JP2013139083A - インクジェットヘッド - Google Patents

Abstract

【課題】簡易な構造で、隣接2列のチャネル列の各インクチャネル内の駆動電極を配線基板の表面の同一端部まで引き出す。
【解決手段】ヘッドチップ１の最も外側に位置するチャネル列をＡ列、Ａ列に隣接するチャネル列をＢ列とするとき、ヘッドチップの後面に、エアーチャネル１３内の駆動電極１４と導通する共通電極１５ＡがＡ列とB列との間に形成され、Ｂ列のインクチャネル１２内の駆動電極と導通するＢ列用引き出し電極１６Ｂが共通電極と接触することなく個別に形成され、配線基板３のヘッドチップとの接合面に、B列用配線電極３６Ｂが、Ｂ列用引き出し電極との電気的接続部位から、ヘッドチップの端部から張り出した配線基板の端部にかけて形成され、少なくともＢ列用配線電極と共通電極とが重なる領域においては、配線基板の接合面は凹部となっており、Ｂ列用配線電極が凹部の内面に沿って形成されることでＢ列用配線電極と共通電極とが接触。
【選択図】図４

Description

本発明はインクジェットヘッドに関し、詳しくは、インクを吐出するインクチャネルとインクを吐出しないエアーチャネルとが交互に配列されてなるチャネル列を複数列有するヘッドチップの駆動電極と駆動回路との間の電気的接続を容易に行い得るようにしたインクジェットヘッドに関する。

従来、チャネルを区画する駆動壁の両面に形成した駆動電極に電圧を印加することにより駆動壁をせん断変形させ、そのとき発生する圧力を利用してチャネル内のインクをノズルから吐出させるようにしたシェアモード型のインクジェットヘッドとして、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置されたいわゆるハーモニカ型のヘッドチップを有するものが知られている。このようなシェアモード型のインクジェットヘッドは、隣接するチャネルで一つの駆動壁を共用しており、隣接するチャネルを同時に駆動させてインク吐出を行うことができないため、インクを吐出するインクチャネルとインクを吐出しないエアーチャネルとを交互に配置することにより、隣接するインクチャネルから同時にインク吐出を可能とした独立チャネルタイプのインクジェットヘッドも知られている。

ハーモニカ型のヘッドチップは、如何にして各チャネル内に臨む駆動電極と駆動回路との間の電気的接続を行うかが課題である。この課題を解決するため、本発明者は、ヘッドチップの後面に、該ヘッドチップの端部から張り出す大きさを有する配線基板を接合し、このヘッドチップの端部から張り出した配線基板の端部をＦＰＣ（フレキシブルプリント基板）との接合部とする技術を提案している（特許文献１）。

この配線基板は、ヘッドチップの後面に開口するチャネルを覆う大きさを有するインク流路用凹部を有しており、配線基板の表面には、インク流路用凹部の外縁部から配線基板の端部にかけて配線電極が形成されている。一方、ヘッドチップの後面には、各チャネル内の駆動電極と導通する引き出し電極が各チャネルから該ヘッドチップの端部まで引き出されている。このヘッドチップの後面に配線基板を接合することにより、各駆動電極を引き出し電極及び配線電極を介して配線基板の端部まで引き出すようにし、これによりＦＰＣとの接続の容易化を図ることができるものである。

ところで、インクジェットヘッドは、高密度化の要求により複数のノズル列を持つことが必要になってきている。このため、複数のチャネル列を有するヘッドチップを作製し、この複数のチャネル列の各チャネル内の駆動電極をＦＰＣによって駆動回路と電気的に接続することが要求されている。このように複数のノズル列を有するインクジェットヘッドでも、上記技術を利用して、ヘッドチップの後面における端部に引き出し電極を配列させ、この引き出し電極に対応する配線電極を有する配線基板を用いることにより、配線基板の端部においてＦＰＣとの接続を容易に行うことができる。

特に、独立チャネルタイプのヘッドチップは、インクチャネルとエアーチャネルとが交互に配置されるため、隣接する２列のチャネル列のうちの内側に位置するチャネル列のインクチャネルでも、外側に位置するチャネル列のエアーチャネルを越えてヘッドチップの端部まで引き出し電極を形成することが可能であり、このようなインクジェットヘッドは本発明者により既に提案されている（特許文献２）。この技術によれば、隣接する２列のチャネル列の各駆動電極を、ヘッドチップの後面における同一端部側に引き出して配列させることができ、配線基板を用いることで、該配線基板の同一端部に２列のチャネル列に対応する各電極を引き出すことができ、配線基板の両端部を利用すれば、最大４列のチャネル列に対応する各電極を引き出すことが可能である。

このとき、ヘッドチップの後面には、各エアーチャネル内の各駆動電極と導通する共通電極（接地用電極）が、該エアーチャネルに隣接する各インクチャネル内から引き出された引き出し電極の引き出し方向と反対側にチャネル列と平行に配線されているので、内側のチャネル列の各インクチャネル内から引き出された引き出し電極は、外側のチャネル列の共通電極と短絡しないようにヘッドチップの端部まで形成しなくてはならない。このため、特許文献２では、ヘッドチップの後面において、内側のチャネル列の各インクチャネル内から引き出された引き出し電極の一部を、絶縁層と金属膜層からなる積層体によって形成し、その絶縁層側が共通電極に接するようにして該共通電極を跨ぐように配線することによって、引き出し電極と共通電極との短絡を防止しつつヘッドチップの同一端部に２列のチャネル列の各引き出し電極を配設させる技術を提案している。

特開２００６−８２３９６号公報 特開２００８−１４３１６７号公報

特許文献２記載の方法は、公知のドライエッチング技術を用いることで積層体を作製することが比較的容易であるが、ヘッドチップの後面にドライフィルムを貼着し、露光、現像処理によって不要部分を除去する必要があることに加え、表面の金属膜と裏面側の引き出し電極とを確実に導通させる必要があるため、積層体の作製が煩雑となってしまい、生産性の観点で解決すべき課題を有している。

また、積層体を形成する絶縁層には、一般に有機樹脂フィルムが用いられるが、強溶剤インクや酸、アルカリインクに対する耐久性が十分でなく、このような耐久性の面でも解決すべき課題を有している。

更に、絶縁層に用いられる有機樹脂フィルムは、一般に熱膨張係数が高く、また、湿度や張力に対する寸法変化が大きいという問題があり、ヘッドチップが長尺（５０ｍｍ以上）になってくると、特に後面に対する接合が困難になってくるという問題もある。

隣接する２列のチャネル列のうちの内側に位置するチャネル列の駆動電極に対し、配線基板を貫通する貫通電極によって該配線基板の裏面（ヘッドチップとの接合面の反対面）に配線することで、配線基板の表裏両面を利用して電極を配線基板の端部まで引き出す方法もあるが（特許文献１の図９参照）、配線基板に貫通電極を形成することは、加工作業が極めて煩雑であるために生産性の観点からは必ずしも望ましい方法ではない。

そこで、本発明は、インクを吐出するインクチャネルとインクを吐出しないエアーチャネルとが交互に配置されたチャネル列を複数有する独立チャネルタイプのハーモニカ型ヘッドチップを備えたインクジェットヘッドにおいて、ヘッドチップの後面に積層体を形成せずとも共通電極との短絡が生じることなく、また、配線基板に貫通電極を形成する必要もなく、簡易な構造で、隣接する２列のチャネル列の各インクチャネル内の駆動電極を配線基板の表面の同一端部まで引き出すことができるようにすることを課題とする。

本発明の他の課題は、以下の記載により明らかとなる。

上記課題は、以下の各発明によって解決される。

請求項１記載の発明は、チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極が形成され、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないエアーチャネルとが交互に配置されたチャネル列が複数並設されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル列の並設方向における該ヘッドチップの端部から張り出すように接合された配線基板とを有し、該配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に形成された配線電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加するインクジェットヘッドであって、
前記複数のチャネル列のうちの前記ヘッドチップの最も外側に位置するいずれかのチャネル列をＡ列、該Ａ列に隣接するチャネル列をＢ列とするとき、前記ヘッドチップの後面に、前記エアーチャネル内の前記駆動電極と導通する共通電極が、Ａ列とＢ列との間においてチャネル列方向に沿って形成されていると共に、Ｂ列の前記インクチャネル内の駆動電極と導通するＢ列用引き出し電極が、前記共通電極と接触することなく個別に形成されており、
前記配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に、前記Ｂ列用引き出し電極と電気的に接続されるＢ列用配線電極が、前記Ｂ列用引き出し電極との電気的接続部位から、前記ヘッドチップの端部から張り出した前記配線基板の端部にかけて形成されていると共に、少なくとも前記Ｂ列用配線電極と前記共通電極とが重なる領域においては、前記配線基板の前記接合面は凹部となっており、前記Ｂ列用配線電極が前記凹部の内面に沿って形成されることで、該Ｂ列用配線電極と前記共通電極とが接触しないことを特徴とするインクジェットヘッドである。

請求項２記載の発明は、前記ヘッドチップの後面に、Ａ列の前記インクチャネル内の前記駆動電極と導通するＡ列用引き出し電極が該ヘッドチップの端部まで個別に引き出されており、
前記配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に、前記Ａ列用引き出し電極と電気的に接続されるＡ列用配線電極が、前記Ａ列用引き出し電極との電気的接続部位から、前記ヘッドチップの端部に張り出した前記配線基板の端部にかけて形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッドである。

請求項３記載の発明は、前記配線基板の前記凹部は、該凹部内の底面から立ち上がる側壁が傾斜面であることを特徴とする請求項１又は２記載インクジェットヘッドである。

請求項４記載の発明は、前記配線基板は、前記ヘッドチップの前記各インクチャネルに対応する部分に、該インクチャネル内にインクを供給可能とするインク供給口が表裏に貫通するように個別に形成されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッドである。

請求項５記載の発明は、前記インク供給口は、前記ヘッドチップとの接合面と反対面側に行くに従って次第に拡大する傾斜状に形成されていることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッドである。

請求項６記載の発明は、前記配線基板における前記ヘッドチップとの接合面と反対面に、前記インクチャネルに対して共通に供給されるインクを貯留する共通インク室が設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のインクジェットヘッドである。

請求項７記載の発明は、前記ヘッドチップは４列のチャネル列を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッドである。

本発明によれば、インクを吐出するインクチャネルとインクを吐出しないエアーチャネルとが交互に配置されたチャネル列を複数有する独立チャネルタイプのハーモニカ型ヘッドチップを備えたインクジェットヘッドにおいて、ヘッドチップの後面に積層体を形成せずとも共通電極との短絡が生じることなく、また、配線基板に貫通電極を形成する必要もなく、簡易な構造で、隣接する２列のチャネル列の各インクチャネル内の駆動電極を配線基板の表面の同一端部まで引き出すことが可能となる。

本発明に係るインクジェットヘッドにおけるヘッドチップの背面図 配線基板の平面図 図１、図２の（ｘ）−（ｘ）線断面図 図１、図２の（ｙ）−（ｙ）線断面図 ヘッドチップの製造例を説明する図 ヘッドチップの製造例を説明する図 配線基板の製造例を説明する図 凹部の部分拡大図 共通電極の他の配置パターンを示す図 配線基板の他の例を示す平面図

本発明におけるヘッドチップは、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないエアーチャネルとが交互に配置されたチャネル列が複数並設されている。ヘッドチップは圧電素子からなる駆動壁を有しており、チャネルと駆動壁とが交互に並設されることで、各チャネルの両側壁が駆動壁によって構成される。ヘッドチップは、前面及び後面にそれぞれチャネルの開口部が配置され、各チャネル内に臨む駆動壁の表面には駆動電極が形成されている。

このようなヘッドチップは、六面体からなるいわゆるハーモニカ型のヘッドチップであり、駆動壁両面の各駆動電極に所定の駆動信号を印加することによって該駆動壁をくの字状に変形させ、チャネル内に供給されたインクに吐出のための圧力変化を与え、ヘッドチップの前面に配置されたノズルからインク滴として吐出させる。

本発明では、このようなハーモニカ型のヘッドチップにおいて、ノズルが配置されてインクが吐出される側の面を「前面」、その反対側の面を「後面」と定義する。また、ヘッドチップにおいてチャネル列を挟んで対向する外側面をそれぞれ「上面」、「下面」と定義する。

かかるヘッドチップには、複数のチャネル列のうちの最も外側に位置するいずれかのチャネル列をＡ列、該Ａ列に隣接するチャネル列をＢ列とするとき、エアーチャネル内の駆動電極に共通に導通する共通電極が、Ａ列とＢ列との間においてチャネル列方向に沿って形成されている。

ここで、このＡ列とＢ列との間に形成される共通電極は、Ａ列のエアーチャネルとＢ列のエアーチャネルのうちの少なくともＡ列のエアーチャネルの駆動電極に共通に導通するものであればよい。従って、この共通電極は、Ａ列のエアーチャネル内の駆動電極の各々に共通に導通するＡ列用の共通電極だけであってもよいし、このＡ列用の共通電極に加えて、Ｂ列のエアーチャネル内の駆動電極の各々に共通に導通するＢ列用の共通電極もＡ列とＢ列との間にチャネル列方向に沿って形成されていてもよい。前者の場合は、Ｂ列のエアーチャネル内の駆動電極の各々に共通に導通するＢ列用の共通電極は、ヘッドチップの後面におけるＡ列とは反対側にチャネル列方向に沿って形成される。また、後者の場合、共通電極はＡ列用とＢ列用とが１本の共通電極で共用されていてもよい。

ヘッドチップの後面には、Ｂ列のインクチャネル内の駆動電極と導通するＢ列用引き出し電極が個別に形成されている。各Ｂ列用引き出し電極は、一端がＢ列の各インクチャネル内に臨む駆動電極と導通し、そこからＡ列のチャネル列側に向けて延び、他端がＡ列とＢ列との間に形成されている共通電極と接触することなく、該共通電極の手前で止まっている。これにより、各Ｂ列用引き出し電極は、Ｂ列とＡ列との間にＢ列のインクチャネルと同ピッチで個別に配列される。

一方、かかるヘッドチップの後面に接合される配線基板は、ヘッドチップとの熱膨張係数が近く、寸法安定性に優れる材質を用いることが好ましく、例えばガラス基板、セラミックス基板、シリコン基板等の基板材料によって形成される。その大きさは、チャネル列の並設方向における該ヘッドチップの端部から張り出す大きさを有している。張り出す量は、この張り出した端部がＦＰＣとの接続部位となることから、少なくともＦＰＣとの接続領域を確保し得る程度の張り出し量を有していることが必要であり、また、過度の張り出しは小型化の妨げとなるため、２〜５ｍｍが適当である。

配線基板の表面（ヘッドチップとの接合面）には、Ｂ列用引き出し電極と電気的に接続されるＢ列用配線電極が、該Ｂ列用引き出し電極と同一ピッチで、Ｂ列用引き出し電極との電気的接続部位から、ヘッドチップの端部から張り出した配線基板の端部にかけて形成されている。この配線基板の表面は、少なくともＢ列用配線電極と共通電極とが重なる領域においては凹部となっており、Ｂ列用配線電極はこの凹部の内面に沿って該凹部を横断するように形成されていることで、該Ｂ列用配線電極と共通電極とが接触しないように構成されている。

これにより、Ｂ列の各インクチャネル内の駆動電極は、Ｂ列用引き出し電極及び配線基板表面のＢ列用配線電極によって、Ａ列とＢ列との間の共通電極及びＡ列のチャネル列を跨いで、ヘッドチップのＡ列側の端部から外側に引き出され、配線基板の端部まで延ばされる。このため、ヘッドチップの後面に従来のような積層体を設けたり、配線基板に貫通電極を設けたりする必要がなく、また、共通電極との短絡が生じることなく、隣接する２列のチャネル列の各インクチャネル内の駆動電極を配線基板の表面の同一端部まで引き出すことが可能となる。

配線基板の凹部は、少なくともＢ列用配線電極と共通電極とが重なる領域に形成されていればよい。従って、Ｂ列用配線電極と共通電極とが重なる領域を含む任意の形状で形成することもでき、例えば、これらＢ列用配線電極と共通電極とが重なる領域を含むように、配線基板の幅方向（ヘッドチップのチャネル列方向と同方向）に沿って同一幅となる帯状、その他の任意の形状で形成してもよいし、Ｂ列用配線電極と共通電極とが重なる領域のみに該領域と同形状となるように局所的に形成してもよい。

凹部を共通電極全体を含むように帯状に形成した場合、共通電極はこの凹部内に収容されて配線基板の表面と接しない形態となるため、共通電極を厚く形成することも可能となり、これにより電気抵抗を下げる効果が得られるようになる。また、共通電極上に水系インクと直接接触しないようにするための有機絶縁保護膜（パリレン膜）が形成されている場合には、この有機絶縁保護膜が膨張するようなことがあっても、配線基板と干渉することがなく、配線基板の浮き上がりが発生するおそれがない。

この凹部は、共通電極と該凹部の内面に沿うＢ列用配線電極とが接触することのない程度の深さに形成されればよく、従来の配線基板のようにヘッドチップの後面との間に各チャネルで共通のインク流路となる空間を形成するための深さは必要ない。具体的には１０〜３０μｍとすることができる。凹部の形成方法は特に問わず、ダイシングソーで研削加工する方法の他、ガラス基板やシリコン基板等のようにエッチング可能な基板の場合は、エッチング加工によって作製することもできる。エッチング加工の場合は、任意の形状で凹部を形成することができる。この場合、上述したように、少なくともＢ列用配線電極と共通電極とが重なる領域に凹部が形成されていればよい。

また、凹部は、結果的に配線基板の表面が凹状となっていればよく、配線基板の表面から掘り下げて作製するものに限らず、逆に配線基板の表面の凹部となる領域以外の領域に、薄板状の基板を積層（肉盛り）することによって作製してもよい。

この凹部は、該凹部内の底面から立ち上がる側壁が傾斜面となっていることが好ましい。傾斜面であることにより、凹部の外縁部において、側壁と配線基板の表面との間でなす角度が鈍角となるため、この凹部の内面に沿って形成されるＢ列用配線電極が凹部の外縁部に沿って屈曲する部分で断線するおそれを回避することができる。

本発明において、Ａ列のインクチャネル内の駆動電極は、従来と同様の方法でＡ列用引き出し電極を形成し、配線基板の表面のＡ列用配線電極によって該配線基板の端部まで延ばすことができる。すなわち、Ａ列のインクチャネル内の駆動電極と導通するＡ列用引き出し電極は、一端がＡ列の各インクチャネル内に臨む駆動電極と導通し、そこからＢ列のチャネル列側とは反対のヘッドチップの端部に向けて延び、他端が該ヘッドチップの後面における端部で止まっている。これにより、各Ａ列用引き出し電極は、ヘッドチップの後面における端部にＡ列のインクチャネルと同ピッチで個別に配列される。そして、配線基板の表面に、Ａ列用引き出し電極と電気的に接続されるＡ列用配線電極が、Ａ列用引き出し電極との電気的接続部位から、ヘッドチップの端部から張り出した配線基板の端部にかけて形成される。

配線基板には、ヘッドチップの各インクチャネルに対応する部分に、該インクチャネル内にインクを供給可能とするインク供給口が表裏に貫通するように個別に形成されていてもよい。これにより、配線基板の裏面側（ヘッドチップとの接合面の反対面側）から各インクチャネルに対してインクを供給することができる。

この場合、配線基板におけるヘッドチップとの接合面と反対面に、インクチャネルに対して共通に供給されるインクを貯留する共通インク室を設けることにより、この共通インク室からインク供給口を介して各インクチャネル内にインクを供給することができる。

インク供給口は、ヘッドチップとの接合面と反対面側に行くに従って次第に拡大するテーパー状に形成されていることが好ましい。これにより、共通インク室から各インクチャネル内へのインク供給時の流路抵抗を低減することができ、円滑なインク供給を実現することができる。

本発明は、２列のチャネル列のみを有するヘッドチップの場合、ヘッドチップのいずれか一方端部から張り出す配線基板の一方端部のみを利用して、各列のインクチャネル内の駆動電極を引き出すことができるが、配線基板の両端部を利用することにより、３列以上のチャネル列を有するヘッドチップの場合にも適用することができ、特に４列のチャネル列を有する独立チャネルタイプのインクジェットヘッドでも容易に作製することができ、高密度、高精細な画像記録が可能でＦＰＣとの接続も容易な独立チャネルタイプのインクジェットヘッドを簡単に実現できる。

以下、本発明の実施の形態について図面を用いて説明する。

図１は本発明に係るインクジェットヘッドにおけるヘッドチップの背面図、図２は配線基板の平面図、図３は図１、図２の（ｘ）−（ｘ）線断面図、図４は図１、図２の（ｙ）−（ｙ）線断面図である。

ヘッドチップ１は、圧電素子からなる駆動壁１１とチャネル１２又は１３とが交互に並設されたチャネル列が、図示上下方向に複数並設されている。ここでは各チャネル列はそれぞれ６つのチャネル（３つのチャネル１２と３つのチャネル１３）を有するものを例示しているが、チャネル数は限定されない。

このヘッドチップ１において、図示下側に位置する最も外側のチャネル列がＡ列、Ａ列のチャネル列に隣接する一つ内側（図示上側）のチャネル列がＢ列である。

なお、本実施形態に示すヘッドチップ１は図示上下方向に４列に並設されたチャネル列を有するものを想定しているが、４列のチャネル列を有するヘッドチップ１は図中のＯ−Ｏ線を中心にして上下対称形状であるため、ここでは下側の２列のチャネル列のみを図示している。従って、４列のチャネル列は、最も外側に位置する２列のチャネル列がＡ列、その内側に位置する２列のチャネル列がＢ列である。チャネル列数が２列のみからなるヘッドチップの場合は、Ｏ−Ｏ線部分がヘッドチップの上端部に相当する。

各チャネル列は、チャネル一つおきにインクを吐出するインクチャネル１２とインクを吐出しないエアーチャネル１３とが並設されている。ヘッドチップ１の前面及び後面には、それぞれ各チャネル１２、１３の前面側の開口部１２１、１３１と後面側の開口部１２２、１３２とが対向している。

ここでは、Ａ列とＢ列とは、各インクチャネル１２と各エアーチャネル１３とが１ピッチずれて形成されている。すなわち、図１において、Ａ列のインクチャネル１２とＢ列のエアーチャネル１３が図示上下方向の同一線上に配置され、Ａ列のエアーチャネル１３とＢ列のインクチャネル１２が図示上下方向の同一線上に配置される関係となっている。

各チャネル１２、１３の内面全面（チャネル１２、１３の内面に臨む駆動壁１１の表面を含む。）には、それぞれＮｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ等の金属膜からなる駆動電極１４が密着形成されている。

ヘッドチップ１の後面には、Ａ列の全てのエアーチャネル１３内の駆動電極１４と導通する１つの共通電極１５Ａが、チャネル列と直交する方向（図示上下方向）のうちの図示上方のＢ列側に向けて引き出し形成され、Ａ列とＢ列との間においてチャネル列方向（図示左右方向）に沿うように延びている。また、Ｂ列の全てのエアーチャネル１３内の駆動電極１４と導通する１つの共通電極１５Ｂが、Ａ列と反対側である図示上方に引き出し形成され、該部においてチャネル列方向（図示左右方向）に沿うように延びている。

更に、ヘッドチップ１の後面には、Ａ列の各インクチャネル１２内の駆動電極１４と導通するＡ列用引き出し電極１６Ａが、共通電極１５Ａの引き出し方向であるＢ列側とは反対方向となる図示下方の下端部１ａに向けてそれぞれ個別に引き出し形成されており、該下端部１ａにおいてＡ列のインクチャネル１２と同一ピッチで並列している。

一方、Ｂ列の各インクチャネル１２には、内部の駆動電極１４と導通するＢ列用引き出し電極１６Ｂが、共通電極１５Ｂの引き出し方向と反対方向となる図示下方のＡ列側に向けて個別に引き出し形成され、該Ａ列の共通電極１５Ａの手前まで延びてＢ列のインクチャネル１２と同一ピッチで並列している。この各Ｂ列用引き出し電極１６Ｂは、共通電極１５Ａ側の端部が幅広状に形成されている。

Ａ列、Ｂ列の各エアーチャネル１３の後面側の開口部１３２には、インクの流入を阻止するための蓋部材である流路規制部材１７がそれぞれ個別に設けられ、各エアーチャネル１３の開口部１３２を完全に閉塞している。この流路規制部材１７は本発明において必須のものではないが、インクを吐出する必要のないエアーチャネル１３内へのインクの流入を防止し得る点で好ましく設けることができる。

流路規制部材１７としては、一般的なドライエッチングによってパターニングが可能な有機フィルムを用いることが好ましく、例えばポリイミド、液晶ポリマー、アラミド、ポリエチレンテレフタレート等の種々の樹脂からなるフィルムが挙げられる。中でも、エッチング性の良好なポリイミドフィルムが好ましい。また、ドライエッチングを容易にするためには、できるだけ薄いフィルムを用いることが望ましいが、強度が高くて薄くても強度を保つことができるアラミドフィルムを使用することも好ましい。

また、ドライエッチング可能な絶縁層として、シリコン基板を用いることもできる。但し、シリコンのドライエッチングにはＣＦ_４やＳＦ_６等の特殊ガスを使用する必要があり、装置も特殊になるので一般的にはコスト高となる。

更に、感光性ドライフィルムを用いる方法も採用することができる。感光性ドライフィルムをヘッドチップ１の後面に貼り付け、所定のマスクで露光し、現像することにより、所望の形状の流路規制部材１７を形成することができる。

ヘッドチップ１の前面には、ノズルプレート２が接合されている。ノズルプレート２には、Ａ列及びＢ列の各インクチャネル１２に対応する位置にのみノズル２１が開設されている。従って、インクを吐出しない各エアーチャネル１３の前面側の開口部１３１はノズルプレート２によって閉塞されている。

次に、このヘッドチップ１の製造例を図５、図６に基づいて以下に説明するが、何らこれに限定されるものではない。

まず、１枚の基板１００上に、分極処理されたＰＺＴ等からなる圧電素子基板１０１をエポキシ系接着剤を用いて接合し、更に、その圧電素子基板１０１の表面にドライフィルム１０２を貼着する（図５（ａ））。

次いで、そのドライフィルム１０２の側から、ダイシングブレード等を用いて複数の平行な溝１０３を研削する。各溝１０３は圧電素子基板１０１の一方の端から他方の端に亘り、且つ、基板１００にほぼ至る程度の一定の深さで研削することで、長さ方向で大きさと形状がほぼ変わらないストレート状に形成する（図５（ｂ））。

次いで、溝１０３を研削した側から、Ｎｉ、Ａｕ、Ｃｕ、Ａｌ等の電極形成用金属をスパッタリング法、蒸着法等によって適用し、削り残されたドライフィルム１０２の上面及び各溝１０３の内面に金属膜１０４を形成する（図５（ｃ））。

その後、ドライフィルム１０２をその表面に形成された金属膜１０４と共に除去することにより、各溝１０３の内面のみに金属膜１０４が形成された基板１０５を得る。そして、同様に形成された基板１０５を２枚用意し、各基板１０５の溝１０３同士が互いに合致するように位置合わせして、エポキシ系接着剤等を用いて接合する（図５（ｄ））。

次いで、このようにして得られたヘッド基板１０６を２枚用意して重ね合わせて接着し、溝１０３の長さ方向と直交する方向に沿って切断することにより、２列のチャネル列を有する複数個のハーモニカ型のヘッドチップ１を一度に作成する。各溝１０３はチャネル１２又は１３となり、各溝１０３内の金属膜１０４は駆動電極１４となり、隣接する溝１０３の間は駆動壁１１となる。カットラインＣ、Ｃ…間の幅は、それによって作製されるヘッドチップ１、１…のインクチャネル１２の駆動長（Ｌ長）を決定するものであり、この駆動長に応じて適宜決定される（図５（ｅ））。

次いで、これにより得られたヘッドチップ１の後面にマスク材としてのドライフィルム２００を形成し、共通電極１５Ａ、１５Ｂを形成するための開口２０１Ａ、２０１Ｂと、Ａ列用引き出し電極１６Ａを形成するための開口２０２Ａと、Ｂ列用引き出し電極１６Ｂを形成するための開口２０２Ｂとを露光、現像により形成する（図６）。

そして、このドライフィルム２００の側から、真空蒸着により電極形成用金属として例えばＡｌを適用し、各開口２０１Ａ、２０１Ｂ、２０２Ａ、２０２Ｂ内にそれぞれＡｌ膜を選択的に形成する。このＡｌ膜により、ヘッドチップ１の後面に、それぞれ共通電極１５Ａ、１５Ｂ、Ａ列用引き出し電極１６Ａ、Ｂ列用引き出し電極１６Ｂが形成される。

これら共通電極１５Ａ、１５Ｂ、Ａ列用引き出し電極１６Ａ及びＢ列用引き出し電極１６Ｂと各インクチャネル１２内の駆動電極１４及び各エアーチャネル１３内の駆動電極１４との接続を確実にするためには、蒸着は方向を変えて２度行うことが望ましい。具体的には、図示面に垂直な方向から、上下に各３０度の方向から行うことが望ましい。更に、図５（ｄ）に示すように上下に分かれている金属膜１０４同士の接続を確実にするためには、右又は左３０度の方向からの蒸着を行うことも望ましい。

また、Ａｌ膜の形成方法としては蒸着に限らず、一般の薄膜形成方法を採用することができる。また、導電性ペーストをインクジェットで塗布する方法を用いることもできる。特にスパッタ法が、飛来する金属粒子の方向がランダムなため、特に方向を変えなくてもチャネル内部まで金属膜を形成できるので好適である。Ａｌ膜の形成後、溶剤でドライフィルム２００を溶解剥離することで、ドライフィルム２００上に形成されていたＡｌ膜は除去され、ヘッドチップ１の後面には、共通電極１５Ａ、１５Ｂ、Ａ列用引き出し電極１６Ａ及びＢ列用引き出し電極１６Ｂのみが残存する図１の状態となる。

なお、ドライフィルム２００の現像工程・水洗工程での作業性を考え、ドライフィルム２００はチャネル１２、１３の全面においても開口していることが望ましい。全面において開口していることにより、チャネル１２、１３内の現像液、洗浄水の除去が容易となる。

また、マスク材はドライフィルムに限らず、金属マスクを用いてもよい。

流路規制部材１７を設ける場合は、この後、ヘッドチップ１の後面全面もしくは各チャネル列を覆う程度の大きさを有する流路規制部材用のフィルムを接着し、流路規制部材１７に相当する領域をマスクした後、ヘッドチップ１の後面に対してドライエッチングを行い、不要なフィルムを除去すればよい。具体的なドライエッチングの手段としては、流路規制部材１７に用いられる樹脂に応じて適宜選択できる。例えばポリイミドフィルムを用いた場合は酸素プラズマを用いてドライエッチングすることが可能である。

エッチングにはウェットエッチングも使用可能であるが、一般にウェットエッチング液は酸性やアルカリ性であり、駆動電極１４を侵すおそれがあるため、ドライエッチングが好ましい。しかも、万一、フィルムの接着時に接着剤の滲み出し等が発生しても、ドライエッチングする際に同時に不要な接着剤も分解除去できるので、余剰の接着剤がチャネルを塞いだり、電極表面を覆ったりする問題も解消する。

一方、配線基板３は、少なくともヘッドチップ１の後面における上面側の端部及び下面側の端部１ａからそれぞれ張り出す程度の大きさを有している。ヘッドチップ１との接合面である配線基板３の表面には、Ａ列とＢ列との間に配置される共通電極１５Ａと接触しないように、該共通電極１５Ａを含み且つＡ列用の引き出し電極１６Ａ及びＢ列用の引き出し電極１６Ｂを含まない領域に対応する部分に、チャネル列方向に沿って延びるように帯状の凹部３１が形成されている。

また、同じく配線基板３の表面には、Ｂ列のチャネル列に沿うように、該Ｂ列のチャネル列の各チャネルの後面側の開口部１２２、１３２を含む領域に亘って帯状の凹部３２が形成されている。凹部３２は、凹部３１と同様の方法で作製することができる。この凹部３２はＢ列のエアーチャネル１３に設けられた流路規制部材１７を収容するための凹部であり、流路規制部材１７を設けない場合は本発明において必須のものではない。

配線基板３の表面は、このように凹部３１、３２が形成されることにより、これら凹部３１、３２の領域と、該凹部３１、３２に対して相対的に凸となる同一高さの平面領域３３、３４、３５とを有している。

最も端部側に位置する平面領域３３には、ヘッドチップ１の後面に形成されているＡ列用引き出し電極１６Ａと同一ピッチで、Ａ列用配線電極３６Ａが形成されている。このＡ列用配線電極３６Ａは、平面領域３３上における凹部３１と接する縁部３３１から、ヘッドチップ１の端部１ａから張り出す配線基板３の下端部３ａにかけて、平面領域３３を横断するように配線されている。このＡ列用配線電極３６Ａは、縁部３３１の近傍部位がＡ列用引き出し電極１６Ａとの電気的接続部位とされる。

また、平面領域３４、凹部３１及び平面領域３３に亘って、ヘッドチップ１の後面に形成されているＢ列用引き出し電極１６Ｂと同一ピッチで、Ｂ列用配線電極３６Ｂが形成されている。このＢ列用配線電極３６Ｂは、平面領域３４上における凹部３２と接する縁部３４１と近接する部位から、該平面領域３４を横断し、凹部３１の内面に沿って該凹部３１を横断し、更に平面領域３３を横断するように、ヘッドチップ１の端部１ａから張り出す配線基板３の下端部３ａにかけて配線され、Ａ列用配線電極３６Ａと交互になるように配列されている。このＢ列用配線電極３６Ｂは、平面領域３４上の部位がＢ列用引き出し電極１６Ｂとの電気的接続部位とされる。

Ｂ列用配線電極３６Ｂは、凹部３１内面に沿って該凹部３１を横断することにより立体的に配線されるため、凹部３１の表面側の２箇所の縁部３３１、３４２（図２参照）において外側に凸に屈曲するように形成される。このような屈曲する部位では、金属膜が部分的に薄くなることによって断線が発生する懸念がある。このため、この縁部３３１、３４２の部位の金属膜に断線を生じるおそれがないように、図８に示すように、凹部３１の底面３１ａから立ち上がる側壁３１ｂを、表面にいくに従って次第に広がる傾斜面とすることにより、縁部３３１、３４２において該側壁３１ｂと配線基板３の表面３ｂとがなす角度が鈍角になるようにしている。側壁３１ｂを傾斜面とするには、凹部３１を掘り下げる場合は、ダイシングソーによる研削、サンドブラスト、エッチング等の加工条件を適宜調整することによって行うことができる。また、凹部３１以外の領域に肉盛りする場合は、積層される基板の凹部側の縁部に、予めテーパー加工を施しておけばよい。

なお、本実施形態では、中央部に位置する平面領域３５上に、ヘッドチップ１の後面に形成されている共通電極１５Ｂに対応するように、共通配線電極３７が形成されている。この共通配線電極３７は本発明において必須のものではないが、配線基板３がヘッドチップ１の後面に接合された際、共通電極１５Ｂと電気的に接続することにより、該共通電極１５Ｂの電気抵抗を低減させる効果が得られるために好ましく設けることができる。

配線基板３の裏面（ヘッドチップ１との接合面と反対面）には、ヘッドチップ１のＡ列及びＢ列の各チャネル列に対応する位置に、該チャネル列に沿うように、所定深さの凹溝３８Ａ、３８Ｂが形成されている（図３、図４参照）。なお、Ａ列に対応する凹溝３８Ａは、配線基板３の表面の凹部３１の反対面側に位置し、Ｂ列に対応する凹溝３８Ｂは、配線基板３の表面の凹部３２の反対面側に位置している。

これらの凹溝３８Ａ、３８Ｂも凹部３１、３２と同様、配線基板３の裏面から掘り下げて作製するものに限らず、逆に配線基板３の裏面の凹溝となる領域以外の領域に、薄板状の基板を積層（肉盛り）することによって形成してもよい。本実施形態では、各凹溝３８Ａ、３８Ｂは、裏面側にいくに従って次第に拡大し、チャネル列と直交する方向（図示上下方向）の幅が広くなる傾斜状に形成されている。

各凹溝３８Ａ、３８Ｂは、配線基板３の表面に貫通するものではないが、各凹溝３８Ａ、３８Ｂの底面には、Ａ列及びＢ列の各インクチャネル１２内へのインク供給を可能とするためのインク供給口３９Ａ、３９Ｂが、各インクチャネル１２のみに対応する位置に個別に開口形成されている。従って、配線基板３は、凹溝３８Ａ、３８Ｂ内のインク供給口３９Ａ、３９Ｂの部位のみにおいて表裏に貫通している。各インク供給口３９Ａ、３９Ｂの大きさは、各インクチャネル１２の後面側の開口部１２２と少なくとも同じ大きさとされている。各凹溝３８Ａ、３８Ｂは、裏面側にいくに従ってチャネル列と直交する方向の幅が広くなる傾斜状となっているため、配線基板３の裏面側から供給されるインクの流路抵抗が低減され、インク供給をスムーズに行うことができる。

なお、凹溝３８Ａ、３８Ｂは、チャネル列に沿う帯状に形成するものに限らず、各インクチャネル１２のみに対応する位置に個別に形成するようにしてもよい。

次に、このような配線基板３の製造例を図７に基づいて以下に説明するが、何らこれに限定されるものではない。なお、図７は、図２中の（ｘ）−（ｘ）線に沿う断面を示している。このためＢ列用配線電極３６Ｂは図示されない。

まず、配線基板用の所定厚みの基板３００を用意し、後に配線基板３の表面となる面に、凹部３１、３２を形成する（図７（ａ））。ここでは基板３００に厚さ０．７ｍｍのガラス基板を使用し、各々深さ２０μｍとなる凹部３１、３２をダイシングソーで研削することによってざぐり加工している。また、この他に、レジストプロセスで凹部３１、３２となる部位だけレジストを除去し、エッチングによってガラスを溶解したり、サンドブラストによって掘削加工したりすることによって凹部３１、３２を加工してもよい。

次いで、基板３００の表面にドライフィルムを形成し、露光、現像処理によってＡ列用配線電極３６Ａ、Ｂ列用配線電極３６Ｂ及び共通配線電極３７に対応する部位のドライフィルムを除去した後、蒸着法によって厚さ２μｍのＡｌ等の金属膜を形成する。その後、残存するドライフィルムを除去して、基板３００の表面に蒸着された金属膜からなるＡ列用配線電極３６Ａ、Ｂ列用配線電極３６Ｂ及び共通配線電極３７を形成する（図７（ｂ））。

次いで、基板３００の表裏両面にドライフィルム４０１、４０２を形成し、露光、現像処理によって、表面側のドライフィルム４０１のインク供給口３９Ａ、３９Ｂに対応する部位及び裏面側のドライフィルム４０２の凹溝３８Ａ、３８Ｂに対応する部位を除去し、その後、基板３００の裏面側からサンドブラストを行い、凹溝３８Ａ、３８Ｂを所定深さでざぐり加工する（図７（ｃ））。

更に、基板３００の表面側からもサンドブラストを行い、凹溝３８Ａ、３８Ｂの底面を貫通するインク供給口３９Ａ、３９Ｂを個別に開口形成する（図７（ｄ））。

最後にドライフィルム４０１、４０２を除去することにより、配線基板３を得る（図７（ｅ））。

このようにして作製された配線基板３は、表面がヘッドチップ１の後面に接し、且つ、Ａ列用配線電極３６ＡがＡ列用引き出し電極１６Ａと電気的に接続し、Ｂ列用配線電極３６ＢがＢ列用引き出し電極１６Ｂと電気的に接続するように位置合わせされ、接着剤、異方導電性フィルム等によって接合される。これにより、ヘッドチップ１のＡ列の各チャネル１２内の駆動電極１４は、Ａ列用引き出し電極１６Ａ及びＡ列用配線電極３６Ａを介して、配線基板３の下端部３ａまで引き出されると共に、Ｂ列の各チャネル１２内の駆動電極１４は、Ｂ列用引き出し電極１６Ｂ及びＢ列用配線電極３６Ｂを介して、Ａ列とＢ列との間に配置される共通電極１５Ａと短絡することなく、該共通電極１５Ａを跨ぐようにして、同じく配線基板３の下端部３ａまで引き出される。また、配線基板３の各インク供給口３９Ａ、３９Ｂは、ヘッドチップ１の各インクチャネル１２にそれぞれ対応して配置される。

配線基板３の端部（上端部及び下端部３ａ）には、そこに露出するＡ列用配線電極３６Ａ及びＢ列用配線電極３６Ｂに対してＦＰＣ４を接続することにより、このＦＰＣ４を介して不図示の駆動回路との電気的接続を図る。

配線基板３の裏面には、各凹溝３８Ａ、３８Ｂを全て覆うように、箱形状のマニホールド５が接合される。マニホールド５の内部はインクが貯留される共通インク室５１であり、この共通インク室５１のインクが、配線基板３の凹溝３８Ａ、３８Ｂ及びインク供給口３９Ａ、３９Ｂを介して、各インクチャネル１２内に供給される。

図９は、ヘッドチップ１の後面に形成される共通電極の配置パターンの他の例を示している。本発明に係るインクジェットヘッドは、このような共通電極の配置パターンにも適用することができる。

図９（ａ）では、Ａ列とＢ列の間に、Ａ列の各エアーチャネル１３から引き出された共通電極１５Ａに加えて、Ｂ列の各エアーチャネル１３から引き出された共通電極１５Ｂも同様に配置され、両者が並列している。この場合、Ｂ列用引き出し電極１６Ｂは、対応する各インクチャネル１２から、この共通電極１５Ｂの手前にかけて形成される。この態様では、配線基板３は、凹部３１の領域（図中破線で示す領域）で共通電極１５Ａ、１５Ｂのいずれとも接触することはなく、従って、該配線基板３に形成されるＢ列用配線電極３６Ｂは、これら共通電極１５Ａ、１５Ｂのいずれとも短絡することはない。

一方、図９（ｂ）では、Ａ列とＢ列の間に、Ａ列の各エアーチャネル１３とＢ列の各エアーチャネル１３の両チャネルから引き出された共通の１本の共通電極１５のみが配置され、チャネル列方向に延びている。この場合も、Ｂ列用引き出し電極１６Ｂは、対応する各インクチャネル１２から、この共通電極１５の手前にかけて形成される。この態様でも、配線基板３は、凹部３１の領域（図中破線で示す領域）で共通電極１５と接触することはなく、従って、該配線基板３に形成されるＢ列用配線電極３６Ｂは、共通電極１５と短絡することはない。

以上の実施形態では、エアーチャネル１３を流路規制部材１７によって閉塞したが、このような流路規制部材１７を設けない場合、凹部３１、３２の深さ及びヘッドチップ１の後面との間に介在させる接着剤の塗布厚さを適切に設定することにより、その接着剤によってエアーチャネル１３の後面側の開口部１３２を閉塞することもできる。これによれば、流路規制部材１７を設ける手間が不要となり、それだけ低コストで高信頼性のあるインクジェットヘッドとすることができる。しかも、有機フィルムを使用することがないため、強溶剤、酸、アルカリインクを射出することも可能となり、使用インク選択の幅を広げることができる。

なお、以上図示した配線基板３の凹部３１、３２は、ダイシングソーで研削することによってざぐり加工した。一方、エッチングやサンドブラストによれば、任意の形状でざぐり加工を行うことが可能である。図１０は、配線基板３の表面において、Ｂ列用配線電極３６Ｂがヘッドチップ１の共通電極と重なる領域にエッチング加工によって凹部３１０をざぐり加工した例を示している。

すなわち、凹部３１０は、Ｂ列用配線電極３６Ｂが、図１、図３に示したように、ヘッドチップ１の後面のＡ列とＢ列との間に配置される共通電極１５Ａと重なる領域のみにそれぞれ局所的に形成されている。従って、各凹部３１０は配線基板３の表面に、各Ｂ列用配線電極３６Ｂに対応して個別に配置されている。各Ｂ列用配線電極３６Ｂは、対応する凹部３１０の内面に沿って、該凹部３１０を図示上下方向に横断するように形成されることで、共通電極１５Ａと接触せず、互いが短絡することはない。

このような凹部３１０を有する配線基板３の場合、エアーチャネル１３の後面側の開口部１３２は、流路形成部材１７によらず、ヘッドチップ１と配線基板３とを接着するための接着剤により閉塞することが容易である。なお、この場合、凹部３２に相当するざぐり部は必要ない。

以上の実施形態では、Ａ列とＢ列とは、各インクチャネル１２と各エアーチャネル１３とが１ピッチずれて形成されている。この態様では、配線基板３のＢ列用配線電極３６Ｂを、図２に示したように、Ａ列のエアーチャネル１３上を通って直線的に配線することができる利点を有するが、Ａ列とＢ列との間のチャネルのピッチはこのようなピッチに限らず、様々なピッチとすることができる。

１：ヘッドチップ
１ａ：下端部
１１：駆動壁
１２：インクチャネル
１２１：前面側の開口部
１２２：後面側の開口部
１３：エアーチャネル
１３１：前面側の開口部
１３２：後面側の開口部
１４：駆動電極
１５、１５Ａ、１５Ｂ：共通電極
１６Ａ：Ａ列用引き出し電極
１６Ｂ：Ｂ列用引き出し電極
１７：流路規制部材
２：ノズルプレート
２１：ノズル
３：配線基板
３ａ：下端部
３ｂ：表面
３１、３２、３１０：凹部
３１ａ：底面
３１ｂ：側壁
３３、３４、３５：平面領域
３６Ａ：Ａ列用配線電極
３６Ｂ：Ｂ列用配線電極
３７：共通配線電極
３８Ａ、３８Ｂ：凹溝
３９Ａ、３９Ｂ：インク供給口
４：ＦＰＣ
５：インクマニホールド
５１：共通インク室

Claims (7)

1. チャネルと圧電素子からなる駆動壁が交互に並設されると共に、前面及び後面にそれぞれ前記チャネルの開口部が配置され、前記チャネル内に臨む前記駆動壁に駆動電極が形成され、インク吐出を行うインクチャネルとインク吐出を行わないエアーチャネルとが交互に配置されたチャネル列が複数並設されてなるヘッドチップと、前記ヘッドチップの後面に、前記チャネル列の並設方向における該ヘッドチップの端部から張り出すように接合された配線基板とを有し、該配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に形成された配線電極を介して前記駆動電極に駆動信号を印加するインクジェットヘッドであって、
   前記複数のチャネル列のうちの前記ヘッドチップの最も外側に位置するいずれかのチャネル列をＡ列、該Ａ列に隣接するチャネル列をＢ列とするとき、前記ヘッドチップの後面に、前記エアーチャネル内の前記駆動電極と導通する共通電極が、Ａ列とＢ列との間においてチャネル列方向に沿って形成されていると共に、Ｂ列の前記インクチャネル内の駆動電極と導通するＢ列用引き出し電極が、前記共通電極と接触することなく個別に形成されており、
   前記配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に、前記Ｂ列用引き出し電極と電気的に接続されるＢ列用配線電極が、前記Ｂ列用引き出し電極との電気的接続部位から、前記ヘッドチップの端部から張り出した前記配線基板の端部にかけて形成されていると共に、少なくとも前記Ｂ列用配線電極と前記共通電極とが重なる領域においては、前記配線基板の前記接合面は凹部となっており、前記Ｂ列用配線電極が前記凹部の内面に沿って形成されることで、該Ｂ列用配線電極と前記共通電極とが接触しないことを特徴とするインクジェットヘッド。
2. 前記ヘッドチップの後面に、Ａ列の前記インクチャネル内の前記駆動電極と導通するＡ列用引き出し電極が該ヘッドチップの端部まで個別に引き出されており、
   前記配線基板の前記ヘッドチップとの接合面に、前記Ａ列用引き出し電極と電気的に接続されるＡ列用配線電極が、前記Ａ列用引き出し電極との電気的接続部位から、前記ヘッドチップの端部に張り出した前記配線基板の端部にかけて形成されていることを特徴とする請求項１記載のインクジェットヘッド。
3. 前記配線基板の前記凹部は、該凹部内の底面から立ち上がる側壁が傾斜面であることを特徴とする請求項１又は２記載インクジェットヘッド。
4. 前記配線基板は、前記ヘッドチップの前記各インクチャネルに対応する部分に、該インクチャネル内にインクを供給可能とするインク供給口が表裏に貫通するように個別に形成されていることを特徴とする請求項１、２又は３記載のインクジェットヘッド。
5. 前記インク供給口は、前記ヘッドチップとの接合面と反対面側に行くに従って次第に拡大する傾斜状に形成されていることを特徴とする請求項４記載のインクジェットヘッド。
6. 前記配線基板における前記ヘッドチップとの接合面と反対面に、前記インクチャネルに対して共通に供給されるインクを貯留する共通インク室が設けられていることを特徴とする請求項４又は５記載のインクジェットヘッド。
7. 前記ヘッドチップは４列のチャネル列を有することを特徴とする請求項１〜６のいずれかに記載のインクジェットヘッド。
   
   
   

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