JP2013134064A - 振動型角速度センサ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】複数の錘部31〜36を直線状の駆動梁42で連結し、駆動梁42の撓みによって複数の錘部31〜36を振動させると共に、駆動梁42の節(不動点)において支持部材43を介して固定部20に固定される振動子を有した構造とする。そして、駆動梁42よりも支持部材43のバネ性、具体的には支持部材43に備えられる回転梁43aのバネ性を小さくする。これにより、誤って不要モード周波数frを駆動共振周波数fdと検知してしまうことを抑制でき、誤作動を抑制することが可能となる。
【選択図】図1
Description
本発明の第1実施形態について説明する。本実施形態で説明する振動型角速度センサ(ジャイロセンサ)は、物理量として角速度を検出するためのセンサであり、例えば車両の上下方向に平行な中心線周りの回転角速度の検出に用いられるが、勿論、振動型角速度センサを車両用以外に適用することもできる。
(数2) (2πfr)2=(kr1+kr2)/M
ここで、駆動梁42の幅をh1、回転梁43aの幅をh2とし、これらの比h2/h1が梁幅比Rであるとすると、駆動共振周波数fdと不要モード周波数frとの関係は、次式で表すことができる。
上記実施形態では、基板10としてSOI基板を用いる場合について説明したが、これは基板10の一例を示したものであり、SOI基板以外のものを用いても良い。
20 固定部
21 支持用固定部
22、23 駆動用固定部
22b、23b 駆動用固定電極
24、25 検出用固定部
24b、25b 検出用固定電極
30 可動部
31、32 外側駆動錘
31a、32a 質量部
31b、32b 駆動用可動電極
33、34 内側駆動錘
33a、34a 質量部
33b、34b 駆動用可動電極
35、36 検出錘
35a、36a 質量部
35b、36b 検出用可動電極
40 梁部
41 検出梁
42 駆動梁
43 支持部材
43a 回転梁
43b 支持梁
Claims (7)
- 複数の錘部(31〜36)を直線状の駆動梁(42)で連結し、前記駆動梁(42)の撓みによって前記複数の錘部(31〜36)を振動させると共に、前記駆動梁(42)の不動点において支持部材(43)を介して基板(10)に固定される振動子を有した構造の振動型角速度センサにおいて、
前記駆動梁(42)よりも前記支持部材(43)のバネ性が小さくされていることを特徴とする振動型角速度センサ。 - 前記基板(10)の一面側に形成され、該基板(10)に固定された検出用固定電極(24b、25b)を有する検出用固定部(24、25)と、
前記検出用固定電極(24b、25b)と対向配置された検出用可動電極(35b、36b)を有すると共に該検出用可動電極(35b、36b)が備えられた質量部(35a、36a)を有する検出錘(35、36)と、
前記検出錘(35、36)の周囲を囲むと共に検出梁(41)を介して前記検出錘(35、36)を連結する一対の内側駆動錘(33、34)と、
前記一対の内側駆動錘(33、34)を挟んだ両側に配置された一対の外側駆動錘(31、32)と、
前記内側駆動錘(33、34)と前記外側駆動錘(31、32)とを、互いに逆方向に振動させる静電引力を発生させる駆動用固定部(22、23)とを有し、
前記外側駆動錘(31、32)および前記検出錘(35、36)が連結された前記内側駆動錘(33、34)にて前記複数の錘部を構成し、
前記駆動梁(42)にて、前記内側駆動錘(33、34)と前記外側駆動錘(31、32)とを連結すると共に、
前記支持部材(43)にて、前記駆動梁(42)の不動点において前記外側駆動錘(31、32)および前記検出錘(35、36)が連結された前記内側駆動錘(33、34)を前記基板(10)に支持しており、
前記駆動用固定部(22、23)が発生させる静電引力に基づいて前記駆動梁(42)を撓ませて前記外側駆動錘(31、32)と前記内側駆動錘(33、34)とを振動させるセンサ駆動を行い、該センサ駆動中に角速度が印加されると前記検出梁(41)が撓むことによって前記検出錘(35、36)が前記内側駆動錘(33、34)の振動方向と垂直方向に移動させられ、前記検出用固定電極(24b、25b)と前記検出用可動電極(35b、36b)の容量が変化することに基づいて前記角速度を検出するように構成され、
前記支持部材(43)は、前記センサ駆動中に波打って撓む回転梁(43a)と、前記回転梁(43a)の両側を前記基板(10)に支持する支持梁(43b)と、前記回転梁(43a)と前記駆動梁(42)とを、前記駆動梁(42)の不動点において連結する連結部(43c)とを有した構成とされ、
前記駆動梁(42)よりも前記回転梁(43a)の方のバネ性が小さくされていることを特徴とする請求項1に記載の振動型角速度センサ。 - 前記外側駆動錘(31、32)と前記内側駆動錘(33、34)の振動方向において、前記駆動梁(42)の幅h1と前記回転梁(43a)の幅h2との比となる梁幅比をRとし、1/Rが2以上に設定されていることを特徴とする請求項2に記載の振動型角速度センサ。
- 前記1/Rが3以上に設定されていることを特徴とする請求項3に記載の振動型角速度センサ。
- 前記駆動用固定部(22、23)と前記内側駆動錘(33、34)および前記外側駆動錘(31、32)との間に交流電圧が印加されることで前記センサ駆動が行われ、前記交流電圧の周波数が駆動共振周波数fdに設定され、該駆動共振周波数fdが数kHz〜数十kHzとされていることを特徴とする請求項2ないし4のいずれか1つに記載の振動型角速度センサ。
- 前記駆動共振周波数fdが5kHz〜10kHzとされていることを特徴とする請求項5に記載の振動型角速度センサ。
- 一方の外側駆動錘(31)と一方の内側駆動錘(33)と他方の内側駆動錘(34)および他方の外側駆動錘(32)が順番に並べられた状態で前記駆動梁(42)によって連結させており、
前記支持部材(43)は、前記一方の外側駆動梁(31)と前記一方の内側駆動錘(33)との間と、前記一方の内側駆動錘(33)と前記他方の内側駆動錘(34)との間と、前記他方の内側駆動錘(34)と前記他方の外側駆動錘(32)との間、それぞれにおいて、前記基板(10)と前記駆動梁(42)とを接続していることを特徴とする請求項2ないし6のいずれか1つに記載の振動型角速度センサ。
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