JP2013098324A - シート貼付装置及び貼付方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】接着シートASを支持する第1支持手段11と、接着シートに相対する位置で被着体WKを支持する第2支持手段16と、これらを収容して減圧室CH1を形成する減圧室形成手段12と、減圧室CH1を減圧する減圧手段13と、接着シートASを被着体Wに貼付する押圧手段14とを含む。この押圧手段14は、被着体又は接着シートとの間に減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室CH2を形成する外縁押圧手段50Aを含み、圧力調整室CH2を減圧室CH1に対して相対的に高圧状態とすることで接着シートASを被着体WKに貼付するように構成されている。
【選択図】図1
Description
このような接着シートを貼付する装置としては、例えば、特許文献1に開示されている。同文献に記載された装置は、支持台に支持されたディスク基板の上面側に接着(粘着)シートを供給し、支持台に相対配置された押圧手段で接着シートを押圧することで、当該接着シートをディスク基板の中央から外側に向かって貼付する構成となっている。
また、被着体と接着シートとの間の空気を外側に逃がしながら接着シートを貼付するために、接着シートの押圧部材を曲面形状に設ける必要があるなど、設計上の制約を伴うという不都合もある。
本発明の目的は、押圧対象物に傷を付けることを極力低減して、被着体に接着シートを貼付することのできるシート貼付装置及び貼付方法を提供することにある。
なお、本明細書において、減圧とは真空をも含む概念として用いられる。
接着シートASが貼付されたディスク基板WKは、ケース12を開いた後に図示しない搬送手段によって外部に搬送され、以後、上記同様のステップで次のディスク基板WKに接着シートASが貼付される。
すなわち、本発明は、主に特定の実施の形態に関して特に図示し、且つ、説明されているが、本発明の技術的思想及び目的の範囲から逸脱することなく、以上に述べた実施の形態に対し、形状、数量、その他の詳細な構成において、当業者が様々な変形を加えることができるものである。
従って、上記に開示した形状などを限定した記載は、本発明の理解を容易にするために例示的に記載したものであり、本発明を限定するものではないから、それらの形状などの限定の一部若しくは全部の限定を外した部材の名称での記載は、本発明に含まれるものである。
さらに、前記実施形態では、第1支持手段で接着シートASを支持して第2支持手段でディスク基板WKを支持し、押圧手段14がディスク基板WK側から押圧することでディスク基板WKとの間に圧力調整室CH2を形成したが、第1支持手段でディスク基板WKを支持して第2支持手段で接着シートASを支持し、押圧手段14が接着シートAS側から押圧することで接着シートASとの間に圧力調整室CH2を形成するように構成してもよい。
11 テーブル(第1支持手段)
12 ケース(減圧室形成手段)
13 減圧手段
14 押圧手段
15 位置決め手段
16 第2支持手段
50A 外縁側凸部(外縁押圧手段)
50B 内縁側凸部(内縁押圧手段)
AS 接着シート
AS1 貫通孔
AS2 接着シートの外縁部
AS3 接着シートの内縁部
CH1 減圧室
CH2 圧力調整室
WK ディスク基板(被着体)
WK1 貫通孔
WK2 ディスク基板の外縁部
WK3 ディスク基板の内縁部
Claims (5)
- 接着シートを支持する第1支持手段と、
前記接着シートに相対する位置で被着体を支持する第2支持手段と、
前記第1支持手段及び第2支持手段を収容して減圧室を形成する減圧室形成手段と、
前記減圧室の圧力を減圧する減圧手段と、
前記減圧室内で前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧手段と、を含むシート貼付装置において、
前記押圧手段は、前記接着シートの外縁部に前記被着体の外縁部を押し当てて、前記被着体又は接着シートとの間に前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する外縁押圧手段を含み、当該圧力調整室を減圧室に対して相対的に高圧状態とすることで前記被着体に接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付装置。 - 前記接着シートは枚葉シートであり、前記第1支持手段の所定位置に接着シートを配置させる位置決め手段を更に含むことを特徴とする請求項1記載のシート貼付装置。
- 前記被着体及び接着シートは所定位置に貫通孔を備え、
前記押圧手段は、前記接着シートの内縁部に前記被着体の内縁部を押し当てることで、前記外縁押圧手段との間に円環状の圧力調整室を形成する内縁押圧手段を備えていることを特徴とする請求項1又は2記載のシート貼付装置。 - 前記位置決め手段は、前記被着体及び前記接着シートの貫通孔を貫通して当該被着体と接着シートとの位置決めを行うことを特徴とする請求項3記載のシート貼付装置。
- 接着シートを支持するシート支持工程と、
前記接着シートに相対する位置で被着体を支持する被着体支持工程と、
前記接着シート及び被着体を収容して減圧室を形成する減圧室形成工程と、
前記減圧室の圧力を減圧する減圧工程と、
前記減圧室内で前記接着シートを前記被着体に押圧して貼付する押圧工程と、を含むシート貼付方法において、
前記押圧工程は、前記接着シートの外縁部に前記被着体の外縁部を押し当てて、前記被着体又は接着シートとの間に前記減圧室から独立して圧力制御可能な圧力調整室を形成する外縁押圧工程を含み、当該圧力調整室を減圧室に対して相対的に高圧状態とすることで前記被着体に接着シートを貼付することを特徴とするシート貼付方法。
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