JP2013041281A - マイクロミラー用の制御装置、マイクロミラーの制御方法、および画像投影システム - Google Patents
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Abstract
【解決手段】第1の傾斜軸を中心にするマイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する第1の周波数(fh)の第1の制御信号(S4)を形成するステップと、前記第1の傾斜軸に対して垂直の第2の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する、前記第1の周波数(fh)よりも低い第2の周波数(fv)の第2の制御信号(S2、S3)を形成するステップと、前記第2の制御信号(S2、S3)を、当該第2の制御信号(S2、S3)を前記第1の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、前記マイクロミラー(20)の力入力素子(21、22、23、24)を、前記変調された第2の制御信号(S5)と前記第1の制御信号(S4)とで制御するステップと、を有するマイクロミラー(20)の制御方法。
【選択図】図4
Description
Claims (9)
- 第1の傾斜軸を中心にするマイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する第1の周波数(fh)の第1の制御信号(S4)を形成するステップと、
前記第1の傾斜軸に対して垂直の第2の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する、前記第1の周波数(fh)よりも低い第2の周波数(fv)の第2の制御信号(S2、S3)を形成するステップと、
前記第2の制御信号(S2、S3)を、当該第2の制御信号(S2、S3)を前記第1の周波数によりバイナリ変調することにより変調するステップと、
前記マイクロミラー(20)の力入力素子(21、22、23、24)を、前記変調された第2の制御信号(S5)と前記第1の制御信号(S4)とで制御するステップと、を有するマイクロミラー(20)の制御方法。 - 請求項1に記載の方法であって、
前記第1の周波数(fh)は、前記第1の傾斜軸を中心にする偏向に関しての前記マイクロミラー(20)の共振周波数であり、
前記第2の周波数(fv)は、前記第2の傾斜軸を中心にする偏向に関しての前記マイクロミラー(20)の共振周波数(fres)より低い方法。 - 請求項1または2に記載の方法であって、
前記変調された第2の制御信号(S5)と前記第1の制御信号(S4)とを、前記マイクロミラー(20)の異なる力入力素子(21、22、23、24)を制御するように構成された部分制御信号(S5a、S5b、S5c、S5d;S4a、S4b)に分割するステップをさらに有する方法。 - 請求項1から3までのいずれか1項に記載の方法であって、
前記第2の制御信号(S2)の振幅をパルス幅閾値(B)と比較するステップと、
当該比較に基づき前記第2の制御信号(S2)から、前記第2の制御信号(S2)よりも平均で大きな信号振幅を有する変換された制御信号(S6)を形成するステップと、
前記第1の周波数によりバイナリ変調された第3の制御信号(S7)を前記変換された制御信号(S6)から形成するステップと、をさらに有する方法。 - 請求項4に記載の方法であって、
前記第3の制御信号(S7)は、前記第2の制御信号(S3)により符号化された前記第2の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー(20)の傾斜運動を時間的に平均して符号化する方法。 - 第1の傾斜軸を中心にするマイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する第1の周波数(fh)の第1の制御信号(S4、C)を形成するよう構成された第1の信号発生器(7)と、
前記第1の傾斜軸に対して垂直の第2の傾斜軸を中心にする前記マイクロミラー(20)の傾斜運動を符号化する、前記第1の周波数(fh)よりも低い第2の周波数(fv)の第2の制御信号(S2、S3)を形成するよう構成された第2の信号発生器(2)と、
前記第1の信号発生器(7)および第2の信号発生器(2)と接続されており、前記第2の制御信号(S2、S3)を前記第1の周波数(fh)によるバイナリ変調によって変調するよう構成された変調器(5)と、
前記変調器(5)と接続されており、前記変調された第2の制御信号(S5)と前記第1の制御信号(S4)とで前記マイクロミラー(20)の力入力素子(21、22、23、24)を制御するよう構成されたアクチュエータ装置(13)と、を有するマイクロミラー(20)を制御する制御装置。 - 請求項6に記載の制御装置であって、
前記第1の信号発生器(7)と前記アクチュエータ装置(13)との間に接続されており、前記第1の制御信号(S4)を、前記マイクロミラー(20)の種々の力入力素子(21、22、23、24)を制御するための第1の部分信号(S4a、S4b)に分割するよう構成された第1の信号分割器(4)と、
前記第2の信号発生器(2)と前記変調器(5)との間に接続されており、前記第2の制御信号(S2)を、前記マイクロミラー(20)の種々の力入力素子(21、22、23、24)を制御するための第2の部分信号(S3a、S3b)に分割するよう構成された第2の信号分割器(3)と、をさらに有する制御装置。 - 請求項6または7に記載の制御装置であって、
前記第1の周波数(fh)は、前記第1の傾斜軸を中心にする偏向に関しての前記マイクロミラー(20)の共振周波数であり、
前記第2の周波数(fv)は、前記第2の傾斜軸を中心にする偏向に関しての前記マイクロミラー(20)の共振周波数(fres)より低い制御装置。 - 複数の力入力素子(21、22、23、24)を備える少なくとも1つのマイクロミラー(20)を有するマイクロミラーモジュール(15)と、
所定の画像データにしたがい光線を形成し、該光線を前記マイクロミラーモジュール(15)の少なくとも1つのマイクロミラー(20)に向けるよう構成された画像形成装置(16)と、
前記所定の画像データを形成して前記画像形成装置(16)に供給するよう構成された画像データ形成装置(11)と、
少なくとも1つのマイクロミラー(20)の傾斜運動を前記力入力素子の制御(21、22、23、24)によって形成し、前記画像形成装置(16)により形成された光線が、前記少なくとも1つのマイクロミラー(20)によって前記画像データに対応する画像を形成するために偏向されるよう構成された、請求項6から8のいずれか1項に記載の制御装置(1)と、を有する画像投影システム(10)。
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