JP2013058814A - 基板搬送システム、基板処理システムおよび基板搬送ロボット - Google Patents
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Abstract
【解決手段】この基板搬送システム10は、アーム部(第1アーム部123および第2アーム部124)およびハンド部125を水平面内で回動させることによって、処理装置20側に設けられた開口部202を介して基板収納装置11内から処理装置20内に基板110を搬送するとともに、ハンド部125により基板110を支持した状態の最小旋回領域の外縁が開口部202を介して処理装置20内に突出するように構成された基板搬送ロボットを備えている。
【選択図】図1
Description
この発明の第3の局面における基板処理システムは、第1装置および第2装置に囲まれたロボット設置領域に設置され、基板を支持するハンド部と、ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットを備え、基板搬送ロボットは、アーム部およびハンド部を水平面内で回動させることによって、第2装置側に設けられた開口部を介して第1装置内の第1位置から第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、第1装置は、第1基板収納カセットと、平面的に見て第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含み、基板搬送ロボットは、第1基板収納カセットから基板を搬送する際には、アーム部の一部が開口部内に侵入するように基板の搬送を行う一方、第2基板収納カセットから基板を搬送する際には、アーム部の一部が開口部内に侵入せずに基板の搬送を行うように構成されている。
この発明の第4の局面における基板搬送ロボットは、第1基板収納カセットと平面的に見て第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含む第1装置と、第2装置とに囲まれたロボット設置領域に設置された基板搬送ロボットであって、基板を支持するハンド部と、ハンド部を移動させるためのアーム部とを備え、アーム部およびハンド部を水平面内で回動させることによって、第1装置内の第1位置から第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、ロボット設置領域は、第1装置側に設けられた第1壁部と、第2装置側に設けられるとともに第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、第1基板収納カセットから基板を搬送する際には、アーム部の一部が第2壁部を超えるように基板の搬送を行う一方、第2基板収納カセットから基板を搬送する際には、アーム部の一部が第2壁部を超えずに基板の搬送を行うように構成されている。
まず、図1〜図6を参照して、本発明の第1実施形態による基板処理システム100の構成について説明する。
次に、図7を参照して、第2実施形態について説明する。この第2実施形態では、上記第1実施形態とは異なり、上記第1実施形態の開口部202の開口長さH1よりも小さい高さ方向(Z方向)の開口長さH2を有する開口部202aを設ける場合について説明する。なお、第2実施形態では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、図8を参照して、第3実施形態について説明する。この第3実施形態では、基板収納装置11および処理装置20に囲まれた領域がロボット設置領域13である上記第1実施形態とは異なり、2つの処理装置20および320に囲まれた領域がロボット設置領域313である構成について説明する。なお、第3実施形態では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
次に、図9を参照して、第4実施形態について説明する。この第4実施形態では、上記第1実施形態とは異なり、第1アーム部123の回動中心C1から互いに略直交する方向に2つの載置位置を有する処理装置420を設ける構成について説明する。なお、第4実施形態では、上記第1実施形態と同じ構成については同じ符号を付してその説明を省略する。
11 基板収納装置(第1装置)
12 基板搬送ロボット
13、313、413 ロボット設置領域
20、220、420 処理装置(第2装置)
100、200、300、400 基板処理システム
110 基板
111、301 前面壁(第1壁部)
123 第1アーム部(アーム部)
124 第2アーム部(アーム部)
125 ハンド部
201、401a 背面壁(第2壁部)
202、202a、402、403 開口部
320 処理装置(第1装置)
C1 回動中心
L2 仮想線
Claims (22)
- 第1装置および第2装置に囲まれたロボット設置領域に設置され、基板を支持するハンド部と、前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記第1装置は、第1基板収納カセットと、平面的に見て前記第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含み、
前記ロボット設置領域は、前記第1装置側に設けられた第1壁部と、前記第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、
前記基板搬送ロボットは、前記第1基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部を超えるように前記基板の搬送を行う一方、前記第2基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部を超えずに前記基板の搬送を行うように構成されている、基板搬送システム。 - 前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部を含み、
前記第1基板収納カセットは、前記第2基板収納カセットよりも前記第1アーム部の回動中心に近い位置に配置されている、請求項1に記載の基板搬送システム。 - 前記第2壁部は、開口部を有し、
前記第1基板収納カセットは、前記開口部に面するように配置されているとともに、前記第2基板収納カセットは、前記開口部に面しないように配置されている、請求項1または2に記載の基板搬送システム。 - 前記第2壁部は、開口部を有し、
前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部と、一方端部が前記第1アーム部の他方端部に接続され、前記第1アーム部に対して水平面内で回動可能に構成された第2アーム部とをさらに含み、
前記基板搬送ロボットは、前記第1装置の第1位置から、前記ハンド部を前記第2アーム部に対して回動させることにより基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線上に配置された第1中間姿勢までの間において、前記基板搬送ロボットは、前記第1基板収納カセットから前記アーム部の一部が前記開口部内に侵入するように前記基板の搬送を行う一方、前記第2基板収納カセットから前記アーム部の一部が前記開口部内に侵入せずに前記基板の搬送を行うように構成されている、請求項1〜3のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 前記基板搬送ロボットは、前記第1装置の第1位置から、前記第1中間姿勢と、前記第1中間姿勢から基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線上に沿って移動されるとともに前記第1アーム部および前記第2アーム部が互いに折り畳まれた第2中間姿勢とを経て、前記第2装置の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記第2中間位置においては、前記基板搬送ロボットは、前記第1基板収納カセットおよび前記第2基板収納カセットのいずれの基板を搬送する場合でも、前記アーム部の一部が前記開口部内に侵入するように構成されている、請求項4に記載の基板搬送システム。 - 前記第2装置に略平行な方向に延びる直線は、前記第1壁部および前記第2壁部から略同じ距離に位置する、請求項4または5に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、前記第2中間位置を経た後、前記第2装置の第2位置に前記第1装置の前記第1基板収納カセットおよび前記第2基板収納カセットのいずれの基板を搬送する場合でも、基板の一部が前記開口部内に侵入した状態において、前記第1アーム部および前記第2アーム部が、互いに折り畳まれた状態で、かつ、前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置の第2位置に向かう方向に対して略直交する方向の一方側に延びるように配置されている、請求項5または6に記載の基板搬送システム。
- 前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部を含み、
前記第2壁部は、開口部を有し、
前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心が前記開口部に面する位置に位置するとともに、前記基板搬送ロボットの最小旋回半径が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心が前記第2壁部よりも前記第1壁部に近い位置に位置するとともに、前記基板搬送ロボットの最小旋回半径が前記第1アーム部の回動中心から前記第2壁部までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項8に記載の基板搬送システム。
- 前記アーム部は、一方端部が前記第1アーム部の他方端部に接続され、前記第1アーム部に対して水平面内で回動可能に構成された第2アーム部をさらに含み、
前記ハンド部は、前記第2アーム部の他方端部に接続され、前記第2アーム部に対して水平面内で回動可能に構成され、
前記基板搬送ロボットは、前記ハンド部により基板を支持した状態で、かつ、平面的に見て、前記第1アーム部、前記第2アーム部および前記ハンド部が互いに重なるように折り畳まれた基準姿勢において、前記第1アーム部の一方端部を回動中心として前記第1アーム部を水平面内で回動する場合に前記最小旋回領域内で旋回するとともに、前記基準姿勢において、平面的に見て、前記第1アーム部の回動中心から、前記第1アーム部の最遠端までの第1距離、前記第2アーム部の最遠端までの第2距離、および、前記ハンド部により支持された基板の最遠端までの第3距離の少なくともいずれかの距離が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項8または9に記載の基板搬送システム。 - 前記基板搬送ロボットは、前記第1距離、前記第2距離および前記第3距離が互いに略同じ大きさであるとともに、前記第1距離、前記第2距離および前記第3距離が前記第1アーム部の回動中心から前記第2装置までの距離よりも大きくなるように構成されている、請求項10に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、前記第1装置の第1位置から前記第2装置の第2位置に基板を搬送する際に、前記第1アーム部および前記第2アーム部を互いに折り畳みながら、前記アーム部を前記開口部を介して前記第2装置内に突出させるように構成されている、請求項10または11に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、平面的に見て、搬送する基板の中心が前記第2装置に略平行な方向に延びる直線に沿って移動するように前記第1アーム部および前記第2アーム部を互いに折り畳みながら、前記アーム部を前記開口部を介して前記第2装置内に突出させるように構成されている、請求項12に記載の基板搬送システム。
- 前記基板搬送ロボットは、前記ハンド部および前記アーム部を高さ方向に移動可能に構成され、
前記第1装置には、異なる高さ位置に複数の基板が載置されており、
前記第2壁部は、開口部を有し、
前記開口部は、前記第1装置の最も低い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置から前記第1装置の最も高い位置に載置された基板を支持する際の前記ハンド部および前記アーム部の配置位置に対応する高さ位置まで開放されている、請求項1〜13のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 前記第1装置は、前記第1位置に加えて、平面的に見て前記第1位置よりも前記基板搬送ロボットから遠い第3位置にも基板を載置可能であり、
前記第3位置には、所定の高さ範囲に複数の基板が載置され、
前記第1位置には、前記第3位置よりも小さい高さ範囲に基板が載置され、
前記第2壁部は、開口部を有し、
前記開口部は、前記第1位置に載置される基板の高さ範囲に対応する高さ範囲で開放されており、
前記基板搬送ロボットは、前記ハンド部および前記アーム部を高さ方向に移動可能であるとともに、前記第3位置の基板を搬送する際には、前記第1装置から基板を引き出した後、前記ハンド部および前記アーム部を高さ方向に移動して前記アーム部を前記開口部を介して前記第2装置内に突出させるように構成されている、請求項1〜14のいずれか1項に記載の基板搬送システム。 - 第1装置と、
第2装置と、
前記第1装置および前記第2装置に囲まれたロボット設置領域に配置され、基板を支持するハンド部と、前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットとを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記第1装置は、第1基板収納カセットと、平面的に見て前記第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含み、
前記ロボット設置領域は、前記第1装置側に設けられた第1壁部と、前記第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、
前記基板搬送ロボットは、前記第1基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部を超えるように前記基板の搬送を行う一方、前記第2基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部を超えずに前記基板の搬送を行うように構成されている、基板処理システム。 - 前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部を含み、
前記第1基板収納カセットは、前記第2基板収納カセットよりも前記第1アーム部の回動中心に近い位置に配置されている、請求項16に記載の基板処理システム。 - 前記第2壁部は、開口部を有し、
前記第1基板収納カセットは、前記開口部に面するように配置されているとともに、前記第2基板収納カセットは、前記開口部に面しないように配置されている、請求項16または17に記載の基板処理システム。 - 第1装置および第2装置に囲まれたロボット設置領域に設置され、基板を支持するハンド部と、前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを含む基板搬送ロボットを備え、
前記基板搬送ロボットは、前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第2装置側に設けられた開口部を介して前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記第1装置は、第1基板収納カセットと、平面的に見て前記第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含み、
前記基板搬送ロボットは、前記第1基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記開口部内に侵入するように前記基板の搬送を行う一方、前記第2基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記開口部内に侵入せずに前記基板の搬送を行うように構成されている、基板搬送システム。 - 第1基板収納カセットと平面的に見て前記第1基板収納カセットとは異なる位置に配置された第2基板収納カセットとを含む第1装置と、第2装置とに囲まれたロボット設置領域に設置された基板搬送ロボットであって、
基板を支持するハンド部と、
前記ハンド部を移動させるためのアーム部とを備え、
前記アーム部および前記ハンド部を水平面内で回動させることによって、前記第1装置内の第1位置から前記第2装置内の第2位置に基板を搬送するように構成され、
前記ロボット設置領域は、前記第1装置側に設けられた第1壁部と、前記第2装置側に設けられるとともに前記第1壁部に対向するように配置された第2壁部とに囲まれた領域であり、
前記第1基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部内を超えるように前記基板の搬送を行う一方、前記第2基板収納カセットから前記基板を搬送する際には、前記アーム部の一部が前記第2壁部を超えずに前記基板の搬送を行うように構成されている、基板搬送ロボット。 - 前記アーム部は、一方端部を回動中心として水平面内で回動可能に構成された第1アーム部を含み、
前記第1基板収納カセットは、前記第2基板収納カセットよりも前記第1アーム部の回動中心に近い位置に配置されている、請求項20に記載の基板搬送ロボット。 - 前記第2壁部は、開口部を有し、
前記第1基板収納カセットは、前記開口部に面するように配置されているとともに、前記第2基板収納カセットは、前記開口部に面しないように配置されている、請求項19または20に記載の基板搬送ロボット。
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