JP2013097958A - イオン源 - Google Patents
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Abstract
複数枚のスリット電極を有するイオン源において、電流量と制御性のバランスの取れたイオンビームの引出しを行う。
【解決手段】
この発明のイオン源1は、引出し電極系として複数枚のスリット電極7〜10を有するイオン源1である。そして、スリット電極7〜10は、開口部15を有する電極枠体14と開口部15内に並設された複数本の電極棒16とから構成されているとともに、イオン源1より発生されるイオンビーム2の進行方向に沿って最も上流側に位置するスリット電極5を構成する電極棒16において、隣り合う電極棒16間に形成されるスリット状開口部17の形状がイオンビーム3の進行方向に沿って略テーパー状となるように構成されている。
【選択図】 図1
Description
2・・・イオンビーム
7・・・加速電極
8・・・引出電極
9・・・抑制電極
10・・・接地電極
14・・・電極枠体
15・・・開口部
16・・・電極棒
17・・・スリット状開口部
21・・・大径部
22・・・小径部
23・・・傾斜部
Claims (4)
- 引出し電極系として複数枚のスリット電極を有するイオン源であって、
前記スリット電極は、開口部を有する電極枠体と前記開口部内に並設された複数本の電極棒とから構成されているとともに、前記イオン源より発生されるイオンビームの進行方向に沿って最も上流側に位置する前記スリット電極を構成する前記電極棒において、隣り合う電極棒間に形成されるスリット状開口部の形状が前記イオンビームの進行方向に沿って略テーパー状となるように構成されていることを特徴とするイオン源。 - 前記イオン源より発生されるイオンビームの進行方向に沿って最も上流側に位置する前記スリット電極以外の前記スリット電極に備えられた前記電極棒の形状が略円柱形状をしていることを特徴とする請求項1記載のイオン源。
- 前記イオン源より発生されるイオンビームの進行方向に沿って最も上流側に位置する前記スリット電極を構成する前記電極棒は、前記イオンビームの進行方向に沿って、大径部と小径部とを有していることを特徴とする請求項1または2記載のイオン源。
- 前記イオンビームの進行方向に沿って、前記大径部と前記小径部との間に傾斜部を有していることを特徴とする請求項3記載のイオン源。
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