JP2013099828A5 - - Google Patents

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一方、研磨テーブル１の回転方向において下流側にある気体噴射ノズル２４と気体方向調整板３６とは、研磨テーブル１の回転方向にエアを噴射してエアの流れを制御するようになっている。気体方向調整板３６の気体案内角度（θ３）を調整することにより、エアの流れの方向を研磨テーブル１の内側に向け、研磨パッド２の外周側に向かって流れるスラリーを研磨パッド２の中心側に向かって流れるように制御し、これにより、スラリーが研磨パッド２上に残るようにする。その結果、図１８に示す領域Ａから排出されるスラリーをなくすか又はできるだけ少なくすることができる。このように、気体噴射ノズル２４から噴射される冷却エアの風向きを調整して古いスラリーを速やかに排出するとともに供給側の新しいスラリーが研磨パッド２から流れ落ちないようにすることで、スラリーの消費量を飛躍的に削減できる。
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