JP2013130764A - 電気泳動表示素子の製造方法 - Google Patents

Abstract

【課題】開口率が高く高コントラストで簡易に製造可能な電気泳動表示素子の製造方法を提供する。
【解決手段】下記工程（１）〜（７）を含み製造する。（１）第１の導電層１２ａを備える基板１１ａ上に可塑性を有する材料の層２２を形成する。（２）複数の凹部２１を有するテンプレート２０に前記基板１１ａの可塑性を有する材料の層２２が形成された側を貼りあわせる。（３）前記テンプレート２０が有する複数の凹部２１及び前記基板１１ａにより閉じられた空間と、外部と、の圧力差により区画化された複数の空間１５を形成する。（４）前記可塑性を有する材料を硬化する。（５）前記基板１１ａをテンプレート２０から離脱する。（６）前記区画化された複数の空間１５に帯電粒子を含む液体を注液する。（７）前記区画化された複数の空間１５を封止し、第２の導電層１２ｂを備える対向基板１１ｂを前記基板１１ａに対向配置する。
【選択図】図２

Description

本発明は、電気泳動の原理に基づき、帯電した白色ないし着色の粒子を電界方向に移動させることにより画像の表示状態、非表示状態を切り替える電気泳動表示素子の製造方法に関する。

従来、文字や静止画、動画等のいわゆる画像の表示用端末としてＣＲＴ（Cathode
Ray Tube）や液晶ディスプレイが用いられている。これらはデジタルデータを瞬時に表示し、書き換えることができるが、装置を常に持ち歩くことは困難であり、長時間の作業では眼が疲労したり、電源をオフにしては表示できなかったりなど、多くの欠点もある。

一方、文字や静止画を書類などとして配布や保存するときは、プリンターにて紙媒体に記録される。この紙媒体は、いわゆるハードコピーとして、広く使用されているものである。ハードコピーは、表示用端末（ディスプレイ）より文章を読み易く、疲れ難く、自由な姿勢で読むことができる。さらに、軽量で自由に持ち運びが可能である特徴を有する。
しかしながら、ハードコピーは使用された後は廃棄され、リサイクルされるが、そのリサイクルには多くの労力と費用を要するので省資源の点では問題が残る。

このため、上述のディスプレイとハードコピーの両方の長所を併せ持った、書き換え可能でペーパーライクな表示媒体へのニーズは高く、これまでに高分子分散型液晶、双安定性コレステリック液晶、エレクトロクロミック素子、電気泳動素子等を用いた表示媒体等が提案されている。これらは反射表示型で明るい表示ができ、かつメモリ性のある表示媒体として注目されている。また、これらの中でも電気泳動素子を用いたものは、表示品質、表示動作時の消費電力の点で優れていて、例えば、特許文献１（特開平５−１７３１９４号公報）、特許文献２（特許第２６１２４７２号公報）などに開示されている。

電気泳動表示媒体は、着色した分散媒中に該分散媒の色とは異なる色を有する複数の電気泳動粒子を分散させた分散液を、一組の透明電極の間に封入してある。この場合、その電気泳動粒子（この欄では、単に泳動粒子とも言う。）は、分散媒中で表面に電荷を帯びていて、透明電極間に電場を形成することにより当該電気泳動粒子を移動させることが出来る。例えば、透明電極の一方に泳動粒子の電荷と逆の電荷を与えた場合には、泳動粒子がそちらに引き寄せられて、電極付近に堆積して泳動粒子の色が観測される。逆に、泳動粒子の電荷と同じ電荷を与えた場合には泳動粒子は反対側に移動するため分散媒の色が観測される。このように電極面の電荷を変化させることにより、観測される色を変化させる原理を応用して各種の表示を行うことができる。

電気泳動方式のディスプレイとして、電気泳動液が充填されたマイクロカプセルを作製し、そのマイクロカプセルを駆動電極が形成された基板上へ塗布し、マイクロカプセルの層を形成する方式が一般的な方法である。しかしながら、マイクロカプセルの粒径を均一にすることが難しいため、粒径の不均一さが表示品質の低下につながっている。

一方、マイクロカプセルを使用しない電気泳動方式のディスプレイとして、電気泳動液を充填するための微小な空間を予め形成し、該微小な空間に電気泳動液を充填し、透明な基板などで封止を行う方法が、特許文献３（特許第３９２６７４０号公報）で開示されている。
この方式は、予め空間を精密に形成することが可能なため、マイクロカプセルよりも均一な区画化領域を形成できるメリットがある。しかしながらこの方式の場合、隔壁の厚さがある程度必要となるため、表示に寄与する面積の割合（開口率）が低下してしまい、表示コントラストを向上させることができないという問題を有している。

そこで、開口率を向上させる手段として、隔壁の厚さを薄くすることができる中空構造物の製造方法およびそれを用いた画像表示媒体が特許文献４（特開２００８―２２４７６５号公報）に開示されている。しかしながら、中空構造物を一旦作製してから電極基板に貼りあわせるなど工程数が多いため生産性に問題があった。

本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、開口率が高く高コントラスト表示が実現可能であると共に、簡易に製造可能である電気泳動表示素子の製造方法を提供することを目的とする。

上記課題を解決するための本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法は、下記工程（１）〜（７）を含み製造することを特徴とする。
工程（１）：第１の導電層を備える基板上に可塑性を有する材料の層を形成する工程
工程（２）：複数の凹部を有するテンプレートに前記基板の可塑性を有する材料の層が形成された側を貼りあわせる工程
工程（３）：前記テンプレートが有する複数の凹部及び前記基板により閉じられた空間と、外部と、の圧力差により区画化された複数の空間を形成する工程
工程（４）：前記可塑性を有する材料を硬化する工程
工程（５）：前記基板をテンプレートから離脱する工程
工程（６）：前記区画化された複数の空間に帯電粒子を含む液体を注液する工程
工程（７）：前記区画化された複数の空間を封止し、第２の導電層を備える対向基板を前記基板に対向配置する工程

本発明によれば、開口率が高く高コントラスト表示が実現可能であると共に、電気泳動表示素子を簡易に製造可能である電気泳動表示素子の製造方法を提供することができる。

本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法における一実施の形態により製造される画像表示媒体としての電気泳動表示素子の構成例を示す概略図である。図である。 本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の工程フローの一例を示す概略図である。 本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の他の工程フローの一例を示す概略図である。

本発明者らは鋭意検討した結果、中空構造物を電極基板上に形成する際に、中空構造物を電極基板に貼りあわせるのではなく、可塑性を有する材料の層を電極基板上に形成し、当該可塑性を有する材料の層から中空構造物を形成すればよいことを見出し本発明に至った。

即ち、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法は、下記工程（１）〜（７）を含み製造することを特徴とする。
工程（１）：第１の導電層１２ａを備える基板１１ａ上に可塑性を有する材料の層２２を形成する工程
工程（２）：複数の凹部２１を有するテンプレート２０に前記基板１１ａの可塑性を有する材料の層２２が形成された側を貼りあわせる工程
工程（３）：前記テンプレート２０が有する複数の凹部２１及び前記基板１１ａにより閉じられた空間と、外部と、の圧力差により区画化された複数の空間１５を形成する工程
工程（４）：前記可塑性を有する材料を硬化する工程
工程（５）：前記基板１１ａをテンプレート２０から離脱する工程
工程（６）：前記区画化された複数の空間１５に帯電粒子を含む液体を注液する工程
工程（７）：前記区画化された複数の空間１５を封止し、第２の導電層１２ｂを備える対向基板１１ｂを前記基板１１ａに対向配置する工程

次に、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法についてさらに詳細に説明する。
なお、いわゆる当業者は特許請求の範囲内における本発明を変更・修正をして他の実施形態をなすことは容易であり、これらの変更・修正はこの特許請求の範囲に含まれるものであり、以下の説明は本発明の好ましい形態における例であって、この特許請求の範囲を限定するものではない。

（一実施の形態における構成例）
本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法における一実施の形態により製造される画像表示媒体としての電気泳動表示素子の構成例を図１（ａ）に示す。
画像表示媒体１は、基板１１ａ、（第１の）導電層１２ａ、一方が開口した中空構造物（ハニカム構造を有する層）１３が順に積層され、さらに中空構造物１３の開口部を封止層１４で封止して複数のセル（複数の空間）１５が形成されている。このセル１５の内部に、白色粒子及び／又は着色粒子が一種以上分散されている溶媒を有している。またさらに、封止層１４の上には（第２の）導電層１２ｂ、対向基板１１ｂがこの順に積層されている。

（基板１１ａ、対向基板１１ｂ）
基板１１ａ、対向基板１１ｂには周知慣用の材料を適用できるが、ガラス、あるいはＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）、ＰＭＭＡ（Polymenthylmethacrylate）、ＰＥＮ（Polyethylene
naphthalate）、ＰＥＳ（Polyether sulfone）、ＰＣ（Polycarbonate）などのプラスチックフィルムが好ましい材料として挙げられる。

また、基板１１ａ、対向基板１１ｂの少なくとも一方は透明である。これにより電気泳動表示素子として表示状態（内部の溶媒および帯電粒子）が視認可能となる。

（第１の導電層１２ａ、第２の導電層１２ｂ）
第１の導電層１２ａ、第２の導電層１２ｂには周知慣用の材料を適用できるが、ＩＴＯ、ＳｎＯ_２、ＺｎＯ：Ａｌ等の透明導電体をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、塗布法等で薄膜状に形成したもの、あるいは導電剤を溶媒又は合成樹脂バインダに混合して塗布したものなどが用いられる。導電剤としてはポリメチルベンジルトリメチルクロライド、ポリアリルポリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン性高分子電解質、ポリスチレンスルホン酸塩、ポリアクリル酸塩等のアニオン性高分子電解質や電子伝導性の酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム微粉末等が用いられる。

また、第１の導電層１２ａ、第２の導電層１２ｂは一方あるいは両方が複数に分割されていても良い。分割された一つ一つが画素として機能するように図示しない電圧印加手段と画素選択手段を組み合わせることにより、任意の画像が表示可能となる。
換言すると、第１の導電層１２ａを備える基板１１ａ及び第２の導電層１２ｂを備える対向基板１１ｂの一方あるいは両方が、複数の画素電極を備える基板であることで、任意の画像が表示可能となるため好ましい。

（中空構造物１３）
本発明において、中空構造物１３は、可塑性を有する材料を硬化させた材料からなることが好ましい。なお、可塑性を有する材料は、特に限定されないが、水溶性樹脂を含有することが好ましい。
水溶性樹脂としては、ポリビニルアルコール、ポリビニルピロリドン、ポリウレタン、プルラン、アルブミン、ＣＭＣ（carboxymethylcellulose）、ポリアクリル酸、セルロース、デンプン、ゼラチン、アルギン酸塩、グアーガム、アラビアガム、カラーギナン、トラガント、ペクチン、デキストリン、カゼイン、コラーゲン、ポリビニルメチルエーテル、カルボキシビニルポリマー、ポリアクリル酸ナトリウム、ポリエチレングリコール、酸化エチレン、寒天、ローカストビーンガム、キサンタンガム、サイクロデキストリン、タンニン酸、カラヤガム、ジュランガム、ファーセレラン、トラントガム、レシチン、キチン、キトサン、コンドロイチン硫酸ナトリウム、リグニンスルホン酸、メチルセルロース、ヒドロキシメチルセルロース、ポリアクリルアミド、ポリエチレンイミン、ポリアクリル酸ジメチルアミノエチル、ポリメタクリル酸ジメチルアミノエチル、ポリエチレンオキシド、ポリアリルアミン等が挙げられ、二種以上を併用してもよい。なお、ここでいう水溶性樹脂とは、水に溶解又は膨潤する樹脂を意味する。

また、中空構造物１３は、可塑性を有する材料を乾燥硬化、紫外線硬化等の各種硬化の手段により硬化させたものであって良いが、可塑性を有する材料を紫外線硬化させたものからなることが好ましい。このとき、可塑性を有する材料は、アクリル系樹脂、ウレタンアクリル系樹脂、エポキシアクリル系樹脂、アルコキシアクリル系樹脂等の紫外線硬化性樹脂を含有することが好ましい。

なお、図１（ａ）に示す実施の形態における中空構造物１３は、基板１１ａ側の底面と、ハニカム形状に構成された隔壁とを有し、この底面と隔壁とで区画化された複数の空間が形成されてなる。この区画化された複数の空間は、上部が開口部となり、図１（ａ）に示す例ではハニカム形状の開口部となっている。なお、開口部の形状はいかなる形状であっても良いが、電気泳動素子全体として開口率を高くすることができる形状が好ましく、一方で機械的強度も必要なことから、ハニカム形状であることが特に好ましい。

中空構造物１３の隔壁の厚さは、０．１μｍ〜１０μｍであることが好ましく、０．５μｍ〜５μｍであることがより好ましい。
また、中空構造物１３の隔壁の高さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、２０μｍ〜１００μｍであることがより好ましい。
さらに、中空構造物１３の底面の厚さは、２０μｍ以下であることが好ましく、１０μｍ以下であることがより好ましい。

（封止層１４）
封止層１４には上記中空構造物１３に使用される材料を使用することができるが、上記中空構造物１３に使用される材料と同じであっても異なっていても良い。
封止層１４は厚さが０．１〜２０μｍ、好ましくは０．５〜１０μｍである。封止層の膜厚を薄くすることにより、反射率、駆動電圧の面で有利となるが、膜厚が０．１μｍ未満では強度が弱くなる。膜厚が２０μｍを超えると、表示切り替えのために必要な駆動電圧が大きくなってしまい、また表示コントラストも低下する。

（帯電粒子、帯電粒子を含む液体）
本発明において、セル１５の内部に封入されている白色粒子及び／又は着色粒子が一種以上分散されている溶媒は、外部電界によって粒子が泳動することにより視認色が変わるものである。
なお、本発明においては、白色粒子と着色粒子を帯電粒子と総称し、また、帯電粒子を含む液体とは前記溶媒を意味するものとする。
白色粒子及び／又は着色粒子が一種以上分散されている溶媒、白色粒子、および着色粒子は、特に限定されず公知の材料が適宜利用可能である。
白色粒子としては、例えば酸化チタン、アルミナ等の無機粒子、ポリビニルナフタレン等の有機粒子が挙げられる。
着色粒子としては、例えばカーボンブラック、アゾ系顔料、フタロシアニン系顔料、キナクリドン系顔料、アントラキノン系顔料、ジオキサジン系顔料、染色レーキ顔料等が挙げられる。
溶媒としては、例えばシリコーンオイル、イソパラフィン系炭化水素等が挙げられる。

（他の実施の形態における構成例）
本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法における他の実施の形態により製造される画像表示媒体としての電気泳動表示素子の構成例を図１（ｂ）に示す。
画像表示媒体１は、基板１１ａ、（第１の）導電層１２ａ、一方が開口した中空構造物（ハニカム構造を有する層）１３が順に積層され、さらに中空構造物１３の開口部を封止層１４で封止して複数のセル（複数の空間）１５が形成されている。このセル１５の内部に、白色粒子及び／又は着色粒子が一種以上分散されている溶媒を有している。またさらに、封止層１４の上には接着層１７、（第２の）導電層１２ｂ、対向基板１１ｂがこの順に積層されている。

（工程フローの一例）
図２に、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の工程フローの一例を示す。
本発明において電気泳動表示素子（図１（ａ）に示す構成例のもの）を製造するためには、独立した複数の凹部２１を有するテンプレート２０を用いる（図２（ａ）参照）。

《工程（１）〜（２）》
まず、スリットコーター等を用いた塗布などの公知の方法により可塑性を有する材料の層２２を、第１の導電層１２ａを形成した基板１１ａ上に形成し、次いで、可塑性を有する材料の層２２の側が接触するようにテンプレート２０上に配置する（図２（ｂ）参照）。

《工程（３）〜（４）》
次に、可塑性を有する材料の層２２を介して一体化した基板１１ａとテンプレート２０とを真空チャンバー内等に設置し減圧状態にすると、凹部２１及び基板１１ａにより閉じられた空間に保持されている空気が、外部との圧力差によって膨張する。このとき、凹部２１は、可塑性を有する材料の層２２で密閉されているので、空気の膨張により、可塑性を有する材料の層２２が延伸変形し、次いで、硬化手段により可塑性を有する材料を硬化することで、テンプレート２０上に区画化された複数の空間を有する中空構造物１３が形成される（図２（ｃ）参照）。

《工程（５）》
さらに、中空構造物１３ａが形成された基板１１ａをテンプレート２０から剥離（離脱）すると、下部（基板１１ａと反対側）に複数の空間の開口部を有する中空構造物１３と基板１１ａとが一体化されたものが得られる（図２（ｄ）参照）。このとき、正方格子状に配置された凹部２１を有するテンプレートを用いると、正四角柱状のセルが正方格子状に配置された中空構造物が得られ、六方最密格子状に配置された凹部２１ａを有するテンプレートを用いると、正六角柱状のセルが六方最密格子状に配置された中空構造物が得られる。

《工程（６）〜（７）》
次に、該中空構造物１３の複数の空間の開口部が上側になるようにし、ここに白色粒子及び／又は着色粒子が一種以上分散されている溶媒（帯電粒子を含む液体）を注液する（図２（ｅ）参照）。最後に中空構造物１３との接着機能を有する硬化前の封止層１４を、第２の導電層１２ｂを形成した対向基板１１ｂ上に形成し、中空構造物１３の複数の空間の開口部側と貼り合わせて硬化することで該複数の空間を封止し、電気泳動表示素子を得る（図２（ｆ）参照）。

ここで、中空構造物１３が有する区画化された複数の空間（セル）における孔の深さｄは、減圧する真空度により適宜調整することができる。即ち、高真空にすると、凹部２１の空気が膨張する量が大きいので、深さｄが大きくなり、低真空にすると、凹部２１の膨張量が小さいので、深さｄが小さくなる。
また図２では、中空構造物１３が有するセルの隔壁と底面（第１の基板１１ａ側の面）との接点を直角で描写してあるが、実際にはその製法ゆえに隔壁と底面との接点は概略直角ではあるものの、所定の湾曲を有している構造となる。即ち、テンプレート２０が有する複数の凹部２１及び基板１１ａにより閉じられた空間と外部との圧力差により該空間内部の空気が膨張することでセルが形成されるがゆえに、マイクロエンボス加工や画像露光による形成とは異なり、底面と隔壁とがセル内部の圧力分布に応じて所定の湾曲を有して接する構造となる。

（テンプレート２０）
テンプレート２０としては、ニッケル基板、シリコン基板、ガラス基板上にレジスト剤パターンを形成したもの、銅張り板（銅／ポリイミド積層基板）、エッチングしたガラス基板等の他に、ポリイミド、ＰＥＴ（Polyethylene terephthalate）、アクリル等の樹脂基板を用いることができる。なお、テンプレート２０の凹部２１は、疎水処理されていることが好ましい。

なお、テンプレート２０の寸法等の諸元については、目的とする中空構造物１３の寸法等の諸元に応じて適宜設計することが望ましい。
例えば、テンプレート２０が有する複数の凹部の開口部の形状は、空構造物１３が有する区画化された複数の空間の開口部の形状と概略同一となる。このため、テンプレート２０が有する複数の凹部の開口部の形状は、電気泳動素子全体として開口率を高くすることができる形状が好ましく、ハニカム形状であることが特に好ましい。
また、中空構造物１３が有する区画化された複数の空間を形成する際に、この形成される区画化された複数の空間の寸法と、テンプレート２０が有する複数の凹部の寸法とは密接に関連するものである。このため、目的とする区画化された複数の空間の寸法に応じてテンプレート２０が有する複数の凹部の寸法を適宜設計することが望ましい。

上述のとおりテンプレート２０が有する複数の凹部の寸法は、目的とする区画化された複数の空間の寸法に応じて適宜設計されるものであるが、例えば、以下のような寸法が例示できる。
テンプレート２０が有する複数の凹部の隔壁の厚さは、１μｍ〜２０μｍであることが好ましく、２μｍ〜１０μｍであることがより好ましい。
また、テンプレート２０が有する複数の凹部の隔壁の高さは、１０μｍ〜２００μｍであることが好ましく、５０μｍ〜１００μｍであることがより好ましい。

また、中空構造物１３のセルの隔壁は、可塑性を有する材料の引っぱりによる塑性変形で形成されているので、マイクロエンボス加工又は画像露光により形成される凹部あるいは貫通部を有する構造物と比較して、厚さを大幅に薄くすることができる。つまり、本発明における中空構造物１３の形状は、マイクロエンボス加工又は画像露光により形成することが困難である。
なお、具体的には、従来のマイクロエンボス加工又は画像露光により形成では、セルの隔壁の厚さは１０μｍ以下とすることは困難であったが、本発明における中空構造物１３のセルの隔壁は、簡易な工程で厚さを１０μｍ以下とすることができる。

以上のように、第１の導電層１２ａを形成した基板１１ａ上に可塑性を有する材料の層２２を設け、該可塑性を有する材料の層２２を区画化された複数の空間を有する中空構造物１３とすることで、中空構造物１３と基板１１ａ及び第１の導電層１２ａとが簡易な工
程で得られる。即ち本発明によれば、中空構造物１３を他の基材上に形成した場合と比較して、中空構造物１３を他の基材から剥がす工程、及び、第１の導電層１２ａを形成した基板１１ａ上に中空構造物１３を貼り合わせる工程を要しないため、工程の簡略化が達成される。
また、第１の導電層１２ａを形成した基板１１ａ上に直接可塑性を有する材料の層２２を設けるため、貼り合わせの工程で生じる気泡の混入等の問題が起こらず、高品質な電気泳動表示素子を得ることができる。

（他の工程フローの一例）
本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の他の工程フローの一例（図１（ｂ）に示す構成例のものの製造例）を図３に示す。注液する工程（図２（ｅ））までは上記図２に示した例と同じである。
これとは別に離型フィルム１６上に中空構造物１３との接着機能を有する硬化前の封止層１４を形成しておく（図３（ａ）参照）。この離型フィルム１６及び封止層１４を中空構造物１３の複数の空間の開口部側と貼り合わせて硬化し（図３（ｂ）参照）、離型フィルムを剥離する（図３（ｃ）参照）。最後に封止層１４との接着機能を有する硬化前の接着層１７を、第２の導電層１２ｂを形成した対向基板１１ｂ上に形成し、封止層１４と貼り合わせて硬化することで、電気泳動表示素子を得る（図３（ｄ）参照）。

（離型フィルム１６）
離型フィルム１６には周知慣用の材料を適用できる。

本発明を実施例によりさらに詳細に説明する。ただし、本発明は下記の実施例に限定されるものではない。

（実施例１）
基板となるＩＴＯフィルムの導電面側に、紫外線硬化型粘着フィルム（東亞合成、ＵＶＰ−３００２）を貼り合わせ、次いで、ピッチ２００μｍ深さ５０μｍ幅１０μｍのハニカム状のテンプレートに上記基板の粘着フィルム側を貼りあわせた。

真空チャンバー中で減圧し高さ５０μｍの隔壁を形成した後、紫外線を露光し隔壁を硬化させた。大気圧に戻しテンプレートから基板を剥がし、区画化された空間が形成された基板を得た。次いで、カーボンブラック、酸化チタン、イソパラフィン系炭化水素から成る電気泳動表示用粒子分散液（帯電粒子を含む液体）を上記区画化された空間を満たすように注液し、対向基板となるＩＴＯ基板に紫外線硬化型接着剤を塗布したものを貼り合わせ、紫外線を照射し接着剤を硬化させて電気泳動表示素子を得た。

（実施例２）
電気泳動表示用粒子分散液を区画化された空間を満たすように注液するまでは、実施例１と同様に行った。
次いで、封止基板として片側の離型フィルムだけを剥がした紫外線硬化型粘着フィルム（東亞合成、ＵＶＰ−３００２）を使用し、区画化された空間の封止を行った。
その後、離型フィルムを剥がし、ホットメルト型接着剤を塗った電極基板とラミネートして電気泳動表示素子を得た。

１：電気泳動表示素子（画像表示媒体）
１１ａ：基板
１１ｂ：対向基板
１２ａ：第１の導電層
１２ｂ：第２の導電層
１３：中空構造物
１４：封止層
１５：空間（セル）
１６：離型フィルム
１７：接着層
２０：テンプレート
２１：テンプレートが有する凹部
２２：可塑性を有する材料の層

特開平５−１７３１９４号公報 特許第２６１２４７２号公報 特許第３９２６７４０号公報 特開２００８―２２４７６５号公報

Claims (5)

1. 下記工程（１）〜（７）を含み製造することを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。
   工程（１）：第１の導電層を備える基板上に可塑性を有する材料の層を形成する工程
   工程（２）：複数の凹部を有するテンプレートに前記基板の可塑性を有する材料の層が形成された側を貼りあわせる工程
   工程（３）：前記テンプレートが有する複数の凹部及び前記基板により閉じられた空間と、外部と、の圧力差により区画化された複数の空間を形成する工程
   工程（４）：前記可塑性を有する材料を硬化する工程
   工程（５）：前記基板をテンプレートから離脱する工程
   工程（６）：前記区画化された複数の空間に帯電粒子を含む液体を注液する工程
   工程（７）：前記区画化された複数の空間を封止し、第２の導電層を備える対向基板を前記基板に対向配置する工程
2. 前記工程（７）は、前記区画化された複数の空間を封止層で封止し、次いで、前記封止層と前記対向基板とを、接着層を介して貼りあわせることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
3. 前記工程（７）は、前記第２の導電層を備える対向基板上に封止層を形成し、当該封止層が形成された対向基板で前記区画化された複数の空間を封止することを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
4. 前記基板及び前記対向基板の一方が、透明電極基板であることを特徴とする請求項１乃至３のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法。
5. 前記第１の導電層を備える基板及び前記第２の導電層を備える対向基板の一方あるいは両方が、複数の画素電極を備える基板であることを特徴とする請求項１乃至４のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法。