JP2013125831A - 半導体装置の製造方法及び半導体装置 - Google Patents
半導体装置の製造方法及び半導体装置 Download PDFInfo
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Abstract
【解決手段】基板1に絶縁リング用環状溝およびアライメントマーク用溝を形成するために、フォトレジスト膜9に、絶縁リング用環状溝パターン91およびアライメントマーク用溝パターン92を現像する際、ラインセンサーで検出できる程の解像パターンをフォトレジスト膜9上に形成しつつ、かつ、フォトレジスト膜9の底部では露光不足が生じ、現像を経てもパターンの底部にレジストが残る程度の露光状態とする。これにより、絶縁リング用環状溝は、基板1が基板裏面側から削られた結果、貫通孔になるのに対し、アライメントマーク用溝は、削られても貫通孔とならないような浅い溝として形成される。
【選択図】図4
Description
なお、以下の説明で用いる図面は、特徴をわかりやすくするために、便宜上特徴となる部分を拡大して示している場合があり、各構成要素の寸法比率などが実際と同じであるとは限らない。また、以下の説明において例示される材料、寸法等は一例であって、本発明はそれらに必ずしも限定されるものではなく、その要旨を変更しない範囲で適宜変更して実施することが可能である。
そこで、まず、基板と絶縁リング形成用のフォトレジスト膜との重ね合わせチェックを伴うための、基板への絶縁リング用環状溝(環状トレンチ)およびアライメントマーク用溝の形成と、それによる絶縁リングおよびアライメントマークの形成の概要について説明する。
以下、本発明の半導体装置製造方法およびその方法により製造された半導体装置の第1実施形態について具体的に詳細に説明する。
次に、本発明の第2実施形態における半導体装置製造方法について説明する。
図12〜図14は、本発明の第2実施形態における半導体装置製造方法を説明するための図であり、それぞれ、第1実施形態についての図4、図6、図8に対応する図である。なお、第1実施形態の半導体装置製造方法と同様の工程部分については、その説明を省略する。
11・・・STI
2・・・層間絶縁膜
21・・・半導体素子
3・・・表面バンプ電極
31・・・保護膜
32・・・シード層
4・・・パッシベーション膜
51・・・基準マーク
52・・・アライメントマーク
6・・・絶縁膜
62・・・絶縁リング
7・・・貫通電極
71・・・シード層
8・・・裏面バンプ電極
81・・・はんだ
9・・・フォトレジスト膜
91・・・絶縁リング用溝パターン
92,92B・・・アライメントマーク用溝パターン
500・・・半導体装置
TH・・・TSV用貫通孔
CT・・・絶縁リング用環状溝
MT・・・アライメントマーク用溝
Claims (20)
- 基板の第1の主面に基準パターンを形成する工程と、
前記基板の第1の主面に第1のフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第1のフォトレジスト膜に第1の溝パターンと第2の溝パターンとを同時に現像する工程であって、前記第1の溝パターンの底部では前記基板の第1の主面が露出され、前記第2の溝パターンの底部では前記基板の第1の主面を覆う前記第1のフォトレジスト膜が残るように、前記第1のフォトレジスト膜に前記第1および第2の溝パターンを現像する工程と、
前記基板の前記基準パターンの位置と、前記フォトレジスト膜の前記第2の溝パターンの位置とを検出する工程と、
前記基板の第1の主面に、前記第1の溝パターンに対応する第1の溝を形成するために、前記第1のフォトレジスト膜をエッチングマスクとして前記基板の第1の主面にエッチングを施す工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記基板の第1の主面にエッチングを施す工程では、前記基板の第1の主面に、前記第2の溝パターンに対応し、前記第1の溝よりも浅い第2の溝を同時に形成することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のフォトレジスト膜に前記第1の溝パターンと前記第2の溝パターンとを同時に現像する工程では、前記第1の溝パターンよりも線幅の細い前記第2の溝パターンとなるように現像することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の溝パターンに対応する露光マスクパターンを有するレチクルを介して、前記フォトレジスト膜に露光光を照射することにより、所望の線幅以下の第2の溝パターンを形成するものであって、前記第2の溝パターンに対応する露光マスクパターンの線幅は、前記露光光の波長の0.5倍以上、1.5倍以下であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光光の波長を365nmとし、前記露光マスクパターンの線幅を0.2μm以上、0.8μm以下とすることを特徴とする請求項4に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1の溝および前記第2の溝に、絶縁膜を埋め込む工程を更に備えたことを特徴とする請求項2に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第2の溝の深さは、前記絶縁膜の埋設不良が生じないような浅さであることを特徴とする請求項6に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記絶縁膜を埋め込む工程の後、少なくともWET処理を行う工程を更に備え、そのWET処理の際に、薬液が染み込まない程度に前記絶縁膜が埋設されることを特徴とする請求項7に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記検出する工程において、ラインセンサーを用いて、前記基板の前記基準パターンの位置と、前記フォトレジスト膜の前記第2の溝パターンの位置とを検出することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の第1の主面を平面視したときの前記第1の溝の形状は、環状であることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の第1の主面の裏面たる第2の主面の、前記第1の溝の環の内側に、前記基板を貫通する貫通電極を形成する工程を更に備えることを特徴とする請求項10に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記基板の第1の主面を平面視したときの前記基準パターンおよび前記第2の溝パターンの形状は、4辺からなる四角形状であり、各辺の長さは、前記基準パターンの方が前記第2の溝パターンよりも長く、前記基板の第1の主面を平面視したときの前記第2の溝パターンの位置は、前記基準パターンの四角形状に内包されることを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。
- 基板の第1の主面に基準パターンを形成する工程と、
前記基板の第1の主面に第1のフォトレジスト膜を形成する工程と、
前記第1のフォトレジスト膜に、第1の溝パターンと、前記第1の溝パターンよりも線幅が小さい第2の溝パターンとを同時に現像する工程と、
前記基板の前記基準パターンの位置と、前記フォトレジスト膜の前記第2の溝パターンの位置とを検出する工程と、
前記基板の第1の主面に、前記第1の溝パターンに対応する第1の溝を形成するために、前記第1のフォトレジスト膜をエッチングマスクとして前記基板の第1の主面にエッチングを施す工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記第1のフォトレジスト膜に前記第1の溝パターンと前記第2の溝パターンとを同時に現像する工程では、前記基板の第1の主面にエッチングを施す工程において、前記基板の第1の主面に、前記第2の溝パターンに対応する溝が同時に形成されないか、前記第1の溝よりも浅い第2の溝が同時に形成されるような、前記第2の溝パターンの前記線幅となるように現像することを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記第1のフォトレジスト膜に前記第1の溝パターンと前記第2の溝パターンとを同時に現像する工程では、前記第1の溝パターンの底部では前記基板の第1の主面が露出され、前記第2の溝パターンの底部では前記基板の第1の主面を覆う前記第1のフォトレジスト膜が残るように現像することを特徴とする請求項13に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記露光マスクパターンの線幅を0.2μm以上、0.5μm未満とすることにより、前記エッチングの工程において、前記第1の溝のみを形成することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 少なくとも半導体基板を含み、複数のチップ領域と、それらを取り囲むように形成されたスクライブ領域とで構成された半導体装置であって、
前記基板における各チップ領域に、絶縁膜が埋設された、前記半導体装置の第1の面からその裏面の第2の面に渡った第1の溝と、
前記基板の前記第1の面における前記スクライブ領域に、前記絶縁膜が埋設された第2の溝と、を備えることを特徴とする半導体装置。 - 前記第2の溝の深さは、前記絶縁膜の埋設不良が生じないような浅さであることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。
- 前記基板の第1の主面を平面視したときの前記第1の溝の形状は、環状であることを特徴とする請求項17に記載の半導体装置。
- 前記基板の第1の主面の裏面たる第2の主面の、前記第1の溝の環の内側に、前記基板を貫通する貫通電極を更に備えることを特徴とする請求項19に記載の半導体装置。
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JP2011273306A JP2013125831A (ja) | 2011-12-14 | 2011-12-14 | 半導体装置の製造方法及び半導体装置 |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016213349A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 貫通電極及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 |
JPWO2017010311A1 (ja) * | 2015-07-16 | 2018-04-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、製造方法、および電子機器 |
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2011
- 2011-12-14 JP JP2011273306A patent/JP2013125831A/ja active Pending
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JP2016213349A (ja) * | 2015-05-11 | 2016-12-15 | 国立研究開発法人産業技術総合研究所 | 貫通電極及びその製造方法、並びに半導体装置及びその製造方法 |
JPWO2017010311A1 (ja) * | 2015-07-16 | 2018-04-26 | ソニーセミコンダクタソリューションズ株式会社 | 固体撮像素子、製造方法、および電子機器 |
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