JP2013110440A - 電極ユニット及び基板処理装置 - Google Patents
電極ユニット及び基板処理装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013110440A JP2013110440A JP2013047765A JP2013047765A JP2013110440A JP 2013110440 A JP2013110440 A JP 2013110440A JP 2013047765 A JP2013047765 A JP 2013047765A JP 2013047765 A JP2013047765 A JP 2013047765A JP 2013110440 A JP2013110440 A JP 2013110440A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- heat transfer
- electrode
- electrode layer
- cooling
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Images
Abstract
【解決手段】プラズマエッチングを基板に施す処理室17を備える基板処理装置10は、半導体ウエハWを載置し、且つ処理室17内に高周波電圧を印加するサセプタ12と対向するように配置されている上部電極ユニットとしてのシャワーヘッド29を備え、該シャワーヘッド29は、処理室17側から順に配置された、電極層32、加熱層33及び冷却層34を有し、加熱層33は電極層32を全面的に覆うとともに、冷却層34は加熱層33を介して電極層32を全面的に覆い、加熱層33及び冷却層34の間には伝熱シートが配置される。
【選択図】図2
Description
によって冷却されたサセプタ12は静電チャック22を介してウエハW及びフォーカスリング24を冷却する。
10 基板処理装置
11 チャンバ
12 サセプタ
17 処理室
19,31 高周波電源
29 シャワーヘッド
32 電極層
33 加熱層
34 冷却層
36 伝熱層
Claims (4)
- プラズマによって基板を処理する処理室を備える基板処理装置に配置された電極ユニットであって、
前記処理室側から順に隣接して配置された、電極層、加熱層及び冷却層を有し、
前記加熱層は前記電極層を全面的に覆うとともに、前記冷却層は前記加熱層を介して前記電極層を全面的に覆い、前記加熱層及び前記冷却層の間には伝熱シートが配置されることを特徴とする電極ユニット。 - 前記伝熱シートは、前記電極層の周縁部以外を覆うように形成されることを特徴とする請求項1記載の電極ユニット。
- プラズマによって基板を処理する処理室と、電極ユニットとを備え、
該電極ユニットは、前記処理室側から順に隣接して配置された、電極層、加熱層及び冷却層を有し、
前記加熱層は前記電極層を全面的に覆うとともに、前記冷却層は前記加熱層を介して前記電極層を全面的に覆い、前記加熱層及び前記冷却層の間には伝熱シートが配置されることを特徴とする基板処理装置。 - 前記伝熱シートは、前記電極層の周縁部以外を覆うように形成されることを特徴とする請求項3記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013047765A JP2013110440A (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | 電極ユニット及び基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013047765A JP2013110440A (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | 電極ユニット及び基板処理装置 |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2008054621A Division JP5224855B2 (ja) | 2008-03-05 | 2008-03-05 | 電極ユニット、基板処理装置及び電極ユニットの温度制御方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013110440A true JP2013110440A (ja) | 2013-06-06 |
Family
ID=48706844
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013047765A Pending JP2013110440A (ja) | 2013-03-11 | 2013-03-11 | 電極ユニット及び基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2013110440A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113097097A (zh) * | 2019-12-23 | 2021-07-09 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体刻蚀装置及其工作方法 |
Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000299288A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2001068538A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Tokyo Electron Ltd | 電極構造、載置台構造、プラズマ処理装置及び処理装置 |
JP2003158120A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-05-30 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
JP2004342704A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Tokyo Electron Ltd | 上部電極及びプラズマ処理装置 |
JP2007535817A (ja) * | 2004-04-30 | 2007-12-06 | ラム リサーチ コーポレーション | シャワーヘッド電極及びヒータを備えるプラズマ処理用の装置 |
JP2008001923A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、ガス供給装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2010541239A (ja) * | 2007-09-25 | 2010-12-24 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ処理装置のためのシャワーヘッド電極アセンブリ用温度制御モジュール |
-
2013
- 2013-03-11 JP JP2013047765A patent/JP2013110440A/ja active Pending
Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000299288A (ja) * | 1999-04-15 | 2000-10-24 | Tokyo Electron Ltd | プラズマ処理装置 |
JP2001068538A (ja) * | 1999-06-21 | 2001-03-16 | Tokyo Electron Ltd | 電極構造、載置台構造、プラズマ処理装置及び処理装置 |
JP2003158120A (ja) * | 2001-09-10 | 2003-05-30 | Anelva Corp | 表面処理装置 |
JP2004342704A (ja) * | 2003-05-13 | 2004-12-02 | Tokyo Electron Ltd | 上部電極及びプラズマ処理装置 |
JP2007535817A (ja) * | 2004-04-30 | 2007-12-06 | ラム リサーチ コーポレーション | シャワーヘッド電極及びヒータを備えるプラズマ処理用の装置 |
JP2008001923A (ja) * | 2006-06-20 | 2008-01-10 | Tokyo Electron Ltd | 成膜装置、ガス供給装置、成膜方法及び記憶媒体 |
JP2010541239A (ja) * | 2007-09-25 | 2010-12-24 | ラム リサーチ コーポレーション | プラズマ処理装置のためのシャワーヘッド電極アセンブリ用温度制御モジュール |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN113097097A (zh) * | 2019-12-23 | 2021-07-09 | 中微半导体设备(上海)股份有限公司 | 等离子体刻蚀装置及其工作方法 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5224855B2 (ja) | 電極ユニット、基板処理装置及び電極ユニットの温度制御方法 | |
JP5035884B2 (ja) | 熱伝導シート及びこれを用いた被処理基板の載置装置 | |
JP4935143B2 (ja) | 載置台及び真空処理装置 | |
JP6552346B2 (ja) | 基板処理装置 | |
JP5762798B2 (ja) | 天井電極板及び基板処理載置 | |
US20100122774A1 (en) | Substrate mounting table and substrate processing apparatus having same | |
TWI475610B (zh) | Electrode construction and substrate processing device | |
US7619179B2 (en) | Electrode for generating plasma and plasma processing apparatus using same | |
JP5993568B2 (ja) | 基板載置システム、基板処理装置、静電チャック及び基板冷却方法 | |
JP2008177493A (ja) | 基板処理装置及びフォーカスリング | |
US8524005B2 (en) | Heat-transfer structure and substrate processing apparatus | |
JP2016039344A (ja) | プラズマ処理装置及びフォーカスリング | |
KR100861261B1 (ko) | 전열 구조체 및 기판 처리 장치 | |
US20120037314A1 (en) | Substrate processing apparatus and side wall component | |
JP2008251742A (ja) | 基板処理装置及びフォーカスリングを載置する基板載置台 | |
TW201030797A (en) | Plasma processing apparatus and constituent part thereof | |
JP2007123796A (ja) | プラズマ処理室用構造物、プラズマ処理室、及びプラズマ処理装置 | |
JP2019160816A (ja) | プラズマ処理方法及びプラズマ処理装置 | |
JP5503503B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP5336968B2 (ja) | プラズマ処理装置用電極及びプラズマ処理装置 | |
JP2004014752A (ja) | 静電チャック、被処理体載置台およびプラズマ処理装置 | |
JP4456218B2 (ja) | プラズマ処理装置 | |
JP2013110440A (ja) | 電極ユニット及び基板処理装置 | |
JP2004006813A (ja) | 静電吸着ホルダー及び基板処理装置 | |
JP6541355B2 (ja) | 冷却構造及び平行平板エッチング装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130311 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140408 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20140609 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20141125 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20150119 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20150707 |