JP2013139233A

JP2013139233A - 搬送用カート

Info

Publication number: JP2013139233A
Application number: JP2012001137A
Authority: JP
Inventors: Takeomi Fukuoka; 武臣福岡; Katsumi Inoue; 克己井上; Gyosei Son; 暁征孫; Hirokimi Hashimoto; 博公橋本; Yoshinori Horiguchi; 義則堀口; Atsushi Fujita; 敦史藤田; Mototsugu Kawamoto; 基嗣川本
Original assignee: Disco Corp
Current assignee: Disco Corp
Priority date: 2012-01-06
Filing date: 2012-01-06
Publication date: 2013-07-18

Abstract

【課題】被加工物を収容した重量の重いカセットを装置間で搬送するのに適した搬送用カートを提供する。
【解決手段】パンタグラフ構造体１４は、左右それぞれの側で、それぞれ２本の支柱が回動軸によってＸ字状に連結された第１リンク機構２６と第２リンク機構３４とを上下２段に配設し、該左右の第１及び第２リンク機構同士を複数のステーによって連結して構成され、上段に配設された第２リンク機構３４の一方の支柱の上端は該載置台に配設された案内レール部５０に水平移動可能に係合して該載置台を支持し、他方の支柱の中間部は該載置台に回動可能に固定されて、該パンタグラフ構造体１４の伸縮時に該載置台の水平状態を維持し、該案内レール部５０は、少なくとも該載置台の位置が低い搬送位置と該搬送位置より高い作業位置に該載置台の高さを選択的に位置付けるロック手段を具備する。
【選択図】図１

Description

本発明は、被加工物を複数収容したカセットを搬送する搬送用カートに関する。

半導体業界においては、コスト削減を主目的として常に半導体デバイスを製造するための半導体ウエーハの大口径化が進んでおり、近年ではφ３００ｍｍの半導体ウエーハが多用されており、更に次世代としてφ４５０ｍｍの半導体ウエーハの使用も計画されている。

このように大口径化した半導体ウエーハは１枚当たりの重量も大きくなる。φ８インチのウエーハにはよく用いられていた２５枚のウエーハを収容するカセットも、φ３００ｍｍとなると人力での搬送が難しいほどの重量となるため、収容枚数を１２枚程度に少なくしたカセットが用いられている。

更に、次世代ウエーハ規格として採用が有力視されているφ４５０ｍｍウエーハともなると、人力による搬送は殆ど困難であり、多くの場面でロボット搬送や、搬送カート等を用いた搬送が必要となっている。

特開２００１−１０５０２号公報

しかし、ロボットでのウエーハの搬送は、開発費用やロボット本体費用等莫大な費用がかかるため容易に実現できない。また、加工装置から搬出し、一時的に隣接した仮置き台などに仮置きするような非常に短距離の移動等の場合もロボットによる搬送を想定するのは現実的ではない。

よって、搬送カート等を用いた搬送が必要となるが、重量の重いカセットを搬送するためには安定した走行性が必要になる。また、各種製造装置の搬入高さに合わせた載置台の高さ可変機構は必須である。

本発明はこのような点に鑑みてなされたものであり、その目的とするところは、被加工物を収容した重量の重いカセットを装置間で搬送するのに適した搬送用カートを提供することである。

本発明によると、被搬送物を搭載する載置台と、該載置台を支持しつつ昇降させる昇降機構を備えた脚部としてのパンタグラフ構造体と、該パンタグラフ構造体の下部に配設された複数の車輪と、からなる搬送用カートであって、該パンタグラフ構造体は、左右それぞれの側で、それぞれ２本の支柱が回動軸によってＸ字状に連結された第１リンク機構と第２リンク機構とを上下２段に配設し、該左右の第１及び第２リンク機構同士を複数のステーによって連結して構成され、上段に配設された第２リンク機構の一方の支柱の上端は該載置台に配設された案内レール部に水平移動可能に係合して該載置台を支持し、他方の支柱の中間部は該載置台に回動可能に固定されて、該パンタグラフ構造体の伸縮時に該載置台の水平状態を維持し、該案内レール部は、少なくとも該載置台の位置が低い搬送位置と該搬送位置より高い作業位置に該載置台の高さを選択的に位置付けるロック手段を具備し、該搬送位置では、該パンタグラフ構造体が水平方向に伸長して前後の車輪の間隔を広げて安定した走行を可能とし、該作業位置では、該パンタグラフ構造体が水平方向に縮小して前後の車輪の間隔を短縮させて占有床面積を縮小可能とすることを特徴とする搬送用カートが提供される。

本発明の搬送用カートによると、脚部にパンタグラフ構造を採用することで、載置台を水平状態を保ったまま昇降させることが可能であり、搬送位置と作業位置に選択的に位置付けることにより、搬送時にホイールベースが広くなるため安定した昇降ができ、作業位置では比較的高い位置になる装置の搬入高さに載置台を位置付けることでホイールベースが狭くなり、面積当たりのコストが高いクリーンルーム内での占有床面積を縮小化することができる。

本発明実施形態に係る搬送用カートの搬送位置の側面図である。搬送用カートの搬送位置での背面側斜視図である。搬送用カートの平面図である。搬送用カートの作業位置での側面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して詳細に説明する。図１を参照すると、本発明実施形態に係る搬送用カート１０の搬送位置での側面図が示されている。搬送用カート１０は、カセット等の被搬送物を搭載する載置台１２と、載置台１２を支持しつつ載置台１２を昇降させる昇降機構を備えた脚部としてのパンタグラフ構造体１４と、パンタグラフ構造体１４の下部に配設された複数（本実施形態では４個）の車輪１６，１８とから構成される。

パンタグラフ構造体１４は、左右で同一のリンク機構を含んでいるため、以下の説明では左側のリンク機構について説明する。第１支柱２０と第２支柱２２とを回動軸２４で回動可能に連結して第１リンク機構２６が構成され、第３支柱２８と第４支柱３０を回動軸３２で回動可能に連結して第２リンク機構３４が構成される。

第２リンク機構３４を構成する第３支柱２８の下端部は第１リンク機構２６を構成する第１支柱２０の上端部に回動軸３６で回動可能に連結され、第２リンク機構３４を構成する第４支柱３０の下端部は第１リンク機構２６を構成する第２支柱２２の上端部に回動軸３８で回動可能に連結されており、第１リンク機構２６と第２リンク機構３４が上下２段に配設されている。

図２に示すように、左右の第１リンク機構２６の第１支柱２０同士は第１ステー４０で連結され、第２支柱２２同士は第２ステー４２及び第３ステー４４で連結されている。更に、左右の第２リンク機構３４の第３支柱２８同士は第４ステー４６及び第５ステー４８で連結されて、パンタグラフ構造体１４が構成されている。

５０は案内レール部であり、案内レール部５０の鞘５２が載置台１２に前側が低くなる様に傾斜して取り付けられている。鞘５２内にはスライド部材５４がスライド可能に挿入されている。

５６はガイドレールであり、ボルト５８で後側が低くなる様に傾斜して載置台１２に取り付けられている。第２リンク機構３４を構成する第３支柱２８の先端部にはブラケット６０が固定されており、ブラケット６０の先端部は回動軸６２でスライド部材５４の先端部に回動可能に連結されている。

ブラケット６０にはローラ６４が取り付けられており、ローラ６４はパンタグラフ構造１４の伸縮に応じてガイドレール５６に案内されて移動する。案内レール部５０にはスライド部材５４を鞘５２に対して搬送位置と作業位置でロックするロック機構６６が配設されている。

第２リンク機構３４を構成する第４支柱３０の中間部は回動軸６８で回動可能に載置台１２に固定されており、第４支柱３０の先端部には左右の第４支柱３０を連結する押し手となるハンドル７０が配設されている。

左右の第３支柱２８を連結する第５ステー４８の中間部にはブラケット７２が固定されており、このブラケット７２にガススプリングシリンダ７４の基端部が軸７６で回動可能に連結されている。

左右の第１リンク機構２６の第１支柱２０を連結する第１ステー４０の中間部にはブラケット７８が固定されており、このブラケット７８にガススプリングシリンダ７４のロッド８０の先端部が軸８２により回動可能に連結されている。

前車輪１６は第１支柱２０の下端部に首振り可能に取り付けられており、後ろ車輪１８は第２支柱２２の下端部に首振り不能に取り付けられている。前車輪１６が首振り可能に取り付けられているため、載置台１２上にカセット等の被搬送物を搭載しての搬送時の方向転換が容易となっている。

図１及び図２に示す状態は、載置台１２が低い位置に位置付けられた搬送位置であり、ロック機構６６によりスライド部材５４が案内レール部５０の鞘５２に対してロックされている。この状態では、パンタグラフ構造体１４が水平方向に伸長して、前車輪１６と後ろ車輪１８との間隔を広げて安定した走行が可能である。

ロック機構６６を前方向にスライドするとロックがはずれ、ガススプリングシリンダ７４のロッド８０を図４に示すように伸長すると、ローラ６４がガイドレール５６に案内されてスライド部材５４が案内レール部５０の鞘５２内に引き込まれる。

この状態でロック機構６６を後ろ方向にスライドすると載置台１２の高さが高い図４に示すような作業位置でパンタグラフ構造体１４がロックされる。この作業位置では、パンタグラフ構造体１４が水平方向に縮小して前車輪１６と後ろ車輪１８の間隔が小さくなり、搬送用カート１６が占有する占有床面積を小さくすることができる。

この作業位置では、載置台１２の高さ位置が各種加工装置の搬入高さ位置に近い状態となり、作業者は重量の重いカセット等の被搬送物を加工装置内に容易に搬入することができる。

１０搬送用カート
１２載置台
１４パンタグラフ構造体
１６前車輪
１８後ろ車輪
２６第１リンク機構
３４第２リンク機構
５０案内レール部
５２鞘
５４スライド部材
５６ガイドレール
６４ローラ
７０ハンドル
７４ガススプリングシリンダ
８０ロッド

Claims

被搬送物を搭載する載置台と、該載置台を支持しつつ昇降させる昇降機構を備えた脚部としてのパンタグラフ構造体と、該パンタグラフ構造体の下部に配設された複数の車輪と、からなる搬送用カートであって、
該パンタグラフ構造体は、左右それぞれの側で、それぞれ２本の支柱が回動軸によってＸ字状に連結された第１リンク機構と第２リンク機構とを上下２段に配設し、該左右の第１及び第２リンク機構同士を複数のステーによって連結して構成され、
上段に配設された第２リンク機構の一方の支柱の上端は該載置台に配設された案内レール部に水平移動可能に係合して該載置台を支持し、他方の支柱の中間部は該載置台に回動可能に固定されて、該パンタグラフ構造体の伸縮時に該載置台の水平状態を維持し、
該案内レール部は、少なくとも該載置台の位置が低い搬送位置と該搬送位置より高い作業位置に該載置台の高さを選択的に位置付けるロック手段を具備し、
該搬送位置では、該パンタグラフ構造体が水平方向に伸長して前後の車輪の間隔を広げて安定した走行を可能とし、
該作業位置では、該パンタグラフ構造体が水平方向に縮小して前後の車輪の間隔を短縮させて占有床面積を縮小可能とすることを特徴とする搬送用カート。
該載置台に回動可能に固定された該他方の支柱の上部には、左右一対の該他方の支柱を連結する押し手となるハンドルが配設されていることを特徴とする請求項１記載の搬送用カート。