JP2013084579A5 - - Google Patents
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- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 claims description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 claims description 6
- 238000001312 dry etching Methods 0.000 claims description 2
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 claims description 2
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 claims 4
- 239000000470 constituent Substances 0.000 claims 2
- PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N (E)-Stilbene Chemical class C=1C=CC=CC=1/C=C/C1=CC=CC=C1 PJANXHGTPQOBST-VAWYXSNFSA-N 0.000 claims 1
- 150000004982 aromatic amines Chemical class 0.000 claims 1
- 229920000412 polyarylene Polymers 0.000 claims 1
- -1 polycyclic hydrocarbon compound Chemical class 0.000 claims 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims 1
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims 1
Description
本発明の有機ＥＬ装置の製造方法は、少なくとも発光層を含む有機化合物層を備えた有機ＥＬ素子を複数有する有機ＥＬ表示装置の製造方法であって、
基板の上に有機物化合物層を形成する工程と、
前記有機化合物層の上に中間層とレジスト層とを順次形成する工程と、
フォトリソグラフィ法を用いて前記レジスト層の一部を除去する工程と、
前記レジスト層が除去された領域の前記中間層及び前記有機化合物層をドライエッチングにて選択的に除去する工程と、を有しており、
前記中間層が、遮光層と、前記遮光層と前記有機化合物層との間に設けられる剥離層と、を含み、
前記遮光層が、波長１９０ｎｍ以上３６０ｎｍ以下の光を遮光することを特徴とする。
基板の上に有機物化合物層を形成する工程と、
前記有機化合物層の上に中間層とレジスト層とを順次形成する工程と、
フォトリソグラフィ法を用いて前記レジスト層の一部を除去する工程と、
前記レジスト層が除去された領域の前記中間層及び前記有機化合物層をドライエッチングにて選択的に除去する工程と、を有しており、
前記中間層が、遮光層と、前記遮光層と前記有機化合物層との間に設けられる剥離層と、を含み、
前記遮光層が、波長１９０ｎｍ以上３６０ｎｍ以下の光を遮光することを特徴とする。
Claims (3)
- 少なくとも発光層を含む有機化合物層を備えた有機ＥＬ素子を複数有する有機ＥＬ表示装置の製造方法であって、
基板の上に有機物化合物層を形成する工程と、
前記有機化合物層の上に中間層とレジスト層とを順次形成する工程と、
フォトリソグラフィ法を用いて前記レジスト層の一部を除去する工程と、
前記レジスト層が除去された領域の前記中間層及び前記有機化合物層をドライエッチングにて選択的に除去する工程と、を有しており、
前記中間層が、遮光層と、前記遮光層と前記有機化合物層との間に設けられる剥離層と、を含み、
前記遮光層が、波長１９０ｎｍ以上３６０ｎｍ以下の光を遮光することを特徴とする、有機ＥＬ装置の製造方法。 - 前記剥離層が、前記有機化合物層の構成材料をほとんど溶解しない溶媒に対して溶解性を有する材料からなることを特徴とする、請求項１乃至４のいずれか一項に記載の有機ＥＬ装置の製造方法。
- 前記有機化合物層の構成材料が、アリールアミン誘導体、スチルベン誘導体、ポリアリーレン又は縮合多環炭化水素化合物であり、
前記剥離層が、水に対して溶解性を示す材料からなることを特徴とする、請求項５に記載の有機ＥＬ装置の製造方法。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2012191772A JP6080438B2 (ja) | 2011-09-30 | 2012-08-31 | 有機ｅｌ装置の製造方法 |
| US13/613,812 US8871537B2 (en) | 2011-09-30 | 2012-09-13 | Method of manufacturing an organic electroluminescence display device |
| KR1020120106242A KR20130035898A (ko) | 2011-09-30 | 2012-09-25 | 유기 일렉트로루미네센스 표시장치의 제조 방법 |
| CN2012103627519A CN103035851A (zh) | 2011-09-30 | 2012-09-26 | 有机电致发光显示装置的制造方法 |
Applications Claiming Priority (3)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2011217678 | 2011-09-30 | ||
| JP2011217678 | 2011-09-30 | ||
| JP2012191772A JP6080438B2 (ja) | 2011-09-30 | 2012-08-31 | 有機ｅｌ装置の製造方法 |
Publications (3)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2013084579A JP2013084579A (ja) | 2013-05-09 |
| JP2013084579A5 true JP2013084579A5 (ja) | 2015-10-08 |
| JP6080438B2 JP6080438B2 (ja) | 2017-02-15 |
Family
ID=47992935
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2012191772A Active JP6080438B2 (ja) | 2011-09-30 | 2012-08-31 | 有機ｅｌ装置の製造方法 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US8871537B2 (ja) |
| JP (1) | JP6080438B2 (ja) |
| KR (1) | KR20130035898A (ja) |
| CN (1) | CN103035851A (ja) |
Families Citing this family (19)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR102092557B1 (ko) * | 2012-12-12 | 2020-03-24 | 엘지디스플레이 주식회사 | 유기 발광 장치 및 유기 발광 장치 제조 방법 |
| JP6220171B2 (ja) * | 2013-07-03 | 2017-10-25 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| KR20180085075A (ko) * | 2013-08-29 | 2018-07-25 | 후지필름 가부시키가이샤 | 유기층을 리소그래피로 패터닝하기 위한 방법 |
| JP6190709B2 (ja) | 2013-12-04 | 2017-08-30 | 株式会社ジャパンディスプレイ | 有機エレクトロルミネッセンス表示装置 |
| JP6653315B2 (ja) | 2014-08-01 | 2020-02-26 | オーソゴナル，インコーポレイテッド | 有機電子デバイスのフォトリソグラフィック・パターニング |
| JP2017526177A (ja) | 2014-08-01 | 2017-09-07 | オーソゴナル，インコーポレイテッド | 素子のフォトリソグラフパターン化方法 |
| CN107112440B (zh) | 2014-08-01 | 2019-07-16 | 正交公司 | 装置的光刻图案化 |
| EP3175491A4 (en) | 2014-08-01 | 2018-08-01 | Orthogonal Inc. | Photolithographic patterning of organic electronic devices |
| TWI600125B (zh) * | 2015-05-01 | 2017-09-21 | 精材科技股份有限公司 | 晶片封裝體及其製造方法 |
| KR102606282B1 (ko) | 2017-06-19 | 2023-11-27 | 삼성디스플레이 주식회사 | 디스플레이 장치 |
| CN109326730B (zh) * | 2017-08-01 | 2024-02-13 | 拓旷(上海)光电科技有限公司 | 用于有机发光二极管显示器的制造设备 |
| CN107331692B (zh) * | 2017-08-25 | 2019-09-17 | 深圳市华星光电半导体显示技术有限公司 | Oled显示面板及其制作方法 |
| CN111276618A (zh) * | 2018-12-05 | 2020-06-12 | 陕西坤同半导体科技有限公司 | 有机功能层及制备有机功能层的方法、显示面板 |
| CN110993835A (zh) * | 2019-12-18 | 2020-04-10 | 京东方科技集团股份有限公司 | 一种显示面板及其制作方法 |
| JPWO2022157595A1 (ja) * | 2021-01-22 | 2022-07-28 | ||
| JP2022115080A (ja) | 2021-01-27 | 2022-08-08 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置 |
| US11815689B2 (en) | 2021-04-30 | 2023-11-14 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Electronic device |
| US11699391B2 (en) | 2021-05-13 | 2023-07-11 | Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. | Semiconductor device, display apparatus, and electronic device |
| WO2023089439A1 (ja) * | 2021-11-19 | 2023-05-25 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | 表示装置の作製方法 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4544811B2 (ja) * | 2002-05-09 | 2010-09-15 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| JP4152685B2 (ja) * | 2002-07-22 | 2008-09-17 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子形成用基板 |
| JP4426190B2 (ja) * | 2003-01-24 | 2010-03-03 | 大日本印刷株式会社 | エレクトロルミネッセント素子の製造方法 |
| CN101431842B (zh) * | 2003-03-27 | 2012-01-25 | 精工爱普生株式会社 | 电光装置和电子设备 |
| JP4507759B2 (ja) * | 2004-08-18 | 2010-07-21 | 株式会社リコー | 有機材料のパターン形成方法 |
| JP5007941B2 (ja) * | 2007-07-26 | 2012-08-22 | 日本精機株式会社 | 有機ｅｌパネル |
| JP5522991B2 (ja) | 2008-07-11 | 2014-06-18 | キヤノン株式会社 | 有機ｅｌ表示装置 |
-
2012
- 2012-08-31 JP JP2012191772A patent/JP6080438B2/ja active Active
- 2012-09-13 US US13/613,812 patent/US8871537B2/en active Active
- 2012-09-25 KR KR1020120106242A patent/KR20130035898A/ko not_active IP Right Cessation
- 2012-09-26 CN CN2012103627519A patent/CN103035851A/zh active Pending
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