JP2013053837A - 板型ヒートパイプの構造 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】板型ヒートパイプの本体1は、金属板体11及びセラミック板体12からなり、金属板体とセラミック板体とが相対向して接合されることにより、これ等の間にチャンバ13となる空間が画定される。チャンバ内壁面には、粉末焼結体や金属の網状体などなるウィック構造14を形成し、金属板体11及びセラミック板体12とを接続する金属製の柱からなる支持構造15を配置し、チャンバ内を排気して真空に引いて作動流体を充填する。CPUユニットなどの発熱源に対して上記セラミック板体をCPUユニットなどのパッケージを構成するセラミック基板の直接接合して熱伝導することにより、両者間の熱膨張係数の差を小さくする。
【選択図】図3
Description
本発明のもう一つの目的は、板型ヒートパイプと発熱源との接合部分に、熱疲労によってクラックが発生することを防ぐ板型ヒートパイプの製造方法を提供することにある。
図1〜図3を参照する。図1〜図3に示すように、本発明の第1実施形態による板型ヒートパイプの構造は、本体1を含む。
図4を参照する。図4に示すように、本発明の第2実施形態による板型ヒートパイプの構造は、第1実施形態による板型ヒートパイプの構造と一部構造及び接続関係が同一であるため、同一部分についてはここでは繰り返して述べない。本発明の第2実施形態による放熱装置は、ウィック構造14が網状体である点が第1実施形態と異なる。
図5を参照する。図5に示すように、本発明の第3実施形態による板型ヒートパイプの構造は、第1実施形態による板型ヒートパイプの構造と一部構造及び接続関係が同一であるため、同一部分についてはここでは繰り返して述べない。本発明の第3実施形態による放熱装置は、ウィック構造14が複数の溝である点が第1実施形態と異なる。
11 金属板体
12 セラミック板体
13 チャンバ
14 ウィック構造
15 支持構造
16 作動流体
Claims (12)
- 本体を備える板型ヒートパイプの構造であって、
前記本体は、金属板体及びセラミック板体から構成し、前記金属板体と前記セラミック板体とを相対向して接合することにより、その間にチャンバとなる空間を画定し、前記チャンバ内壁面にウィック構造を形成し、上記金属板体及びセラミック板体を接続してチャンバ空間を支持する支持構造を配置し、チャンバ内に作動流体を充填したことを特徴とする板型ヒートパイプの構造。 - 前記ウィック構造は、粉末焼結体、網状体又は複数の溝であることを特徴とする請求項1に記載の板型ヒートパイプの構造。
- 前記セラミック板体は、窒化ケイ素、酸化ジルコニウム又は酸化アルミニウムからなることを特徴とする請求項1に記載の板型ヒートパイプの構造。
- 前記支持構造は、軟質はんだ接合、硬質はんだ接合、拡散接合、超音波溶接又は銅直接接合により、前記セラミック板体と前記金属板体とに接合されることを特徴とする請求項1に記載の板型ヒートパイプの構造。
- 前記支持構造は銅柱であることを特徴とする請求項1に記載の板型ヒートパイプの構造。
- 前記金属板体は、銅材料、アルミニウム材料、ステンレス鋼又は放熱性及び熱伝導性に優れた材料からなることを特徴とする請求項1に記載の板型ヒートパイプの構造。
- 金属板体及びセラミック板体を準備するステップと、
前記金属板体及び前記セラミック板体の互いに相対向する側の面に、ウィック構造及び支持構造を設けるステップと、
前記金属板体と前記セラミック板体とを相対向して接合してチャンバとなる空間を形成した後、該チャンバ内を排気して真空にし、次に、前記チャンバ内に作動流体を充填した後、最後に密封して板型ヒートパイプを形成するステップと、を含むことを特徴とする板型ヒートパイプの製造方法。 - 前記ウィック構造は、粉末焼結体、網状体又は複数の溝であることを特徴とする請求項7に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
- 前記セラミック板体は、窒化ケイ素、酸化ジルコニウム又は酸化アルミニウムからなることを特徴とする請求項7に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
- 前記支持構造は、軟質はんだ接合、硬質はんだ接合、拡散接合、超音波溶接又は銅直接接合により、前記セラミック板体と前記金属板体とに接合されることを特徴とする請求項7に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
- 前記支持構造は銅柱であることを特徴とする請求項7に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
- 前記金属板体と前記セラミック板体とを対向接続した後、チャンバを真空にし、次に、前記チャンバ内に作動流体を充填した後、最後に密封して板型ヒートパイプを形成する前記ステップ中、前記金属板体と前記セラミック板体との接合は、軟質はんだ接合、硬質はんだ接合、拡散接合、超音波溶接又は銅直接接合によって行われることを特徴とする請求項7に記載の板型ヒートパイプの製造方法。
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