JP2013125959A - 半導体パッケージ - Google Patents

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Abstract

【課題】 放熱効果が向上した半導体パッケージを提供する。
【解決手段】 半導体素子を含む半導体モジュール;
前記半導体モジュールの下部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第1管を含み、前記第1管の内部に挿入されて回転する第1回転体を含む第1放熱部;前記半導体モジュールの上部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第2管を含み、前記第2管の内部に挿入されて回転する第2回転体を含む第2放熱部;及び前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部の両側面に形成され、前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部を固定するハウジング;を含む。
【選択図】 図1

Description

本発明は半導体パッケージに関する。
電力用電子産業が発展するにつれて、電力半導体モジュールの小型化、高密度化の重要性が高くなっている。これにより、半導体素子そのものの大きさを減らそうとする試みとともにモジュールそのものの小型化が重要な課題となっている。制限された空間に素子を集積することは熱発生を増加させる要因となり、このような熱発生は電力半導体モジュールの動作及び寿命に影響を与えるため、重要な問題となっている。
この類型の電力半導体パッケージは、絶縁基板を用いて一枚の基板上に多数の半導体素子をはんだ付けし、ハウジングケースが接合される構造に形成される。そして、ワイヤボンディングまたははんだ付けによって半導体素子と基板、そして基板とハウジングに挿入された端子を連結する。また、半導体パッケージの放熱のための放熱板がパッケージの下部にだけ配置される構造なので、放熱が効率よくなされることができない(特許文献1)。
大韓民国公開特許第10−2011−0014867号明細書
本発明は放熱効果が向上した半導体パッケージを提供することにある。
本発明の一側面によれば、半導体素子を含む半導体モジュール;前記半導体モジュールの下部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第1管を含み、前記第1管の内部に挿入されて回転する第1回転体を含む第1放熱部;前記半導体モジュールの上部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第2管を含み、前記第2管の内部に挿入されて回転する第2回転体を含む第2放熱部;及び前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部の両側面に形成され、前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部を固定するハウジング;を含む半導体パッケージが提供される。
前記半導体パッケージは、前記ハウジングの一面に形成され、冷却水が外部から前記第1放熱部に流入する第1流入部;及び前記第2放熱部で使用された冷却水が外部に流出する第2流出部;をさらに含むことができる。
前記半導体パッケージは、前記ハウジングの他面に形成され、前記第1放熱部で使用された冷却水が外部に流出する第1流出部;及び冷却水が外部から前記第2放熱部に流入する第2流入部;をさらに含むことができる。
前記第1回転体は前記第1管の一側内部に挿入されることができる。
前記第1管は他側内壁に螺旋状の第1溝をさらに含むことができる。
前記第1回転体は前記第1管の長さに対応する長さを有するように形成されることができる。
前記第1回転体は、円筒状の中心部;及び前記中心部の外壁を螺旋状に取り囲むブレード;を含むことができる。
前記螺旋状ブレードは一定のピッチを有するように形成されることができる。
前記螺旋状ブレードは前記中心部の一側から他側に行くほどピッチが減少するように形成されることができる。
前記第1回転体は熱伝導性材で形成されることができる。
前記第2回転体は前記第2管の他側内部に挿入されることができる。
前記第2管は一側内壁に螺旋状の第2溝をさらに含むことができる。
前記第2回転体は前記第2管の長さに対応する長さを有するように形成されることができる。
前記第2回転体は、円筒状の中心部;及び前記中心部の外壁を螺旋状に取り囲むブレード;を含むことができる。
前記ブレードは一定のピッチを有するように形成されることができる。
前記ブレードは前記中心部の一側から他側に行くほどピッチが減少するように形成されることができる。
前記第2回転体は熱伝導性材で形成されることができる。
本発明の特徴及び利点は添付図面に基づいた以降の詳細な説明からより明らかになるであろう。
本発明の詳細な説明に先立ち、本明細書及び請求範囲に使用された用語や単語は通常的で辞書的な意味に解釈されてはいけなく、発明者がその自分の発明を最良の方法で説明するために用語の概念を適切に定義することができるという原則にしたがって本発明の技術的思想にかなう意味と概念に解釈されなければならない。
本発明の実施例による半導体パッケージは放熱効率を向上させることができる。
本発明の実施例による半導体パッケージを示す例示図である。 本発明の実施例による半導体パッケージの内部を示す例示図である。 本発明の実施例による半導体パッケージの上部断面を示す例示図である。 半導体パッケージの側面を示す断面図である。 本発明の他の実施例による半導体パッケージを示す例示図である。 本発明の実施例による回転体を示す例示図である。 本発明の他の実施例による回転体を示す例示図である。 従来の放熱部を示す例示図である。 本発明の実施例による放熱部を示す例示図である。 本発明の他の実施例による放熱部を示す例示図である。 従来の放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。 本発明の実施例による放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。 本発明の他の実施例による放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。
本発明の目的、特定の利点及び新規の特徴は添付図面を参照する以下の詳細な説明及び好適な実施例から一層明らかに理解可能であろう。本明細書において、各図面の構成要素に参照番号を付け加えるにあたり、同じ構成要素がたとえ他の図面に図示されていても、できるだけ同じ符号を付けることにする。
本発明の説明において、関連の公知技術についての具体的な説明が本発明の要旨を不要にあいまいにすることができると判断される場合、その詳細な説明は省略する。本明細書において、“第1”、“第2”などの用語はある構成要素を他の構成要素と区別するために使用したもので、構成要素が前記用語に制限されるものではない。
以下、添付図面に基づいて本発明の実施例による半導体パッケージを詳細に説明する。
図1は本発明の実施例による半導体パッケージを示す例示図である。
図1を参照すれば、半導体パッケージ100は、半導体モジュール130、第1放熱部110、第2放熱部120、ハウジング140、第1流入部151、第1流出部152、第2流入部153及び第2流出部154を含むことができる。
半導体モジュール130は半導体素子を含むことができる。半導体素子は発熱量の多い電力素子となることができる。
第1放熱部110は半導体モジュール130の下部に位置することができる。第1放熱部110は冷却水が通過することにより、発熱量の多い半導体モジュール130を冷却させることができる。第1放熱部110は冷却水が通過するための一つ以上の第1管(図示せず)を含むことができる。
第2放熱部120は半導体モジュール130の上部に位置することができる。第2放熱部120は冷却水が通過することにより、発熱量の多い半導体モジュール130を冷却させることができる。第2放熱部120は冷却水が通過するための一つ以上の第2管(図示せず)を含むことができる。
ハウジング140は、半導体モジュール130、第1放熱部110及び第2放熱部120の両側面に形成されることができる。このように形成されたハウジング140は半導体モジュール130、第1放熱部110及び第2放熱部120を固定させることができる。
第1流入部151はハウジング140の一面に形成されることができる。第1流入部151は外部の冷却水が第1放熱部110に流入するように形成されることができる。すなわち、第1流入部151は外部と第1放熱部110の一側を連結することができる。
第1流出部152はハウジング140の他面に形成されることができる。第1流出部152は第1放熱部110で使用された冷却水を外部に流出するように形成できる。すなわち、第1流出部152は外部と第1放熱部110の他側を連結することができる。
第1流入部151及び第1流出部152は、第1放熱部110に連結されるために、第1放熱部110と同一の高さに形成されることができる。
第2流入部153はハウジング140の他面に形成されることができる。第2流入部153は外部の冷却水が第2放熱部120に流入するように形成されることができる。すなわち、第2流入部153は外部と第2放熱部120の他側を連結することができる。
第2流出部154はハウジング140一面に形成されることができる。第2流出部154は第2放熱部120で使用された冷却水を外部に流出するように形成されることができる。すなわち、第2流出部154は外部と第2放熱部120の一側を連結することができる。
第2流入部153及び第2流出部154は、第2放熱部120に連結されるために、第2放熱部120と同一の高さに形成されることができる。
このように形成された半導体パッケージは、発熱量の多い半導体モジュールの上下部にそれぞれ冷却水が循環する放熱部を形成することで、放熱効率を向上させることができる。
図2は本発明の実施例による半導体パッケージの内部を示す例示図である。
図2を参照すれば、半導体パッケージ100は、第1放熱部110、第2放熱部120及びハウジング140を含むことができる。
第1放熱部110は多数の第1管111を含むことができる。第1管111は冷却水が通過する通路である。冷却ハウジング140の一面に形成された第1流入部151を通じて外部から第1放熱部110の内部に流入することができる。また、第1放熱部110を通過した冷却水はハウジング140の他面に形成された第1流出部152を通じて外部に流出することができる。第1管111の一側内部には第1回転体112を含むことができる。第1回転体112は第1管111の内部に位置し、冷却水が流入する一側に形成されることができる。第1管111の内部に冷却水が流入すれば、第1回転体112は冷却水の流れによって回転することができる。第1回転体112の回転により、第1管111の内部の冷却水が混合されることができる。すなわち、第1回転体112の回転により、半導体モジュール130に近接して温度が高い第1管111の上部と相対的に温度が低い第1管111の下部の冷却水が混合されることができる。このように、第1回転体112によって冷却水が混合されることにより、半導体モジュール130に近接して位置した冷却水の温度を低く維持することで、放熱効率を向上させることができる。
第2放熱部120は多数の第2管121を含むことができる。第2管121は冷却水が通過する通路である。冷却水はハウジング140の他面に形成された第2流入部153を通じて外部から第2放熱部120の内部に流入することができる。また、第2放熱部120を通過した冷却水はハウジング140の一面に形成された第2流出部154を通じて外部に流出することができる。第2管121の他側内部には第2回転体122を含むことができる。第2回転体122は第2管121の内部に位置し、冷却水が流入する他側に形成されることができる。第2管121の内部に冷却水が流入すれば、第2回転体122は冷却水の流れによって回転することができる。第2回転体122の回転により、第2管121の内部の冷却水が混合されることができる。すなわち、第2回転体122の回転により、半導体モジュール130に近接して温度が高い第2管121の下部と相対的に温度が低い第2管121の上部の冷却水が混合されることができる。このように、第2回転体122によって冷却水が混合されることで、半導体モジュール130に近接して位置した冷却水の温度を低く維持させることにより放熱効率を向上させることができる。
図3は本発明の実施例による半導体パッケージの上部断面を示す例示図である。
図3を参照すれば、半導体パッケージ100は、第1放熱部110、第2放熱部120、半導体モジュール130及びハウジング140を含むことができる。
半導体パッケージ100は、ハウジング140によって、第1放熱部110、半導体モジュール130及び第2放熱部120の順に固定されることができる。
半導体モジュール130の上部に第2放熱部120が位置することができる。
第2放熱部120は多数の第2管121を含むことができる。第2管121の内部には第2回転体122及び多数の第2溝123を含むことができる。第2管121の他側内部に第2回転体122が挿入されることができる。また、第2管121の一側内壁に螺旋状の第2溝123が形成されることができる。第2回転体122によって第2放熱部120の他側に流入した冷却水が第2回転体122によって回転することができる。このように、第2回転体122によって冷却水が回転することで、半導体モジュール130に近接して位置することにより、高温を有する冷却水と低温を有する冷却水が回転して互いに混合されることができる。高温の冷却水と低温の冷却水が混合されることにより、高温の冷却水が相対的に温度が低くなることができる。すなわち、半導体モジュール130に近接した位置の冷却水の温度が一定温度以上に高くならないので、半導体モジュール130の放熱効率を向上させることができる。
しかし、第2回転体122による冷却水の回転力は、冷却水が第2放熱部120の他側から一側に通過するにつれて次第に弱くなることができる。よって、第2放熱部120の一側の高温の冷却水と低温の冷却水がよく混合されないこともあり得る。よって、第2放熱部120の他側と一側の放熱効率に差があり得る。したがって、第2管121の一側内壁に螺旋状の第2溝123が形成されることができる。第2管121の他側に比べて回転力が弱くなった冷却水が一側に形成された螺旋状の第2溝123によって回転力が向上することができる。すなわち、第2管121の全区間にわたって冷却水の回転力が維持されることにより均一な冷却水温度を維持することができる。
半導体モジュール130の下部に位置した第1放熱部110は多数の第1管(図示せず)を含むことができる。第1管(図示せず)は図3には示されていないが、第2管121と同一の構成部を含み、それにより同等な効果を発生することができる。
図4を参照すれば、半導体パッケージの側面を示す断面図である。
図4を参照すれば、半導体パッケージ100は、ハウジング140によって、第1放熱部110、半導体モジュール130及び第2放熱部120の順に固定されることができる。
第1放熱部110は半導体モジュール130の下部に位置することができる。第1放熱部110は冷却水が通過する通路である第1管111を含むことができる。
第1管111の一側には第1回転体112が挿入されることができる。第1回転体112によって第1管111に流入した冷却水が回転力を持って他側に移動することができる。このように、冷却水が回転力を持って半導体モジュール130に近接して位置することにより、高温を有する冷却水と相対的に低温を有する冷却水が互いに混合されることができる。このような高温の冷却水と低温の冷却水が混合されることにより、半導体モジュール130に近接して位置した冷却水の温度がそれ以上高くならなく、一定温度を維持することができる。
また、第1管111の他側には第1溝113が形成されることができる。螺旋状に形成された第1溝113によって一側から他側に移動しながら減少した冷却水の回転力を向上させることができる。よって、螺旋状に形成された第1溝113によって冷却水の回転力が第1管111の一側と他側で同等に維持されることにより、第1管111の全区間の冷却水が一定温度を維持することができる。
しかし、第1放熱部110が第1回転体112及び第1溝113を含んでも、外部から流入した冷却水と第1放熱部110を通過しながら半導体モジュール130が放出する熱を吸収して外部に流出する冷却水の間に温度差が発生する。よって、冷却水が流入する第1放熱部110の一側と冷却水が流出する第1放熱部110の他側の放熱効率に差が発生することができる。
したがって、半導体モジュール130の上部に位置した第2放熱部120は第1放熱部110と対称するように形成することができる。
すなわち、冷却水は第2放熱部120の他側から流入して一側に流出することができる。
第2放熱部120は他側内部に第2回転体122が挿入されることができる。また、第2放熱部120は一側内壁に螺旋状の第2溝123が形成されることができる。
このように、第1放熱部110と第2放熱部120を対称的に形成することで、半導体モジュール130の全区間に類似した放熱効率を適用することができる。
図5は本発明の他の実施例による半導体パッケージを示す例示図である。
図5を参照すれば、半導体パッケージ100は、第1放熱部110、第2放熱部120、半導体モジュール130及びハウジング140を含むことができる。
半導体モジュール130の上部には第2放熱部120が位置することができる。
第2放熱部120は多数の第2管121を含むことができる。第2管121の内部には第2回転体122を含むことができる。第2回転体122は第2管121の内部に全区間にわたって挿入されることができる。すなわち、第2回転体122はその長さが第2管121の長さと同一に形成されることができる。このように形成された第2回転体122によって第2放熱部120の他側に流入した冷却水が第2回転体122によって回転することができる。このように、第2回転体122によって冷却水が回転することで、半導体モジュール130に近接して位置して高温を有する冷却水と低温を有する冷却水が回転することにより互いに混合されることができる。高温の冷却水と低温の冷却水が混合されることで、高温の冷却水が相対的に温度が低くなることができる。すなわち、半導体モジュール130に近接した位置の冷却水の温度が一定温度以上に高くならなくて、半導体モジュール130の放熱効率を向上させることができる。また、第2回転体122が第2管121と同一の長さに形成されることで、第2放熱部120の他側から一側まで冷却水が一定の回転力を持って通過することができる。すなわち、第2管121の全区間にわたって冷却水の回転力が維持されることにより、均一な冷却水温度を維持することができる。
半導体モジュール130の下部に位置した第1放熱部110は多数の第1管(図示せず)を含むことができる。第1管(図示せず)は図5には示されていないが、第2管121と同一の構成部を含み、それにより同一効果を発生することができる。
図6は本発明の実施例による回転体を示す例示図である。
図6を参照すれば、回転体160は中心部161及びブレード162を含むことができる。
回転体160は冷却水が通過する放熱部の管に挿入されることができる。
中心部161は円筒状に形成されることができる。中心部161は回転体160が挿入される管の長手方向に長く形成されることができる。中心部161の長さは回転体160が挿入される管の長さ以下となることができる。すなわち、回転体160は最長の管と同一長さを有するように形成されることができる。回転体160の長さは限定されるものではなく、当業者によって容易に変更可能である。中心部161は熱伝導性材で形成されることができる。また、中心部161は耐湿性材で形成されることができる。
ブレード162は中心部161の外壁に螺旋状に形成されることができる。また、ブレード162は中心部161に対して所定の角度を持つように形成されることができる。また、螺旋状ブレード162は一定のピッチを有するように形成されることができる。ブレード162は熱伝導性材で形成されることができる。また、ブレード162は耐湿性材で形成されることができる。
このように、中心部161と中心部161に螺旋状に形成された螺旋状ブレード162を含む回転体160は管に流入する冷却水によって回転可能である。流入する冷却水によって回転する回転体160によって管を通過する冷却水も回転することになる。
図7は本発明の他の実施例による回転体を示す例示図である。
図7を参照すれば、回転体170は中心部171及びブレード172を含むことができる。
回転体170は冷却水が通過する放熱部の管に挿入されることができる。
中心部171は円筒状に形成されることができる。中心部171は回転体170が挿入される管の長手方向に長く形成されることができる。中心部171の長さは回転体170が挿入される管の長さ以下となることができる。すなわち、回転体170は最大管と同一の長さを有するように形成されることができる。回転体170の長さは限定されるものではなく、当業者によって容易に変更されることができる。中心部171は熱伝導性材で形成されることができる。また、中心部171は耐湿性材で形成されることができる。
ブレード172は中心部171の外壁に螺旋状に形成されることができる。また、ブレード172は中心部171に対して所定の角度を持つように形成されることができる。また、螺旋状ブレード172は一側から他側に行くほどピッチが減少するように形成されることができる。ここで、一側は管において冷却水が流入する位置であり、他側は冷却水が流出する位置である。また、ブレード172は熱伝導性材で形成されることができる。また、ブレード172は耐湿性材で形成されることができる。このように、螺旋状ブレード172のピッチが減少するように形成されることにより、冷却水は一側から他側に移動するほどブレード172と接触する面積が増加することになる。この際、ブレード172が熱伝導性材で形成されることにより、一側から他側に移動しながら熱を吸収した冷却水がブレード172と接触する面積が増加して、ブレード172にもっと多量の熱を伝達することができる。よって、回転体170の一側と他側に位置した冷却水の温度が一定に維持されることにより、半導体モジュールの放熱効率を向上させることができる。
図8〜図10は放熱効率を実験するために形成された放熱部を示す例示図である。
図8は従来の放熱部を示す例示図である。
図8を参照すれば、従来の第3放熱部210は冷却水が通過する多数の第3管211を含むことができる。
図9は本発明の実施例による放熱部を示す例示図である。
図9を参照すれば、第4放熱部220は冷却水が通過する多数の第4管221を含むことができる。第4放熱部220は第4管221の内部に第4回転体222及び第4溝223を含むことができる。第4回転体222は冷却水が流入する第4管221の一側に形成されることができる。また、第4溝223は冷却水が流出する第4管221の他側に形成されることができる。第4溝223は第4管221の他側内壁に螺旋状に形成されることができる。
図10は本発明の他の実施例による放熱部を示す例示図である。
図10を参照すれば、第5放熱部230は冷却水が通過する多数の第5管231を含むことができる。第5放熱部230は第5管231の内部に第5回転体232を含むことができる。第5回転体232は第5管231の全区間にわたって形成されることができる。例えば、第5回転体232は第5管231と同一長さを有するように形成されることができる。
このように形成された図8〜図10の放熱部に同一圧力で冷却水が流入するようにした。ここで、冷却水の温度は27度である。この際、図8〜図10の放熱部にそれぞれ加わる熱流速(Heat Flux)は90KW/mであり、熱圧力は5Paで、同一である。ここで、熱流速は単位時間当たり単位面積を通じて移動する熱エネルギーの量に定義できる。
図11〜図13は放熱部による放熱効率の実験結果を示す例示図である。
図11は従来の放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。
図11は従来の放熱部である図8を対象として遂行した放熱効率の実験結果を示す。図11に示す実験結果において、従来の放熱部である第3放熱部(図8の210)に流入した冷却水の最高温度は約96度であることを確認することができる。
参考として、放熱効率の実験結果の温度を確認するための温度凡例は絶対温度を示すもので、温度範囲は3.00e+02K〜3.69e+02Kであることを確認することができる。ここで、e+10は10である。すなわち、3.00e+02Kは300Kとなり、3.69e+02Kは369Kである。すなわち、攝氏温度で示して、凡例の温度範囲は27度〜96度であることを確認することができる。このような凡例の温度分布は図12及び図13にも同様に適用できる。
図12は本発明の実施例による放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。
図12は本発明の実施例による放熱部である図9を対象として遂行した放熱効率の実験結果を示す。図12に示す実験結果において、本発明の実施例の放熱部である第4放熱部(図9の220)に流入した冷却水の最高温度は約69度であることを確認することができる。
図13は本発明の他の実施例による放熱部の放熱効率の実験結果を示す例示図である。
図13は本発明の他の実施例による放熱部である図10を対象として遂行した放熱効率の実験結果を示す。図13に示す実験結果において、本発明の他の実施例の放熱部である第5放熱部(図10は230)に流入した冷却水の最高温度は約65度であることを確認することができる。
このような図11〜図13の実験結果から、本発明の実施例による第4放熱部(図9の220)は従来の放熱部である第3放熱部(図8の210)に比べて冷却水の温度が28%減少することが分かる。また、本発明の他の実施例による第5放熱部(図10の230)は従来の放熱部である第3放熱部(図8の210)に比べて冷却水の温度が32%減少することが分かる。このように、本発明の実施例による放熱部は内部に流れる冷却水の温度が低く維持されることから、従来の放熱部に比べて放熱部の放熱効率が向上することを確認することができる。
このように形成された本発明の実施例による半導体パッケージには、放熱部が半導体モジュールの上下部にそれぞれ形成されるので、放熱効率が向上することができる。また、半導体パッケージは放熱部に含まれた冷却水の温度を一定に維持することで、放熱効率が向上することができる。
以上、本発明を具体的な実施例に基づいて詳細に説明したが、これは本発明を具体的に説明するためのもので、本発明による半導体パッケージはこれに限定されなく、本発明の技術的思想内で当該分野の通常の知識を持つ者によって多様な変形及び改良が可能であろう。本発明の単純な変形ないし変更はいずれも本発明の範疇内に属するもので、本発明の具体的な保護範囲は特許請求範囲によって明らかに決まるであろう。
本発明は、放熱効果が向上した半導体パッケージに適用可能である。
100 半導体パッケージ
110 第1放熱部
120 第2放熱部
130 半導体モジュール
140 ハウジング
111 第1管
112 第1回転体
113 第1溝
121 第2管
122 第2回転体
123 第2溝
151 第1流入部
152 第1流出部
153 第2流入部
154 第2流出部
160、170 回転体
161、171 中心部
152、172 ブレード
210 第3放熱部
211 第3管
220 第4放熱部
221 第4管
222 第4回転体
223 第4溝
230 第5放熱部
231 第5管
232 第5回転体

Claims (17)

  1. 半導体素子を含む半導体モジュール;
    前記半導体モジュールの下部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第1管を含み、前記第1管の内部に挿入されて回転する第1回転体を含む第1放熱部;
    前記半導体モジュールの上部に形成され、冷却水が通過する一つ以上の第2管を含み、前記第2管の内部に挿入されて回転する第2回転体を含む第2放熱部;及び
    前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部の両側面に形成され、前記半導体モジュール、前記第1放熱部及び前記第2放熱部を固定するハウジング;
    を含むことを特徴とする、半導体パッケージ。
  2. 前記ハウジングの一面に形成され、
    冷却水が外部から前記第1放熱部に流入する第1流入部;及び
    前記第2放熱部で使用された冷却水が外部に流出する第2流出部;
    をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  3. 前記ハウジングの他面に形成され、
    前記第1放熱部で使用された冷却水が外部に流出する第1流出部;及び
    冷却水が外部から前記第2放熱部に流入する第2流入部;
    をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  4. 前記第1回転体は前記第1管の一側内部に挿入されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  5. 前記第1管は他側内壁に螺旋状の第1溝をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  6. 前記第1回転体は前記第1管の長さに対応する長さを有するように形成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  7. 前記第1回転体は、
    円筒状の中心部;及び
    前記中心部の外壁を螺旋状に取り囲むブレード;
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  8. 前記螺旋状ブレードは一定のピッチを有するように形成されたことを特徴とする、請求項7に記載の半導体パッケージ。
  9. 前記螺旋状ブレードは前記中心部の一側から他側に行くほどピッチが減少するように形成されることを特徴とする、請求項7に記載の半導体パッケージ。
  10. 前記第1回転体は熱伝導性材で形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  11. 前記第2回転体は前記第2管の他側内部に挿入されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  12. 前記第2管は一側内壁に螺旋状の第2溝をさらに含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  13. 前記第2回転体は前記第2管の長さに対応する長さを有するように形成されたことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  14. 前記第2回転体は、
    円筒状の中心部;及び
    前記中心部の外壁を螺旋状に取り囲むブレード;
    を含むことを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
  15. 前記ブレードは一定のピッチを有するように形成されたことを特徴とする、請求項14に記載の半導体パッケージ。
  16. 前記ブレードは前記中心部の一側から他側に行くほどピッチが減少するように形成されることを特徴とする、請求項14に記載の半導体パッケージ。
  17. 前記第2回転体は熱伝導性材で形成されることを特徴とする、請求項1に記載の半導体パッケージ。
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