JP2013131745A - 変形センサを有するリソグラフィ装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、リソグラフィ装置であって、変形を受けやすい部材と該部材の変形を測定する変形センサとを備え、該変形センサは、該部材の変形に依存した応力を受ける第1複屈折センシング要素と、第1複屈折センシング要素に偏光光を透過させる光システムであって、該偏光光が第1複屈折センシング要素を透過する前は第1偏光状態を有する、光システムと、第1複屈折センシング要素を透過した後の偏光光の第2偏光状態を検出するディテクタと、第1および第2偏光状態に基づき前記部材の変形を特定する計算ユニットと、を備える、リソグラフィ装置に関連する。
【選択図】図1
Description
リソグラフィ装置であって、
‐変形を受けやすい部材と、
‐部材の変形を測定するための変形センサと、を備え、
変形センサは、
‐部材の変形に依存した応力を受けるように配置された第1複屈折センシング要素と、
‐第1複屈折センシング要素に偏光光を透過させるように構成された光システムであって、該偏光光が第1複屈折センシング要素を透過する前は第1偏光状態を有する、光システムと、
‐第1複屈折センシング要素を透過した後の偏光光の第2偏光状態を検出するためのディテクタと、
‐第1および第2偏光状態に基づき、前記部材の変形を特定する計算ユニットと、を備える、
リソグラフィ装置が提供される。
−部材の変形に依存した応力を受けるように第1複屈折センシング要素を配置するステップと、
−第1複屈折センシング要素に偏光光を透過させるステップであって、該偏光光が、第1複屈折センシング要素を透過する前には、第1偏光状態を有する、ステップと、
−第1複屈折センシング要素を透過した後の偏光光の第2偏光状態を検出するステップと、
−第1および第2偏光状態に基づき、部材の変形を特定するステップと、を含む、方法が提供される。
−変形を受けやすい部材と、
−部材の測定方向の変形を測定するための変形センサと、を備え、
部材および変形センサのうちの一方に、測定方向以外の方向の変形に対して変形センサの感度を弱めるように配置された溝が設けられる、リソグラフィ装置が提供される。
Claims (15)
- リソグラフィ装置であって、
変形を受けやすい部材と、
前記部材の測定方向の変形を測定する変形センサと、を備え、
前記変形センサは、
前記部材の前記変形に依存した応力を受ける第1複屈折センシング要素と、
前記第1複屈折センシング要素に偏光光を透過させる光システムであって、該偏光光が前記第1複屈折センシング要素を透過する前は第1偏光状態を有する、光システムと、
前記第1複屈折センシング要素を透過した後の前記偏光光の第2偏光状態を検出するディテクタと、
前記第1および第2偏光状態に基づき、前記部材の前記変形を特定する計算ユニットと、を備える、
リソグラフィ装置。 - 前記第1複屈折センシング要素は、前記部材の一体部分である、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記第1複屈折センシング要素は、好ましくは接着剤および/またはクランプを使用して、前記部材に装着される、請求項1に記載のリソグラフィ装置。
- 前記光システムは、少なくとも1つのミラーを備え、前記偏光光を前記第1複屈折センシング要素に複数回透過させる、請求項1〜3のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記変形センサは、前記部材の前記変形に依存した応力を受ける第2複屈折センシング要素を備え、前記変形が測定されるために該第2複屈折センシング要素内の応力方向が前記第1複屈折センシング要素内の応力方向とは逆であり、
前記光システムは、前記第1および前記第2複屈折センシング要素の間に2分の1波長板を備え、
前記光システムは、前記第1および第2複屈折センシング要素に偏光光を透過させ、該偏光光が前記第1複屈折センシング要素から前記第2複屈折センシング要素へまたはその逆方向に進むたびに、該偏光光が前記2分の1波長板を通過するようにする、
請求項1〜4のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記第1偏光状態は、測定されるべき前記変形により誘発された前記応力方向に対して、好ましくはゼロ以外の角度、より好ましくは45度の角度を有する直線偏光である、請求項1〜5のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記ディテクタは、前記第1複屈折センシング要素を透過した後の前記偏光光を、互いに直交した偏光を有する2つの光ビームへ分割する偏光ビームスプリッタを備え、
前記ディテクタは、各々が前記2つの光ビームのうちの1つの光ビームの強度を測定する2つの検出要素をさらに備える、
請求項1〜6のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - 前記光システムは、偏光光を前記第1複屈折センシング要素に向けて誘導し、かつ前記第1複屈折センシング要素を透過した後の偏光光を前記ディテクタへ誘導する非偏光ビームスプリッタまたは部分偏光ビームスプリッタを備える、請求項1〜7のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記部材および前記変形センサの少なくとも一方に、前記測定方向以外の方向の変形に対する前記変形センサの感度を弱める溝を備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 前記溝は、前記測定方向に平行に延在し、
前記溝は、前記第1複屈折センシング要素が前記測定方向以外の方向に変形するのを防止するように、前記第1複屈折センシング要素に関連している、
請求項9に記載のリソグラフィ装置。 - 前記変形センサは、さらなる歪み測定センサを備える、請求項9または10に記載のリソグラフィ装置。
- 前記リソグラフィ装置の前記部材は、パターニングデバイスを支持するサポートまたは基板を保持する基板テーブルである、請求項1〜11のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。
- 第2変形センサが設けられ、該第2変形センサは、
前記部材の前記変形に依存した応力を受ける第3複屈折センシング要素であって、該第3複屈折センシング要素内の応力方向が前記第1変形センサの前記第1複屈折センシング要素内の応力方向と逆である、第3複屈折センシング要素と、
前記第3複屈折センシング要素に偏光光を透過させる第2光システムであって、前記偏光光が前記第3複屈折センシング要素を透過する前には第3偏光状態を有し、該第3偏光状態が好ましくは前記第1偏光状態に類似する、第2光システムと、
前記第3複屈折センシング要素を透過した後の前記偏光光の第4偏光状態を検出する第2ディテクタと、を備え、
前記計算ユニットは、前記第1、第2、第3、および第4偏光状態に基づき、好ましくは前記第1および第2ディテクタの信号を減算することによって、前記部材の前記変形を特定する、
請求項1〜12のいずれか1項に記載のリソグラフィ装置。 - リソグラフィ装置の部材の変形を特定する方法であって、
前記部材の前記変形に依存した応力を受けるように第1複屈折センシング要素を配置するステップと、
前記第1複屈折センシング要素に偏光光を透過させるステップであって、該偏光光が前記第1複屈折センシング要素を透過する前には第1偏光状態を有する、ステップと、
前記第1複屈折センシング要素を透過した後の前記偏光光の第2偏光状態を検出するステップと、
前記第1および第2偏光状態に基づき、前記部材の前記変形を特定するステップと、
を含む、方法。 - 変形を受けやすい部材と、
前記部材の測定方向の変形を測定する変形センサと、を備え、
前記部材および前記変形センサの一方に、前記測定方向以外の方向の変形に対して前記変形センサの感度を弱める溝が設けられる、
リソグラフィ装置。
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