JP2013085164A - 固体撮像装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1のリセットトランジスタを備えた第1の画素と、第2のリセットトランジスタを備えた第2の画素とが形成された半導体基板と、前記半導体基板の上に形成された配線層と、前記配線層の上に形成され、前記第1のリセットトランジスタのソースに電気的に接続された第1の下部電極と、前記配線層の上に形成され、前記第2のリセットトランジスタのソースに電気的に接続された第2の下部電極と、前記第1の下部電極および前記第2の下部電極の上に形成された光電変換膜と、前記光電変換膜の上に形成され、上部電極電位が印加される透明な上部電極とを備え、前記第1のリセットトランジスタのドレインにかける第1のリセット電位と前記第2のリセットトランジスタのドレインにかける第2のリセット電位とが異なることを特徴とする固体撮像装置。
【選択図】図2
Description
図1は、本発明の実施の形態1に係る積層型の固体撮像装置の画素アレイ1を模式的に示す回路図である。また、図2は本発明の実施の形態1に係る積層型の固体撮像装置の画素アレイ1のゲート長方向の断面図である。
線20や電源線21や信号線22といった配線を含めて、変更することが可能である。例えば、行方向の配線数と列方向の配線数を同じにすることで、配線をできるだけ太くでき、配線抵抗を低減することができる。また、電位が高い配線同士を行方向と列方向に分け、電位が低い配線を行方向と列方向に分けて配置することも可能である。
画素2Gの下部電極34と上部電極36間の電界を、赤色画素2R、青色画素2B(図示せず)よりも強くする必要があるため、赤色電位線(VRR)17と青色電位線(VRB)19の電位を上げることが望ましい。
よって、1.033um×1.033umのセルサイズと同等となり、面積は1.068um2となる。簡易のため光電変換膜35内で発生した正孔が同じ密度で分布しているとすると6.8%の感度アップとなる。
図6は本発明の実施の形態2に係る積層型の固体撮像装置の画素アレイ1の断面図である。実施の形態1と共通する箇所についての説明は省略する。
(実施の形態3)
図7は本発明の実施の形態3に係る積層型の固体撮像装置の画素アレイ1の断面図である。実施の形態1と共通する箇所についての説明は省略する。
(実施の形態4)
図8は、本発明に関わる実施の形態1〜3による固体撮像装置のシグナルフロー図である。
2 画素
11 光電変換部
12 フローティングディフュージョン(FD)
13 増幅トランジスタ(SF)
14 リセットトランジスタ(RS)
15 選択トランジスタ(SEL)
16 リセット信号線(RS線)
17 赤色電位線(VRR)
18 緑色電位線(VRG)
19 青色電位線(VRB)
20 選択信号線(SEL線)
21 電源線(VDD)
22 信号線(SIG線)
31 半導体基板
32 溝型素子分離(STI)
33 配線層
34 下部電極
35 光電変換膜
36 上部電極
37 保護膜
38R 赤色カラーフィルタ
38G 緑色カラーフィルタ
38B 青色カラーフィルタ
39 マイクロレンズ
41 中央画素
42 周辺画素
51 正常画素
52 不良画素
61 イメージセンサ
62 DSP
101 半導体基板
102 電荷蓄積部
103 信号読み出し部
104 絶縁膜
105 プラグ
106 下部電極
107 光電変換膜
108 上部電極
109 保護膜
110R 赤色カラーフィルタ
110G 緑色カラーフィルタ
110B 青色カラーフィルタ
111 マイクロレンズ
Claims (7)
- 第1のリセットトランジスタを備えた第1の画素と、第2のリセットトランジスタを備えた第2の画素とが形成された半導体基板と、
前記半導体基板の上に形成された配線層と、
前記配線層の上に形成され、前記第1のリセットトランジスタのソースに電気的に接続された第1の下部電極と、
前記配線層の上に形成され、前記第2のリセットトランジスタのソースに電気的に接続された第2の下部電極と、
前記第1の下部電極および前記第2の下部電極の上に形成された光電変換膜と、
前記光電変換膜の上に形成され、上部電極電位が印加される透明な上部電極とを備え、
前記第1のリセットトランジスタのドレインにかける第1のリセット電位と前記第2のリセットトランジスタのドレインにかける第2のリセット電位とが異なることを特徴とする固体撮像装置。 - 前記上部電極の上であって、前記第1の下部電極の上方に形成された緑色のカラーフィルタと、
前記上部電極の上であって、前記第2の下部電極の上方に形成された赤色または青色のカラーフィルタとをさらに備え、
前記第1のリセット電位と前記上部電極電位との電位差が、前記第2のリセット電位と前記上部電極電位との電位差よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の画素は前記第2の画素よりも撮像領域の中央部から離れており、
前記第1のリセット電位と前記上部電極電位との電位差が、前記第2のリセット電位と前記上部電極電位との電位差よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の画素は列方向に複数形成されていることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の画素は行方向に複数形成されていることを特徴とする請求項3に記載の固体撮像装置。
- 前記第1の下部電極は前記第2の下部電極より小さく、
前記第1のリセット電位と前記上部電極電位との電位差が、前記第2のリセット電位と前記上部電極電位との電位差よりも大きいことを特徴とする請求項1に記載の固体撮像装置。 - 前記第1の画素から出力された第1の信号および前記第2の画素から出力された第2の信号により、前記第1のリセット電位および前記第2のリセット電位をそれぞれ決定するDSPとをさらに備えたことを特徴とする請求項1〜6のいずれかに記載の固体撮像装置。
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Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2020113859A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光電変換システム |
US10727264B2 (en) | 2015-06-05 | 2020-07-28 | Sony Corporation | Imaging element, electronic device, manufacturing apparatus, and manufacturing method |
US10854660B2 (en) | 2014-06-25 | 2020-12-01 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state image capturing element to suppress dark current, manufacturing method thereof, and electronic device |
JP2021114611A (ja) * | 2014-10-23 | 2021-08-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置および画像取得装置 |
Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63164270A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Toshiba Corp | 積層型固体撮像装置 |
JPH05199453A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Fujitsu General Ltd | Ccdカメラ装置のシェーディング補正回路 |
JP2000165755A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2007081626A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその調整方法 |
JP2007104114A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Fujifilm Corp | 感度可変型撮像素子及びこれを搭載した撮像装置 |
JP2011054746A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Fujifilm Corp | 撮像素子及び撮像装置 |
-
2011
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Patent Citations (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS63164270A (ja) * | 1986-12-26 | 1988-07-07 | Toshiba Corp | 積層型固体撮像装置 |
JPH05199453A (ja) * | 1992-01-22 | 1993-08-06 | Fujitsu General Ltd | Ccdカメラ装置のシェーディング補正回路 |
JP2000165755A (ja) * | 1998-11-27 | 2000-06-16 | Canon Inc | 固体撮像装置 |
JP2007081626A (ja) * | 2005-09-13 | 2007-03-29 | Sony Corp | 固体撮像素子及びその調整方法 |
JP2007104114A (ja) * | 2005-09-30 | 2007-04-19 | Fujifilm Corp | 感度可変型撮像素子及びこれを搭載した撮像装置 |
JP2011054746A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Fujifilm Corp | 撮像素子及び撮像装置 |
Cited By (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US10854660B2 (en) | 2014-06-25 | 2020-12-01 | Sony Semiconductor Solutions Corporation | Solid-state image capturing element to suppress dark current, manufacturing method thereof, and electronic device |
JP2021114611A (ja) * | 2014-10-23 | 2021-08-05 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置および画像取得装置 |
JP7178644B2 (ja) | 2014-10-23 | 2022-11-28 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 撮像装置および画像取得装置 |
US10727264B2 (en) | 2015-06-05 | 2020-07-28 | Sony Corporation | Imaging element, electronic device, manufacturing apparatus, and manufacturing method |
JP2020113859A (ja) * | 2019-01-10 | 2020-07-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光電変換システム |
JP7316049B2 (ja) | 2019-01-10 | 2023-07-27 | キヤノン株式会社 | 光電変換装置及び光電変換システム |
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