JP2013088600A5 - - Google Patents

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液晶パネルをピンとワークステージとの間で受け渡す際に、ピンを上下動させるのではなく、ピンは固定し、ピンに対してワークステージを上下動させて行う。
また、パネルの周辺部または角部に設けるピンを、従来の円柱状ではなく、ピンが接触しても良い領域に沿った板状にする。なお、以下では、板状の支持部材も含めて、パネルを複数個所で支持する部材をピンと呼ぶ。
すなわち、本発明においては、以下のようにして前記課題を解決する。
(1)晶を内部に封入した液晶パネルを支持するパネル支持部と、上記パネル支持部に支持された上記液晶パネルに対して光を照射する光照射部を備え、上記支持部に支持された液晶パネルに対して、記光照射部からの光を照射する液晶パネルの製造装置において、上記パネル支持部を、平面ステージと、平面ステージを垂直方向に移動させる平面ステージ駆動機構と、液晶パネルがパネル支持部に搬入搬出される際に液晶パネルを支持する複数のピンとから構成し、このピン上の液晶パネルを上記平面ステージに受け渡す際、および上記平面ステージ上の液晶パネルを上記ピンに受け渡す際、上記ピンは移動させずに、上記平面ステージを上記ピンに対して移動させる。
(2)上記(1)において、複数のピンのうち、液晶パネルの周辺部もしくは角部を支持するピンの形状を板状とし、該板状のピンの上記液晶パネルに接する面の長辺を上記液晶パネルの辺に平行に配置する。

Claims (2)

  1. 晶を内部に封入した液晶パネルを支持するパネル支持部と、上記パネル支持部に支持された上記液晶パネルに対して光を照射する光照射部を備え、
    上記支持部に支持された液晶パネルに対して、記光照射部からの光を照射する液晶パネルの製造装置において、
    上記パネル支持部は、
    平面ステージと、
    平面ステージを垂直方向に移動させる平面ステージ駆動機構と、
    液晶パネルがパネル支持部に搬入搬出される際に液晶パネルを支持する複数のピンとを備え、
    上記ピン上の液晶パネルを上記平面ステージに受け渡す際、および上記平面ステージ上の液晶パネルを上記ピンに受け渡す際には、上記ピンは移動せず、上記平面ステージが上記ピンに対して移動する
    ことを特徴とする液晶パネルの製造装置。
  2. 上記複数のピンのうち、液晶パネルの周辺部もしくは角部を支持するピンの形状が板状であり、該板状のピンの上記液晶パネルに接する面の長辺は、上記液晶パネルの辺に平行に配置されている
    ことを特徴とする請求項1に記載の液晶パネルの製造装置。
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