JP2013062497A - 有機薄膜トランジスタ - Google Patents
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Abstract
【解決手段】有機半導体層の内部のうち、ソース電極の真上又は真下に位置する部分を第1の部分とし、ドレイン電極の真上又は真下に位置する部分を第2の部分とし、第1の部分と第2の部分とは異なる部分を第3の部分とした場合に、ドーピング領域が、第3の部分、第1の部分と第3の部分、又は第2の部分と第3の部分に存在する有機薄膜トランジスタである。
【選択図】図1
Description
本発明はまた、かかる有機薄膜トランジスタを備える有機エレクトロルミネッセンス素子、電子タグ及び液晶表示素子を提供することを目的とする。
該有機半導体層が、該ゲート絶縁膜、該ソース電極及び該ドレイン電極と接触しており、
該有機半導体層は、該有機半導体層の膜厚方向において該ソース電極の真上に位置する部分又は該ソース電極の真下に位置する部分からなる第1の部分と、該ドレイン電極の真上に位置する部分又は該ドレイン電極の真下に位置する部分からなる第2の部分と、第1の部分及び第2の部分とは異なる第3の部分を有し、
該有機半導体層は、
該有機半導体材料のみからなる非ドーピング領域と、
該有機半導体材料と電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物とを含むドーピング領域からなり、
該ドーピング領域の少なくとも一部が該第3の部分に含まれ、
該ドーピング領域は、該ソース電極と接触しておらず、
該第1の部分と該第3の部分との境界の一部又は全部と該第2の部分と該第3の部分との境界の一部又は全部が、同時に該ドーピング領域に含まれることはない有機薄膜トランジスタ。
本発明の有機薄膜トランジスタの代表例としては、電界効果型有機薄膜トランジスタが挙げられる。電界効果型有機薄膜トランジスタは、ソース電極及びドレイン電極、これらの間の電流経路となる有機半導体層、電流経路を通る電流量を制御するゲート電極、並びに、有機半導体層とゲート電極との間に配置される絶縁層を備えることが好ましく、ソース電極及びドレイン電極が有機半導体層に接触して設けられており、有機半導体層に接触した絶縁層を挟んでゲート電極が設けられていることが特に好ましい。
図1の電界効果型有機薄膜トランジスタは、基板1と、基板1上に形成されたゲート電極4と、ゲート電極4を覆うようにして基板1上に形成された絶縁層3と、絶縁層3上に形成されたソース電極5及びドレイン電極6と、ソース電極5の少なくとも一部及びドレイン電極6の少なくとも一部を覆うようにして形成された有機半導体材料を含む有機半導体層2とを備える。有機半導体層2内には、ソース電極5及びソース電極5の真上に位置する第1の部分と、ドレイン電極6及びドレイン電極6の真上に位置する第2の部分との間にあり、上記いずれの電極にも、上記第1の部分及び第2の部分にも接触せず、有機半導体層2の絶縁層3と接触する面(即ち、絶縁層3の上面又は有機半導体層2の下面)にも接触せず、かつ有機半導体層2の絶縁層3と接触する面に対向する面(即ち、有機半導体層2の上面)の一部に接触する領域に形成された電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物を含むドーピング領域7を有する。なお、有機半導体材料としては、p型有機半導体材料とn型有機半導体材料が挙げられる。なお、図の説明において紙面の上の方を上、下の方を下、断面図で表される図の左右の境界線を側面と便宜上称する。
塗布法の中でも、スピンコート法、インクジェット印刷法、フレキソ印刷法、スクリーン印刷法、マイクロコンタクトプリント法、グラビアコート法、オフセット印刷法及びグラビア・オフセット印刷法が好ましい。
本発明の有機薄膜トランジスタの製造方法は、ゲート電極、絶縁層、有機半導体層、ソース電極及びドレイン電極を備える有機薄膜トランジスタの製造方法であって、前記有機半導体層の一部に、ドーピング領域を形成する工程を有する、有機薄膜トランジスタの製造方法である。以下、図1に示される第1実施形態の有機薄膜トランジスタを一例として、その製造方法を説明する。
本発明のキャリア輸送性の向上方法は、本発明の有機薄膜トランジスタにおいて、電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物を含むドーピング領域の厚さ、長さ、及び、ドーパント濃度を変化させることを含む、有機薄膜トランジスタのキャリア輸送性の向上方法である。この方法を用いると、有機薄膜トランジスタの閾値電圧やオン/オフ比を大きく劣化させることなく、キャリア輸送性を向上できる点で有用である。また、電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物の濃度や、ドーピング領域の厚さや長さを変化させることにより、キャリア輸送性を制御することも可能である。
本発明の有利な効果は実施例として示した実験結果によって裏付けられる。但し、実験結果が示されていない実施形態については、本発明の有利な効果は、確立したシュミレーション方法を用いることにより、計算結果として確認される。
図1に示した構造を有する有機薄膜トランジスタを作製した。ゲート電極4となる高濃度にドーピングされたn−型シリコン基板の表面を熱酸化し、絶縁層3として膜厚が300nmのシリコン酸化膜を形成した。次に、フォトリソグラフィー工程によりシリコン酸化膜上にチャネル長100μm、チャネル幅1mmのソース電極5及びドレイン電極6を作製した。ソース電極及びドレイン電極は、シリコン酸化膜側から、クロム及び金をこの順に積層して形成した。ソース電極及びドレイン電極まで形成した基板をアセトンで10分間超音波洗浄した後、紫外線−オゾン洗浄装置を用いて紫外線を30分間照射した。その後、フェニルエチルトリクロロシランのトルエン希釈液に該基板を2分間浸漬することにより、該基板の表面をシラン処理した。
ドーピング領域を形成する工程を省略した以外は実施例1と同様の操作を行い、電界効果型有機薄膜トランジスタC1を作製し、トランジスタ特性を測定した。かかる測定により得られた伝達特性から算出した、電界効果型有機薄膜トランジスタC1の電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表5に示す。
式(11g)で示される化合物とo−ジクロロベンゼンからなる溶液にかえて、式(11g)に示される化合物とF4TCNQとを100:1.3の重量比で混合させた混合物を、該混合物の濃度が0.51重量%となるようにo−ジクロロベンゼンに溶解させた溶液を用いて有機半導体層を形成した以外は、比較例1と同様の操作を行い、有機半導体層全体がドーピングされた電界効果型有機薄膜トランジスタC2を作製し、トランジスタ特性を測定した。かかる測定により得られた伝達特性から算出した、電界効果型有機薄膜トランジスタC2の電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表5に示す。
図1、図2、図3、図5、図6、図9、図10、及び、図11に示す構造の有機薄膜トランジスタが、良好なトランジスタのオン・オフ比および閾値電圧を維持しつつ、電界効果移動度を向上させられることを、2次元デバイスシミュレーションにより説明する。シミュレーションにはシルバコ社のATLASを用いた。ここで温度は300K、有機半導体層の膜厚は100nm、有機半導体の比誘電率は3、有機半導体の電子親和力は2.8eV、有機半導体のバンドギャップは2.2eV、有機半導体の正孔キャリア移動度は0.15cm2/Vs、チャネル長は10μm、チャネル幅は100μm、絶縁膜の膜厚は300nm、絶縁膜の比誘電率は3.9、価電子帯および伝導帯の有効状態密度は1020cm−3、電極の仕事関数は5.0eVとしてシミュレーションを実施した。ドーピング領域はp型ドープであり、ドープ密度は2×1020cm−3とした。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表6に示す。
図1に示す構造の有機薄膜トランジスタにおいて、有機半導体層2中にドーピング領域7を含まない構造の有機薄膜トランジスタのトランジスタ特性を、実施例2と同様に計算した。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表7に示す。
図13、図15、図16、図17、図18、図19、図21、図22、及び、図23に示す構造の有機薄膜トランジスタが、良好なトランジスタのオン・オフ比および閾値電圧を維持しつつ、電界効果移動度を向上させられることを、2次元デバイスシミュレーションにより説明する。シミュレーションにはシルバコ社のATLASを用いた。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表8に示す。
図13に示す構造の有機薄膜トランジスタにおいて、有機半導体層2中にドーピング領域7を含まない構造の有機薄膜トランジスタのトランジスタ特性を、実施例2と同様に計算した。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した、電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表9に示す。
図25、図27、図28、図29、図33、図34、及び、図35に示す構造の有機薄膜トランジスタが、良好なトランジスタのオン・オフ比および閾値電圧を維持しつつ、電界効果移動度を向上させられることを、2次元デバイスシミュレーションにより説明する。シミュレーションにはシルバコ社のATLASを用いた。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表10に示す。
図25に示す構造の有機薄膜トランジスタにおいて、有機半導体層2中にドーピング領域7を含まない構造の有機薄膜トランジスタのトランジスタ特性を、実施例2と同様に計算した。シミュレーションにより得られたトランジスタの伝達特性より算出した、電界効果移動度(移動度)、オン/オフ比及び閾値電圧を表11に示す。
2…有機半導体層、
3…絶縁層、
4…ゲート電極、
5…ソース電極、
6…ドレイン電極、
7…電子受容性化合物又は電子供与性化合物を含むドーピング領域。
Claims (9)
- ゲート電極と、ゲート絶縁膜と、ソース電極と、ドレイン電極と、有機半導体材料を含む有機半導体層とを備える有機薄膜トランジスタであって、
該有機半導体層が、該ゲート絶縁膜、該ソース電極及び該ドレイン電極と接触しており、
該有機半導体層は、該有機半導体層の膜厚方向において、該ソース電極の真上に位置する部分又は該ソース電極の真下に位置する部分からなる第1の部分と、該ドレイン電極の真上に位置する部分又は該ドレイン電極の真下に位置する部分からなる第2の部分と、第1の部分及び第2の部分とは異なる第3の部分を有し、
該有機半導体層は、
該有機半導体材料のみからなる非ドーピング領域と、
該有機半導体材料と電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物とを含むドーピング領域からなり、
該ドーピング領域の少なくとも一部が該第3の部分に含まれ、
該ドーピング領域は、該ソース電極と接触しておらず、
該第1の部分と該第3の部分との境界の一部又は全部と該第2の部分と該第3の部分との境界の一部又は全部が、同時に該ドーピング領域に含まれることはない有機薄膜トランジスタ。 - 前記ドーピング領域は、有機半導体層の面であってゲート絶縁膜に接触している面と対向する面の一部に接触している請求項1に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ドーピング領域は、電子受容性の化合物又は電子供与性の化合物を溶媒に溶解させた液を用い、印刷法により形成された領域である請求項1又は2に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記有機半導体層に含まれる有機半導体材料が、2個の複素環が相互に2箇所で連結された構造単位を有する高分子化合物である請求項1〜3のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ドーピング領域に含まれる電子受容性の化合物が、ヘキサトリアコンタフルオロヘキサトリアコンタハイドロ[5,6]フラーレン、ヘキサデカフルオロ亜鉛フタロシアニン、モリブデントリス−[1,2−ビス(トリフルオロメチル)エタン−1,2−]ジチオレン、テトラシアノキノジメタン誘導体又はp−ベンゾキノン誘導体である請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 前記ドーピング領域に含まれる電子供与性の化合物が、テトラチアフルバレン誘導体である請求項1〜4のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタ。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタを備える有機エレクトロルミネッセンス素子。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタを備える電子タグ。
- 請求項1〜6のいずれか一項に記載の有機薄膜トランジスタを備える液晶表示素子。
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Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015164129A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-09-10 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ | 有機電子デバイスを製造する方法および有機電子デバイス |
Families Citing this family (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN104211918A (zh) * | 2013-05-29 | 2014-12-17 | 海洋王照明科技股份有限公司 | 含二苯并噻吩单元的聚合物及其制备方法和太阳能电池器件 |
CN105789326B (zh) * | 2016-05-13 | 2019-07-12 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管、阵列基板、显示面板以及显示装置及其制造方法 |
CN109713043A (zh) * | 2017-10-25 | 2019-05-03 | 京东方科技集团股份有限公司 | 薄膜晶体管及其制造方法、阵列基板、电子装置 |
CN113777901A (zh) * | 2021-09-08 | 2021-12-10 | 上海交通大学 | 一种掺杂有机小分子供体材料的液晶薄膜器件及显示装置 |
Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243562A (ja) * | 1999-02-16 | 2000-09-08 | Sharp Corp | オプトエレクトロニクス構造及びその製造方法 |
JP2002204012A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Toshiba Corp | 有機トランジスタ及びその製造方法 |
JP2004047977A (ja) * | 2002-05-21 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機電界効果トランジスタ |
JP2005317923A (ja) * | 2004-04-29 | 2005-11-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機アクセプタ膜を備えた有機薄膜トランジスタ |
JP2006261640A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-09-28 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 薄膜電界効果トランジスタ、およびその製造方法 |
WO2007105386A1 (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Osaka University | 縮合環化合物及びその製造方法、重合体、これらを含む有機薄膜、並びに、これを備える有機薄膜素子及び有機薄膜トランジスタ |
JP2008066510A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Ricoh Co Ltd | 薄膜トランジスタとその製造方法及び表示装置 |
JP2008110957A (ja) * | 2006-02-22 | 2008-05-15 | Osaka Univ | 含フッ素化合物及びその製造方法、含フッ素重合体、有機薄膜、並びに、有機薄膜素子 |
JP2011077500A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-04-14 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法、表示装置、および電子機器 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0638491B2 (ja) * | 1986-07-04 | 1994-05-18 | 三菱電機株式会社 | 電界効果型トランジスタ |
JP3716755B2 (ja) * | 2001-04-05 | 2005-11-16 | 株式会社日立製作所 | アクティブマトリクス型表示装置 |
JP5395382B2 (ja) * | 2007-08-07 | 2014-01-22 | 株式会社半導体エネルギー研究所 | トランジスタの作製方法 |
KR101484297B1 (ko) * | 2007-08-31 | 2015-01-19 | 가부시키가이샤 한도오따이 에네루기 켄큐쇼 | 표시장치 및 표시장치의 제작방법 |
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Patent Citations (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2000243562A (ja) * | 1999-02-16 | 2000-09-08 | Sharp Corp | オプトエレクトロニクス構造及びその製造方法 |
JP2002204012A (ja) * | 2000-12-28 | 2002-07-19 | Toshiba Corp | 有機トランジスタ及びその製造方法 |
JP2004047977A (ja) * | 2002-05-21 | 2004-02-12 | Semiconductor Energy Lab Co Ltd | 有機電界効果トランジスタ |
JP2005317923A (ja) * | 2004-04-29 | 2005-11-10 | Samsung Sdi Co Ltd | 有機アクセプタ膜を備えた有機薄膜トランジスタ |
JP2006261640A (ja) * | 2005-01-20 | 2006-09-28 | Fuji Electric Holdings Co Ltd | 薄膜電界効果トランジスタ、およびその製造方法 |
JP2008110957A (ja) * | 2006-02-22 | 2008-05-15 | Osaka Univ | 含フッ素化合物及びその製造方法、含フッ素重合体、有機薄膜、並びに、有機薄膜素子 |
WO2007105386A1 (ja) * | 2006-03-10 | 2007-09-20 | Osaka University | 縮合環化合物及びその製造方法、重合体、これらを含む有機薄膜、並びに、これを備える有機薄膜素子及び有機薄膜トランジスタ |
JP2008066510A (ja) * | 2006-09-07 | 2008-03-21 | Ricoh Co Ltd | 薄膜トランジスタとその製造方法及び表示装置 |
JP2011077500A (ja) * | 2009-09-04 | 2011-04-14 | Sony Corp | 薄膜トランジスタ、薄膜トランジスタの製造方法、表示装置、および電子機器 |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2015164129A (ja) * | 2014-02-18 | 2015-09-10 | フラウンホッファー−ゲゼルシャフト ツァ フェルダールング デァ アンゲヴァンテン フォアシュンク エー.ファオ | 有機電子デバイスを製造する方法および有機電子デバイス |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
WO2013027716A1 (ja) | 2013-02-28 |
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KR20140050702A (ko) | 2014-04-29 |
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TW201316580A (zh) | 2013-04-16 |
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