JP2013122487A5 - - Google Patents

Download PDF

Info

Publication number
JP2013122487A5
JP2013122487A5 JP2011270088A JP2011270088A JP2013122487A5 JP 2013122487 A5 JP2013122487 A5 JP 2013122487A5 JP 2011270088 A JP2011270088 A JP 2011270088A JP 2011270088 A JP2011270088 A JP 2011270088A JP 2013122487 A5 JP2013122487 A5 JP 2013122487A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
etching
scraping
metal
silicon substrate
silicon
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP2011270088A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP2013122487A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP2011270088A priority Critical patent/JP2013122487A/ja
Priority claimed from JP2011270088A external-priority patent/JP2013122487A/ja
Publication of JP2013122487A publication Critical patent/JP2013122487A/ja
Publication of JP2013122487A5 publication Critical patent/JP2013122487A5/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

JP2011270088A 2011-12-09 2011-12-09 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置 Pending JP2013122487A (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011270088A JP2013122487A (ja) 2011-12-09 2011-12-09 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2011270088A JP2013122487A (ja) 2011-12-09 2011-12-09 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2013122487A JP2013122487A (ja) 2013-06-20
JP2013122487A5 true JP2013122487A5 (enExample) 2014-07-17

Family

ID=48774487

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011270088A Pending JP2013122487A (ja) 2011-12-09 2011-12-09 金属格子の製造方法、金属格子およびx線撮像装置

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP2013122487A (enExample)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP6187008B2 (ja) * 2013-08-07 2017-08-30 大日本印刷株式会社 金属充填構造体の製造方法及び金属充填構造体
JP6667215B2 (ja) 2014-07-24 2020-03-18 キヤノン株式会社 X線遮蔽格子、構造体、トールボット干渉計、x線遮蔽格子の製造方法
KR101678596B1 (ko) 2015-07-01 2016-11-23 이비테크(주) 엑스선회절격자 선택형 위상차 엑스선 영상장치
JP2017041539A (ja) * 2015-08-20 2017-02-23 大日本印刷株式会社 金属充填構造体及びその製造方法
JP2017116475A (ja) * 2015-12-25 2017-06-29 キヤノン株式会社 X線遮蔽格子、該x線遮蔽格子の製造方法及び該x線遮蔽格子を備えるx線トールボット干渉計
US10732132B2 (en) 2016-03-14 2020-08-04 Shimadzu Corporation Radiation phase contrast imaging device
KR101832988B1 (ko) * 2016-08-04 2018-02-28 주식회사 티지오테크 모판, 모판의 제조 방법, 및 마스크의 제조 방법
KR101871956B1 (ko) * 2016-11-28 2018-07-02 주식회사 티지오테크 모판, 모판의 제조 방법, 및 마스크의 제조 방법

Family Cites Families (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6243133A (ja) * 1985-08-20 1987-02-25 Mitsubishi Electric Corp 半導体装置の製造方法
JP3950488B2 (ja) * 1995-06-16 2007-08-01 日本航空電子工業株式会社 アンダーエッチング補正方法及びアンダーエッチング補正マスク
JP4469194B2 (ja) * 2004-03-12 2010-05-26 セイコーインスツル株式会社 電鋳用型、電鋳方法、及びその電鋳用型の製造方法
JP5420923B2 (ja) * 2009-02-10 2014-02-19 株式会社ナノクリエート X線タルボ回折格子の製造方法
JP5773624B2 (ja) * 2010-01-08 2015-09-02 キヤノン株式会社 微細構造体の製造方法
JP5627247B2 (ja) * 2010-02-10 2014-11-19 キヤノン株式会社 マイクロ構造体の製造方法および放射線吸収格子

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP2013122487A5 (enExample)
JP5773624B2 (ja) 微細構造体の製造方法
JP2014006194A5 (enExample)
CN109920577B (zh) 结构体、其制造方法和塔尔博干涉仪
JP5627247B2 (ja) マイクロ構造体の製造方法および放射線吸収格子
JP6169328B2 (ja) グラフェン構造体及びその製造方法、並びにグラフェン素子及びその製造方法
EP4361312A3 (en) Atomic layer deposition process for fabricating dielectric metasurfaces for wavelengths in the visible spectrum
JPWO2012086121A1 (ja) 金属格子の製造方法ならびに該製造方法によって製造された金属格子およびこの金属格子を用いたx線撮像装置
CN106094445B (zh) 大高宽比纳米级金属结构的制作方法
JP2016033979A5 (enExample)
JP2009218574A5 (enExample)
EP2646602B1 (en) Method of manufacturing an x-ray diffraction grating microstructure for imaging apparatus
JP2016066793A5 (enExample)
JP2016035967A5 (enExample)
JP2016510515A5 (enExample)
JP6149343B2 (ja) 格子および格子ユニットならびにx線用撮像装置
JP2022507133A (ja) 構造化格子コンポーネント、撮像システム及び製造方法
JP2014150211A5 (enExample)
JP2015154054A5 (enExample)
US9263162B2 (en) Method for manufacturing microstructure
JP6016337B2 (ja) X線遮蔽格子の製造方法
JP2016154203A5 (enExample)
TWI794527B (zh) 包含由微結構控制物理性質之裝置及其製造方法
TWI532123B (zh) 記憶裝置及記憶裝置結構的製備方法
JP5073879B1 (ja) 多段転写金型の製造方法、その多段転写金型、及びそれによる部品