JP2013130559A - プローブカード及びその製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明によるプローブカードは、複数のシグナル導体が形成された絶縁基板と、上記シグナル導体を囲むように上記絶縁基板に形成された溝と、を含むことを特徴とする。本発明によると、漏洩電流による信号の外乱が発生しないプローブカードが得られる。
【選択図】図1
Description
20 シグナル導体
30 溝
40 微細溝
50 漏洩距離
60 シグナル導体間の距離
Claims (17)
- 複数のシグナル導体が形成された絶縁基板と、
前記シグナル導体を囲むように前記絶縁基板に形成された溝と、
を含む、プローブカード。 - 前記絶縁基板は、セラミック基板である、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記セラミック基板は、低温同時焼成セラミック基板である、請求項2に記載のプローブカード。
- 前記溝の断面形状は、U字形又はV字形である、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記溝は、微細溝をさらに含む、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記微細溝の断面形状は、U字形又はV字形である、請求項5に記載のプローブカード。
- 前記溝は、絶縁基板上に格子状に形成される、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記シグナル導体間の漏洩距離は、30μm以上である、請求項1に記載のプローブカード。
- 前記シグナル導体の材料は、金、銀、錫、鉛、ニッケル、チタニウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含む、請求項1に記載のプローブカード。
- シグナル導体が形成された絶縁基板を製造する段階と、
前記シグナル導体の間の絶縁基板に溝を形成する段階と、
前記溝の一部に微細溝を形成する段階と、
を含む、プローブカードの製造方法。 - 前記絶縁基板は、セラミック基板である、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記セラミック基板は、低温同時焼成セラミック基板である、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記溝の断面形状は、U字形又はV字形である、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記微細溝の断面形状は、U字形又はV字形である、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記溝は、絶縁基板に格子状に形成される、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記シグナル導体間の漏洩距離は、30μm以上である、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
- 前記シグナル導体の材料は、金、銀、錫、鉛、ニッケル、チタニウム及びこれらの合金からなる群から選択された一つ以上を含む、請求項10に記載のプローブカードの製造方法。
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KR20150122321A (ko) * | 2014-04-22 | 2015-11-02 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
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- 2012-03-12 JP JP2012054239A patent/JP2013130559A/ja active Pending
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KR20150122321A (ko) * | 2014-04-22 | 2015-11-02 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
KR101644821B1 (ko) | 2014-04-22 | 2016-08-04 | 피에스케이 주식회사 | 기판 처리 장치 및 방법 |
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