JP2013104370A - 真空ポンプ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本発明は、排気機能部が形成されたロータをボールベアリング8と永久磁石式磁気軸受とで支持し、ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプに適用される。そして、ボールベアリング8の外輪81を軸方向から挟持し、該外輪81を径方向に移動可能に保持する保持機構42,44,45と、外輪81の外周側に設けられた弾性部材46と、を備えている。弾性部材46は外輪81の外周に接触または近接するように設けられ、近接して設けた場合には、弾性部材46と外輪81との隙間47にオイルやグリスが注入される。弾性部材46に外輪81が当接して変形することにより振動が抑制され、さらに隙間47にオイルやグリスが注入することで制震効果の更なる向上を図ることができる。
【選択図】図3
Description
請求項2の本発明は、請求項1に記載の真空ポンプにおいて、弾性部材は、隙間を介して外輪の外周を囲むように設けられたリング状の弾性部材であって、少なくとも隙間にオイルまたはグリスが注入されていることを特徴とする。
請求項3の本発明は、請求項2に記載の真空ポンプにおいて、弾性部材の外周とハウジングとの間に形成された外周側隙間と、外周側隙間に注入されたオイルまたはグリスと、を備えたことを特徴とする。
請求項4の本発明は、請求項1に記載の真空ポンプにおいて、弾性部材は、外輪の外周面軸方向中央に接触するように設けられ、該外輪の外周面とハウジングとの間に隙間が形成されるように配置されたリング状の弾性部材であって、少なくとも隙間にオイルまたはグリスが注入されていることを特徴とする。
請求項5の本発明は、請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、弾性部材を金属で形成したことを特徴とする。
請求項6の本発明は、請求項1乃至5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、保持機構は、外輪の軸方向両端に配設される一対の押さえ板と、一対の押さえ板の各々とハウジングとの間に配設された弾性的支持部材と、を有することを特徴とする。
図3は、上述した実施形態の第1の変形例を示す図である。なお、図2に示した構成要素と同一部分には同一の符号を付し、以下では異なる部分を中心に説明する。上述した実施の形態では、図2に示したように、弾性部材41はベアリング8の外輪81に常時接触するように構成されている。一方、図3に示す第1変形例では、弾性部材46と外輪81との間に僅かな隙間47が形成されており、その隙間47にはオイルフィルムダンパとして機能するオイルが注入されている。この場合、オイルは少なくとも隙間47に注入されていることが必要であるが、弾性部材46の上部の隙間にもオイルが注入されていても構わない。
図4は、上述した実施形態の第2の変形例を示す図である。図3に示した変形例1では、弾性部材46と外輪との間に隙間47を形成したが、図4に示す変形例では、弾性部材49の内径を外輪81との間に隙間47が形成されるような寸法とすると共に、弾性部材49とハウジング22との間にも隙間48が形成されるように弾性部材49の外径寸法を設定している。各隙間にはオイルが注入されている。
図5は、上述した実施形態の第3の変形例を示す図である。変形例3では、ボールベアリング8の外輪81のほぼ軸方向中央に接するようにリング状の弾性部材50を設け、その弾性部材50の軸方向両側に隙間51を形成し、その隙間51にオイルフィルムダンパとして機能するオイルを注入している。この場合、弾性部材50と隙間51のオイルとが同時にダンパとして機能する。なお、特許文献1に記載の構造と同じように弾性部材50がボールベアリング8の外輪81の軸方向中央に配置されているが、隙間51にオイルが注入されておりダンパとして機能しているため、ベアリングの傾きを防止することが可能である。
図6は第4の変形例を説明する図である。図2〜図5ではベアリング8の外周側にOリングのような弾性部材41を配置したが、弾性部材の材料はゴム材や弾性的樹脂などに限らず、例えば金属であっても構わない。図6(a)は金属弾性部材52の一例を示したものであり、金属の波板をリング状に形成したものである。二点差線で示したリング状部材は図2に示した弾性部材41を金属弾性部材52に重ねて示したものである。
Claims (6)
- 排気機能部が形成されたロータをボールベアリングと永久磁石式磁気軸受とで支持し、前記ロータをモータにより高速回転させて真空排気する真空ポンプにおいて、
前記ボールベアリングの外輪を軸方向から挟持し、該外輪を径方向に移動可能に保持する保持機構と、
ポンプベースに形成され、前記保持機構が収納されるハウジングと、
前記ハウジング内において、前記外輪の外周側に接触または近接して設けられた弾性部材と、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記弾性部材は、隙間を介して前記外輪の外周を囲むように設けられたリング状の弾性部材であって、
少なくとも前記隙間にオイルまたはグリスが注入されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項2に記載の真空ポンプにおいて、
前記弾性部材の外周と前記ハウジングとの間に形成された外周側隙間と、
前記外周側隙間に注入されたオイルまたはグリスと、を備えたことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1に記載の真空ポンプにおいて、
前記弾性部材は、前記外輪の外周面軸方向中央に接触するように設けられ、該外輪の外周面と前記ハウジングとの間に隙間が形成されるように配置されたリング状の弾性部材であって、
少なくとも前記隙間にオイルまたはグリスが注入されていることを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1乃至4のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記弾性部材を金属で形成したことを特徴とする真空ポンプ。 - 請求項1乃至5のいずれか一項に記載の真空ポンプにおいて、
前記保持機構は、
前記外輪の軸方向両端に配設される一対の押さえ板と、
前記一対の押さえ板の各々と前記ハウジングとの間に配設された弾性的支持部材と、を有することを特徴とする真空ポンプ。
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