JP2013084678A - 半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板に形成されたシリコン層を覆ように白金を含むニッケル層を堆積する工程であって、シリコン層に近い部分では遠い部分と比較して結晶性が低くなるように、白金を含むニッケル層を堆積する工程S05と、基板を加熱することで、シリコン層と白金を含むニッケル層との界面にニッケルモノシリサイド層を形成する工程S07と、を有する。
【選択図】図6
Description
また、ニッケルモノシリサイドは、ダイニッケルシリサイドに比べて抵抗値が低い。したがって、熱処理が足りないと全てがモノシリサイド化せず、高抵抗の原因となる。
このように、抵抗の低いニッケルモノシリサイドの形成方法としては、熱的に安定な(しかし平坦性が低い)ニッケルダイシリサイド相に相変移しないように、かつ、抵抗値の高いダイニッケルシリサイドをできるだけモノシリサイド化できるよう、熱処理工程を工夫する必要がある。
その結果、熱的に安定な(しかし平坦性が悪い)ニッケルダイシリサイド相に相変移しないように、かつ、抵抗値の高いダイニッケルシリサイドをできるだけモノシリサイド化させて、抵抗値の低いニッケルモノシリサイド層を形成することができる。
これにより、基板加熱によるシリサイド化反応を経ても、平坦性の良好なニッケルモノシリサイド層を形成することが可能となる。その結果、抵抗値が低く、かつ平坦性の良好なニッケルモノシリサイド層をシリコン層上に形成することができる。
図1〜図5は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。図1は、MISトランジスタ20を形成する工程を説明するための図であり、基板11に形成されたMISトランジスタ20の断面を図示している。
図3は、ニッケルモノシリサイド層24を形成する工程を説明するための断面図であり、ニッケルモノシリサイド層24が形成され、かつ白金を含むニッケル層22−1が残存するMISトランジスタ20の断面図、及びニッケルモノシリサイド層24が形成され、かつ白金を含むニッケル層22−1が残存するMISトランジスタ20のうち、領域A,Bに囲まれた部分を拡大した断面図を図示している。
図5は、図4に示す構造体に層間絶縁膜26及びコンタクトプラグ27を形成する工程を説明するための断面図である。
図6は、本発明の第1の実施の形態に係る半導体装置の製造工程のうち、MISトランジスタ形成工程から未反応Pt含有Ni層除去工程までのフローチャートを示す図である。
具体的には、図1に示す工程では、公知の手法(例えば、STI法)により、基板11に活性領域を区画する素子分離領域12を形成する。基板11(半導体基板)としては、例えば、シリコン層よりなる単結晶シリコン基板を用いる。以下、基板11として、単結晶シリコン基板を用いた場合を例に挙げて説明する。
その後、フォトリソ技術及びドライエッチング技術により、絶縁膜及びポリシリコン膜15をパターニングすることで、ゲート絶縁膜14及びゲート電極16を一括形成する。
このとき、白金を含むニッケル層22は、図1に示す構造体の上面側を覆うように形成される。
これにより、ゲート電極16の上面16a及び高濃度不純物拡散領域19の上面19aが再酸化されることを防ぐことが可能となるので、より平坦なニッケルモノシリサイド層24(図3参照)を形成できる。
これにより、後述する図3に示す工程での熱処理により、さらに安定して、ダイシリサイド化しないようにニッケルモノシリサイド層24(図3参照)を形成できる。
なお、白金を含むニッケル層22の表面側のシリコンの含有量は、0%がより好ましい。
これにより、後述する図3に示す工程での熱処理により、さらに安定して、ダイシリサイド化しないようにニッケルモノシリサイド層24を形成できる。
なお、ゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19との界面付近における白金の含有量は、0%がより好ましい。
これにより、ゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19との界面付近でのニッケルの結晶性がより低い膜を形成できる。その結果、より平坦なニッケルモノシリサイド層24を形成できる。
具体的には、図3に示す工程では、基板11を350℃以上、500℃以下に加熱する(熱処理する)ことで、図2に示すゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19と白金を含むニッケル層22との界面部分をニッケルモノシリサイド化させることで、ニッケルモノシリサイド層24を形成する。
このとき、ニッケルモノシリサイド層24上に、ニッケルモノシリサイド層24とならなかった白金を含むニッケル層22−1(図2に示す白金を含むニッケル層22のうち、ゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19から遠い部分(未反応部分))が残存する。
これにより、シリコン層であるゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19との界面が平滑で、表面も均一なニッケルモノシリサイド層24を得ることができる。
これにより、ニッケルモノシリサイド層24の表面24a、素子分離領域12の上面12a、及びサイドウォール絶縁膜18の表面が露出される。
次いで、公知の手法により、層間絶縁膜26を貫通し、下端がニッケルモノシリサイド層24と接触するコンタクトプラグ27を形成する。これにより、コンタクトプラグ27は、ニッケルモノシリサイド層24を介して、高濃度不純物拡散領域19と電気的に接続される。したがって、コンタクトプラグ27と高濃度不純物拡散領域19とのコンタクト抵抗を小さくすることができる。
図7〜図9に示すMISトランジスタ30,35,40は、メモリ素子として機能する。
このように白金を含むニッケル層22を用いることで、シリサイド反応を制御することが可能となり、その結果、熱的に安定な(しかし平坦性が悪い)ニッケルダイシリサイド相に相変移しないように、かつ、抵抗値の高いダイニッケルシリサイドをできるだけモノシリサイド化して、抵抗値の低いニッケルモノシリサイド層24を形成することができる。
ここで、例えば、シリコン層との界面にニッケルの結晶性が高い状態で白金を含むニッケル層22を形成した場合、基板11の加熱によるシリサイド化反応の過程で結晶方位に依存した成長速度の差が生じ、形成されるニッケルモノシリサイド層の平坦性が低下してしまう。
図10〜図12は、本発明の第2の実施の形態に係る半導体装置の製造工程を示す断面図である。図10は、図2に示すMISトランジスタ20に堆積する白金を含むニッケル層22を低温アニール処理することでダイニッケルシリサイド層45を形成する工程を説明するための断面図であり、ダイニッケルシリサイド層45が形成され、かつ白金を含むニッケル層22−1が残存するMISトランジスタ20の断面図、及びダイニッケルシリサイド層45が形成され、かつ白金を含むニッケル層22−1が残存するMISトランジスタ20のうち、領域A,Bに囲まれた部分を拡大した断面図を図示している。
また、図10〜図12において、図1〜図4に示す構造体と同一構成部分には、同一符号を付す。
始めに、第1の実施の形態で説明した図1に示すMISトランジスタ20を形成する工程(図13に示すフローチャートの工程S02)を施す。
次いで、第1の実施の形態で説明した図2に示す白金を含むニッケル層22を堆積する工程の前処理(図13に示すフローチャートの工程S04)、及び白金を含むニッケル層22を堆積する工程(図13に示すフローチャートの工程S06)を施すことで、図2に示す構造体を形成する。
具体的には、ニッケルモノシリサイド層24を形成する工程の前に、ニッケルモノシリサイド層24を形成する工程よりも低い温度で基板11を加熱することにより、ゲート電極16(シリコン層)及び高濃度不純物拡散領域19(シリコン層)と図2に示す白金を含むニッケル層22との界面にダイニッケルシリサイド層45を形成する。
このとき、ダイニッケルシリサイド層45上に、ダイニッケルシリサイド層45とならなかった白金を含むニッケル層22−1(図2に示す白金を含むニッケル層22のうち、ゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19から遠い部分)が未反応部分として残存する。
これにより、ダイニッケルシリサイド層45の表面45a、素子分離領域12の上面12a、及びサイドウォール絶縁膜18の表面が露出される。
具体的には、基板11を350℃以上、500℃以下に加熱することで、ダイニッケルシリサイド層45をニッケルモノシリサイド化させることで、ニッケルモノシリサイド層24を形成する。
これにより、シリコン層であるゲート電極16及び高濃度不純物拡散領域19との界面が平滑で、表面も均一なニッケルモノシリサイド層24を得ることができる。
Claims (19)
- 基板に形成されたシリコン層を覆ように白金を含むニッケル層を堆積する工程であって、前記シリコン層に近い部分では遠い部分と比較して結晶性が低くなるように、前記白金を含むニッケル層を堆積する工程と、
前記基板を加熱することで、前記シリコン層と前記白金を含むニッケル層との界面にニッケルモノシリサイド層を形成する工程と、
を有することを特徴とする半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
前記シリコン層側の端面では非晶質となるように、前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
白金を含むニッケルをターゲットとして用い、ターゲットDCパワーを500W以上、2500W以下とした平行平板スパッタ法によって、前記シリコン層を覆うように前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1または2に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
前記白金の含有量が全体の20%以下であるような前記ニッケルを前記ターゲットとして用いることを特徴とする請求項3に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
シリコンを含むように、前記白金を含むニッケル層を堆積し、
前記シリコン層に近い部分では遠い部分と比較して前記シリコンの含有量が大きくなるように、前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1ないし4のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
前記シリコン層に近い部分では遠い部分と比較して前記白金の含有量が小さくなるように、前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1ないし5のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、
前記基板を加熱することなく、前記シリコン層を覆うように前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1ないし6のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程の前に、更に、
前記シリコン層に形成されたシリコン酸化膜を除去することで、前記基板上に前記シリコン層を露出させる工程を有することを特徴とする請求項1ないし7のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記シリコン層を露出させる工程から前記白金を含むニッケル層を堆積する工程は、同一真空装置内で施すことを特徴とする請求項8に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン層を露出させる工程では、アルゴンをターゲットとして用いたRFスパッタ法により前記シリコン層上に形成された前記シリコン酸化膜を除去することで、前記シリコン層を露出させることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記シリコン層を露出させる工程では、前記シリコン層上に形成された前記シリコン酸化膜を還元して除去することで、前記シリコン層を露出させることを特徴とする請求項8または9に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ニッケルモノシリサイド層を形成する工程では、前記基板を350℃以上、500℃以下に加熱することを特徴とする請求項1ないし11のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ニッケルモノシリサイド層を形成する工程の後、さらに、
前記ニッケルモノシリサイド層とならなかった部分の前記白金を含むニッケル層を除去する工程を有することを特徴とする請求項1ないし12のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程の後、前記ニッケルモノシリサイド層を形成する工程の前に、さらに、
前記基板を加熱することで、前記シリコン層と前記白金を含むニッケル層との界面にダイニッケルシリサイド層を形成する工程を有することを特徴とする請求項1ないし12のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記ダイニッケルシリサイド層を形成する工程では、前記ニッケルモノシリサイド層を形成する工程よりも低い温度で、前記基板を加熱することを特徴とする請求項14に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイニッケルシリサイド層を形成する工程では、前記基板を200℃以上、300℃以下に加熱することを特徴とする請求項14または15に記載の半導体装置の製造方法。
- 前記ダイニッケルシリサイド層を形成する工程の後、前記ニッケルモノシリサイド層を形成する工程の前に、さらに、
前記ダイニッケルシリサイド層とならなかった部分の前記白金を含むニッケル層を除去する工程を有することを特徴とする請求項14ないし16のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記白金を含むニッケル層を堆積する工程の前に、さらに、
前記基板にMISトランジスタを形成する工程を有し、
前記白金を含むニッケル層を堆積する工程では、前記MISトランジスタのソース/ドレイン領域、ゲート電極、または、それら両方としての前記シリコン層を覆うように前記白金を含むニッケル層を堆積することを特徴とする請求項1ないし17のうち、いずれか1項に記載の半導体装置の製造方法。 - 前記MISトランジスタを形成する工程では、電荷蓄積構造が含まれたゲート絶縁膜を有するMISトランジスタを形成することを特徴とする請求項18に記載の半導体装置の製造方法。
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