JP2013057589A - 半導体素子の特性試験装置およびその装置を用いた半導体素子の特性試験方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】絶縁耐量を試験するための電圧印加治具1を半導体素子の樹脂封止部15に接触させ、この電圧印加治具1に静特性試験または動特性試験で印加される高電圧を印加することで、特性試験(漏れ電流試験、耐圧特性試験、L負荷試験など)と同時に樹脂封止部15の絶縁耐量試験も行う。
【選択図】 図1
Description
図11は、フルモールドタイプのIGBT20の構成図であり、同図(a)はおもて面図、同図(b)は側面図である。このIGBT(絶縁ゲート型バイポーラトランジスタ)は上面、下面および側面のすべての面が樹脂封止されたフルモールドタイプのIGBT20である。例えば、TO−3PFタイプの樹脂モールド品である。
その後、樹脂封止部28を電圧印加治具72に設置し、樹脂封止部28の全ての面を接触させる。その後、電圧印加治具72とコレクタ端子24a間に高電圧を所定の時間印加して漏れ電流を測定する。漏れ電流の異常増大や所定値以上の電流値を検出することで樹脂封止部28の絶縁不良の判定を行う。このように、絶縁耐量試験では1000Vを超える高電圧(一般には2kV以上の交流電圧)を印加するための電源や電圧印加治具(電極)などが必要となるため、絶縁耐圧試験のみを行う専用の試験装置が必要となる。
図14は、クリップ式冷却フィン35を挿着したIGBT10の構成図であり、同図(a)は正面図、同図(b)は側面図である。
また、特許請求の範囲の請求項4記載の発明によれば、請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の発明において、前記電極は、弾性体によって支持されているとよい。
樹脂封止部からダイ部の裏面が露出した半導体素子であっても樹脂封止部の絶縁耐量試験行うことができる。
<実施例1>
図1は、この発明の第1実施例の半導体素子の特性試験装置100の要部構成図であり、同図(a)は要部側面図、同図(b)は同図(a)を矢印Aから見た要部上面図である。この特性試験装置100は、特性試験とともに半導体素子(例えばTO−3PタイプのIGBT10)の樹脂封止部15の絶縁耐量試験も行うものであり、電圧印加治具1を備えている
図1(a)において、600は、特性試験装置100の内部の特性試験部である。自動試験ラインを例に説明する。樹脂封止されたIGBT10は、自動試験ラインの搬送レール51上を、例えば、図1(a)の紙面奥から手前方向へ、図1(b)の紙面上方から下方へ搬送される。搬送機構の詳細は、本発明と直接関係しないので図示を省略している。この搬送レール51の、IGBT10の試験を行う位置には絶縁材52が配置されていている。
同図(b)は、IGBT10が試験される状態を表している。IGBT10が測定位置に移動してくると、シリンダ53の筒54が下降して支持部56が下がり、支持部56で支持された各試験プローブ58a,58b,58cが各端子13a,13b,13cに接触する。
電極3はワイヤ2を介してコレクタ端子13aに接続する試験プローブ58aへ接続される。
本発明の特性試験装置100は、上記のような特性試験装置に電圧印加治具1(電極3)を設け、この電極3を高電圧が印加されるIGBT10のコレクタ端子13aに接続する試験プローブ58aに接続する構成をしている。そのため、電極3をIGBT10の樹脂封止部15に接触させ、試験プローブ58a,58bを介してIGBT10のコレクタ端子13aとエミッタ端子13b間に高電圧を印加することで、樹脂封止部15の絶縁耐量試験とその他の特性試験を同時に行うことができる。
また、樹脂封止部15の絶縁耐量試験とその他の特性試験を同時に行うため、それぞれ試を分けて行う場合に比べると試験コストを低減できる。
また、特性試験としては、IGBT10の定格電圧(もしくは定格電圧を超える電圧)で試験する特性試験を対象とするため、この特性試験で絶縁耐量について良品判定されれば、定格電圧以下で使用する顧客の使用回路では絶縁不良の発生は起こらない。
また、本発明の特性試験装置100で試験する半導体素子は、TO−3Pタイプのように半導体チップ12が固着するダイ部11が樹脂封止部15から一部露出した場合を例に挙げたが、フルモールドタイプの半導体素子に適用することも出来る。この場合は電圧印加治具1は裏面側の樹脂封止部にも電圧が印加されるような治具とする必要がある。
<実施例2>
図3〜図5は、この発明の第2実施例の半導体素子の特性試験方法を工程順に説明した試験工程図である。尚、図中の61aはIGBT10に印加する試験電圧を発生させる電源・主回路部であり、62aはIGBT10の漏れ電流を検出・測定・評価する特性評価部である。
漏れ電流特性試験機60aの電源・主回路部61bには、ゲート端子13cに接続する試験プローブ58cとエミッタ端子13bに接続する試験プローブ58bを短絡するスイッチSWが設けられたている。このときスイッチSWは開の状態である。
ここで、ワイヤ14が樹脂封止部15のおもて面側の表面に異常に接近していたり、あるいは樹脂封止部15から露出している場合は、ワイヤ14に対する絶縁耐量が不足もしくは欠落していることになる。ここへ、電極3を介して上記の電源電圧Eあるいはアバランシェ電圧が印加されると、電極3とワイヤ14の間に電流が流れることになる。封止樹脂部の絶縁耐量が正常であればこの電流は流れないので、電極3とワイヤ14の間に異常な電流が流れたことを検知すれば、ボンディングワイヤ14を被覆している樹脂封止部15の絶縁不良を検知することができる。つまり、L負荷特性試験と絶縁耐量試験を同時に行うことができる。
<実施例3>
図9は、この発明の第3実施例の半導体素子の特性試験装置200の要部断面図である。図9の特性試験装置200と図1の特性試験装置100との違いは、電圧印加治具1とコレクタ電極13aとの接続を、この電圧印加治具1を構成する電極3の一部をIGBTチップ12が搭載され樹脂封止部15ら露出しているダイ部11にG部で接触するようにした点である。この構成にすることでコレクタ端子13aと電圧印加治具1を接続するワイヤ2が不要となる。この場合も前記と同様の効果が得られる。
<実施例4>
図10は、この発明の第4実施例の半導体素子の特性試験装置300の要部断面図である。図10の特性試験装置300と図9の特性試験装置200との違いは、電圧印加治具1をクリップ式電圧印加治具1aとして、IGBT10の上面の樹脂封止部15と下面のダイ部11の裏面を挟み込むようにした点である。この構成にすることで図1の特性試験装置100で必要となる絶縁製電極支持部6や金属製受け部5が不要となり金属製電極3をクリップ式電圧印加治具1aに代えるだけである。しかし、クリップ式電圧印加治具1aにIGBT10を挟み込む装置と取り外す装置が新規に必要となる。これらの装置が無い場合は人手でクリップ式電圧印加治具1aの脱着を行うとよい。本実施例の場合も前記の実施例と同様の効果が得られる。
2 ワイヤ
3 電極
4 バネ
5 電極受け部
6 電極支持部
10 IGBT(TO−3Pタイプ)
11 ダイ部
11a 裏面
12 IGBTチップ
13a コレクタ端子
13b エミッタ端子
13c ゲート端子
14 ボンディングワイヤ
15 樹脂封止部
15a 表面
20 IGBT(TO−3PF)
51 搬送レール
52 絶縁板
53 シリンダ
54 筒
55 支柱部
56 プローブ支持部
57 プローブ固定部
58 試験プローブ(総称)
58a 試験プローブ(コレクタ端子に接続)
58b 試験プローブ(エミッタ端子に接続)
58c 試験プローブ(ゲート端子に接続)
59 端子台
60 特性試験機
60a 漏れ電流特性試験機
60b L負荷特性試験機
61 電源・主回路部
62 特性評価部
71 交流電圧印加部
100,200,300 本発明の半導体素子の特性試験装置
100a 本発明の漏れ電流特性試験装置
100b 本発明のL負荷特性試験装置
500 専用の絶縁耐量試験装置
600 半導体素子の特性試験部
Claims (7)
- 半導体チップと、該半導体チップの裏面の高電位電極が接続する導電体と、該導電体に接続する高電位端子と、前記半導体チップの低電位側電極に接続導体で接続する低電位端子と、前記半導体チップの制御電極に接続導体で接続する制御端子と、前記導電体のおもて面と前記半導体チップと前記接続導体を被覆する樹脂封止部と、を有する半導体素子の特性試験装置であって、
前記高電位端子,前記低電位端子,前記制御端子の各端子にそれぞれ接触する試験プローブと、前記試験プローブを介して前記高電位端子,前記低電位端子,前記制御端子の各端子に所定の電圧を印加する電圧印加手段と、前記試験プローブを介して前記高電位端子,前記低電位端子,前記制御端子の各端子の電圧と電流の少なくとも一方を検出する検出手段と、前記検出結果から前記半導体素子の特性を評価する評価手段と、前記樹脂封止部のおもて面に接触する試験電極と、該電極を前記半導体素子の高電位端子に接続する接続手段と、を備え、
前記試験プローブを前記高電位端子,前記低電位端子,前記制御端子の各端子に、前記電極を前記封止樹脂部にそれぞれ接触させ、前記電圧印加手段より所定の電圧を印加し、
前記評価手段は、前記検出値に基づいて前記半導体素子の静特性または動特性の少なくとも一方を評価するとともに前記封止樹脂部の絶縁耐量を評価することを特徴とする半導体素子の特性試験装置。 - 前記接続手段は、
前記電極と、前記高電位端子に接触する試験プローブとの間を接続する導線であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の特性試験装置。 - 前記接続手段は、前記電極を、前記導電体にも直接接触させるものであることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の特性試験装置。
- 前記電極は、弾性体によって支持されていることを特徴とする請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の半導体素子の特性試験装置。
- 前記半導体素子を樹脂封止部のおもて面側と前記導電体の裏面側から弾性的に挟み込む導電性のクリップ電極を前記半導体素子に装着し、
該クリップ電極を前記電極ならびに前記接続手段に代替することを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の特性試験装置。 - 前記静特性試験は漏れ電流特性試験,耐圧特性試験のうち少なくとも一方であり、前記動特性試験はL負荷耐量試験であることを特徴とする請求項1に記載の半導体素子の特性試験装置。
- 前記請求項1〜請求項6のいずれか一項に記載の半導体素子の特性試験装置を用いて行われる半導体素子の特性試験方法において、
少なくとも前記高電位電極と前記低電位電極間に前記半導体素子の定格電圧以上の電圧を印加して半導体素子の静特性試験または動特性試験の少なくとも一方と同時に樹脂封止部の絶縁耐量試験を行うことを特徴とする半導体素子の特性試験方法。
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