JP2011085857A - 電気泳動表示素子の製造方法及び電気泳動表示装置 - Google Patents
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Abstract
【課題】一般的な接着剤を用いて電気泳動液が充填されたセルの封止を行う封止プロセスを有する電気泳動表示素子の製造方法、及び該製造方法で作製された電気泳動表示素子を用いる電気泳動表示装置を提供する。
【解決手段】一対の電極基板間に形成された複数のセルに電気泳動液が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、ＴＦＴ基板２上に隔壁３ａを形成して開口した状態のセル３を設けるセル形成工程と、セル３の開口部から電気泳動液５を注液する注液工程と、共通電極基板１の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜１ｓを形成した後に、該接着剤膜１ｓを半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、ＴＦＴ基板２のセル形成面に共通電極基板１の接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程と、共通電極基板１の接着剤膜１ｓを硬化させてセル３の開口部を封止する封止膜１ｆを形成する封止工程と、を備える。
【選択図】図１
【解決手段】一対の電極基板間に形成された複数のセルに電気泳動液が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、ＴＦＴ基板２上に隔壁３ａを形成して開口した状態のセル３を設けるセル形成工程と、セル３の開口部から電気泳動液５を注液する注液工程と、共通電極基板１の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜１ｓを形成した後に、該接着剤膜１ｓを半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、ＴＦＴ基板２のセル形成面に共通電極基板１の接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程と、共通電極基板１の接着剤膜１ｓを硬化させてセル３の開口部を封止する封止膜１ｆを形成する封止工程と、を備える。
【選択図】図１
Description
本発明は、電子ブック、ＲＦＩＤタグ、電子掲示板、携帯電話などに使用されるペーパーライクな表示媒体となる電気泳動表示素子の製造方法及び該製造方法により製造された電気泳動表示素子を有する電気泳動表示装置に関する。
近年、情報機器の発達に伴い、書類作成などの情報の処理をコンピュータ上で行うようになり、表示用端末上で文章を読む機会が大幅に増えている。このような文字や静止画、動画等の所謂画像の表示用端末としては、ＣＲＴや液晶ディスプレイが広く用いられている。これらはデジタルデータを瞬時に表示し、書き換えることができるが、装置を常に持ち歩くことは容易ではない。また、自発光デバイスであるため長時間の作業では眼が疲労することや、電源をオフにすると表示が維持されないなどの難点がある。
一方で、文字や静止画を書類などとして配布や保存するときは、プリンタにていわゆるハードコピーとして、紙媒体に記録され、広く使用されている。ハードコピーは多重散乱による反射を見ることになるので、自発光デバイスより視認性がよく、疲れにくく、また軽量でハンドリングに優れていることから、自由な姿勢で読むことができる。しかし、ハードコピーは使用された後はそのほとんどが廃棄されている。また、一部はリサイクルされるが、そのリサイクルには、多くの労力と費用を要しており、省資源の点からは課題がある。
このような状況において、ディスプレイとハードコピーの両方の長所を持った書き換えが可能で、かつ読むという行為に適した、ペーパーライクな表示媒体へのニーズが高まっている。最近は、高分子分散型液晶、双安定性コレステリック液晶、エレクトロクロミック素子、電気泳動素子等を用いた表示媒体が、反射型で明るい表示ができ、かつメモリー性のある表示媒体として注目されている。中でも電気泳動素子を用いた表示媒体は、表示品質、表示動作時の消費電力の点で優れている。
電気泳動方式の表示媒体では、一組の透明電極の間に、着色した分散媒中に、分散媒の色とは異なる色を有する複数の電気泳動粒子を分散させた分散液を封入してある。この場合、その電気泳動粒子（単に泳動粒子とも言う。）は、分散媒中で粒子表面に電荷を帯びており、一方の透明電極側に泳動粒子の電荷を吸引する電圧を与えた場合には、泳動粒子がその透明電極側に吸引され集積して泳動粒子の色が観測され、泳動粒子の電荷と反発する電圧を与えた場合には、泳動粒子は反対側の透明電極側に移動するため分散媒の色が観測される。この変化を利用することにより表示を行うことができる。
また、カラー表示の開発も行われている。カラー表示可能なペーパーライクな表示媒体として、上記記載の白黒表示の表示媒体にカラーフィルタで色表示を行うものが発表されている。
また、カラー表示の開発も行われている。カラー表示可能なペーパーライクな表示媒体として、上記記載の白黒表示の表示媒体にカラーフィルタで色表示を行うものが発表されている。
電気泳動方式の表示媒体として、電気泳動液が充填されたマイクロカプセルを作製し、そのマイクロカプセルを駆動電極が形成された基板上へ塗布し、マイクロカプセルの層を形成する方式が一般的な方法である。しかしながら、マイクロカプセルの粒径を均一にすることが難しいため、粒径の不均一が表示品質の低下につながっている。
そこで、マイクロカプセルを使用しない電気泳動方式のディスプレイとして、電気泳動液を充填するための微小な空間を予め形成し、空間に電気泳動液を充填し、透明な基板などで封止を行う方法が、特許文献１，２で開示されている。この方式は、予め空間を精密に形成することが可能なため、マイクロカプセルよりも表示品質が良いというメリットがある。
ここで、特許文献１，２においては、電気泳動液が充填された空間を封止するために基本的に電気泳動液と相溶しない樹脂の膜を電気泳動液上に形成することで、封止を行っている。
このうち、特許文献１においては、電気泳動液に予め硬化前の樹脂を混ぜておき、封止を行っている。このとき、樹脂の比重が電気泳動液の溶媒の比重よりも軽いことがポイントであり、空間へ電気泳動液を充填後樹脂が浮いてきて、樹脂の層と電気泳動液の層に分離する。分離後、樹脂を硬化させて封止を行っている。しかしながら、電気泳動液の溶媒よりも比重が軽い樹脂に限定されるため、樹脂の選択範囲が狭い。
また、特許文献２においては、空間を仕切るための隔壁の上部に硬化前の封止膜を予め転写しておき、電気泳動液上に注液後硬化前の封止膜を形成し、硬化することで封止膜と隔壁を強固に接着している。
このように、特許文献１，２のいずれにおいても、電気泳動液上に封止材を液体状態で形成し、硬化させることで封止膜を形成しているが、電気泳動液と液体状態の封止材が相溶しないことや、電気泳動液の溶媒に対する液体状態の封止材の表面張力が充分小さく、電気泳動液の溶媒に液体状態の封止材がはじくことがないことが必要である。
ここまでは、封止膜を形成するための条件であるが、その他にも電気泳動表示素子としての封止膜に必要な条件がある。例えば、封止膜とＩＴＯ付の透明基板などと接着し電気泳動表示素子とするが、ＩＴＯにかかる電界を電気泳動液に伝えるために、封止膜の電気抵抗率があまりにも大きいと電気泳動液に電界が伝わらない。また、電界を伝えるため封止膜の膜厚は薄いほど良いが、電気泳動表示素子の耐久性の面から封止膜は厚いほうが好ましく、封止膜の膜厚はこの２点のバランスをとって決定される。
以上のように、電気泳動表示素子の観点からも封止膜の材質が決定される必要があり、全てを満足する封止材が少なく、特別な封止材を必要とするので、材料コストの面で問題となる。
本発明は、以上の従来技術における問題に鑑みてなされたものであり、一般的な接着剤を用いて電気泳動液が充填されたセルの封止を行う封止プロセスを有する電気泳動表示素子の製造方法、及び該製造方法で作製された電気泳動表示素子を用いる電気泳動表示装置を提供することを目的とする。
前記課題を解決するために提供する本発明は、以下の通りである。
〔１〕 一対の電極基板（共通電極基板１，ＴＦＴ基板２）間に、隔壁（隔壁３ａ）により区分けされた複数の中空構造体であるセル（セル３）が形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液（電気泳動液５）が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ（ＴＦＴ基板２）上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程（図１（ｂ））と、前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程（図１（ｃ））と、他方の電極基板Ｂ（共通電極基板１）の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜（接着剤膜１ｓ）を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、前記電極基板Ａのセル形成面に前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程（図１（ｄ））と、前記電極基板Ｂの接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止工程（図１（ｅ））と、を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法（図１）。
〔２〕 前記圧着工程における前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする前記〔１〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔３〕 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする前記〔１〕または〔２〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔４〕 前記接着剤は光硬化性接着剤であって、前記電極基板Ｂは光透過性を有するものであり、前記封止工程において前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面とは反対面側から光を照射して前記接着剤膜を硬化させることを特徴とする前記〔３〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法（図１（ｅ））。
〔５〕 一対の電極基板（共通電極基板１，ＴＦＴ基板２）間に、隔壁（隔壁３ａ）により区分けされた複数の中空構造体であるセル（セル３）が形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液（電気泳動液５）が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ（共通電極基板１）上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程（図４（ａ））と、前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程（図４（ｂ））と、所定の基板（フィルム５５ａ）の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜（接着剤膜５５ｓ）を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、前記電極基板Ａのセル形成面に前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程（図４（ｃ））と、前記所定の基板の接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止膜を形成する封止工程（図４（ｄ））と、前記封止膜から前記所定の基板を取り除く除去工程（図４（ｅ））と、前記封止膜に前記一対の電極基板のうち、他方の電極基板Ｂ（ＴＦＴ基板２）を接着する貼り合せ工程（図４（ｆ），（ｇ））と、を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法（図４）。
〔６〕 前記圧着工程における前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする前記〔５〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔７〕 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする前記〔５〕または〔６〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔８〕 前記所定の基板は、前記封止膜との接着力が前記セルの隔壁及びセルの周辺部と前記封止膜との接着力よりも小さい部材からなり、前記除去工程では、前記所定の基板と封止膜との間で界面剥離させて該所定の基板を取り除くことを行うことを特徴とする前記〔５〕〜〔７〕のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法（図４（ｅ））。
〔９〕 前記〔１〕〜〔８〕のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造された電気泳動表示素子（電気泳動表示素子１０）を備えることを特徴とする電気泳動表示装置（電気泳動表示装置３０、図５）。
〔１〕 一対の電極基板（共通電極基板１，ＴＦＴ基板２）間に、隔壁（隔壁３ａ）により区分けされた複数の中空構造体であるセル（セル３）が形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液（電気泳動液５）が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ（ＴＦＴ基板２）上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程（図１（ｂ））と、前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程（図１（ｃ））と、他方の電極基板Ｂ（共通電極基板１）の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜（接着剤膜１ｓ）を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、前記電極基板Ａのセル形成面に前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程（図１（ｄ））と、前記電極基板Ｂの接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止工程（図１（ｅ））と、を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法（図１）。
〔２〕 前記圧着工程における前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする前記〔１〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔３〕 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする前記〔１〕または〔２〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔４〕 前記接着剤は光硬化性接着剤であって、前記電極基板Ｂは光透過性を有するものであり、前記封止工程において前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面とは反対面側から光を照射して前記接着剤膜を硬化させることを特徴とする前記〔３〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法（図１（ｅ））。
〔５〕 一対の電極基板（共通電極基板１，ＴＦＴ基板２）間に、隔壁（隔壁３ａ）により区分けされた複数の中空構造体であるセル（セル３）が形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液（電気泳動液５）が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ（共通電極基板１）上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程（図４（ａ））と、前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程（図４（ｂ））と、所定の基板（フィルム５５ａ）の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜（接着剤膜５５ｓ）を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、前記電極基板Ａのセル形成面に前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程（図４（ｃ））と、前記所定の基板の接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止膜を形成する封止工程（図４（ｄ））と、前記封止膜から前記所定の基板を取り除く除去工程（図４（ｅ））と、前記封止膜に前記一対の電極基板のうち、他方の電極基板Ｂ（ＴＦＴ基板２）を接着する貼り合せ工程（図４（ｆ），（ｇ））と、を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法（図４）。
〔６〕 前記圧着工程における前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする前記〔５〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔７〕 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする前記〔５〕または〔６〕に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
〔８〕 前記所定の基板は、前記封止膜との接着力が前記セルの隔壁及びセルの周辺部と前記封止膜との接着力よりも小さい部材からなり、前記除去工程では、前記所定の基板と封止膜との間で界面剥離させて該所定の基板を取り除くことを行うことを特徴とする前記〔５〕〜〔７〕のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法（図４（ｅ））。
〔９〕 前記〔１〕〜〔８〕のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造された電気泳動表示素子（電気泳動表示素子１０）を備えることを特徴とする電気泳動表示装置（電気泳動表示装置３０、図５）。
本発明によれば、準粘性を示す接着剤を塗布して適度な薄さの接着剤膜とすることにより、良好な画像表示性能とセルの封止部分の耐久性確保とを両立させることができる。またそれに加えて、接着剤膜の状態を塑性流動または擬塑性流動の状態にすることで、圧着工程において基板圧着の際にセル中の電気泳動液と相溶することなく、更に電気泳動液が充填されたセル中へ接着剤が侵入することを防止し、隔壁で区分けされたセル領域全面と電極が適切に接するようになるので、該セル領域全面で電気泳動粒子の移動制御を行うことができ、画像表示性能として良好なコントラストが得られる。
なお、圧着工程における接着剤膜形成面を圧着させる圧力を前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下とすることにより、接着剤膜が変形してセル中に侵入することを防止することができる。
また、使用する接着剤を光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤とすることにより、特殊な接着剤を使用することなく、汎用のものにより簡単に封止を行うことを可能としている。
なお、圧着工程における接着剤膜形成面を圧着させる圧力を前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下とすることにより、接着剤膜が変形してセル中に侵入することを防止することができる。
また、使用する接着剤を光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤とすることにより、特殊な接着剤を使用することなく、汎用のものにより簡単に封止を行うことを可能としている。
（用語の説明）
本発明の構成を説明するために用いる用語について説明する。
「準粘性」を示す物質は、せん断応力をかけると流動し、せん断応力が大きいほどせん断速度が大きくなる、つまり流動しやすい流体のことである。
「塑性流動」および「擬塑性流動」を示す物質は、せん断応力がある値（降伏値）までは固体のように弾性を示し、該ある値を超えたときに流動する物質のことである。塑性流動はあるせん断応力以上でせん断応力に対しせん断速度が線形に増加する。擬塑性流動は非線形に増加し、せん断応力が大きいほどせん断速度が大きくなる。また、ある一定のせん断応力を「降伏値」と呼ぶ。塑性流動あるいは擬塑性流動の状態の物質は、降伏値以下の圧力では塑性変形を起こさない。また、塑性流動のことをＢｉｎｇｈａｍ流動、擬塑性流動のことを準塑性流動と呼ぶこともある。
本発明の構成を説明するために用いる用語について説明する。
「準粘性」を示す物質は、せん断応力をかけると流動し、せん断応力が大きいほどせん断速度が大きくなる、つまり流動しやすい流体のことである。
「塑性流動」および「擬塑性流動」を示す物質は、せん断応力がある値（降伏値）までは固体のように弾性を示し、該ある値を超えたときに流動する物質のことである。塑性流動はあるせん断応力以上でせん断応力に対しせん断速度が線形に増加する。擬塑性流動は非線形に増加し、せん断応力が大きいほどせん断速度が大きくなる。また、ある一定のせん断応力を「降伏値」と呼ぶ。塑性流動あるいは擬塑性流動の状態の物質は、降伏値以下の圧力では塑性変形を起こさない。また、塑性流動のことをＢｉｎｇｈａｍ流動、擬塑性流動のことを準塑性流動と呼ぶこともある。
（本発明で使用する接着剤）
電気泳動表示素子の製造に当っては、セル中の電気泳動液の封止、場合によってはセルと電極基板（共通電極基板１またはＴＦＴ基板２）との接合を目的として接着剤を使用する（詳細は後述）。
ここで使用する接着剤として、はじめから塑性流動あるいは擬塑性流動を示す接着剤（例えば、ホットメルト接着剤）では、塗布性が悪く、電気泳動素子を作製するには適さない。これは、電気泳動表示素子の表示性の点から接着剤膜に高透過率あるいは低抵抗値といった要素が必要であり、それを満足するために接着剤膜の厚みを薄く塗布する必要があるためである。しかしながら、はじめから塑性流動あるいは擬塑性流動を示す接着剤では、電気泳動表示素子の要求を満足する程度に薄く塗布することは不可能である。
電気泳動表示素子の製造に当っては、セル中の電気泳動液の封止、場合によってはセルと電極基板（共通電極基板１またはＴＦＴ基板２）との接合を目的として接着剤を使用する（詳細は後述）。
ここで使用する接着剤として、はじめから塑性流動あるいは擬塑性流動を示す接着剤（例えば、ホットメルト接着剤）では、塗布性が悪く、電気泳動素子を作製するには適さない。これは、電気泳動表示素子の表示性の点から接着剤膜に高透過率あるいは低抵抗値といった要素が必要であり、それを満足するために接着剤膜の厚みを薄く塗布する必要があるためである。しかしながら、はじめから塑性流動あるいは擬塑性流動を示す接着剤では、電気泳動表示素子の要求を満足する程度に薄く塗布することは不可能である。
そこで、本発明で使用する接着剤は、はじめは準粘性を示すものを用いる。準粘性を示す接着剤によれば、電気泳動素子の要求を満足する程度に薄く塗布することが可能である。しかしながら、新たな問題が発生する。電気泳動液が充填されたセルの封止を行うため、フィルム上に接着剤膜を形成した後、フィルムにローラなどで圧力をかけて封止を行うが、このとき気泡を巻き込んで封止しないように、セルの体積に対し若干多めの電気泳動液を充填しておき、ついで電気泳動液を追い出すようにして封止を行う必要がある。そのため、外側からフィルムに圧力をかけて封止を行うが、このときフィルム上の接着剤膜が準粘性の状態にあると、接着剤膜が塑性変形を起こし、セル中へ接着剤が侵入してしまう（図８参照）。このように、セル中へ接着剤が入り込むと、ディスプレイの表示特性が低下する問題が発生する。
本発明では、この問題を解決するために、塗布により接着剤膜を形成した後に該接着剤膜における接着剤の特性を塑性流動あるいは擬塑性流動の状態に変えてから、封止処理を行うようにする。また、封止するときのフィルムへの圧力よりも、塑性流動あるいは擬塑性流動状態の降伏値を大きくすることで、セル内への接着剤の塑性変形を防止することが可能となる（図６参照）。ここで、接着剤の特性を準粘性状態から塑性流動あるいは擬塑性流動の状態へ制御するために、接着剤として熱硬化型接着剤あるいは光硬化型接着剤を用いるとよい。これらの接着剤は、はじめは準粘性状態にあって熱あるいは紫外線などの光を付与することにより硬化するものであり、付与する熱あるいは紫外線の量を完全に硬化する量よりも少なく制御することにより、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とすることが可能である。
以下に、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の第１の実施形態について説明する。
図１は、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法を採用した電気泳動表示素子の製造手順例（１）を示す工程図である。ここでは、ＴＦＴ基板上に電気泳動素子を形成するプロセスを示す。
図１は、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法を採用した電気泳動表示素子の製造手順例（１）を示す工程図である。ここでは、ＴＦＴ基板上に電気泳動素子を形成するプロセスを示す。
（Ｓ１１） まず、ＴＦＴ基板２を用意する（図１（ａ））。
図２に、駆動電極基板２の詳細構成を示す。
ＴＦＴ基板２は、支持基板２ａ上に、複数の駆動素子（薄膜トランジスタともいう）２ｂ、絶縁層２ｃ、絶縁層２ｃを貫通し導電材料で埋められてなるスルーホール２ｄまでが形成されたもの（アクティブマトリックス基板という）に、複数の駆動電極２ｅ、該駆動電極２ｅを保護する保護層２ｆが設けられたものである。ここで、駆動素子２ｂは、ゲート電極２ｂｇ、ソース電極２ｂｓ、ドレイン電極２ｂｄ、ソース電極２ｂｓとドレイン電極２ｂｄ間に設けられる半導体２ｂｈ、ゲート電極２ｂｇとソース電極２ｂｓ，ドレイン電極２ｂｄ，半導体２ｂｈとの間に設けられる絶縁層２ｂｚからなる。また、駆動素子２ｂのドレイン電極２ｂｄと駆動電極２ｅは１対１の関係でスルーホール２ｄにより接続されている。なお、駆動素子２ｂ及び駆動電極２ｅは、後に形成されるセル３に対応して所定位置に１または複数個設けられている。
図２に、駆動電極基板２の詳細構成を示す。
ＴＦＴ基板２は、支持基板２ａ上に、複数の駆動素子（薄膜トランジスタともいう）２ｂ、絶縁層２ｃ、絶縁層２ｃを貫通し導電材料で埋められてなるスルーホール２ｄまでが形成されたもの（アクティブマトリックス基板という）に、複数の駆動電極２ｅ、該駆動電極２ｅを保護する保護層２ｆが設けられたものである。ここで、駆動素子２ｂは、ゲート電極２ｂｇ、ソース電極２ｂｓ、ドレイン電極２ｂｄ、ソース電極２ｂｓとドレイン電極２ｂｄ間に設けられる半導体２ｂｈ、ゲート電極２ｂｇとソース電極２ｂｓ，ドレイン電極２ｂｄ，半導体２ｂｈとの間に設けられる絶縁層２ｂｚからなる。また、駆動素子２ｂのドレイン電極２ｂｄと駆動電極２ｅは１対１の関係でスルーホール２ｄにより接続されている。なお、駆動素子２ｂ及び駆動電極２ｅは、後に形成されるセル３に対応して所定位置に１または複数個設けられている。
（Ｓ１２） ＴＦＴ基板２上にフォトリソグラフィ技術等により駆動電極２ｅを１つずつ囲むように隔壁３ａを形成し、電気泳動液を充填する中空構造体のセル３を形成する（図１（ｂ））。セル３の形成には、駆動電極２ｅを配置した基板表面にフォトレジスト樹脂を塗布してから駆動電極２ｅ部分の樹脂を除去して開口を形成してやればよい。セル３を構成する隔壁３ａの厚みとなるフォトレジスト樹脂の幅は０．５〜２０μｍ、セル３の隔壁３ａの高さとなるフォトレジスト樹脂の厚さは３０〜２００μｍ、セル３間のピッチは３０〜２００μｍの範囲内で形成するのが好ましい。
（Ｓ１３） ついで、セル３の開口部からその中空部分に電気泳動液５を注液する（図１（ｃ））。このとき、電気泳動液５を注入した後、バーコータ５１などで余分な電気泳動液５を除いて所定量（セル３の容積よりも少し多い量）の電気泳動液５をセル３に充填する。
（Ｓ１３） ついで、セル３の開口部からその中空部分に電気泳動液５を注液する（図１（ｃ））。このとき、電気泳動液５を注入した後、バーコータ５１などで余分な電気泳動液５を除いて所定量（セル３の容積よりも少し多い量）の電気泳動液５をセル３に充填する。
（Ｓ１４） ガラス基板あるいはＰＥＴ等の透明フィルムの支持基板１ａ上に透光性を有する共通電極１ｂを形成してなる共通電極基板１の共通電極１ｂ側の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して所定膜厚の接着剤膜１ｓを形成する。接着剤膜１ｓの膜厚は、電気泳動表示素子として共通電極１ｂにかかる電界をセル３中の電気泳動液５に伝達可能であることと、電気泳動表示素子の耐久性が確保可能なことを両立させることができる程度の厚さであり、例えば５〜２０μｍである。このとき、使用する接着剤は、紫外線などの光で硬化する光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることが好ましく、ＴＦＴ基板２に熱を加えることなく硬化させることが可能な光硬化性接着剤がより好ましい。
（Ｓ１５） つぎに、共通電極基板１上の接着剤膜１ｓを半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする。すなわち、接着剤膜１ｓが光硬化性接着剤からなるときは完全硬化させない程度の所定の光を照射し、熱硬化性接着剤からなるときは完全硬化させない程度の所定の熱を付与して半硬化させ、塑性流動または擬塑性流動の状態にする。
（Ｓ１６） ＴＦＴ基板２のセル形成面に共通電極基板１の接着剤膜形成面を圧着させる。すなわち、接着剤膜１ｓで電気泳動液５を充填したセル３の開口部を覆うように圧着させる（図１（ｄ））。このとき、接着剤膜１ｓの状態が塑性流動または擬塑性流動となることによる接着力低下を防止するために、ローラ５２などにより共通電極基板１を一定の圧力でＴＦＴ基板２側に押さえつけながら圧着する。なお、共通電極基板１の接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜１ｓの降伏値以下であることが好ましい。これにより、接着剤膜１ｓが流動状態となることなくセル３の隔壁３ａ及びセル３の周辺部（隔壁３ａ等）に密着する。
（Ｓ１７） 共通電極基板１の接着剤膜１ｓを硬化させて封止膜１ｆとしてセル３の開口部を封止する（図１（ｅ））。詳しくは、ＴＦＴ基板２のセル形成面に共通電極基板１の接着剤膜形成面を圧着させたものを、共通電極基板１、ＴＦＴ基板２それぞれの外側からプレート５３で、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜１ｓの降伏値以下の圧力で挟み込み、所定の硬化処理を行う。図１（ｅ）では、接着剤膜１ｓが紫外線硬化性接着剤からなるものとし、プレート５３として透光性のある石英ガラスを用い、共通電極基板１の外側（接着剤膜形成面とは反対面側）からＵＶランプ５４を使って紫外光をプレート５３、支持基板１ａ、共通電極１ｂを透過させて接着剤膜１ｓに照射して接着剤膜１ｓを完全硬化させることを行っている。これにより、接着剤膜１ｓはセル３中に流動することなく、セル３の隔壁３ａ等と接合してセル３中の電気泳動液５を封止した封止膜１ｆとなり、電気泳動表示素子１０が完成する。
本実施形態の製造方法によれば、電気泳動液の色表示を行うための電圧を供給するＴＦＴ基板２上に直接セル３等を形成して簡単な構成の電気泳動表示素子とすることができる。さらに、電気泳動液を充填するための空間（セル３）をＴＦＴ基板２上の駆動電極２ｅと一致させ、電極の電界効率を下げることを防止しているので、色の表示品質が良い電気泳動表示素子１０を作製することができる。
なお、ここでは、接着剤として光硬化性接着剤を用いた例を示したが、熱硬化性接着剤を用いて付与する熱量を調整して半硬化、完全硬化をコントロールしてもよい。
図３に、本発明の電気泳動表示素子の製造方法により製造した電気泳動表示素子１０の断面構成を示す。
電気泳動表示素子１０は、少なくとも一方が光透過性である２つの支持基板１ａ，２ａ間に正方格子状に区画化されて設けられる複数の中空構造体であって、それぞれに少なくとも非極性の分散媒と１種または２種以上の分散性粒子（電気泳動粒子）からなる電気泳動液５を内包する複数のセル３と、支持基板１ａに設けられ、複数のセル３の共通の電極となる透明な共通電極１ｂと、支持基板２ａ上に複数のセル３を挟んで共通電極１ｂと対向して該複数のセル３ごとに正方格子状に設けられる駆動電極２ｅと、支持基板２ａと駆動電極２ｅとの間であって、該駆動電極２ｅとの間に絶縁層２ｃを挟んで駆動電極２ｅに１対１に対応して設けられ、駆動電極２ｅと絶縁層２ｃを貫通するスルーホール２ｄで接続される複数の駆動素子２ｂと、を備えるものである。
電気泳動表示素子１０は、少なくとも一方が光透過性である２つの支持基板１ａ，２ａ間に正方格子状に区画化されて設けられる複数の中空構造体であって、それぞれに少なくとも非極性の分散媒と１種または２種以上の分散性粒子（電気泳動粒子）からなる電気泳動液５を内包する複数のセル３と、支持基板１ａに設けられ、複数のセル３の共通の電極となる透明な共通電極１ｂと、支持基板２ａ上に複数のセル３を挟んで共通電極１ｂと対向して該複数のセル３ごとに正方格子状に設けられる駆動電極２ｅと、支持基板２ａと駆動電極２ｅとの間であって、該駆動電極２ｅとの間に絶縁層２ｃを挟んで駆動電極２ｅに１対１に対応して設けられ、駆動電極２ｅと絶縁層２ｃを貫通するスルーホール２ｄで接続される複数の駆動素子２ｂと、を備えるものである。
また、電気泳動表示素子１０は、共通電極基板１と、板面垂直方向に重なることなく板面水平方向に配置された複数のセル３と、ＴＦＴ基板２と、がこの順番で積層された構造を有している。
ここで、共通電極基板１は、光透過性を有する支持基板１ａ上に層状に共通電極１ｂが設けられたものである。この共通電極基板１の面が、電気泳動表示素子１０の表示面となる。
共通電極１ｂは、導電層からなる光透過性を有する電極である。共通電極１ｂとしては、Ａｌ、Ａｇ、Ｎｉ、Ｃｕ等の金属やＩＴＯ、ＳｎＯ２、ＺｎＯ：Ａｌ等の透明導電体をスパッタリング法、真空蒸着法、ＣＶＤ法、塗布法等で薄膜状に形成したもの、あるいは導電剤を溶媒又は合成樹脂バインダに混合して塗布したものなどが用いられる。前記導電剤としてはポリメチルベンジルトリメチルクロライド、ポリアリルポリメチルアンモニウムクロライド等のカチオン性高分子電解質、ポリスチレンスルホン酸塩、ポリアクリル酸塩等のアニオン性高分子電解質や電子伝導性の酸化亜鉛、酸化スズ、酸化インジウム微粉末等が用いられる。なお、ここでは、共通電極１ｂが自己支持機能を有する支持基板１ａ上に設けられたものを示しているが、共通電極１ｂを構成する導電層それ自体が自己支持機能を有する程度に厚く、支持基板１ａを省略したものであってもよい。
ＴＦＴ基板２は、前述のように、支持基板２ａ上に、複数の駆動素子（薄膜トランジスタともいう）２ｂ、絶縁層２ｃ、複数の駆動電極２ｅが設けられたものであり、駆動電極２ｅが共通電極１ｂに対向するように、電気泳動表示素子１０において共通電極基板１（表示面）とほぼ反対側に配置されている。
駆動電極２ｅは、複数のセル３それぞれに対応してＴＦＴ基板２の主面の上層に設けられる電極である。ここでは、ＴＦＴ基板２の主面上において隔壁３ａで区画される複数の領域（隔壁区画領域ともいう）それぞれに設けられる電極として示している。なお、ここでは駆動電極２ｅは、１つのセル３に対応して１つ設けられる構成を示しているが、２つ以上の電極から構成されるものとしてもよい。また、駆動電極２ｅは、セル３に封入される電気泳動液５に溶解されない導電層である。
駆動素子２ｂは、支持基板２ａ上に所定の配置パターンで形成され、それぞれが絶縁層２ｃを挟んで駆動電極２ｅに１対１に対応する関係で設けられたスイッチング機能を有する薄膜トランジスタ（ＴＦＴ）である。駆動素子２ｂは、従来公知のドライプロセス及びフォトリソグラフィ技術を用いて形成してもよいし、印刷プロセス技術を用いて形成してもよい。また、この駆動素子２ｂは、絶縁層２ｃを貫通し、導電材料で埋められたスルーホール２ｄにより、対応する駆動電極２ｅと接続されており、不図示の駆動回路手段（電圧印加手段ともいう）により、該駆動電極２ｅに電圧を印加可能に制御される。
セル３は、共通電極基板１とＴＦＴ基板２との間で隔壁３ａにより区画されてなるハニカム構造の中空構造体であり、それぞれの中空内部に少なくとも非極性の分散媒と１種または２種以上の分散性粒子（電気泳動粒子）からなる電気泳動液５を内包するものである。このとき、２つの電極基板間を微細な多数のセルで区切ることで、微粒子分散液（電気泳動粒子分散液）における重力による粒子の偏りや粒子同士の凝集を防ぐことができるので好ましい。
電気泳動液５は、分散楳中に着色乃至白色電気泳動粒子を分散させたものである。このとき、電気泳動粒子の色及び帯電性は表示色に応じて適宜設定すればよい。また、分散媒は、電気絶縁性が高い非極性の有機溶媒であることが好ましい。このような非極性有機溶媒としてはペンタン、ヘキサン、ヘプタン、オクタン、ノナン、デカン、ドデカン等のパラフィン系炭化水素、イソヘキサン、イソオクタン、イソドデカン等のイソパラフィン系炭化水素、流動パラフィン等のアルキルナフテン系炭化水素、ベンゼン、トルエン、キシレン、アルキルベンゼン、ソルベントナフサ等の芳香族炭化水素、ジメチルシリコーンオイル、フェニルメチルシリコーンオイル、ジアルキルシリコーンオイル、アルキルフェニルシリコーンオイル、環状ポリジアルキルシロキサン又は環状ポリアルキルフェニルシロキサン等のシリコーンオイルなどが挙げられる。分散媒には分散粒子の分散性を制御するためにさらに分散剤などを必要に応じて添加してもよい。
電気泳動液５における電気泳動粒子の質量割合は、所望の濃度の色が得られるように適宜設定されるが、１〜５０質量％程度が適当である。これら各成分を非極性溶媒中に加え混合分散することにより粒子分散液を得る。この場合、分散手段としてホモジナイザー、ボールミル、サンドミル、アトライター等公知の分散手段を用いてもよい。
電気泳動表示素子１０の動作時には、図示しない駆動回路手段（電圧印加手段）により、少なくとも表示させるセル３に対応する駆動電極２ｅに、所望の電圧が印加される。また、共通電極１ｂについては駆動電極２ｅと同様に駆動回路手段（電圧印加手段）により電圧が印加されてもよいし、接地されていてもよい。いずれにせよ共通電極１ｂ、駆動電極２ｅのそれぞれの電位差によって生じる電界により、対応するセル３に内包される電気泳動液５の電気泳動粒子はその帯電極性、帯電量にしたがって移動し、所定の色を表示することとなる。
なお、前記駆動回路手段は、液晶表示装置などに用いられるＴＦＴ駆動回路手段に準ずるものでよく、ＴＦＴ基板２において駆動素子２ｂに接続される走査線、信号線に対応する走査線駆動回路、信号線駆動回路、コントローラ、電源回路などからなる。
つぎに、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法の第２の実施形態について説明する。
図４は、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法を採用した電気泳動表示素子の製造手順例（２）を示す工程図である。ここでは、共通電極基板上に電気泳動素子を形成するプロセスを示す。なお、ここで使用する部材のうち、第１の実施形態と同じものは同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
図４は、本発明に係る電気泳動表示素子の製造方法を採用した電気泳動表示素子の製造手順例（２）を示す工程図である。ここでは、共通電極基板上に電気泳動素子を形成するプロセスを示す。なお、ここで使用する部材のうち、第１の実施形態と同じものは同じ符号を付し、その詳細な説明は省略する。
（Ｓ２１） 共通電極基板１上にフォトリソグラフィ技術等により隔壁３ａを形成し、電気泳動液を充填する中空構造体のセル３を形成する（図４（ａ））。なお、共通電極基板１を構成する支持基板１ａとしては、ガラス、ＰＥＴ、ＰＥＮ、ＰＣなど透明なものを用いる。
（Ｓ２２） ついで、セル３の開口部からその中空部分に電気泳動液５を注液する（図４（ｂ））。このとき、電気泳動液５を注入した後、バーコータ５１などで余分な電気泳動液５を除いて所定量（セル３の容積よりも少し多い量）の電気泳動液５をセル３に充填する。
（Ｓ２２） ついで、セル３の開口部からその中空部分に電気泳動液５を注液する（図４（ｂ））。このとき、電気泳動液５を注入した後、バーコータ５１などで余分な電気泳動液５を除いて所定量（セル３の容積よりも少し多い量）の電気泳動液５をセル３に充填する。
（Ｓ２３） ＰＥＴ等のフィルム５５ａの主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して所定膜厚の接着剤膜５５ｓを形成する。接着剤膜５５ｓの膜厚は、電気泳動表示素子として駆動電極２ｅにかかる電界をセル３中の電気泳動液５に伝達可能であることと、電気泳動表示素子の耐久性が確保可能なことを両立させることができる程度の厚さであり、例えば５〜２０μｍである。このとき、使用する接着剤は、紫外線などの光で硬化する光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることが好ましい。
（Ｓ２４） つぎに、可撓性のあるフィルム５５ａ上の接着剤膜５５ｓを半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする。すなわち、接着剤膜５５ｓが光硬化性接着剤からなるときは完全硬化させない程度の所定の光を照射し、熱硬化性接着剤からなるときは完全硬化させない程度の所定の熱を付与して半硬化させ、塑性流動または擬塑性流動の状態にする。
（Ｓ２５） 共通電極基板１のセル形成面にフィルム５５ａの接着剤膜形成面を圧着させる。すなわち、接着剤膜５５ｓで電気泳動液５を充填したセル３の開口部を覆うように圧着させる（図４（ｃ））。このとき、ローラ５２などによりフィルム５５ａを一定の圧力で共通電極基板１側に押さえつけながら圧着する。なお、フィルム５５ａの接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜５５ｓの降伏値以下であることが好ましい。これにより、接着剤膜５５ｓが流動状態となることなくセル３の隔壁３ａ及びセル３の周辺部（隔壁３ａ等）に密着する。
（Ｓ２６） フィルム５５ａの接着剤膜５５ｓを硬化させて封止膜５５ｆとしてセル３の開口部を封止する（図４（ｄ））。詳しくは、共通電極基板１のセル形成面にフィルム５５ａの接着剤膜形成面を圧着させたものを、共通電極基板１、フィルム５５ａそれぞれの外側から金属プレート５６で、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜５５ｓの降伏値以下の圧力で挟み込み、所定の硬化処理を行う。図４（ｄ）では、接着剤膜５５ｓが熱硬化性接着剤からなるものとし、フィルム５５ａの外側（接着剤膜形成面とは反対面側）からヒータ５７を使って加熱して接着剤膜５５ｓを完全硬化させることを行っている。これにより、接着剤膜５５ｓはセル３中に流動することなく、セル３の隔壁３ａ等と接合してセル３中の電気泳動液５を封止した封止膜５５ｆとなる。
（Ｓ２７） ついで、フィルム５５ａと封止膜５５ｆとの間で界面剥離させて、封止膜５５ｆがセル３の隔壁３ａ等に接着したままフィルム５５ａを取り除く（図４（ｅ））。なお、予めフィルム５５ａ表面について撥油処理などの接着力を低下させる処理を施しておいて、フィルム５５ａと封止膜５５ｆとの接着力が、セル３の隔壁３ａ及びセルの周辺部と封止膜５５ｆとの接着力よりも小さくなりフィルム５５ａを封止膜５５ｆから容易に剥離できるようにするとよい。
（Ｓ２８） ＴＦＴ基板２の駆動電極２ｅ側の主面に接着剤を塗布して接着剤膜２ｓを形成し、該接着剤膜２ｓとステップＳ２７により露出した封止膜５５ｆとを貼り合わせる（図４（ｆ））。ここで使用する接着剤は、所定時間経過すると硬化する２液混合型のエポキシ系接着剤などでよい。
（Ｓ２９） ＴＦＴ基板２と封止膜５５ｆ間の接着剤を硬化させて、電気泳動表示素子１０を完成する（図４（ｇ））。完成した電気泳動表示素子１０は、図３における封止層１ｆに代わってセル３とＴＦＴ基板２間に封止層５５ｆ及び接着層２ｇが設けられた構成となる。
（Ｓ２９） ＴＦＴ基板２と封止膜５５ｆ間の接着剤を硬化させて、電気泳動表示素子１０を完成する（図４（ｇ））。完成した電気泳動表示素子１０は、図３における封止層１ｆに代わってセル３とＴＦＴ基板２間に封止層５５ｆ及び接着層２ｇが設けられた構成となる。
本実施形態の製造方法によれば、予め共通電極基板１側に電気泳動表示素子部を形成しておき、電気泳動液の色表示を行うための電圧を供給するＴＦＴ基板２と接着する手順として、駆動素子２ｂや電極材料の作製プロセスを電気泳動表示素子の作製プロセスと別にしているので、駆動素子２ｂや電極材料の性能低下を防止することができる。さらに、電気泳動液を充填するための空間（セル３）をＴＦＴ基板２上の駆動電極２ｅと一致させ、電極の電界効率を下げることを防止しているので、色の表示品質が良い電気泳動表示装置を作製することができる。
なお、ここでは、接着剤として熱硬化性接着剤を用いた例を示したが、光硬化性接着剤を用いて共通電極基板１側から付与する光量を調整して半硬化、完全硬化をコントロールしてもよい。
次に、本発明に係る電気泳動表示装置について説明する。
図５に、本発明の電気泳動表示装置の構成例を示す。
本発明の電気泳動表示装置３０は、本発明の電気泳動表示素子の製造方法で製造された電気泳動表示素子１０と、該電気泳動表示素子１０に電力を供給する手段を有するものであって、さらに情報入力手段３１，図示しない駆動回路手段、演算回路、内部メモリ、電源手段等を筐体３２に備えている。
図５に、本発明の電気泳動表示装置の構成例を示す。
本発明の電気泳動表示装置３０は、本発明の電気泳動表示素子の製造方法で製造された電気泳動表示素子１０と、該電気泳動表示素子１０に電力を供給する手段を有するものであって、さらに情報入力手段３１，図示しない駆動回路手段、演算回路、内部メモリ、電源手段等を筐体３２に備えている。
ここで、電気泳動表示素子１０における駆動電極２ｅはセル３ごとに設けられて、電気泳動表示素子１０全体としてドットマトリックスを形成している。前記駆動回路手段は、指定のピクセル（セル３）に対応する駆動電極２ｅの電圧を制御することで所望のピクセルで発色させることにより、全体として画像を表示することが可能である。詳しくは、前記駆動回路手段は、複数の駆動素子２ｂを駆動させて、共通電極１ｂと駆動電極２ｅの間に電圧を印加し、対応するセル３について電気泳動液中の粒子を電気泳動させて画像表示動作を行うものである。なお、電源手段としては、電池等の内部電力を備えていても、外部の電源から受電するコンセントなどの受電装置を備えていてもよい。
電気泳動表示装置３０は、本発明の電気泳動表示素子１０を用いているので、良好な色の表示品質を示す。
以下、本発明の実施例を説明する。
（実施例１）
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の効果を確認するためのサンプルを以下の手順で作製した。
（Ｓ３１） まず、ガラス基板６１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２００μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ３２） 次に、このセル３内へ液５’を図１（ｃ）の充填状態となるように充填する。ここでは、本発明の効果を確認しやすくするため、電気泳動粒子を含まない透明な状態の溶液５’として、実際の電気泳動液の溶媒として用いる非極性溶媒であるＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）のみからなる溶液を使用した。
（Ｓ３３） ついで、セル３の封止を行うためのフィルムにＰＥＴフィルム６２ａを用い、ＰＥＴフィルム上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜６２ｓを形成する。
（Ｓ３４） つぎに、該接着剤膜６２ｓについて、窒素雰囲気中で紫外線を２０〜１００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ３５） ガラス基板６１のセル形成面に、ステップＳ３４のＰＥＴフィルム６２ａの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けながら圧着する（図６（ａ））。
（Ｓ３６） ステップＳ３５のガラス基板のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜６２ｓを封止膜６２ｆとしてサンプルを完成する（図６（ｂ））。
（実施例１）
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の効果を確認するためのサンプルを以下の手順で作製した。
（Ｓ３１） まず、ガラス基板６１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２００μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ３２） 次に、このセル３内へ液５’を図１（ｃ）の充填状態となるように充填する。ここでは、本発明の効果を確認しやすくするため、電気泳動粒子を含まない透明な状態の溶液５’として、実際の電気泳動液の溶媒として用いる非極性溶媒であるＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）のみからなる溶液を使用した。
（Ｓ３３） ついで、セル３の封止を行うためのフィルムにＰＥＴフィルム６２ａを用い、ＰＥＴフィルム上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜６２ｓを形成する。
（Ｓ３４） つぎに、該接着剤膜６２ｓについて、窒素雰囲気中で紫外線を２０〜１００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ３５） ガラス基板６１のセル形成面に、ステップＳ３４のＰＥＴフィルム６２ａの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けながら圧着する（図６（ａ））。
（Ｓ３６） ステップＳ３５のガラス基板のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜６２ｓを封止膜６２ｆとしてサンプルを完成する（図６（ｂ））。
図７に、作製したサンプルを上から顕微鏡で観察した結果を示す。
セル３は、１つ１つが隔壁３ａで区分された正方形となっており、接着剤膜６２ｓが流動してセル３内に流れ込む現象は認められなかった。これにより、電気泳動表示素子１０において、セル領域全面に共通電極１ｂが適切に接するようになるので電気泳動粒子が該セル領域全面に集積するとことが可能となり、画像表示性能として良好なコントラストが得られる。
なお、実施例１においては、紫外線硬化接着剤を用いたが、熱硬化接着剤を用いても同様な効果が得られる。
セル３は、１つ１つが隔壁３ａで区分された正方形となっており、接着剤膜６２ｓが流動してセル３内に流れ込む現象は認められなかった。これにより、電気泳動表示素子１０において、セル領域全面に共通電極１ｂが適切に接するようになるので電気泳動粒子が該セル領域全面に集積するとことが可能となり、画像表示性能として良好なコントラストが得られる。
なお、実施例１においては、紫外線硬化接着剤を用いたが、熱硬化接着剤を用いても同様な効果が得られる。
（比較例１）
比較用のサンプルを以下の手順で作製した。
（Ｓ４１） まず、ガラス基板６１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２００μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ４２） 次に、このセル３内へ液５’を図１（ｃ）の充填状態となるように充填する。ここでは、本発明の効果を確認しやすくするため、電気泳動粒子を含まない透明な状態の溶液５’として、実際の電気泳動液の溶媒として用いる非極性溶媒であるＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）のみからなる溶液を使用した。
（Ｓ４３） ついで、セル３の封止を行うためのフィルムにＰＥＴフィルム６２ａを用い、ＰＥＴフィルム上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜６２ｓ’を形成する。
（Ｓ４４） ガラス基板６１のセル形成面に、ステップＳ４３のＰＥＴフィルム６２ａの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けながら圧着する（図８（ａ））。
（Ｓ４５） ステップＳ４４のガラス基板のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜６２ｓ’を封止膜６２ｆ’としてサンプルを完成する（図８（ｂ））。
比較用のサンプルを以下の手順で作製した。
（Ｓ４１） まず、ガラス基板６１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２００μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ４２） 次に、このセル３内へ液５’を図１（ｃ）の充填状態となるように充填する。ここでは、本発明の効果を確認しやすくするため、電気泳動粒子を含まない透明な状態の溶液５’として、実際の電気泳動液の溶媒として用いる非極性溶媒であるＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）のみからなる溶液を使用した。
（Ｓ４３） ついで、セル３の封止を行うためのフィルムにＰＥＴフィルム６２ａを用い、ＰＥＴフィルム上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜６２ｓ’を形成する。
（Ｓ４４） ガラス基板６１のセル形成面に、ステップＳ４３のＰＥＴフィルム６２ａの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けながら圧着する（図８（ａ））。
（Ｓ４５） ステップＳ４４のガラス基板のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜６２ｓ’を封止膜６２ｆ’としてサンプルを完成する（図８（ｂ））。
図９に、作製した比較例サンプルを上から顕微鏡で観察した結果を示す。
比較例サンプルでは、各セル３の隅に封止膜６２ｆ’の一部が延伸して侵入した状態となっており、セル３内の溶液が適正に観察される部分は円形となっていた。これは、接着剤膜６２ｓ’の接着剤がステップＳ４４，Ｓ４５における加圧により流動して隔壁３ａからセル３内に流れ込んだ後に硬化した結果である。これにより、セル３の中心の円形の部分のみに電気泳動粒子が集積するので、画像表示性能として色のコントラストが低下することになる。
なお、比較例においては、紫外線硬化接着剤を用いたが、熱硬化接着剤を用いても同様な結果となる。
比較例サンプルでは、各セル３の隅に封止膜６２ｆ’の一部が延伸して侵入した状態となっており、セル３内の溶液が適正に観察される部分は円形となっていた。これは、接着剤膜６２ｓ’の接着剤がステップＳ４４，Ｓ４５における加圧により流動して隔壁３ａからセル３内に流れ込んだ後に硬化した結果である。これにより、セル３の中心の円形の部分のみに電気泳動粒子が集積するので、画像表示性能として色のコントラストが低下することになる。
なお、比較例においては、紫外線硬化接着剤を用いたが、熱硬化接着剤を用いても同様な結果となる。
（実施例２）
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の第１の実施形態の製造手順（図１）に基づいて、つぎの手順で電気泳動表示素子１０を作製した。
（Ｓ５１） まず、ＴＦＴ基板２上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２５４μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ５２） 次に、このセル３内へ電気泳動液５を図１（ｃ）の充填状態（電気泳動液５がセル３の容積よりも多い量となるような充填状態）となるように充填する。電気泳動液５は、正帯電に有するカーボン粒子、負帯電を有するＴｉＯ２粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（商品名：アビシア社製）、および非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）から構成される。
（Ｓ５３） ついで、ＩＴＯ膜（共通電極１ｂ）が形成されたＰＥＴフィルム（支持基板１ａ）を共通電極基板１として用い、該ＩＴＯ膜上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜１ｓを形成する。
（Ｓ５４） つぎに、該接着剤膜１ｓについて、窒素雰囲気中で紫外線を２０〜１００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ５５） ＴＦＴ基板２のセル形成面に、ステップＳ５４のＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けて余分な電気泳動液を追い出しながら圧着する。
（Ｓ５６） ステップＳ５５のＴＦＴ基板２のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜１ｓを封止膜１ｆとし、画像表示性能として良好なコントラストが得られる電気泳動表示素子１０を完成する。
なお、実施例２が本発明を限定するものではない。
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の第１の実施形態の製造手順（図１）に基づいて、つぎの手順で電気泳動表示素子１０を作製した。
（Ｓ５１） まず、ＴＦＴ基板２上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２５４μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ５２） 次に、このセル３内へ電気泳動液５を図１（ｃ）の充填状態（電気泳動液５がセル３の容積よりも多い量となるような充填状態）となるように充填する。電気泳動液５は、正帯電に有するカーボン粒子、負帯電を有するＴｉＯ２粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（商品名：アビシア社製）、および非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）から構成される。
（Ｓ５３） ついで、ＩＴＯ膜（共通電極１ｂ）が形成されたＰＥＴフィルム（支持基板１ａ）を共通電極基板１として用い、該ＩＴＯ膜上に、準粘性状態の紫外線硬化接着剤３０４２Ｃ（商品名、スリーボンド製）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜１ｓを形成する。
（Ｓ５４） つぎに、該接着剤膜１ｓについて、窒素雰囲気中で紫外線を２０〜１００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ５５） ＴＦＴ基板２のセル形成面に、ステップＳ５４のＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けて余分な電気泳動液を追い出しながら圧着する。
（Ｓ５６） ステップＳ５５のＴＦＴ基板２のセル形成面に前記ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを石英ガラス間に挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で紫外線を１５００〜２０００ｍＪ／ｃｍ２の強度で照射して、接着剤膜１ｓを封止膜１ｆとし、画像表示性能として良好なコントラストが得られる電気泳動表示素子１０を完成する。
なお、実施例２が本発明を限定するものではない。
（実施例３）
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の第２の実施形態の製造手順（図４）に基づいて、つぎの手順で電気泳動表示素子１０を作製した。
（Ｓ６１） まず、透明なガラス基板（支持基板１ａ）上にＩＴＯ膜（共通電極１ｂ）が形成された共通電極基板１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２５４μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ６２） 次に、このセル３内へ電気泳動液５を図４（ｂ）の充填状態（電気泳動液５がセル３の容積よりも多い量となるような充填状態）となるように充填する。電気泳動液５は、正帯電に有するカーボン粒子、負帯電を有するＴｉＯ２粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（商品名：アビシア社製）、および非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）から構成される。
（Ｓ６３） ＰＥＴフィルムの表面をオプツールＤＳＸ（商品名、ダイキン工業株式会社）で撥油処理し、ついで該ＰＥＴフィルム（フィルム５５ａ）の撥油処理した面上に、準粘性状態の熱硬化接着剤ＮｅｏＲｅｚ９６１７（商品名、楠本化成株式会社）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜５５ｓを形成する。
（Ｓ６４） つぎに、該接着剤膜５５ｓについて、６０℃、３０分間ヒータで加熱し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ６５） 共通電極基板１のセル形成面に、ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けて余分な電気泳動液を追い出しながら圧着する。
（Ｓ６６） 共通電極基板１のセル形成面にＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを、共通電極基板１、フィルム５５ａそれぞれの外側から金属プレート５６で挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で、１００℃、１０分間ヒータで加熱して、接着剤膜５５を封止膜５５ｆとする。
（Ｓ６７） ついで、ＰＥＴフィルムと封止膜５５ｆとの間で界面剥離させて、封止膜５５ｆがセル３の隔壁３ａ等に接着したままＰＥＴフィルムを取り除く。これにより、電気泳動液５がセル３内に充填されたシートが完成する。
（Ｓ６８） ＴＦＴ基板２の駆動電極２ｅ側の主面にエポキシ系接着剤を塗布し、該接着剤塗布面とステップＳ６７により露出した封止膜５５ｆとをセル３と駆動電極２ｅが一致するように貼り合わせる。
（Ｓ６９） ＴＦＴ基板２と封止膜５５ｆ間のエポキシ系接着剤を硬化させて、電気泳動表示素子１０を完成する。このとき、封止膜５５ｆがセル３中に侵入することがなくセル３と駆動電極２ｅとが適切に接するので画像表示性能として良好なコントラストが得られる。
なお、実施例３が本発明を限定するものではない。
本発明の電気泳動表示素子の製造方法の第２の実施形態の製造手順（図４）に基づいて、つぎの手順で電気泳動表示素子１０を作製した。
（Ｓ６１） まず、透明なガラス基板（支持基板１ａ）上にＩＴＯ膜（共通電極１ｂ）が形成された共通電極基板１上にフォトレジスト樹脂としてフォトレジストＳＵ８（商品名、日本化薬製）を塗布して、所定部分の樹脂を除去して開口し、厚さ２５μｍ、深さ６０μｍの隔壁３ａで区分されるピッチ２５４μｍの正方格子状に配置されるセル３を作製する。
（Ｓ６２） 次に、このセル３内へ電気泳動液５を図４（ｂ）の充填状態（電気泳動液５がセル３の容積よりも多い量となるような充填状態）となるように充填する。電気泳動液５は、正帯電に有するカーボン粒子、負帯電を有するＴｉＯ２粒子、電荷制御剤Ｓｏｌｓｐｅｒｓｅ１７０００（商品名：アビシア社製）、および非極性溶媒ＩｓｏｐａｒＧ（商品名、エクソンモービル製、イソパラフィン系炭化水素）から構成される。
（Ｓ６３） ＰＥＴフィルムの表面をオプツールＤＳＸ（商品名、ダイキン工業株式会社）で撥油処理し、ついで該ＰＥＴフィルム（フィルム５５ａ）の撥油処理した面上に、準粘性状態の熱硬化接着剤ＮｅｏＲｅｚ９６１７（商品名、楠本化成株式会社）を塗布し、厚さ１０μｍの接着剤膜５５ｓを形成する。
（Ｓ６４） つぎに、該接着剤膜５５ｓについて、６０℃、３０分間ヒータで加熱し、塑性流動あるいは擬塑性流動の状態とする。
（Ｓ６５） 共通電極基板１のセル形成面に、ＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面をローラ５２で所定の圧力で押し付けて余分な電気泳動液を追い出しながら圧着する。
（Ｓ６６） 共通電極基板１のセル形成面にＰＥＴフィルムの接着剤膜形成面を圧着させたものを、共通電極基板１、フィルム５５ａそれぞれの外側から金属プレート５６で挟み、１５〜３０ｋＰａ加圧した状態で、１００℃、１０分間ヒータで加熱して、接着剤膜５５を封止膜５５ｆとする。
（Ｓ６７） ついで、ＰＥＴフィルムと封止膜５５ｆとの間で界面剥離させて、封止膜５５ｆがセル３の隔壁３ａ等に接着したままＰＥＴフィルムを取り除く。これにより、電気泳動液５がセル３内に充填されたシートが完成する。
（Ｓ６８） ＴＦＴ基板２の駆動電極２ｅ側の主面にエポキシ系接着剤を塗布し、該接着剤塗布面とステップＳ６７により露出した封止膜５５ｆとをセル３と駆動電極２ｅが一致するように貼り合わせる。
（Ｓ６９） ＴＦＴ基板２と封止膜５５ｆ間のエポキシ系接着剤を硬化させて、電気泳動表示素子１０を完成する。このとき、封止膜５５ｆがセル３中に侵入することがなくセル３と駆動電極２ｅとが適切に接するので画像表示性能として良好なコントラストが得られる。
なお、実施例３が本発明を限定するものではない。
なお、これまで本発明を図面に示した実施形態をもって説明してきたが、本発明は図面に示した実施形態に限定されるものではなく、他の実施形態、追加、変更、削除など、当業者が想到することができる範囲内で変更することができ、いずれの態様においても本発明の作用・効果を奏する限り、本発明の範囲に含まれるものである。
１ 共通電極基板
１ａ，２ａ 支持基板
１ｂ 共通電極
１ｓ，２ｓ，５５ｓ，６２ｓ，６２ｓ´ 接着剤膜
１ｆ，５５ｆ，６２ｆ，６２ｆ´ 封止膜
２ ＴＦＴ基板
２ｂ 駆動素子
２ｂｄ ドレイン電極
２ｂｇ ゲート電極
２ｂｈ 半導体
２ｂｓ ソース電極
２ｂｚ，２ｃ 絶縁層
２ｄ スルーホール
２ｅ 駆動電極
２ｆ 保護層
２ｇ 接着層
３ セル
３ａ 隔壁
５ 電気泳動液
５´ 溶液
１０ 電気泳動表示素子
３０ 電気泳動表示装置
３１ 情報入力手段
３２ 筐体
５１ バーコータ
５２ ローラ
５３ プレート
５４ ＵＶランプ
５５ａ フィルム
５６ 金属プレート
５７ ヒータ
６１ ガラス基板
６２ａ ＰＥＴフィルム
１ａ，２ａ 支持基板
１ｂ 共通電極
１ｓ，２ｓ，５５ｓ，６２ｓ，６２ｓ´ 接着剤膜
１ｆ，５５ｆ，６２ｆ，６２ｆ´ 封止膜
２ ＴＦＴ基板
２ｂ 駆動素子
２ｂｄ ドレイン電極
２ｂｇ ゲート電極
２ｂｈ 半導体
２ｂｓ ソース電極
２ｂｚ，２ｃ 絶縁層
２ｄ スルーホール
２ｅ 駆動電極
２ｆ 保護層
２ｇ 接着層
３ セル
３ａ 隔壁
５ 電気泳動液
５´ 溶液
１０ 電気泳動表示素子
３０ 電気泳動表示装置
３１ 情報入力手段
３２ 筐体
５１ バーコータ
５２ ローラ
５３ プレート
５４ ＵＶランプ
５５ａ フィルム
５６ 金属プレート
５７ ヒータ
６１ ガラス基板
６２ａ ＰＥＴフィルム
Claims (9)
- 一対の電極基板間に、隔壁により区分けされた複数の中空構造体であるセルが形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、
前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程と、
前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程と、
他方の電極基板Ｂの主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、
前記電極基板Ａのセル形成面に前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程と、
前記電極基板Ｂの接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止工程と、
を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。 - 前記圧着工程における前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする請求項１に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
- 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする請求項１または２に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
- 前記接着剤は光硬化性接着剤であって、前記電極基板Ｂは光透過性を有するものであり、
前記封止工程において前記電極基板Ｂの接着剤膜形成面とは反対面側から光を照射して前記接着剤膜を硬化させることを特徴とする請求項３に記載の電気泳動表示素子の製造方法。 - 一対の電極基板間に、隔壁により区分けされた複数の中空構造体であるセルが形成され、前記セルに帯電粒子を含む電気泳動液が充填された電気泳動表示素子の製造方法において、
前記一対の電極基板のうち、一方の電極基板Ａ上に前記隔壁を形成して開口した状態のセルを設けるセル形成工程と、
前記セルの開口部から前記帯電粒子を含む電気泳動液を注液する注液工程と、
所定の基板の主面上に準粘性を示す接着剤を塗布して接着剤膜を形成した後に、該接着剤膜を半硬化させて塑性流動または擬塑性流動の状態にする接着剤膜形成工程と、
前記電極基板Ａのセル形成面に前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧着工程と、
前記所定の基板の接着剤膜を硬化させて前記セルの開口部を封止する封止膜を形成する封止工程と、
前記封止膜から前記所定の基板を取り除く除去工程と、
前記封止膜に前記一対の電極基板のうち、他方の電極基板Ｂを接着する貼り合せ工程と、
を備えることを特徴とする電気泳動表示素子の製造方法。 - 前記圧着工程における前記所定の基板の接着剤膜形成面を圧着させる圧力は、前記塑性流動または擬塑性流動の状態にある接着剤膜の降伏値以下であることを特徴とする請求項５に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
- 前記接着剤は、光硬化性接着剤または熱硬化性接着剤であることを特徴とする請求項５または６に記載の電気泳動表示素子の製造方法。
- 前記所定の基板は、前記封止膜との接着力が前記セルの隔壁及びセルの周辺部と前記封止膜との接着力よりも小さい部材からなり、
前記除去工程では、前記所定の基板と封止膜との間で界面剥離させて該所定の基板を取り除くことを行うことを特徴とする請求項５〜７のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法。 - 請求項１〜８のいずれかに記載の電気泳動表示素子の製造方法を用いて製造された電気泳動表示素子を備えることを特徴とする電気泳動表示装置。
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