JP2013065895A - 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット - Google Patents
基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013065895A JP2013065895A JP2012286830A JP2012286830A JP2013065895A JP 2013065895 A JP2013065895 A JP 2013065895A JP 2012286830 A JP2012286830 A JP 2012286830A JP 2012286830 A JP2012286830 A JP 2012286830A JP 2013065895 A JP2013065895 A JP 2013065895A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- substrate
- arm
- robot
- substrate transfer
- arm portion
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Images
Abstract
【解決手段】この基板搬送システム10は、アーム部(第1アーム部123および第2アーム部124)およびハンド部125を水平面内で回動させることによって、処理装置20側に設けられた開口部202を介して基板収納装置11内から処理装置20内に基板110を搬送するとともに、ハンド部125により基板110を支持した状態の最小旋回領域の外縁が開口部202を介して処理装置20内に突出するように構成された基板搬送ロボットを備えている。
【選択図】図1
Description
この発明の第3の局面における基板搬送ロボットは、第1装置側に設けられた第1壁部と、第2装置側に設けられるとともに第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれたロボット設置領域に設置された基板搬送ロボットであって、基板を支持するハンド部と、ハンド部を移動させるためのアーム部とを備え、アーム部およびハンド部を水平面内で回動させることによって、第2装置側に設けられた開口部を介して第1装置内の第1位置から第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、アーム部は、基板の搬送時に、高さ方向に移動可能に構成され、第2壁部の開口部は、アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている。
まず、図1〜図6を参照して、本発明の第1実施形態による基板処理システム100の構成について説明する。
次に、図7を参照して、参考例について説明する。この参考例では、上記第1実施形態とは異なり、上記第1実施形態の開口部202の開口長さH1よりも小さい高さ方向(Z方向)の開口長さH2を有する開口部202aを設ける場合について説明する。なお、参考例では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、図8を参照して、第2実施形態について説明する。この第2実施形態では、基板収納装置11および処理装置20に囲まれた領域がロボット設置領域13である上記第1実施形態とは異なり、2つの処理装置20および320に囲まれた領域がロボット設置領域313である構成について説明する。なお、第2実施形態では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、図9を参照して、第3実施形態について説明する。この第3実施形態では、上記第1実施形態とは異なり、第1アーム部123の回動中心C1から互いに略直交する方向に2つの載置位置を有する処理装置420を設ける構成について説明する。なお、第3実施形態では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
11 基板収納装置(第1装置)
12 基板搬送ロボット
13、313、413 ロボット設置領域
20、220、420 処理装置(第2装置)
100、200、300、400 基板処理システム
110 基板
111、301 前面壁(第1壁部)
123 第1アーム部(アーム部)
124 第2アーム部(アーム部)
125 ハンド部
201、401a 背面壁(第2壁部)
202、202a、402、403 開口部
320 処理装置(第1装置)
C1 回動中心
L2 仮想線
Claims (17)
- 第1装置および第2装置に囲まれたロボット設置領域に設置され、基板を支持するハンド部と、前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第2装置側に設けられた開口部を介して前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記ロボット設置領域は、前記第1装置側に設けられた第1壁部と、前記第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、
前記基板搬送ロボットは、前記基板の搬送時に、前記アーム部を高さ方向に移動可能に構成され、
前記第2壁部の前記開口部は、前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、基板搬送システム。 - 前記第2壁部の前記開口部は、平面的に見て、前記第2壁部のうち、前記ハンド部により支持した状態の前記基板搬送ロボットの最小旋回領域が重なる領域において、前記ハンド部および前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、請求項1に記載の基板搬送システム。
- 前記第1装置には、異なる高さ位置に複数の基板が載置されており、
前記開口部は、前記第1装置の最も低い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置から前記第1装置の最も高い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置まで開放されている、請求項1または2に記載の基板搬送システム。 - 前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部を含み、
前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心が前記開口部に面する位置に位置するとともに、前記基板搬送ロボットの最小旋回半径が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心が前記第2壁部よりも前記第1壁部に近い位置に位置するとともに、前記基板搬送ロボットの最小旋回半径が前記第1アーム部の回動中心から前記第2壁部までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項4に記載の基板搬送システム。
- 前記アーム部は、一方端部が前記第1アーム部の他方端部に接続され、前記第1アーム部に対して水平面内で回動可能に構成された第2アーム部をさらに含み、
前記ハンド部は、前記第2アーム部の他方端部に接続され、前記第2アーム部に対して水平面内で回動可能に構成され、
前記基板搬送ロボットは、前記ハンド部により基板を支持した状態で、かつ、平面的に見て、前記第1アーム部、前記第2アーム部および前記ハンド部が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、前記第1アーム部の一方端部を回動中心として前記第1アーム部を水平面内で回動する場合に前記最小旋回領域内で旋回するとともに、前記基準姿勢において、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心から、前記第1アーム部の最遠端までの第1距離、前記第2アーム部の最遠端までの第2距離、および、前記ハンド部により支持された基板の最遠端までの第3距離の少なくともいずれかの距離が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項4または5に記載の基板搬送システム。 - 前記基板搬送ロボットは、前記第1距離、前記第2距離および前記第3距離が互いに略同じ大きさであるとともに、前記第1距離、前記第2距離および前記第3距離が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項6に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、前記第1装置の第1位置から前記第2装置の第2位置に基板を搬送する際に、前記第1アーム部および前記第2アーム部を互いに折り畳みながら、前記アーム部を前記開口部を介して前記第2装置内に突出させるように構成されている、請求項6または7に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、搬送する基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線に沿って移動するように前記第1アーム部および前記第2アーム部を互いに折り畳みながら、前記アーム部を前記開口部を介して前記第2装置内に突出させるように構成されている、請求項8に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、前記第1装置の第1位置から、前記ハンド部を前記第2アーム部に対して回動させることにより基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線上に配置された第1中間姿勢と、前記第1中間姿勢から基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線上に沿って移動されるとともに前記第1アーム部および前記第2アーム部が互いに折り畳まれた第2中間姿勢とを経て、前記第2装置の第2位置に基板を搬送するように構成されている、請求項9に記載の基板搬送システム。
- 前記第2装置に略平行な方向に延びる直線は、前記第1壁部および前記第2壁部から略同じ距離に位置する、請求項9または10に記載の基板搬送システム。
- 前記第1装置は、平面的に見て異なる位置に複数の基板を載置可能であり、
前記基板搬送ロボットは、前記第2装置の第2位置に前記第1装置のいずれの基板を搬送する場合でも、基板の一部が前記開口部内に侵入した状態において、前記第1アーム部および前記第2アーム部が、互いに折り畳まれた状態で、かつ、前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置の第2位置に向かう方向に対して略直交する方向の一方側に延びるように配置されている、請求項6〜11のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 第1装置と、
第2装置と、
前記第1装置および前記第2装置に囲まれたロボット設置領域に配置され、基板を支持するハンド部と、前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットとを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第2装置側に設けられた開口部を介して前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記ロボット設置領域は、前記第1装置側に設けられた第1壁部と、前記第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、
前記基板搬送ロボットは、前記基板の搬送時に、前記アーム部を高さ方向に移動可能に構成され、
前記第2壁部の前記開口部は、前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、基板処理システム。 - 前記第2壁部の前記開口部は、平面的に見て、前記第2壁部のうち、前記ハンド部により支持した状態の前記基板搬送ロボットの最小旋回領域が重なる領域において、前記ハンド部および前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、請求項13に記載の基板処理システム。
- 前記第1装置には、異なる高さ位置に複数の基板が載置されており、
前記開口部は、前記第1装置の最も低い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置から前記第1装置の最も高い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置まで開放されている、請求項13または14に記載の基板処理システム。 - 第1装置側に設けられた第1壁部と、第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれたロボット設置領域に設置された基板搬送ロボットであって、
基板を支持するハンド部と、
前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを備え、
前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第2装置側に設けられた開口部を介して前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記アーム部は、前記基板の搬送時に、高さ方向に移動可能に構成され、
前記第2壁部の前記開口部は、前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、基板搬送ロボット。 - 前記第2壁部の前記開口部は、平面的に見て、前記第2壁部のうち、前記ハンド部により支持した状態の前記基板搬送ロボットの最小旋回領域が重なる領域において、前記ハンド部および前記アーム部の高さ方向の移動範囲以上の高さ範囲で開口されている、請求項16に記載の基板搬送ロボット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012286830A JP5382197B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2010081636 | 2010-03-31 | ||
JP2010081636 | 2010-03-31 | ||
JP2012286830A JP5382197B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Related Parent Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010267136A Division JP5316521B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-11-30 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013065895A true JP2013065895A (ja) | 2013-04-11 |
JP5382197B2 JP5382197B2 (ja) | 2014-01-08 |
Family
ID=45043610
Family Applications (6)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010267136A Active JP5316521B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-11-30 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286828A Active JP5265806B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286837A Active JP5267726B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286832A Active JP5267725B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286830A Active JP5382197B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2013091191A Pending JP2013150012A (ja) | 2010-03-31 | 2013-04-24 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Family Applications Before (4)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2010267136A Active JP5316521B2 (ja) | 2010-03-31 | 2010-11-30 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286828A Active JP5265806B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286837A Active JP5267726B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
JP2012286832A Active JP5267725B2 (ja) | 2010-03-31 | 2012-12-28 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Family Applications After (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013091191A Pending JP2013150012A (ja) | 2010-03-31 | 2013-04-24 | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (6) | JP5316521B2 (ja) |
Families Citing this family (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5614417B2 (ja) * | 2012-01-05 | 2014-10-29 | 株式会社安川電機 | 搬送システム |
JP5621796B2 (ja) * | 2012-01-31 | 2014-11-12 | 株式会社安川電機 | 搬送システム |
JP5569544B2 (ja) | 2012-01-31 | 2014-08-13 | 株式会社安川電機 | 搬送ロボット |
JP5853991B2 (ja) | 2013-05-22 | 2016-02-09 | 株式会社安川電機 | 基板搬送ロボット、基板搬送システムおよび基板搬送方法 |
JP6607661B2 (ja) * | 2013-08-09 | 2019-11-20 | 日本電産サンキョー株式会社 | 水平多関節ロボット |
JP6232164B2 (ja) | 2015-03-25 | 2017-11-15 | 株式会社日立国際電気 | 基板処理装置および半導体装置の製造方法 |
JP6635888B2 (ja) * | 2016-07-14 | 2020-01-29 | 東京エレクトロン株式会社 | プラズマ処理システム |
JP7090469B2 (ja) * | 2018-05-15 | 2022-06-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP7356269B2 (ja) * | 2019-07-01 | 2023-10-04 | 川崎重工業株式会社 | ロボット制御装置、並びにそれを備えるロボット及びロボットシステム |
US11031269B2 (en) * | 2019-08-22 | 2021-06-08 | Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha | Substrate transport robot, substrate transport system, and substrate transport method |
WO2023188181A1 (ja) * | 2022-03-30 | 2023-10-05 | 平田機工株式会社 | 基板搬送システム及び移載ロボット |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64500072A (ja) * | 1986-04-28 | 1989-01-12 | ||
JP2009152649A (ja) * | 2009-04-07 | 2009-07-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | ウェーハの搬送方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6778258B2 (en) * | 2001-10-19 | 2004-08-17 | Asml Holding N.V. | Wafer handling system for use in lithography patterning |
JP4098338B2 (ja) * | 2006-07-20 | 2008-06-11 | 川崎重工業株式会社 | ウェハ移載装置および基板移載装置 |
JP4359640B2 (ja) * | 2007-09-25 | 2009-11-04 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板搬送装置及びダウンフロー制御方法 |
JP2010021460A (ja) * | 2008-07-14 | 2010-01-28 | Hitachi High-Tech Control Systems Corp | ウェーハアライメント装置及びそれを用いたウェーハ搬送装置 |
-
2010
- 2010-11-30 JP JP2010267136A patent/JP5316521B2/ja active Active
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012286828A patent/JP5265806B2/ja active Active
- 2012-12-28 JP JP2012286837A patent/JP5267726B2/ja active Active
- 2012-12-28 JP JP2012286832A patent/JP5267725B2/ja active Active
- 2012-12-28 JP JP2012286830A patent/JP5382197B2/ja active Active
-
2013
- 2013-04-24 JP JP2013091191A patent/JP2013150012A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS64500072A (ja) * | 1986-04-28 | 1989-01-12 | ||
JP2009152649A (ja) * | 2009-04-07 | 2009-07-09 | Hitachi Kokusai Electric Inc | ウェーハの搬送方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2013058814A (ja) | 2013-03-28 |
JP5316521B2 (ja) | 2013-10-16 |
JP5265806B2 (ja) | 2013-08-14 |
JP5267725B2 (ja) | 2013-08-21 |
JP2013065894A (ja) | 2013-04-11 |
JP2013150012A (ja) | 2013-08-01 |
JP5382197B2 (ja) | 2014-01-08 |
JP5267726B2 (ja) | 2013-08-21 |
JP2011228627A (ja) | 2011-11-10 |
JP2013065896A (ja) | 2013-04-11 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5382197B2 (ja) | 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット | |
JP5418640B2 (ja) | 筐体、半導体製造装置および搬送ロボット | |
KR101669326B1 (ko) | 기판 반송 로봇, 기판 반송 시스템 및 기판 반송 방법 | |
JP5750472B2 (ja) | 基板搬送ロボット、基板搬送システムおよび基板の配置状態の検出方法 | |
US9570336B2 (en) | Substrate transfer system and substrate processing system | |
JP5553065B2 (ja) | 基板搬送用ハンドおよび基板搬送ロボット | |
KR101453189B1 (ko) | 반송 장치 | |
JP6014982B2 (ja) | サイド用ロードポート、efem | |
JP2022031288A (ja) | 搬送システム、搬送方法および搬送装置 | |
JP6213079B2 (ja) | Efem | |
JP5037551B2 (ja) | 基板交換機構及び基板交換方法 | |
KR20220007145A (ko) | 반송 장치, 반송 방법 및 반송 시스템 | |
JP2017188627A (ja) | 搬送システム、ロボットおよびロボットの制御方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20130108 |
|
A871 | Explanation of circumstances concerning accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A871 Effective date: 20130108 |
|
A975 | Report on accelerated examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971005 Effective date: 20130201 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130205 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130315 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20130416 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130529 |
|
A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A911 Effective date: 20130618 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20130903 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20130916 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5382197 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |