JP2013123781A - 加工廃液処理装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】シリコン微粒子が混入された加工廃液をシリコン微粒子と清水に分離する加工廃液処理装置であって、加工廃液を処理するための廃液処理槽と、廃液処理槽に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構を具備し、廃液処理槽は長手方向の一方の端壁に加工廃液流入口が設けられているとともに他方の端壁に清水流出口が設けられており、シリコン分離機構は廃液処理槽に長手方向に沿って互に平行に間隔をおいて配設された複数の陰極板と、複数の陰極板と対面して配設された複数の陽極板を備えた陽極板ユニットとからなり、陽極板ユニットが着脱可能に構成されている。
【選択図】図2
Description
また、研削屑としてのシリコン微粒子はフィルターに捕捉されるので、フィルターからシリコン微粒子を回収してシリコンインゴットを再生することも可能であるが、フィルターに浸透したシリコン微粒子を効率よく回収することは困難である。
加工廃液を処理するための廃液処理槽と、該廃液処理槽に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構を具備し、
該廃液処理槽は、長手方向の一方の端壁に加工廃液流入口が設けられているとともに、他方の端壁に清水流出口が設けられており、
該シリコン分離機構は、該廃液処理槽に長手方向に沿って互に平行に間隔をおいて配設されマイナスに帯電される複数の陰極板と、該複数の陰極板と対面して配設されプラスに帯電される複数の陽極板を備えた陽極板ユニットとからなり、該陽極板ユニットが着脱可能に構成されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置が提供される。
図示の実施形態における加工廃液処理装置1は、加工廃液を処理するための廃液処理槽2と、該廃液処理槽2に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構3を具備している。廃液処理槽2は、図2に示すように幅方向に対して長さ方向が大きい底壁21と、底壁21の幅方向両側縁から立設された側壁22、23と、底壁21の長手方向両側縁から立設された端壁24、25によって形成され上側が解放されている。廃液処理槽2を構成する一方の端壁24の下部に加工廃液流入口241が設けられており、他方の端壁25の上部に清水流出口251が設けられている。このように構成された廃液処理槽2は、合成樹脂等の絶縁部材によって形成されている。なお、底壁21と端壁24、25はそれぞれ中央部が外方に向けて突出して形成されており、廃液処理槽2の両端部にそれぞれ液溜め部を形成する。
図示しない研削装置等の加工装置に装備される加工廃液送出手段から送られ図示しない廃液タンクに収容された加工廃液は、廃液処理槽2の一方の端壁24に設けられた加工廃液流入口241から廃液処理槽2に供給される。このようにして廃液処理槽2に送られた加工廃液にはシリコン微粒子が混入されており、このシリコン微粒子はマイナス(−)に帯電されている。このようにして廃液処理槽2に収容された加工廃液に混入されているシリコン微粒子を分離するには、シリコン分離機構3を構成する陽極板ユニット32の複数の陽極板322に直流電源4のプラス(+)を印可するとともに、陰極ユニット31の複数の陰極板312に直流電源4のマイナス(−)を印可する。この結果、加工廃液に混入されマイナス(−)に帯電されているシリコン微粒子は、マイナス(−)に帯電された陰極ユニット31の複数の陰極板312から反発されプラス(+)に帯電された陽極板ユニット32の複数の陽極板322に吸着する。
2:廃液処理槽
241:加工廃液流入口
251:清水流出口
3:シリコン分離機構
31:陰極ユニット
311:支持板
312:複数の陰極板
313:電極端子
32:陽極板ユニット
321:支持板
322:複数の陽極板
323:把手
324:電極端子
4:直流電源
5:シリコン回収装置
51:シリコン回収箱
52:シリコン剥離手段
Claims (2)
- シリコン微粒子が混入された加工廃液をシリコン微粒子と清水に分離する加工廃液処理装置において、
加工廃液を処理するための廃液処理槽と、該廃液処理槽に収容された加工廃液からシリコン微粒子を分離するシリコン分離機構を具備し、
該廃液処理槽は、長手方向の一方の端壁に加工廃液流入口が設けられているとともに、他方の端壁に清水流出口が設けられており、
該シリコン分離機構は、該廃液処理槽に長手方向に沿って互に平行に間隔をおいて配設された複数の陰極板と、該複数の陰極板と対面して配設された複数の陽極板を備えた陽極板ユニットとからなり、該陽極板ユニットが着脱可能に構成されている、
ことを特徴とする加工廃液処理装置。 - 該陽極板ユニットは、長手方向に沿って複数に分割して構成されている、請求項1記載の加工廃液処理装置。
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