JP2013064741A - 空間・分光波面分析測定方法及び装置 - Google Patents
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Abstract
測定する。
【解決手段】振幅及び位相を有する分析対象波面に対して、フーリエ変換処理を行い、該分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、該複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、該複数の強度マップを用いて該分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する。
【選択図】図1A
Description
米国特許:
5,969,855; 5,969,853; 5,936,253; 5,870,191; 5,814,815; 5,751,475; 5,619,372; 5,600,440; 5,471,303; 5,446,540; 5,235,587; 4,407,569; 4,190,366;
米国以外の国における特許:
JP 9230247(要約)、JP 9179029(要約)、JP 8094936(要約)、JP 7261089(要約)、JP7225341(要約)、JP 6186504(要約);
他の出版物:
Phillion D.W.著、「位相ズレ干渉アルゴリズムの一般的生成方法」-Applied Optics, Vol.36, 8098 (1997)。
Pluta M.著、「位相差顕微鏡中における、あるいは高感度位相差装置に対する迷光問題:論評」-Optical Engineering, Vol.32, 3199 (1993)。
Noda T、Kawata S.共著、「位相差顕微鏡における位相及び吸収画像の分離」-Journal of the Optical Society of America A, Vol.9, 924 (1992)。
Creath K著、「位相測定干渉技術」-Progress in Optics XXVI, 348 (1988)。
Greivenkamp J.E.著、「ヘテロダイン干渉のための一般的データ縮小」-Optical Engineering, Vol.23, 350 (1984)。
Morgan C.J.著、「位相測定干渉における最小二乗概算」-Optics Letters, Vol.7, 368 (1982)。
Golden L.J.著、「Zernike試験1:分析的局面」-Applied Optics, Vol.16, 205 (1977)。
Bruning J.H.著、「光学面及びレンズ試験用デジタル波面測定干渉計」-Applied Optics, Vol.13, 2693 (1974)。
前記分析対象波面を分析対象波面の振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一の複素関数として表し、前記複数の強度マップを前記第一の複素関数の関数として及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表し、絶対値を有する第二の複素関数及び位相を前記第一関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数のフーリエ変換のコンポリューションとして限定し、前記複数の強度マップをそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップの一つに対応する分析対象波面の振幅、前記第二の複素関数の絶対値、分析対象波面の位相と前記第二の複素関数の位相間の相違、及び前記少なくとも3つの異なる位相変化の一つによって生じた既知の位相遅延の第三の関数として表し、前記第三の関数を解いて前記分析対象波面の振幅、前記第二の複素関数の絶対値及び前記分析対象波面の位相と前記第二の複素関数の位相間の差異を取得し、前記第二の複素関数を解いて前記第二の複素関数の位相を取得し、及び前記分析対象波面の位相と前記第二の複素関数の位相間の前記差異へ前記第二の複素関数を加えることにより前記分析対象波面の位相を取得することによって、第二のフーリエ変換処理を行って前記少なくとも3つの位相変化された変換波面の少なくとも3つの強度マップを取得し、及び前記少なくとも3つの強度マップを用いて前記分析対象波面の振幅及び位相の少なくとも一つを表示する出力を得る各工程から構成されている。
分析対象の表面写像波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を取得し、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて少なくとも分析対象の表面写像波面の位相についての第二階級表示の出力を与えることによって前記分析対象の表面写像波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を取得し、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記分析対象の対象物検査波面の位相についての第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の分光分析波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を取得し、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて分析対象の分光分析波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得し、前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記放射の分光内容を表示する出力を取得することによって分析対象の分光分析波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を取得し、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得し、及び前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記情報を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を取得し、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面与える波面変換装置と、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置を備えて構成されている。
前記分析対象の分光分析波面を分析し、及び前記分析対象の分光分析波面に対応する複数の種々位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の分光分析波面少なくとも振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置と、少なくとも前記振幅を表示する出力を用いて前記放射の分光内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置を備えて構成されている。
前記表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、前記複数の異なる振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記表面写像波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得することによって前記表面写像波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置を備えて構成されている。
前記対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記対象物検査波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得することによって前記対象物検査波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置を備えて構成されている。
振幅及び位相を有する前記分光分析波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記分光分析波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得し、及び前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を用いて前記放射の分光内容を表示する出力を取得することによって前記分光分析波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の分光分析波面を分析し、及び前記分析対象の分光分析波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の分光分析波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射の分光内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置を備えて構成されている。
前記保存データ検索波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記保存データ検索波面の振幅及び位相の少なくとも一方の表示を取得することによって前記保存データ検索波面を分析し、及び
前記振幅及び位相の少なくとも一方の表示を用いて前記情報を取得する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置を備えて構成されている。
前記三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得し、前記複数の強度マップを用いて前記三次元画像形成波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得することによって前記三次元画像形成波面を分析する各工程を含んで構成されている。
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を与える波面変換装置と、前記複数の異なる振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を備えた波面分析装置を備えて構成されている。
前記複数の振幅変化を受けた変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得し、及び該複数の強度マップを該第一となる複数の強度マップよりも少ない第二の複数の併合強度マップへと併合する強度併合装置と、前記第二の複数の併合強度マップの各々から少なくとも前記分析対象波面の位相を表示する出力を与える表示付与装置と、前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える強調表示付与装置を備えた強度マップ利用装置を備えて構成されている。
前記分析対象波面の振幅、第二複素関数の絶対値、及び分析対象波面の位相と第二複素関数の位相間の差のそれぞれについて高い数値と低い数値の二つの解を取得し、
強調された絶対値解が第二複素関数を満足するように各空間位置において二つの解のうち高い数値の解と低い数値の解のいずれかを選択することによって第二複素関数の絶対値について強調絶対値解へこれら二つの解を併合し、及び
前記高い数値の解が前記絶対値解について選択される各位置で振幅解について前記高い数値の解が選択され、前記低い数値の解が前記絶対値解について選択される各位置では前記振幅解について前記低い数値の解が選択されるように各空間位置において前記振幅の二つの解のうち高い数値の解あるいは低い数値の解のいずれかを選択することによって強調振幅解へ分析対象波面の振幅についての二つの解を併合し、前記高い数値の解が前記絶対値解について選択される各位置では分析対象波面の位相と第二複素関数の位相間の差の解について前記高い数値の解が選択され、前記絶対値解について前記低い数値の解が選択される各位置では前記差の解について前記低い数値の解が選択されるように各空間位置において前記差についての二つの解のうち高い数値の解あるいは低い数値の解のいずれかを選択することによって強調された差の解へ前記差についての二つの解を併合する各工程が含まれている。
さらに本発明の好ましい実施態様によれば、前記表面から反射される放射は一定波長の狭い帯域を持ち、分析対象波面の位相が前記表面中の構造変化に対して該波長の逆一次関数である比をもって比例するように構成されている。
またさらに本発明の好ましい実施態様によれば、前記対象物から反射される放射は一定波長の狭い帯域を持つものであり、分析対象波面の位相が前記対象物中の構造変化に対して該波長の逆一次関数である比をもって比例するように構成されている。
本発明についての理解及び評価は以下の図面及び下記の説明によって為し得るものである。
A. 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化を受けた変換波面を取得する機能、
B. 前記複数の位相変化を与えた変換波面の複数の強度マップを取得する機能、及び
C. 前記複数の強度マップを用いて分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方あるいは可能ならば双方を表示する出力を取得する機能。
コンピュータ136を用いる等により、マップ130、132及び134等の複数の強度マップを分析対象波面の位相及び振幅、及び前記複数の異なる位相変化の少なくとも一方の数理的関数として表す機能、ここで前記振幅及び位相の前記少なくとも一方あるいは可能ならば双方は未知であり、典型的には変換波面108への光路遅延110、112及び114で示される前記複数の異なる位相変化は既知である、及び
コンピュータ136等の手段により、前記少なくとも1の数理的関数を用いて分析対象波面の振幅及び位相の少なくとも一方あるいは可能ならば双方の表示を取得する機能、ここで符号138が付された位相関数及び符号139が付された振幅関数で表示されているものはそれぞれ波面100の位相特性102及び振幅特性103を示すものである。この例では波面100はコンパクトディスクあるいはDVD104に含まれる情報を示すものである。
波面1200の振幅と、波面1200の位相と、及び異なる位相変化を受けた変換波面1210、1212及び1214を特徴付ける位相変化関数との複素関数を限定する工程と(この複素関数は、前記複数の強度マップ中の各位置における強度がその位置での前記複素関数の数値及び同じ位置での波面1200の振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする)、
前記複素関数を前記複数の強度マップ1220、1222及び1224の第三関数として表す工程と、
前記複数の強度マップの関数として表された複素関数を用いて波面1200の位相及び振幅の少なくとも一方等の未知数についての数値を得る工程、
が含まれている。
f(x)= A(x)eiφ(x)、
(ここでxは空間位置の一般的表示である)として表されていることが分かる。前記複素関数は分析対象波面の振幅及び位相と同一である振幅分布A(x)及び位相分布φ(x)を有する。前記第一複素関数
f(x)= A(x) eiφ(x)
は符号1300で示されている。
S(x)=f(x)*ξ(G)=|S(x)|eiα(x)
で示され、符号*はコンボリューションを表し、ξ(G)は関数Gのフーリエ変換である。
In(x)=|A(x)+(eiθn−1)|S(x)|e−iΨ(x)|2、
を有する3つの関数を含んでいる。ここで、In(x)は予測強度マップであり、n =1, 2 または3である。前記3つの関数のうち、θ1、θ2及びθ3はそれぞれ変換波面の空間領域へ処理されてそれぞれ強度マップI1(x)、I2(x)およびI3(x)を生成する前記複数の異なる空間位相変化をもたらす均質な空間位相遅延の既知の数値である。
S0 = |S|、Sn+1= Sn M/ ||Sn M||
であり、式中nは反復工程数である。
S(x)= 〔(A(x)eiΨ(x)/|S(x)|)S(x)〕* ξ[G]
(式中、関数A(x)eiΨ(x)/ |S(x)|は既知である)を限定する式を解くことによって第二複素関数の位相α(x)が得られる。
波面の振幅A(x)、
第二複素関数の絶対値|S(x)|、
前記波面の位相と第二複素関数の位相間の差Ψ(x)、
それぞれが前記少なくとも4つの強度マップの一つに対応する前記少なくとも4つの異なる位相変化の一つによってひき起こされた既知の位相遅延、及び
少なくとも1の付加的未知数の数が、その数によって前記複数の強度マップの数が3を超えることとなるその数以下である、波面分析に関わる少なくとも1の付加的未知数、
の第三関数として表すことができる。
In(x) =β0(x)+ βc(x)cos(θn)+ βs(x)sin(θn)、
として表すものである(式中θnは強度マップIn(x)に対応する位相遅延の数値)。好ましくは式
In(x) = |A(x) +(eiθn−1)|S(x)|e−iΨ(x)|2
として表される各強度マップIn(x)は(nは1,2, ・・・N)、次いで式
In(x) = β0(x)+ βc(x)cos(θn)+ βs(x)sin(θn)、
として表されることが好ましい。尚、式中、
β0(x) = A(x)2 + 2|S(x)|2 − 2A(x)|S(x)|cos(Ψ)
βc(x) = 2A(x)|S(x)|cos(Ψ) − 2|S(x)|2
βs(x) = 2A(x)|S(x)|sin(Ψ)。
I(θN)=β0+βccosθN+sinθN
に最も良く当てはまるβ0、βc、βsの値をを計算することによって前記第三関数1320を解く。続いて、振幅A(x)は、
A(x)=√(β0(x)+βc(x))
により求め、第二複素関数の絶対値|S(x)|を|S(x)|2に対する第二階級式
|S(x)|4− β0(x)|S(x)|2 + (βc(x)2 + βs(x)2)/4 = 0
を解いて求め、及びΨ(x)が式
Ψ(x) = arg(βc(x) + 2|S(x)|2 + iβs(x))
によって求められる。
第二複素関数の絶対値|S(x)|について|Sh(x)|及び|Sl(x)|で示す二つの解、すなわち高い数値の解と低い数値の解をそれぞれ取得し、及び
強調絶対値解が符号1312で示す第二複素関数を満たすように各空間位置x0において高い数値の解|Sh(x0)|と低い数値の解|Sl(x0)|のいずれかを選択することにより前記二つの解を第二複素関数の絶対値に対する強調絶対値解|S(x)|へ併合する、
機能が含まれている。
分析対象波面の振幅A(x)及び該波面の位相と第二複素関数の位相間の差Ψ(x)のそれぞれについて高い数値の解Ah(x)及びΨh(x)と低い数値の解Al(x)及びΨl(x)の二つの解を取得する工程と、
各空間位置x0において|Sh(x0)|が前記絶対値解について選択されているならば前記振幅解についてAh(x0)を選択し、各位置x1において|Sl(x1)|が前記絶対値解について選択されているならばA1(x1)が前記振幅解について選択されるように前記高い数値の解Ah(x0)と低い数値の解A1(x1)のいずれかを各空間位置x0において選択することによって強調振幅解へ振幅についての二つの解Ah(x)及びA1(x)を併合する工程と、及び
各空間位置x0において|Sh(x0)|が前記絶対値解について選択されているならば前記波面の位相と第二複素関数の位相間の差の解についてΨh(x0)を選択し、各位置x1において|Sl(x1)|が前記絶対値解について選択されているならばΨ1(x1)が前記差の解について選択されるように前記高い数値の解Ψh(x0)と低い数値の解Ψ1(x0)のいずれかを各空間位置x0において選択することによって強調された差の解へ前記差についての二つの解Ψh(x)及びΨ1(x)を併合する工程する工程、
が含まれていることが好ましい。
符号β0(x)、β1(x)、β2(x)及びβ3(x)で示されたいずれも前記複数の強度マップの関数でもなく、また位相及び振幅変化を決定する空間関数Gの関数でもない第4、第5、第6及び第7複素関数を限定する機能と(ここで第4、第5、第6及び第7複素関数のそれぞれは、波面の振幅A(x)、第二複素関数の絶対値|S(x)|、波面の位相と第二複素関数の位相間の差Ψ(x)の関数であることが好ましい)、
μで示した第8関数を位相遅延と振幅減衰の併合として限定する機能と(前記第8関数は変換波面へ処理されたn番目の変化については位相変化θn及び振幅減衰σnを含みμnで示されていて、この組合せμnは式
μn = σneiθn− 1
によって限定される)、及び
前記強度マップIn(x)のそれぞれを式
In(x) = β0(x) + β1(x)|μn|2 + β2(x)μn+ β3(x)(μn ̄)
(式中、β0(x)=A2(x),β1(x)=|S(x)|2、β2(x)=A(x)|S(x)|e−iΨ(x)、β3(x)=A(x)|S(x)|eiΨ(x))
として表す機能、
を含んでいる。
In(x) = β0(x) + β1(x)|μn|2 + β2(x)μn+ β3(x)(μn ̄)
に最もよく適するβ0(x)、β1(x)、β2(x)及びβ3(x)の数値を計算することによって前記第三関数を解く機能が含まれている。ついで、前記振幅A(x)は、A(x)=√(β0(x))によって求められ、第2複素関数の絶対値|S(x)|は|S(x)|=√(β1(x))によって求められ、及びΨ(x)はeiΨ(x)=angle(β3(x))を解くことによって求められる。
A. 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する機能、
B. 前記複数の振幅変化された変換波面の前記複数の強度マップを取得する機能、及び
C. 前記複数の強度マップを用いて分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方あるいはできれば双方を表示する出力を取得する機能。
複数の光の点源で示すことができる波面は全体を通して符号2100で示している。波面2100は、実線で示したような及び全体を通して符号2102を付した典型的には空間的に均質でない位相特性をもっている。波面2100はまた点線で示したような及び全体を通して符号2103を付した典型的には均質でない振幅特性をもっている。かかる波面は、例えばDVDあるいはコンパクトディスク2104等の光ディスクを読み出すことによって適当な対象物から光を受けとる従来方法で取得される。
コンピュータ2136を用いる等により、マップ2130、2132及び2134等の複数の強度マップを分析対象波面の及び複数の異なる振幅変化の位相及び振幅の少なくとも1の数理的関数として表す機能(ここで、前記位相及び振幅の少なくとも一方あるいはできれば双方は未知であり、典型例として変換波面2108へ処理された光減衰成分2110、2112及び2114で示される前記複数の異なる振幅変化は既知である)、及び
コンピュータ2136による等により、前記少なくとも1の数理的関数を用いて、ここでは符号2138で示した位相関数と符号2139で示した振幅関数によって表され、それぞれ前記波面2100の位相特性2102及び振幅特性2103を表す分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方あるいはできれば双方についての表示を取得する機能によって実現される。この例においては、波面2100はコンパクトディスクあるいはDVD中に含まれた前記情報を表すことか可能である。
分析対象波面2100を該分析対象波面の振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す機能と、
前記強度マップを前記第一関数の及び前記空間的に均質な時変性空間振幅変化を決定する空間関数の関数として表す機能と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数の及び前記空間的に均質な時変性空間振幅減衰を決定する空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する機能と、
前記複数の強度マップを、
前記分析対象波面の振幅、
前記第二複素関数の前記絶対値、
前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差と、及び
前記少なくとも3つの強度マップのひとつがそれぞれ対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化の一つによってひき起こされる既知の振幅減衰
の第三関数として表す機能と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の振幅、第二複素関数の絶対値、及び分析対象波面の位相と第二複素関数の位相間の差を取得する機能と、
前記第二複素関数を解いて第二複素関数の位相を取得する機能と、及び
前記分析対象波面の位相と第二複素関数の位相間の差へ前記第二複素関数の位相を加えることによって分析対象波面の位相を取得する機能
が含まれている。
Claims (320)
- 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表む面写像波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。 - 対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することにより前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程とから構成される対象物検査方法。 - 対象物へ放射を衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する工程と、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することにより複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、及び、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差を表示する出力を取得する工程から構成される位相変化分析方法。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて分析対象の保存データ検索波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の振幅を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の振幅についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける位相変化関数の関数として表し、
前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける前記位相変化関数の複素関数を限定し(ここで前記複素関数は、前記複数の強度マップの各位置における強度が前記位置における前記複素関数数値、及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする)、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表し、及び
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いることにより前記位相に関する数値を取得することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性空間位相変化を処理して少なくとも3つの異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
第二のフーリエ変換処理を行って前記少なくとも3つの位相変化された変換波面の少なくとも3つの強度マップを取得する工程と、
前記少なくとも3つの強度マップを用い、前記分析対象波面を該分析対象波面の振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表し、前記複数の強度マップを前記第一複素関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する空間関数の関数として表し、絶対値及び位相を有する第二関数を前記第一関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定し、前記複数の強度マップのそれぞれを前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれ前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表し、前記第三関数を解いて前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差を取得し、前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の位相を取得し、及び前記第二複素関数の位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差へ加えることによって前記分析対象波面の位相を取得することによって前記分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記分析対象波面の位相についての第二階級表示の出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。 - 対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。 - 放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。 - 少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 表面から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面少なくとも位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。 - 放射を対象物へ衝突させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記少なくとも位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって該媒体中に情報が符号化された該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
少なくとも前記位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。 - 見られる対象物から放射を反射することによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成される表面写像方法。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程から構成される対象物検査方法。 - 放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得し、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記少なくとも振幅を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。 - 前記複数の強度マップを用いて前記振幅及び位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項1−4項、6項及び7項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて前記位相を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項12−17項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項8項、10項及び18−23項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて前記振幅を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項9項及び24−27項のいずれかに記載の方法。
- 前記異なる位相変化された変換波面が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって取得されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記異なる位相変化された変換波面が、分析対象波面の変換後に該分析対象波面へデルタ関数位相変化を行うこととは実質的に異なる方法で実現されることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて、ハロー及びシェージングオフ歪みのほぼない前記位相を表示する出力を取得することを特徴とする前記請求項1−4項、6−8項、10項、12−23項、28−30項、32項及び33項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面が、変換波面への空間位相変化処理及び該変換波面への空間位相変化処理後の波面の変換の少なくとも一方に起因して生ずる複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項及び12−34項のいずれかに記載の方法。
- 複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項及び12−34項のいずれかに記載の方法。 - 複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする特徴とする前記請求項1−4項、6−10項及び12−34項のいずれかに記載の方法。 - 複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項及び12−34項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれることを特徴とする前記請求項38項記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項38項記載の方法。
- 前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項39項記載の方法。
- 前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換はフーリエ変換であり、前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面をフーリエ変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項41項記載の方法。
- 複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することにより変換波面を取得する工程と、
前記変換された波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が含まれ、
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、
前記複数の異なる空間位相変化は、前記変換波面の一部と前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間位相変化は少なくとも3つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数の関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項1−4項、6−9項及び12−34項のいずれかに記載の方法。 - 前記第二複素関数の前記絶対値が該絶対値を一定次数の多項式へ近づけることによって得られることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。
- 前記第二複素関数の前記位相が、該第二複素関数が反復処理によって得られる固有ベクトルである場合に該第二複素関数を固有値問題として表すことによって得られることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。
- 前記第二複素関数の前記位相は、前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換を多項式へ近づけること及び前記第二複素関数を多項式へ近づけることを含む機能によって取得されることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。
- 前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値、及び前記第二複素関数の位相と前記分析対象波面の位相間の差が、前記複数の強度マップの数が増えるに従って正確性が増す最小二乗法によって取得されることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化は少なくとも4つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも4つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも4つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延、及び前記波面分析に関連するその数によって前記複数の強度マップが3を超える該数以下である少なくとも1の付加的未知数の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差、及び前記少なくとも1の付加的未知数を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。 - 前記位相変化が前記強度マップ中のコントラストが最大となり及び前記分析対象波面の位相上におけるノイズの影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。
- 前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延の第三関数として表す工程が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の関数である第4、第5及び第6複素関数を限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第4複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のサインによって掛け算された第5複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のコサインによって掛け算された第6複素関数の総和として表す工程から成ることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。 - 前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を得る工程と、
各空間位置において、強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で前記二つの解の数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ前記二つの解を併合し、及び各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記振幅解について選択される方法で前記振幅の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅の前記二つの解を強調振幅解へ併合する工程と、
各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差の解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記差の解について選択される方法で前記差の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差の前記二つの解を強調差解へ併合する工程が含まれることを特徴とする前記請求項43項記載の方法。 - 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項41−51項のいずれかに記載の方法。
- 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的に中心となる全体として円形な領域へ処理されることを特徴とする前記請求項41−51項のいずれかに記載の方法。
- 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項41−51項のいずれかに記載の方法。
- 前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方にはDC領域及び非DC領域が含まれ、及び
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記DC領域及び非DC領域双方の少なくとも一部へ処理されることを特徴とする前記請求項41−51項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる位相変化された変換波面の高周波成分を増加させるため、前記分析対象波面へ相対的に高周波成分から成る位相成分を加える工程をさらに含むことを特徴とする前記請求項36−55項のいずれかに記載の方法。
- 前記情報が前記媒体上に符号化されることにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの反射によって前記位置に保存された前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まることが実現され、及び
前記複数の強度マップを用いることにより、多重強度値が各位置について実現され及び前記媒体上の各位置について情報の多重成分が与えられることを特徴とする前記請求項6項記載の方法。 - 前記複数の異なる位相変化された変換波面が、それらの位相が少なくとも時変性の位相変化関数を用いることによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項1−10項及び12−35項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面が、それらの位相が少なくとも時変性の位相変化関数を前記分析対象波面へ処理することによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項1−10項、12−35項及び57項のいずれかに記載の方法。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の変換前に該分析対象波面へ処理されることを特徴とする前記請求項59項記載の方法。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の変換後に該分析対象波面に対して処理されることを特徴とする前記請求項59項記載の方法。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数が空間的に均質な空間関数であることを特徴とする前記請求項60項記載の方法。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項62項記載の方法。
- 前記分析対象波面が複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる位相変化された変換波面が、前記分析対象波面及び前記分析対象波面を変換処理することによって得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ位相変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項及び12−57項のいずれかに記載の方法。 - 前記位相変化が前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ処理されることを特徴とする前記請求項64項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、その厚さと屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項64項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を空間的に変化する表面から反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項64項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで異なるように選択されることを特徴とする前記請求項64項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項64項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記位相変化が、それぞれがその厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化することを特徴とする複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項64項、68項及び69項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップの取得が前記複数の異なる波長成分のすべてについて同時に行われ、及び
前記複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項64−70項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる位相変化された変換波面を分離する工程が分散素子を通して前記複数の異なる位相変化された変換波面を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項71項記載の方法。
- 前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び
前記複数の異なる位相変化された変換波面は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理して得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ位相変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項、12−57項及び61項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる分極成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて異なることを特徴とする前記請求項73項記載の方法。
- 前記複数の異なる分極成分へ処理された前記位相変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項73項記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項1−10項、12−41項及び43−75項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の強度マップが、前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換するように反射面から前記複数の異なる位相変化された変換波面を反射させることによって取得されることを特徴とする前記請求項1−10項、12−41項及び43−75項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する工程が含まれ、及び
前記複数の異なる位相変化された変換波面へ処理された前記変換が前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換と同一となるように、前記複数の異なる位相変化された変換波面が反射面から反射されることを特徴とする前記請求項36−57項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であることを特徴とする前記請求項36−57項及び75項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくとも一方が未知数である前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項1−4項、6項、7項、12−42項及び58−79項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が未知数である前記位相及び振幅と、既知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも1の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項36−56項及び78−79項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、各組合せが前記複数の強度マップのうちの少なくとも3つから成る複数の組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項1−4項、6項、7項、12−42項及び58−79項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える工程がさらに含まれることを特徴とする前記請求項82項記載の方法。
- 前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示の少なくともいくつかが前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての少なくとも第二階級強調表示であることを特徴とする前記請求項82項記載の方法。
- 複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と複数の異なる位相及び振幅変化を前記変換波面へ処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する工程から構成されることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項、12−34項、39−42項及び64−77項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変化はフーリエ変換であり、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は少なくとも3つの位相及び振幅変化から成り、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は、空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を、前記変換波面の少なくとも一部と前記分析対象波面の少なくとも一部の少なくとも一方へ処理することによって遂行され、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及び空間的に均質な時変性の空間位相変化と空間的に均質な時変性空間振幅変化の少なくとも一方を決定する前記空間関数の第三関数として表し、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のうちの少なくとも一つの関数である第4、第5、第6及び第7複素関数を限定する工程と、
前記スキンクリーム製剤3つの強度マップに対応する前記少なくとも3つの異なる位相及び振幅変化の一つによってひき起こされた位相遅延及び振幅変化の第8関数を限定する工程、及び
前記複数の強度マップを、前記第4複素関数、前記第8関数を二乗した絶対値で掛け算された前記第5複素関数、前記第8関数で掛け算された前記第6複素関数、及び前記第8関数の複合共役で掛け算された前記第7複素関数の総和として表す工程から構成される工程と、
前記第三関数を解いて、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程、及び
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項85項記載の方法。 - 前記分析対象波面は少なくとも2つの波長成分から成り、
複数の強度マップを取得する前記工程にはさらに、前記位相変化された変換波面の少なくとも2つの波長成分を取得するため、及び各組が前記位相変化された変換波面の前記少なくとも2つの波長成分の異なる一方に対応する少なくとも2組の強度マップを取得するため、前記少なくとも2つの波長成分に従って前記位相変化された変換波面を分離する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する工程には、前記少なくとも2組の強度マップのそれぞれから前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を取得する工程と、前記出力を併合して表示中に2π曖昧性のない前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項1−8項、10項、12−23項、28−41項及び43−86項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面は少なくとも1の一次元成分から成り、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面を前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する前記次元において変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する工程、及び
前記少なくとも1の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップが用いられて前記分析対象波面の前記少なくとも1の一次元成分の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力が取得されることを特徴とする前記請求項1−4項、6−10項、12−34項、39−56項、64−75項、85項及び87項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の位相変化を発生する素子間へ前記伝搬方向及び前記伝搬方向に対して直交する次元の双方に対して直交する付加的次元内の相対運動を与えることによって前記複数の異なる位相変化が前記少なくとも1の一次元成分へ処理されることを特徴とする前記請求項88項記載の方法。
- 前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる位相変化が前記分析対象波面の前記複数の一次元成分のそれぞれの前記複数の異なる波長成分へ処理され、及び
複数の強度マップを取得する前記工程には前記複数の位相変化された変換波面の前記複数の一次元成分を別個の波長成分へと分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項88項及び89項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面へ処理された前記一次元フーリエ変換には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化する付加的フーリエ変換が含まれることを特徴とする前記請求項88−90項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記表面から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有して、前記分析対象波面の前記位相を前記表面中の構造変化と前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項2項、13項、19項及び25項のいずれかに記載の方法。
- 前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも2つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中に少なくとも2つの波長成分と前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも2つの表示を与えて、前記2つの狭い帯域が中心とする前記異なる波長のうちの長い波長を超える写像における曖昧性を回避することによって、その上へ前記放射が衝突する被衝突素子における表面の構造変化、厚さ及び構造変化の少なくともいずれか一つを含む特徴の強調表示を可能とすることを特徴とする前記請求項2項、3項、7項、13項、14項、17項、19項、20項、23項、25項及び26項のいずれかに記載の方法。
- 前記対象物は材質上及び他の光学特性において均質であり、前記分析対象波面の前記位相は前記対象物の厚さに比例することを特徴とする前記請求項3項、14項、20項及び26項のいずれかに記載の方法。
- 前記対象物は厚さにおいてほぼ均質であり、前記分析対象の対象物検査波面の位相は前記対象物の光学特性に比例することを特徴とする前記請求項3項、14項、20項及び26項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面を取得する工程が前記対象物から前記放射を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項4項、15項、21項及び27項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面を取得する工程が前記対象物を通して前記放射を伝搬させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項4項、15項、21項及び27項のいずれかに記載の方法。
- 前記放射が実質的に単一波長から成る場合、前記分析対象波面の位相が前記単一波長に逆比例し、かつ前記被衝突対象物の表面特性と厚さの少なくとも一方と関連することを特徴とする前記請求項4項、15項、21項、27項、97項及び98項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる位相変化中に横方向のズレが生じる場合、対応する変化が前記複数の強度マップ中に生じ、かかる強度マップを用いることにより結果として前記横方向のズレについての表示が取得されることを特徴とする前記請求項5項記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくともいずれか一方が既知である前記分析対象波面の位相及び振幅の、及び未知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも1の数理的関数として表す工程、及び
前記少なくとも一方の数理的関数を用いて前記複数の異なる位相変化間の前記差を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項5項及び100項のいずれかに記載の方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得し、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得し、
前記変換波面へ少なくとも1の位相変化を処理することによって少なくとも1の位相変化された変換波面を取得し、
前記少なくとも1の位相変化された変換波面の少なくとも1の強度マップを取得し、及び
前記少なくとも1の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも1の位相変化についての出力表示を取得する各工程から構成されることを特徴とする位相変化分析方法。 - 前記少なくとも1の位相変化が複数の所定の数値から選択された数値を有する位相遅延であり、前記少なくとも1の位相変化についての前記出力表示には前記位相遅延の前記数値が含まれることを特徴とする前記請求項102項記載の方法。
- 前記媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が、該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び
前記振幅及び位相についての表示を用いて前記情報を取得する工程には、前記位相についての表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する工程と前記振幅についての表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された情報を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項6項及び57項のいずれかに記載の方法。 - 前記対象物から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の位相を前記対象物中の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項7項、17項及び23項のいずれかに記載の方法。
- 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する各工程から構成されることを特徴とする波面分析方法。 - 表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する工程と、
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の表面写像波面を分析する工程から構成されることを特徴とする表面写像方法。 - 対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する工程と、
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することにより前記分析対象の対象物検査波面を分析する工程とから構成される対象物検査方法。 - 対象物へ放射を衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する工程と、
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる振幅変化を受けた変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象のスペクトル分析波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する工程から構成されるスペクトル分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する工程と、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することにより複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、及び、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる振幅変化間の差を表示する出力を取得する工程から構成される振幅変化分析方法。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって情報が該媒体中に符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する工程と、
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて分析対象の保存データ検索波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の保存データ検索波面を分析する工程と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する工程から構成される保存データ検索方法。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する工程と、
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を取得し、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得し、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の振幅及び位相を表示する出力を取得することによって前記分析対象の三次元画像形成波面を分析する工程から構成される三次元画像形成方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の位相についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、該複数の強度マップをそれらよりも少ない第二の複数の併合強度マップへ併合することによって前記分析対象波面の少なくとも振幅を表示する出力を取得し、前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の振幅を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して少なくとも前記分析対象波面の振幅についての強調表示を与える工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する工程と、
前記複数の振幅変化変換波面の複数の強度マップを取得する工程と、
前記複数の強度マップを用い、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける振幅変化関数の関数として表し、
前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける前記振幅変化関数の複素関数を限定し(ここで前記複素関数は、前記複数の強度マップの各位置における強度が前記位置における前記複素関数数値、及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする)、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表し、及び
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いることにより前記位相に関する数値を取得することによって前記分析対象波面の少なくとも位相を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理して変換波面を取得する工程と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性空間振幅変化を処理して少なくとも3つの異なる振幅変化された変換波面を取得する工程と、
第二のフーリエ変換処理を行って前記少なくとも3つの振幅変化された変換波面の少なくとも3つの強度マップを取得する工程と、
前記少なくとも3つの強度マップを用い、前記分析対象波面を該分析対象波面の振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表し、前記複数の強度マップを前記第一複素関数の及び前記空間的に均質な時変性空間位相変化を決定する空間関数の関数として表し、絶対値及び位相を有する第二関数を前記第一関数の及び前記空間的に均質な時変性空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定し、前記複数の強度マップのそれぞれを前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれ前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表し、前記第三関数を解いて前記分析対象波面の振幅、前記第二複素関数の絶対値及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差を取得し、前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の位相を取得し、及び前記第二複素関数の位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差へ加えることによって前記分析対象波面の位相を取得することによって前記分析対象波面の位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程から構成される波面分析方法。 - 前記複数の異なる振幅変化された変換波面が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって取得されることを特徴とする前記請求項106−116項のいずれかに記載の方法。
- 複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する工程と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方の工程と、
前記複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程から成ることを特徴とする前記請求項106−109項、111−115項及び117項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれることを特徴とする前記請求項118項記載の方法。
- 前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項118項記載の方法。
- 前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項119項記載の方法。
- 前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換はフーリエ変換であり、前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる振幅変化された変換波面をフーリエ変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項121項記載の方法。
- 複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することにより変換波面を取得する工程と、
前記変換された波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程の少なくとも一方と、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する工程と、
前記複数の異なる振幅変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程が含まれ、
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、
前記複数の異なる空間振幅変化は、前記変換波面の一部と前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間振幅変化は少なくとも3つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一な振幅及び位相を有する第一複素関数として表す工程と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数の関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する空間関数の関数として表す工程と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差を取得する工程と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する工程と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項106−109項、111−115項及び117項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる振幅変化は少なくとも4つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも4つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも4つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰、及び前記波面分析に関連するその数によって前記複数の強度マップが3を超える該数以下である少なくとも1の付加的未知数の第三関数として表す工程と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差、及び前記少なくとも1の付加的未知数を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項123項記載の方法。 - 前記振幅変化が前記強度マップ中のコントラストが最大となり及び前記分析対象波面の位相上におけるノイズの影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項123項記載の方法。
- 前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す工程が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれかの関数でもなくあるいは前記時変性の空間振幅変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の関数である第4、第5及び第6複素関数を限定する工程と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第4複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰によって掛け算された第5複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の二乗された振幅減衰によって掛け算された第6複素関数の総和として表す工程から成ることを特徴とする前記請求項123項記載の方法。 - 前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差を取得する工程には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を得る工程と、
各空間位置において、強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で前記二つの解の数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ前記二つの解を併合し、及び各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記振幅解について選択される方法で前記振幅の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅の前記二つの解を強調振幅解へ併合する工程と、
各空間位置において、前記数値の高い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記分析対象波面の位相と前記第二複素関数の位相間の差の解について前記数値の高い解が選択され、及び前記数値の低い解が前記絶対値解について選択される各位置においては前記数値の低い解が前記差の解について選択される方法で前記差の二つの解のうちの数値の高い解あるいは数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差の前記二つの解を強調差解へ併合する工程が含まれることを特徴とする前記請求項123項記載の方法。 - 前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項121−127項のいずれかに記載の方法。
- 前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項121−127項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる振幅変化された変換波面の高周波成分を増加させるため、前記分析対象波面へ相対的に高周波成分から成る位相成分を加える工程をさらに含むことを特徴とする前記請求項118−128項のいずれかに記載の方法。
- 前記情報が前記媒体上に符号化されることにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの反射によって前記位置に保存された前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まることが実現され、及び
前記複数の強度マップを用いることにより、多重強度値が各位置について実現され及び前記媒体上の各位置について情報の多重成分が与えられることを特徴とする前記請求項111項記載の方法。 - 前記複数の異なる振幅変化された変換波面が、それらの振幅が少なくとも時変性の振幅変化関数を前記分析対象波面へ処理することによって変化している複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項106−115項、117項及び131項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面が複数の異なる波長成分から成り、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面が、前記分析対象波面及び前記分析対象波面を変換処理することによって得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ振幅変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項106−109項、111−115項及び117−131項のいずれかに記載の方法。 - 前記振幅変化が前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ処理されることを特徴とする前記請求項133項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、前記波成分のそれによる伝搬が空間的に変化する対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項133項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方をその表面による前記波成分の反射が空間的に変化する該表面から反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項133項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで異なるように選択されることを特徴とする前記請求項133項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一となるように選択されることを特徴とする前記請求項133項記載の方法。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理された前記振幅変化が、それぞれによる前記波成分の伝搬が空間的に変化することを特徴とする複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項133項、137項及び138項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の強度マップの取得が前記複数の異なる波長成分のすべてについて同時に行われ、及び
前記複数の強度マップを取得する工程には前記複数の異なる振幅変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する工程が含まれることを特徴とする前記請求項133−139項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる振幅変化された変換波面を分離する工程が分散素子を通して前記複数の異なる振幅変化された変換波面を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項140項記載の方法。
- 前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び
前記複数の異なる振幅変化された変換波面は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理して得られた変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ振幅変化処理を行うことによって取得されることを特徴とする前記請求項106−109項、111−115項、117−131項及び133項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の異なる分極成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて異なることを特徴とする前記請求項142項記載の方法。
- 前記複数の異なる分極成分へ処理された前記振幅変化が前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項142項記載の方法。
- 前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する工程には、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換処理する工程が含まれることを特徴とする前記請求項106−115項、117−121項及び123−144項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の強度マップが、前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換するように反射面から前記複数の異なる振幅変化された変換波面を反射させることによって取得されることを特徴とする前記請求項106−115項、117−121項及び123−144項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であることを特徴とする前記請求項118−131項記載の方法。
- 前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、
前記複数の強度マップを、少なくとも一方が未知数である前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも1の数理的関数として表す工程と、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程が含まれることを特徴とする前記請求項106−109項、111項、112項、117−122項及び132−147項のいずれかに記載の方法。 - 前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、及び
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得する工程には、各組合せが前記複数の強度マップのうちの少なくとも3つから成る複数の組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える工程が含まれることを特徴とする前記請求項106−109項、111項、112項、117−122項及び132−147項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える工程がさらに含まれることを特徴とする前記請求項149項記載の方法。
- 前記分析対象波面は少なくとも1の一次元成分から成り、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する工程には、
前記分析対象波面を前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する前記次元において変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する工程、及び
前記少なくとも1の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する工程が含まれ、及び
前記複数の強度マップが用いられて前記分析対象波面の前記少なくとも1の一次元成分の振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力が取得されることを特徴とする前記請求項106−109項、111−115項、117項、119−130項及び133−144項のいずれかに記載の方法。 - 前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の振幅変化を発生する成分間へ前記伝搬方向及び前記伝搬方向に対して直交する次元に対して直交する次元内にある相対運動を与えることによって前記複数の異なる振幅変化が前記少なくとも1の一次元成分へ処理されることを特徴とする前記請求項151項記載の方法。
- 前記分析対象波面へ処理された前記一次元フーリエ変換には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化する付加的フーリエ変換が含まれることを特徴とする前記請求項151項あるいは152項のいずれかに記載の方法。
- 前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行する請求項のいずれかに記載の方法。
- 前記表面から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有して、前記分析対象波面の前記位相を前記表面中の構造変化と前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項107項記載の方法。
- 前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも2つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中に少なくとも2つの波長成分と前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも2つの表示を与えて、前記2つの狭い帯域が中心とする前記異なる波長のうちの長い波長を超える写像における曖昧性を回避することによって、その上へ前記放射が衝突する被衝突素子における表面の構造変化、厚さ及び構造変化の少なくともいずれか一つを含む特徴の強調表示を可能とすることを特徴とする前記請求項107項、108項及び112項のいずれかに記載の方法。
- 前記複数の異なる振幅変化中に横方向のズレが生じる場合、対応する変化が前記複数の強度マップ中に生じ、かかる強度マップを用いることにより結果として前記横方向のズレについての表示が取得されることを特徴とする前記請求項110項記載の方法。
- 振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得し、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得し、
前記変換波面へ少なくとも1の振幅変化を処理することによって少なくとも1の振幅変化された変換波面を取得し、
前記少なくとも1の振幅変化された変換波面の少なくとも1の強度マップを取得し、及び
前記少なくとも1の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも1の振幅変化についての出力表示を取得する各工程から構成されることを特徴とする振幅変化分析方法。 - 前記媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が、該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び
前記振幅及び位相についての少なくとも一方の表示を用いて前記情報を取得する工程には、前記位相についての表示を用いて前記媒体の高さを選択にすることによって符号化された前記情報を取得する工程と前記振幅についての表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された情報を取得する工程の少なくとも一方が含まれることを特徴とする前記請求項111項及び131項のいずれかに記載の方法。 - 前記対象物から反射された放射は一定の波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の位相を前記対象物中の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させることを特徴とする前記請求項112項記載の方法。
- 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを与える強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相を表示する出力を与える強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。 - 放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
前記変換波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる位相変化間の差についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成される位相変化分析装置。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおいて該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存デー複数の検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
請求項複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記振幅を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の振幅についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける位相変化関数の関数として表す強度マップ表示装置と、
前記複数の強度マップ中の各位置における強度が前記位置における前記複素関数の数値及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする複素関数であって、かつ前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる位相変化された変換波面を特徴づける前記位相変化関数の複素関数である該複素関数を限定する複素関数限定装置と、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表す複素関数表示装置と、
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いて前記位相についての数値を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する第一変換処理装置と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって少なくとも3つの異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置と、
前記少なくとも3つの異なる位相変化された変換波面を第二のフーリエ変換処理することによって少なくとも3つの強度マップを取得する第二変換処理装置と、
前記少なくとも3つの強度マップを用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得し、及び
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされた既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を取得する波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の位相の少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。 - 対象物を通して放射を伝搬させることによって振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。 - 放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化される該媒体から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記位相についての少なくとも第二階級表示の出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の位相についての少なくとも第二階級表示の出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。 - 少なくとも振幅が空間的に均質でない振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 表面から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない前記振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面首都装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない前記振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。 - 放射を対象物へ衝突させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない該振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
少なくとも前記位相を表示する前記出力を用いて前記放射の少なくともペクト内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化される該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存データ検索波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
少なくとも前記位相を表示する前記出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって、少なくとも振幅が空間的に均質でない該振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 表面から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。 - 放射を対象物へ衝突させることによって振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記少なくとも振幅を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。 - 前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記振幅及び位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項161−164項、166項及び167項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記位相を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項172−177項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて少なくとも前記位相を表示する分析出力を与えることを特徴とする前記請求項168項、170項及び178−183項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いて前記振幅を表示する少なくとも第二階級分析出力を与えることを特徴とする前記請求項169項及び184−187項のいずれかに記載の装置。
- 前記波面変換装置が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって前記異なる位相変化された変換波面を与えることを特徴とする前記請求項161−191項のいずれかに記載の装置。
- 前記異なる位相変化された変換波面が、前記分析対象波面の変換後に該波面へデルタ関数位相変化を行う方法とは異なる方法で実現されることを特徴とする前記請求項161−192項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置が前記複数の強度マップを用いてハロー及びシェージングオフ歪みが実質的にない前記位相を表示する出力を与えることを特徴とする前記請求項161−164項、166項、168項、170項、122−183項、188−190項、192項及び193項のいずれかに記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面が、変換波面への空間位相変化の処理及び変換波面への空間位相変化処理後の波面の変換の少なくとも一方の結果として生じた複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−194項のいずれかに記載の装置。
- 前記波面変換装置が、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
複数の異なる位相変化を前記変換波面へ処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−194項のいずれかに記載の装置。 - 前記波面変換装置が、
複数の異なる位相変化を前記分析対象波面へ処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置と、
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理から構成されることを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−194項のいずれかに記載の装置。 - 前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置、及び
前記複数の異なる位相変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−194項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれることを特徴とする前記請求項198項記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項198項記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間位相変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項199項記載の装置。
- 前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であり、前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる位相変化された変換波面をフーリエ変換処理するフーリエ変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項201項記載の装置。
- 前記波面変換装置は、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された波面を取得する位相変化処理装置、及び
前記複数の異なる位相変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成され、
前記複数の異なる位相変化には空間位相変化が含まれ、
前記複数の異なる空間位相変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間位相変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間位相変化は少なくとも3つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる位相変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項161−164項、166−169項及び172−194項のいずれかに記載の装置。 - 前記第一関数解装置は前記絶対値を一定次数の多項式へ近づけることによって前記第二複素関数の前記絶対値を取得することを特徴とする前記請求項203項記載の装置。
- 前記位相取得装置は、前記第二複素関数が反復処理によって得られる固有ベクトルである場合、前記第二複素関数を固有値問題として表すことによって前記第二複素関数の前記位相を取得することを特徴とする前記請求項203項記載の装置。
- 前記第二関数解装置は、
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数の前記フーリエ変換を多項式へ近づける第一近似機能と、
前記第二複素関数を多項式へ近づける第二近似機能を含む機能を用いることによって前記第二複素関数の前記位相を取得することを特徴とする前記請求項203項記載の装置。 - 前記第一関数解装置は、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記第二複素関数の前記位相と前記分析対象波面の前記位相間の前記差を強度マップの数が増える程正確性が増す最小二乗法によって取得することを特徴とする前記請求項203項記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化は少なくとも4つの異なる位相変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、
前記強度マップ利用装置は、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも4つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも4つの異なる位相変化のいずれか一つによってひき起こされる既知の位相遅延、及び少なくとも1の付加的未知数の数がその数によって前記複数の強度マップが3をこえる該数以下である場合に前記波面分析に関連する少なくとも1の未知数の第三関数として表す強度マップ表示機能、及び
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差、及び前記少なくとも1の付加的未知数を取得する関数解装置を備えることを特徴とする前記請求項203項記載の装置。 - 前記位相変化は、前記強度マップ中のコントラストが最大となるように、かつ前記分析対象波面の前記位相上におけるノイズによる影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項203項記載の装置。
- 前記第二強度マップ表示装置が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれの関数でもなく、あるいは前記時変性の空間位相変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差の関数である第4、第5及び第6複素関数を限定する第二複素関数限定装置、及び
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第4複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のサインで掛け算された前記第5複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の位相遅延のコサインで掛け算された前記第6複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置から構成されることを特徴とする前記請求項203項記載の装置。 - 前記第一関数解装置には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を取得する解関数機能、
各空間位置において、前記強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で、前記二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれか一方を選択することによって前記二つの解を前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ併合する第一併合機能、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記振幅についての前記二つの解のうちの数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅についての前記二つの解を強調振幅解へ併合する第二併合機能、及び、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の解については前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記差の解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記差についての二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差についての前記二つの解を強調差の解へ併合する第三併合機能が備えられていることを特徴とする前記請求項203項記載の装置。 - 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項201−211項のいずれかに記載の装置。
- 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的に中心へ置かれた全体として円形な領域へ処理されることを特徴とする前記請求項201−211項のいずれかに記載の装置。
- 前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項201−211項のいずれかに記載の装置。
- 前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方にDC領域及び非DC領域が含まれ、及び
前記空間的に均質な時変性の空間位相変化が前記DC領域及び非DC領域双方の少なくとも一部へ処理されることを特徴とする前記請求項210−211項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる位相変化された変換波面の高周波容量を増加させるために相対的に高周波成分から成る位相成分を前記分析対象波面へ加える位相付加装置を含んで構成されることを特徴とする前記請求項196−215項のいずれかに記載の装置。
- 前記情報が前記媒体上へ符号化され、これにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの光の反射によって該位置に保存されている前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まるように実現され、及び
前記強度マップ利用装置は前記複数の強度マップを用いて各位置について多重強度値を実現し、前記媒体上の各位置について情報の多重成分を与えることを特徴とする前記請求項166項記載の装置。 - 前記波面変換装置は、少なくとも時変性の位相変化関数を用いることによって複数の波面の位相を変化させる位相変化装置を含むことを特徴とする前記請求項161−170項及び172−195項記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化された変換波面は、それら波面の位相が前記分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数を処理する位相変化装置によって変化されている複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項161−170項、172−195項及び217項のいずれかに記載の装置。
- 前記位相変化装置は前記分析対象波面の変換前に該分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数を与えるように作用すること特徴とする前記請求項219項記載の装置。
- 前記位相変化装置は、前記分析対象波面の変換後に続いて該分析対象波面へ少なくとも時変性の位相変化関数与えるように作用することを特徴とする前記請求項219項記載の装置。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数は空間的に均質な空間関数であることを特徴とする前記請求項220項記載の装置。
- 前記少なくとも時変性の位相変化関数が前記分析対象波面の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項222項記載の装置。
- 前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ位相変化を処理することによって前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−217項のいずれかに記載の装置。 - 前記波面変換装置は前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ前記位相変化を処理するように作用することを特徴とする前記請求項224項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は、対象物の厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化する該対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項224項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は空間的に変化する表面から前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項224項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで相違するように選択されることを特徴とする前記請求項224項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項224項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記位相変化は、複数の対象物のそれぞれの厚さ及び屈折率の少なくとも一方が空間的に変化することを特徴とする該複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項224項、228項及び229項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ発生装置は前記複数の異なる波長成分のすべてについて前記複数の強度マップを同時に取得するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の位相変化された変換波面を別個の波長成分へと分離する波長分離装置が含まれることを特徴とする前記請求項224−230項のいずれかに記載の装置。 - 前記波長分離装置には、分散素子を通して前記複数の位相変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する該分散素子が含まれることを特徴とする前記請求項231項記載の装置。
- 前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ位相変化を処理することによって前記複数の異なる位相変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項及び172−217項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる分極成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて相違することを特徴とする前記請求項233項記載の装置。
- 前記複数の異なる分極成分へ処理される前記位相変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項233項記載の装置。
- 前記強度マップ発生装置には、
前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項161−170項、172−201項及び203−235項のいずれかに記載の装置。 - 前記強度マップ発生装置には、前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換するように前記複数の異なる位相変化された変換波面を反射する反射面が含まれることを特徴とする前記請求項161−170項、172−201項及び203−235項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれ、及び、
前記複数の位相変化された変換波面は、前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方を変換処理する前記変換処理装置と前記複数の異なる位相変化された変換波面を変換処理する前記第二変換処理装置が同じ素子であるように反射面から反射されることを特徴とする前記請求項196−217項のいずれかに記載の装置。 - 前記変換処理装置は前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相変化された波面の少なくとも一方をフーリエ変換処理することを特徴とする前記請求項196−217項及び238項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅の少なくとも1の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項161−164項、166項、167項、172−202項及び218−239項のいずれかに記載の装置。 - 前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅、及び既知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも1の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項196−216項、238項及び239項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、それぞれが前記複数の強度マップのうちの少なくとも3つの組合せである複数の該組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項161−164項、166項、167項、172−202項及び218−239項のいずれかに記載の装置。 - 前記表示付与装置にはさらに、前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える強調表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項242項記載の装置。
- 前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示の少なくともいくつかが前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての少なくとも第二階級表示であることを特徴とする前記請求項242項記載の装置。
- 前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、前記変換波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する位相振幅変化処理装置の少なくとも一方か、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる位相及び振幅変化を処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された波面を取得する位相振幅変化処理装置、及び、
前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる位相及び振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項、172−194項、199−202項及び224−237項のいずれかに記載の装置。 - 前記分析対象波面及び前記複数の異なる位相及び振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理される前記変換はフーリエ変換であり、
前記複数の異なる位相及び振幅変化は少なくとも3つの異なる位相及び振幅変化から成り、
前記位相振幅変化処理装置は、空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性空間振幅変化の少なくとも一方を、前記変換波面の少なくとも一部及び前記分析対象波面の少なくとも一部の少なくとも一方へ処理することによって作用し、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び、空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の第三関数として表す第二強度マップ表示装置、及び、
空間的に均質な時変性の空間位相変化及び空間的に均質な時変性の空間振幅変化の少なくとも一方を決定する前記空間関数が含まれ、
いずれもが前記複数の強度マップあるいは前記時変性の空間位相変化のいずれの関数でもないが、各々が前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の少なくとも1の関数である第4、第5、第6及び第7複素関数を限定する第二複素関数限定装置と、
前記少なくとも3つの強度マップに対応する前記少なくとも3つの異なる位相及び振幅変化のいずれかによって双方ともひき起こされる位相遅延及び振幅変化の第8関数を限定する第三関数限定装置、及び、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第4複素関数、前記第8関数の二乗された前記絶対値によって掛け算された前記第5複素関数、前記第8関数で掛け算された前記第6複素関数及び前記第8関数の複合共役で掛け算された前記第7複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置、及び、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置から構成されることを特徴とする前記請求項245項記載の装置。 - 前記分析対象波面は少なくとも2つの波長成分から成り、
前記強度マップ発生装置にはさらに、前記少なくとも2つの波長成分に従って前記位相変化された変換波面を分離することによって前記位相変化された変換波面の少なくとも2つの波長成分を取得し、続いて各組が前記位相変化された変換波面の前記少なくとも2つの波長成分の異なる一方に対応する少なくとも2組の強度マップを取得する波面分離装置が含まれ、及び、
前記強度マップ利用装置には、前記少なくとも2組の強度マップのそれぞれから前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を取得し、及び前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての強調表示の中に2π曖昧性がない該強調表示を与える位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項161−168項、170項、172−183項、188−201項及び203−246項のいずれかに記載の装置。 - 前記分析対象波面は少なくとも1の一次元成分から成り、
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を、前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において実施される一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する次元において変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する変換処理装置、及び、
前記少なくとも1の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる位相変化を処理することによって複数の異なる位相変化された変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する位相変化処理装置を含んで構成され、及び
前記強度マップ利用装置は前記分析対象波面の前記少なくとも1の一次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得するように作用することを特徴とする前記請求項161−164項、166−170項、172−194項、199−216項、224−235項、245項及び247項のいずれかに記載の装置。 - 前記位相変化処理装置は、前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の位相変化を起こす素子間に生じて前記伝搬方向及び該伝搬方向に対して直交する前記次元の双方に対して直行する付加的次元中に存在する相対運動を与える運動発生装置を含んで構成される前記請求項248項記載の装置。
- 前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、
前記位相変化処理装置は前記分析対象波面の前記複数の一次元成分のそれぞれの前記複数の異なる波長成分へ複数の異なる位相変化を処理するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の位相変化された変換波面の前記複数の一次元成分を別個の波長成分へ分離する波長分離装置が含まれていることを特徴とする前記請求項248項及び249項のいずれかに記載の装置。 - 前記変換処理装置には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化するために付加的フーリエ変換処理を行う付加変換処理装置が含まれていることを特徴とする前記請求項248−250項のいずれかに記載の装置。
- 前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行するいずれかの請求項に記載の装置。
- 前記表面から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記表面の構造変化に前記波長の逆一次関数である比をもって比例させていることを特徴とする前記請求項162項、173項、179項及び185項のいずれかに記載の装置。
- 前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも2つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中の少なくとも2つの波長成分及び前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも2つの表示を与えることにより、前記2つの狭い帯域が中心を置いている前記異なる波長のうちの大きな波長を超える写像における曖昧性を回避して前記放射の衝突を受けた素子の少なくとも表面の構造変化、厚さ及び前記素子中の構造変化を含む特徴の強調写像を可能としていることを特徴とする前記請求項162項、163項、167項、173項、174項、177項、179項、180項、183項、185項及び186項のいずれかに記載の装置。
- 前記対象物が材質及び対象物の光学的特性においてほぼ均質である場合、前記分析対象波面の前記位相が前記対象物の厚さに比例することを特徴とする前記請求項163項、174項、180項及び186項のいずれかに記載の装置。
- 前記対象物が厚さにおいてほぼ均質である場合、前記分析対象波面の前記位相が前記対象物の光学特性に比例することを特徴とする前記請求項163項、174項、180項及び186項のいずれかに記載の装置。
- 前記波面取得装置は前記対象物から前記放射を反射させることによって前記分析対象波面を取得することを特徴とする前記請求項164項、175項、181項及び187項のいずれかに記載の装置。
- 前記波面取得装置は前記放射を前記対象物を通して伝搬させることによって前記分析対象波面を取得することを特徴とする前記請求項164項、175項、181項及び187項のいずれかに記載の装置。
- 前記放射は実質的に単一波長であり、前記分析対象波面の前記位相は前記単一波長に逆比例し、及び前記衝突を受けた対象物の表面特性及び厚さの少なくとも一方と関連していることを特徴とする前記請求項164項、175項、181項、187項、257項及び258項のいずれかに記載の装置。
- 前記複数の異なる位相変化に横方向のズレが生じた場合には対応する変化が前記複数の強度マップ中にも生じ、前記強度マップ利用装置が前記横方向のズレについての表示を取得することを特徴とする前記請求項165項記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の少なくとも一方が既知である前記位相及び振幅、及び未知である前記複数の異なる位相変化の少なくとも1の数理的関数として表す強度マップ表示装置と、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記複数の異なる位相変化間の前記差を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項165項及び260項のいずれかに記載の装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象の位相変化分析波面を取得する波面取得装置、
前記分析対象の位相変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置、
前記変換波面へ少なくとも1の位相変化を処理することによって少なくとも1の位相変化された変換波面を取得する位相変化処理装置、
前記少なくとも1の位相変化された変換波面の少なくとも1の強度マップを取得する強度マップ発生装置、及び、
前記少なくとも1の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも1の位相変化についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成されることを特徴とする位相変化分析装置。 - 前記少なくとも1の位相変化が複数の所定数値から選択された数値を有する位相遅延であり、前記少なくとも1の位相変化についての出力表示には前記位相遅延の前記数値が含まれることを特徴とする前記請求項262項記載の装置。
- 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び、
前記位相振幅利用装置には前記位相についての前記表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する位相利用装置と、前記振幅についての前記表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された前記情報を取得する振幅利用装置が含まれていることを特徴とする前記請求項166項及び217項のいずれかに記載の装置。 - 前記対象物から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記波長の逆一次関数である比をもって前記対象物中の構造変化へ比例させていることを特徴とする前記請求項167項、177項及び183項のいずれかに記載の装置。
- 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを与える強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を与える強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 表面から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の表面写像波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の表面写像波面を分析し、及び
前記分析対象の表面写像波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の位相変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の表面写像波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される表面写像装置。 - 放射を対象物を通して伝搬させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の対象物検査波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の対象物検査波面を分析し、及び
前記分析対象の対象物検査波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の対象物検査波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される対象物検査装置。 - 放射を対象物へ衝突させることによって、振幅及び位相を有する分析対象のスペクトル分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象のスペクトル分析波面を分析し、及び
前記分析対象のスペクトル分析波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象のスペクトル分析波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記放射のスペクトル内容を表示する出力を取得する位相振幅利用装置から構成されるスペクトル分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と、
前記変換波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記複数の異なる振幅変化間の差についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成される振幅変化分析装置。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおいて該媒体の高さを選択することによってその中に情報が符号化されている該媒体から放射を反射させることによって振幅及び位相を有する分析対象の保存データ検索波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の保存データ検索波面を分析し、及び
前記分析対象の保存デー複数の検索波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の保存データ検索波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する波面分析装置と、
前記振幅及び位相を表示する出力を用いて前記情報を取得する位相振幅利用装置から構成される保存データ検索装置。 - 見られる対象物から放射を反射させることによって、振幅及び位相を有する分析対象の三次元画像形成波面を取得する波面取得装置と、
前記分析対象の三次元画像形成波面を分析し、及び
前記分析対象の三次元画像形成波面に対応する複数の異なる振幅変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象の三次元画像形成波面の前記振幅及び位相を表示する出力を取得する強度マップ利用装置を含んで構成される波面分析装置から構成される三次元画像形成装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記位相を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の位相についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記振幅を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、該第一の複数の強度マップより少ない第二の複数の併合強度マップへ併合する強度併合装置と、
前記第二の複数の併合強度マップのそれぞれから少なくとも前記分析対象波面の前記振幅を表示する出力を与える表示付与装置と、
前記出力を併合して前記分析対象波面の振幅についての少なくとも強調表示を与える強調表示付与装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面に対応する複数の異なる位相変化された変換波面を与える波面変換装置と、
前記複数の振幅変化された変換波面の複数の強度マップを取得する強度マップ発生装置と、
前記複数の強度マップを用いて前記分析対象波面の少なくとも前記位相を表示する出力を取得し、及び
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴付ける振幅変化関数の関数として表す強度マップ表示装置と、
前記複数の強度マップ中の各位置における強度が前記位置における前記複素関数の数値及び前記位置における前記分析対象波面の前記振幅及び位相を支配する関数であることを特徴とする複素関数であって、かつ前記分析対象波面の前記振幅、前記分析対象波面の前記位相、及び前記複数の異なる振幅変化された変換波面を特徴づける前記振幅変化関数の複素関数である該複素関数を限定する複素関数限定装置と、
前記複素関数を前記複数の強度マップの関数として表す複素関数表示装置と、
前記複数の強度マップの関数として表された前記複素関数を用いて前記位相についての数値を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 振幅及び位相を有する分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する第一変換処理装置と、
前記変換波面の一部へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって少なくとも3つの異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置と、
前記少なくとも3つの異なる振幅変化された変換波面を第二のフーリエ変換処理することによって少なくとも3つの強度マップを取得する第二変換処理装置と、
前記少なくとも3つの強度マップを用いて前記分析対象波面の前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得し、及び
前記分析対象波面を、該分析対象波面の前記振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間位相変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の位相遅延の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記第二複素関数の前記位相を前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置を含んで構成される強度マップ利用装置から構成される波面分析装置。 - 前記波面変換装置が共通の光路に沿った前記分析対象波面の干渉によって前記異なる振幅変化された変換波面を与えることを特徴とする前記請求項266−276項のいずれかに記載の装置。
- 前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する振幅変化処理装置、及び
前記複数の異なる振幅変化された波面を変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成されることを特徴とする前記請求項266−269項、271−275項及び277項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれることを特徴とする前記請求項278項記載の装置。
- 前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項278項記載の装置。
- 前記複数の異なる振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行されることを特徴とする前記請求項279項記載の装置。
- 前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方へ処理された前記変換がフーリエ変換であり、前記強度マップ発生装置には前記複数の異なる振幅変化された変換波面をフーリエ変換処理するフーリエ変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項281項記載の装置。
- 前記波面変換装置は、
前記分析対象波面をフーリエ変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置と前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置の少なくとも一方、あるいは、
前記分析対象波面へ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された波面を取得する振幅変化処理装置、及び
前記複数の異なる振幅変化された波面をフーリエ変換処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面を取得する変換処理装置から構成され、
前記複数の異なる振幅変化には空間振幅変化が含まれ、
前記複数の異なる空間振幅変化は前記変換波面の一部及び前記分析対象波面の一部の少なくとも一方へ空間的に均質な時変性の空間振幅変化を処理することによって遂行され、
前記複数の異なる空間振幅変化は少なくとも3つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも3つの強度マップから成り、及び
前記強度マップ利用装置には、
前記分析対象波面を、該分析対象波面の振幅及び位相と同一の振幅及び位相を有する第一複素関数として表す波面表示装置と、
前記複数の強度マップを、前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する空間関数の関数として表す第一強度マップ表示装置と、
絶対値及び位相を有する第二複素関数を前記第一複素関数及び前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化を決定する前記空間関数のフーリエ変換のコンボリューションとして限定する複素関数限定装置と、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、及びそれぞれが前記少なくとも3つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも3つの異なる振幅変化のいずれかによってひき起こされる既知の振幅減衰の第三関数として表す第二強度マップ表示装置と、
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差を取得する第一関数解装置と、
前記第二複素関数を解いて前記第二複素関数の前記位相を取得する第二関数解装置と、
前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差へ前記第二複素関数の前記位相を加えることによって前記分析対象波面の前記位相を取得する位相取得装置が含まれることを特徴とする前記請求項266−269項、271−275項及び277項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる振幅変化は少なくとも4つの異なる振幅変化から成り、
前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、
前記強度マップ利用装置は、
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差、それぞれが前記少なくとも4つの強度マップのいずれかに対応する前記少なくとも4つの異なる振幅変化のいずれか一つによってひき起こされる既知の振幅減衰、及び少なくとも1の付加的未知数の数がその数によって前記複数の強度マップが3を超える該数以下である場合に前記波面分析に関連する少なくとも1の未知数の第三関数として表す強度マップ表示機能、及び
前記第三関数を解いて前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差、及び前記少なくとも1の付加的未知数を取得する関数解装置を備えることを特徴とする前記請求項283項記載の装置。 - 前記振幅変化は、前記強度マップ中のコントラストが最大となるように、かつ前記分析対象波面の前記位相上におけるノイズによる影響が最小となるように選択されることを特徴とする前記請求項283項記載の装置。
- 前記第二強度マップ表示装置が、
いずれもが前記複数の強度マップのいずれの関数でもなく、あるいは前記時変性の空間振幅変化の関数でもないが、それぞれが前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差の関数である第4、第5及び第6複素関数を限定する第二複素関数限定装置、及び
前記複数の強度マップのそれぞれを、前記第4複素関数、前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰のサインで掛け算された前記第5複素関数、及び前記複数の強度マップの各々に対応する前記既知の振幅減衰のコサインで掛け算された前記第6複素関数の総和として表す第三強度マップ表示装置から構成されることを特徴とする前記請求項283項記載の装置。 - 前記第一関数解装置には、
前記分析対象波面の前記振幅、前記第二複素関数の前記絶対値、及び前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の前記差のそれぞれについて数値の高い解と数値の低い解の二つの解を取得する解関数機能、
各空間位置において、前記強調絶対値解が前記第二複素関数を満たす方法で、前記二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれか一方を選択することによって前記二つの解を前記第二複素関数の前記絶対値についての強調絶対値解へ併合する第一併合機能、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記振幅解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記振幅についての前記二つの解のうちの数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記分析対象波面の前記振幅についての前記二つの解を強調振幅解へ併合する第二併合機能、及び、
各空間位置において、前記絶対値解について前記数値の高い解が選択される各位置では前記分析対象波面の前記位相と前記第二複素関数の前記位相間の差の解については前記数値の高い解が選択され、前記絶対値解について前記数値の低い解が選択される各位置では前記差の解について前記数値の低い解が選択される方法で、前記差についての二つの解のうちの前記数値の高い解あるいは前記数値の低い解のいずれかを選択することによって前記差についての前記二つの解を強調差の解へ併合する第三併合機能が備えられていることを特徴とする前記請求項283項記載の装置。 - 前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方の空間的中心部へ処理されることを特徴とする前記請求項281−287項のいずれかに記載の装置。
- 前記空間的に均質な時変性の空間振幅変化が前記変換波面及び前記分析対象波面の少なくとも一方のおよそ半分へ処理されることを特徴とする前記請求項281−287項のいずれかに記載の装置。
- 前記複数の異なる振幅変化された変換波面の高周波容量を増加させるために相対的に高周波成分から成る位相成分を前記分析対象波面へ加える位相付加装置を含んで構成されることを特徴とする前記請求項278−288項のいずれかに記載の装置。
- 前記情報が前記媒体上へ符号化され、これにより、
強度値が前記媒体上の各位置からの光の反射によって該位置に保存されている前記情報の成分に対応する所定の数値範囲内に収まるように実現され、及び
前記強度マップ利用装置は前記複数の強度マップを用いて各位置について多重強度値を実現し、前記媒体上の各位置について情報の多重成分を与えることを特徴とする前記請求項271項記載の装置。 - 前記複数の異なる振幅変化された変換波面は、それら波面の位相が前記分析対象波面へ少なくとも時変性の振幅変化関数を処理する振幅変化装置によって変化されている複数の波面から成ることを特徴とする前記請求項266−275項、277項及び291項のいずれかに記載の装置。
- 前記分析対象波面は複数の異なる波長成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる波長成分へ振幅変化を処理することによって前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項266−269項、271−275項及び277−291項のいずれかに記載の装置。 - 前記波面変換装置は前記分析対象波面の前記複数の異なる波長成分へ前記振幅変化を処理するように作用することを特徴とする前記請求項293項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、対象物による前記波面長成分の伝搬が空間的に変化する該対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項293項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、その表面による前記波面長成分の反射が空間的に変化する該表面から前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を反射させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項293項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて所定程度まで相違するように選択されることを特徴とする前記請求項293項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる波長成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項293項記載の装置。
- 前記複数の異なる波長成分へ処理される前記振幅変化は、それぞれの対象物による前記波長成分の伝搬が空間的に変化することを特徴とする該複数の対象物を通して前記分析対象波面及び前記変換波面の少なくとも一方を通過させることによって遂行されることを特徴とする前記請求項293項、297項及び298項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ発生装置は前記複数の異なる波長成分のすべてについて前記複数の強度マップを同時に取得するように作用し、及び、
前記強度マップ発生装置には前記複数の振幅変化された変換波面を別個の波長成分へと分離する波長分離装置が含まれることを特徴とする前記請求項293−299項のいずれかに記載の装置。 - 前記波長分離装置には、分散素子を通して前記複数の振幅変化された変換波面を別個の波長成分へ分離する該分散素子が含まれることを特徴とする前記請求項300項記載の装置。
- 前記分析対象波面は複数の異なる分極成分から成り、及び、
前記波面変換装置は、前記分析対象波面及び該分析対象波面を変換処理する変換処理装置によって取得された変換波面の少なくとも一方の複数の異なる分極成分へ振幅変化を処理することによって前記複数の異なる振幅変化された変換波面を取得するように作用することを特徴とする前記請求項266−269項、271−275項、277−291項及び293項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の異なる分極成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて相違することを特徴とする前記請求項302項記載の装置。
- 前記複数の異なる分極成分へ処理される前記振幅変化は前記複数の異なる分極成分の少なくともいくつかについて同一であることを特徴とする前記請求項302項記載の装置。
- 前記強度マップ発生装置には、
前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換処理する第二変換処理装置が含まれることを特徴とする前記請求項266−275項、277−281項及び283−304項のいずれかに記載の装置。 - 前記強度マップ発生装置には、前記複数の異なる振幅変化された変換波面を変換するように前記複数の異なる振幅変化された変換波面を反射する反射面が含まれることを特徴とする前記請求項266−275項、277−281項及び283−304項のいずれかに記載の装置。
- 前記変換処理装置は前記分析対象波面及び前記複数の異なる振幅変化された波面の少なくとも一方をフーリエ変換処理することを特徴とする前記請求項278−291項のいずれかに記載の装置。
- 前記強度マップ利用装置には、
前記複数の強度マップを前記分析対象波面の少なくとも一方が未知である前記位相及び振幅の少なくとも1の数理的関数として表す強度マップ表示装置、及び、
前記少なくとも1の数理的関数を用いて前記位相及び振幅の少なくとも一方を表示する出力を取得する関数解装置が含まれることを特徴とする前記請求項266−269項、271項、272項、277−282項及び292−307項のいずれかに記載の装置。 - 前記複数の強度マップは少なくとも4つの強度マップから成り、及び、
前記強度マップ利用装置には、それぞれが前記複数の強度マップのうちの少なくとも3つの組合せである複数の該組合せを用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての複数の表示を与える表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項266−269項、271項、272項、277−282項及び292−307項のいずれかに記載の装置。 - 前記表示付与装置にはさらに、前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての前記複数の表示を用いて前記分析対象波面の前記振幅及び位相の少なくとも一方についての強調表示を与える強調表示付与装置が含まれることを特徴とする前記請求項309項記載の装置。
- 前記分析対象波面は少なくとも1の一次元成分から成り、
前記波面変換装置は、
前記分析対象波面を、前記分析対象波面の伝搬方向に対して直交する次元において実施される一次元フーリエ変換処理を行うことによって前記伝搬方向に対して直交する次元において変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する変換処理装置、及び、
前記少なくとも1の一次元成分のそれぞれへ複数の異なる振幅変化を処理することによって複数の異なる振幅変化された変換波面の少なくとも1の一次元成分を取得する振幅変化処理装置を含んで構成され、及び
前記強度マップ利用装置は前記分析対象波面の前記少なくとも1の一次元成分の前記振幅及び位相の少なくとも一方を表示する出力を取得するように作用することを特徴とする前記請求項266−269項、271−275項、277項、279−290項及び293−304項のいずれかに記載の装置。 - 前記振幅変化処理装置は、前記分析対象波面と空間的に変化する時定性の振幅変化を起こす素子間に生じて前記伝搬方向及び該伝搬方向に対して直交する前記次元の双方に対して直行する付加的次元中に存在する相対運動を与える運動発生装置を含んで構成される前記請求項311項記載の装置。
- 前記変換処理装置には前記分析対象波面の異なる一次元成分間のクロストークを最小化するために付加的フーリエ変換処理を行う付加変換処理装置が含まれていることを特徴とする前記請求項311項あるいは312項のいずれかに記載の装置。
- 前記分析対象波面が音響放射波面であることを特徴とする先行するいずれかの請求項に記載の装置。
- 前記表面から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記表面の構造変化に前記波面長の逆一次関数である比をもって比例させていることを特徴とする前記請求項267項記載の装置。
- 前記放射はそれぞれが異なる波長を中心とする少なくとも2つの狭い帯域を有し、前記分析対象波面中の少なくとも2つの波長成分及び前記分析対象波面の前記位相についての少なくとも2つの表示を与えることにより、前記2つの狭い帯域が中心を置いている前記異なる波長のうちの大きな波長を超える写像における曖昧性を回避して前記放射の衝突を受けた素子の少なくとも表面の構造変化、厚さ及び前記素子中の構造変化を含む特徴の強調写像を可能としていることを特徴とする前記請求項267項、268項及び272項のいずれかに記載の装置。
- 前記複数の異なる振幅変化に横方向のズレが生じた場合には対応する変化が前記複数の強度マップ中にも生じ、前記強度マップ利用装置が前記横方向のズレについての表示を取得することを特徴とする前記請求項270項記載の装置。
- 振幅及び位相を有する分析対象の振幅変化分析波面を取得する波面取得装置、
前記分析対象の振幅変化分析波面を変換処理することによって変換波面を取得する変換処理装置、
前記変換波面へ少なくとも1の振幅変化を処理することによって少なくとも1の振幅変化された変換波面を取得する振幅変化処理装置、
前記少なくとも1の振幅変化された変換波面の少なくとも1の強度マップを取得する強度マップ発生装置、及び、
前記少なくとも1の強度マップを用いて前記変換波面へ処理された前記少なくとも1の振幅変化についての出力表示を取得する強度マップ利用装置から構成されることを特徴とする振幅変化分析装置。 - 媒体上の様々に異なる位置のそれぞれにおける該媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報が該媒体上の複数の異なる位置のそれぞれにおける該媒体の反射性を選択することによっても符号化され、及び、
前記位相振幅利用装置には前記位相についての前記表示を用いて前記媒体の高さを選択することによって符号化された前記情報を取得する位相利用装置と、前記振幅についての前記表示を用いて前記媒体の反射性を選択することによって符号化された前記情報を取得する振幅利用装置が含まれていることを特徴とする前記請求項271項及び201項のいずれかに記載の装置。 - 前記対象物から反射された前記放射は一定波長を中心とする狭い帯域を有し、前記分析対象波面の前記位相を前記波長の逆一次関数である比をもって前記対象物中の構造変化へ比例させていることを特徴とする前記請求項272項記載の装置。
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