、また、微生物を担持させていない活性炭塔に比べて活性炭自体の吸着能が飽和に達するまでの時間が著しく長い。
生物活性炭塔は、高分子量有機物の分解効果は低いが、電子産業プロセス排水中の有機物はIPA、エタノール、メタノール等の低分子量有機物であり、これらの低分子量有機物に対しては、生物活性炭による吸着、生物分解、再生効果が高く、RO膜透過水中の低分子量有機物の除去に有効である。
TOC(TOC値のうち10%は、IPA、エタノール、メタノールの低分子量有機物):10mg/L、SS:50mg/Lの電子産業プロセス排水を原水として、図1に示す装置で処理した。
RO膜透過水にN,P源を添加しなかったこと以外は実施例1と同様に処理を行い、結果を表1に示した。
実施例1で処理した電子産業プロセス排水と同じ原水を、担体式好気性生物処理(HRT:1hr)した後、生物処理水を実施例1と同様に凝集浮上濾過及びRO膜分離処理した。得られたRO膜透過水のTOC値を表1に示す。
実施例1において、生物活性炭塔による処理を行わなかったこと以外は同様にして処理を行った。即ち、実施例1におけるRO膜透過水を処理水とした。得られたRO膜透過水のTOC値を表1に示す。
実施例1において、RO膜透過水に酸又はアルカリを添加して、表2に示すpHに調整した後、生物活性炭塔に通水したこと以外は同様にして処理を行い、生物活性炭塔処理水のTOC値を実施例1の結果と共に表2に示した。
実施例1において、生物活性炭塔の給水のTOC値が表3に示す値となるようにRO膜透過水にIPAを添加して生物活性炭塔に通水したこと以外は実施例1と同様にして処理を行い、生物活性炭塔処理水のSDI値を調べ、結果を表3に示した。このSDI値が低いことは、生物活性炭塔からの菌体のリークが少ないことを示す。
2 RO膜分離装置
3 生物活性炭塔
Claims (7)
- 電子産業プロセスからの低分子量有機物含有排水を処理して回収する方法において、
SS除去処理工程と、
SS除去処理水を逆浸透膜分離処理する逆浸透膜分離処理工程と、
逆浸透膜透過水を、微生物担持量が106個/g−活性炭以上である生物活性炭塔に通水する生物活性炭処理工程と
を有することを特徴とする電子産業プロセス排水の回収方法。 - 請求項1において、前記生物活性炭塔への給水に微生物の栄養源を添加することを特徴とする電子産業プロセス排水の回収方法。
- 請求項1又は2において、前記逆浸透膜透過水のTOC値が500μg/L以下であることを特徴とする電子産業プロセス排水の回収方法。
- 請求項1ないし3のいずれか1項において、前記生物活性炭塔の給水のpHが5〜8.5であることを特徴とする電子産業プロセス排水の回収方法。
- 請求項1ないし4のいずれか1項において、前記電子産業プロセス排水が、低分子量有機物としてイソプロパノール、エタノール、メタノール、酢酸、酢酸塩、アセトン、TMAH、MEA、及びDMSOの少なくとも1種を含むことを特徴とする電子産業プロセス排水の回収方法。
- 電子産業プロセスからの低分子量有機物含有排水を処理して回収する装置において、
SS除去処理手段と、
SS除去処理水を逆浸透膜分離処理する逆浸透膜分離装置と、
逆浸透膜透過水が通水される、微生物担持量が106個/g−活性炭以上である生物活性炭塔と
を有することを特徴とする電子産業プロセス排水の回収装置。 - 請求項6において、前記生物活性炭塔への給水に微生物の栄養源を添加する手段を有することを特徴とする電子産業プロセス排水の回収装置。
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