CN102955249A - 用于微镜的控制装置、用于控制微镜的方法和图像投影系统 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种用于控制微镜（20）的方法，具有以下步骤：生成具有第一频率（f_h）的第一控制信号（S4），该第一控制信号对微镜（20）围绕第一翻转轴线的翻转运动编码；生成具有第二频率（f_v）的第二控制信号（S2，S3），该第二控制信号对微镜（20）围绕垂直于第一翻转轴线的第二翻转轴线的翻转运动编码，该第二频率小于第一频率（f_h）；通过以第一频率对第二控制信号（S2，S3）的二进制调制来调制第二控制信号（S2，S3）；和以经调制的第二控制信号（S5）和第一控制信号（S4）控制微镜（20）的力耦合输入元件（21，22，23，24）。

Description

用于微镜的控制装置、用于控制微镜的方法和图像投影系统

技术领域

本发明涉及用于微镜的控制装置、用于控制微镜的方法和图像投影系统。

背景技术

微镜通常用于图像投影，其中，例如激光束聚束地射到双轴悬挂的微镜上并且被微镜转向到投影面上。通过激光束的强度和在需要时的色彩调制与微镜运动的同步，能够在投影面上光栅成像。

在此这样地进行控制，使得微镜水平地和垂直地翻转，从而按行地实现图像构成。在每个扫描线之后，垂直轴线的翻转例如稍微增加，使得各个扫描线被不同地投影到投影面上。该过程可以用超过50Hz的图像重复频率（帧频）迭代，使得对于观察者形成静止图像或在需要时运动图像过程的印象。

微镜可以通过致动元件翻转，其中，机械式、静电式、磁式或以其它方式产生的力选择地被施加到多个致动元件上，以便实现微镜相对于微镜的翻转轴线中的一个或两个的偏转。由于微镜基于按像素的图像构成而几乎持续地在运动中，为了致动元件的致动需要高的能量。恰恰当将这样的投影系统应用在具有有限的能量存储的器具、例如具有蓄电池作为能量源的便携式电子器具中时，希望的是，减少由对微镜的控制引起的能量消耗，以便延长器具的运行持续时间。

文献US 7,515,329 B2例如公开了用于以分给两个镜轴的控制信号来谐振地控制MEMS镜的方法。

发明内容

本发明按照一种实施方式创造了一种用于控制微镜的方法，具有以下步骤：生成具有第一频率的第一控制信号，该第一控制信号对微镜围绕第一翻转轴线的翻转运动编码；生成具有第二频率的第二控制信号，该第二控制信号对微镜围绕垂直于第一翻转轴线的第二翻转轴线的翻转运动编码，该第二频率小于第一频率；通过以第一频率对第二控制信号的二进制调制、例如脉宽调制来调制第二控制信号；和以经调制的第二控制信号和第一控制信号控制微镜的力耦合输入元件。

按照另一种实施方式，本发明提供了一种用于控制微镜的控制装置，具有：第一信号发生器，它被设计用于生成具有第一频率的第一控制信号，该第一控制信号对微镜围绕第一翻转轴线的翻转运动编码；第二信号发生器，它被设计用于生成具有第二频率的第二控制信号，该第二控制信号对微镜围绕垂直于第一翻转轴线的第二翻转轴线的翻转运动编码，该第二频率小于第一频率；调制器，它与第一信号发生器和第二信号发生器连接，并且该调制器被设计用于通过以第一频率对第二控制信号的二进制调制、例如脉宽调制来调制第二控制信号；和致动装置，它与调制器连接，并且该致动装置被设计用于以经调制的第二控制信号和第一控制信号控制微镜的力耦合输入元件。

按照另一种实施方式，本发明创造了一种图像投影系统，具有：微镜装置，它具有至少一个具有多个力耦合输入元件的微镜；图像生成装置，它被设计用于按照预确定的图像数据产生光束并且将光束指向到微镜装置的所述至少一个微镜上；图像数据生成装置，它被设计用于生成预确定的图像数据并且馈入到图像生成装置中；和按照本发明的控制装置，它被设计用于通过控制多个力耦合输入元件来产生所述至少一个微镜的翻转运动，从而由图像生成装置产生的光束被所述至少一个微镜转向以生成与图像数据相应的图像。

本发明的基本构思是，通过适当的二进制调制、例如脉宽调制对微镜围绕垂直翻转轴线的翻转运动的控制信号的高频信号部分进行调制，以便能够不仅通过用于微镜围绕水平翻转轴线的翻转运动的控制信号而且能够通过用于围绕垂直翻转轴线的翻转运动的控制信号提供对于微镜的水平翻转运动所需的致动能量。由于两个控制信号的频率部分的谱分开，通过本发明能够实现的是，致动能量被这样地分配到用于垂直翻转运动的控制信号上，即垂直翻转运动不受影响或几乎不受影响。

这一方面提供了以下优点，即在对微镜加载按照本发明生成的控制信号时，引入的致动能量可以显著地被提高。附加的能量可以例如用于实现更大的水平偏转角度，这在具有16：9的当前图像投影系统中相对于传统的4：3的图像宽高比是有优势的。

另一方面，例如在已有的具有足够的水平偏转角度的系统中，能够以成本低廉的方式减少驱动和控制系统的芯片面积。

最后，按照本发明能够有利地使用控制电子装置中的数字转换等级。与传统的直线驱动级相比，为此所需的芯片面积更小并且到达更高的效率。由此能够更有效地将所需的致动能量用于微镜的运动，这恰好在便携式电子产品中有助于延长能量存储器的运行时间。

有利地，第一频率是微镜的相对于围绕第一翻转轴线的偏转的谐振频率，并且第二频率低于微镜的相对于围绕第二翻转轴线的偏转的谐振频率。以该方式能够实现用于微镜的水平翻转轴线的控制信号和用于微镜的垂直翻转轴线的控制信号的谱去耦合，由此可有利地忽略通过组合地用于控制的第一和第二控制信号对翻转运动的相互影响。此外由此能够实现的是，通过第二频率的控制信号的高频信号部分将用于围绕第一翻转轴线的翻转运动的谐振致动的信号能量传递到微镜的力耦合输入元件上。

有利地，控制信号被分成分控制信号，这些分控制信号分别被构造用于控制微镜的不同的力耦合输入元件。以该方式能够实现微镜的力耦合输入元件的有针对性的控制。此外，分信号的生成可以更好地匹配于微镜的力耦合输入元件的数量和种类。

一种有利的控制方法还包括以下步骤：将第二控制信号的振幅与脉宽阈值比较；由第二控制信号基于所述比较生成经变换的控制信号，其中，经变换的控制信号在平均值上具有比第二控制信号大的信号振幅；和由经变换的控制信号生成第三控制信号，其中，第三控制信号以第一频率被二进制调制。该方法提供了以下优点，即：在时间段中，其中二进制调制的能量引入（例如在脉宽调制时的脉宽）由于用于控制第二翻转轴线的第二控制信号的小振幅而很小，相对于微镜的围绕第二翻转轴线的偏转相互抵消的辅助信号可以叠加到第二控制信号上。通过辅助信号不会或几乎不损害或影响对微镜的围绕第二翻转轴线的偏转的控制，而辅助信号能够有利地有助于增加在微镜的力耦合输入元件上的能量传递，以便支持围绕第一翻转轴线的翻转运动。

优选的扩展构型是各个从属权利要求的主题。

上述设计方案和扩展构型运行（如果有意义的话）任意地相互组合。本发明的其它可能的设计方案、扩展构型和实施方式包括之前或在下面关于实施例描述的本发明特征的没有明确提到的组合。

附图说明

本发明的实施方式的其它特征和优点由借助附图的以下说明得出。其示出：

图1示出按照本发明的一个实施方式的图像投影系统的示意图；

图2示出按照本发明的另一个实施方式的微镜装置的示意图；

图3示出按照本发明的另一个实施方式的微镜装置的激励频率的频率-振幅-图表；

图4示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统的示意图；

图5a至5d示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统中的控制信号的信号图表；

图6示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统的PWM调制器的示意图；

图7示出按照本发明的另一个实施方式的微镜装置的控制信号的示意图；

图8示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统的示意图；

图9示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统的PWM调制器的示意图；

图10示出按照本发明的另一个实施方式的用于控制微镜的系统中的控制信号的信号图表。

在附图的图中相同和功能相同的元件、特征和部件——只要没有以其它方式实施——分别设有相同的附图标记。显然，部件和元件在附图中出于清楚和理解的考虑不是必须相互按比例地显示。

具体实施方式

图1示出具有微镜装置15的图像投影系统10。图像数据生成装置11被设计用于接收待显示的图像或视频的外部的图像或视频信号并且由其生成用于控制驱动装置12的图像数据。驱动装置12被设计用于生成相应的驱动信号，一个图像生成装置16通过该驱动信号被控制。图像生成装置16例如可以具有多个激光器16a、16b、16c，例如不同颜色的激光器来生成红色、绿色和蓝色的激光束。激光器16a、16b、16c在此可以在其强度上是可按照驱动信号调制的。由激光器16a、16b、16c产生的激光束通过转向装置17、例如借助二色镜统一成一个组合的激光束，该统一的激光束在微镜装置15的微镜上转向。该激光束被微镜按照微镜的位置转向到投影面18上，在那里产生希望颜色和/或强度的图像点。

图2示出图1中的系统10的微镜装置15的示意图。微镜装置15具有微镜20，该微镜通过弹簧元件25和26可双轴翻转地并且位置固定地布置在微镜装置15中。弹簧元件25和26在此示意地表示为弹簧，其中，弹簧元件25和26可以包括能够在围绕通过图2中的箭头表示的轴线扭转时产生复位力的任意元件。

微镜装置15还包括力耦合输入元件21、22、23和24，经由它们通过力引入实现微镜20围绕一个或两个通过弹簧元件25和26限定的、相互垂直的翻转轴线的扭转或翻转运动。力耦合输入元件21、22、23和24在此仅示意地被示出。但是对于技术人员清楚的是，用于通过力耦合输入元件21、22、23和24在微镜20上的外部力耦合输入的任意系统是可行的。力耦合输入可以例如机械式、静电式、磁式或以其它方式进行。力耦合输入元件21、22、23和24的数量在图2中举例地以四个给出，其中，任何其它数量的力耦合输入元件21、22、23和24同样是可以实现的。在图平面中在力耦合输入元件21上的力耦合输入例如可以引起微镜20围绕微镜20的通过弹簧元件25限定的第一翻转轴线以及围绕通过弹簧元件26限定的第二翻转轴线的扭转或翻转。

图3示出用于按照图1和2的微镜装置15的激励频率的频率-振幅-图表。频率在此对数地绘制在横坐标上。弹簧元件25和26在此可以这样地被选择，使得微镜20的围绕第一垂直翻转轴线的扭转或翻转在频率f_res时具有谐振，并且微镜20的围绕与第一垂直翻转轴线垂直的第二水平翻转轴线的扭转或翻转在频率f_h时具有谐振。典型地，微镜的水平翻转运动可以在频率f_h时进行。频率f_h可以例如此外大于15kHz。通过微镜20在频率f_h时的运行，利用到谐振放大，以便在小的激励能量时实现大的水平偏转角度。

由图3可见，在频率f_h时，对围绕垂直轴线的翻转运动的阻尼非常高。同时，由弹簧元件和微镜20组成的弹簧-质量-系统在围绕垂直轴线扭转时在频率f_res时具有谐振，从而为了实现在图像投影时的精确的行直线性要避免在频率f_res时的频率部分。替代地，作为用于微镜20的围绕垂直翻转轴线的翻转运动的控制信号的频率选择一个频率f_v，该频率远低于频率f_res并且例如可以是几十至几百Hz，例如50至70Hz。在频率f_v时，微镜20围绕水平轴线的翻转运动被强烈地阻尼。对于微镜20的控制的正常功能，可能有利的是，频率f_v和f_h被选择得隔开足够远，以便避免微镜20的水平和垂直控制信号的串扰。

再次参考图1，图像投影系统10包括控制装置1，该控制装置被设计用于生成微镜装置15或微镜20的控制信号。控制信号可以被馈送入致动装置13中，致动装置根据控制信号引起对微镜装置15的相应的力耦合输入元件21、22、23和24的致动。系统10还可以具有检测装置14，该检测装置被设计用于检测通过控制信号实际引起的微镜20的偏转并且回送到反馈回路中的控制装置1。控制装置1可以使用检测装置14检测到的偏转，以便匹配控制信号。

图4更详细地示出用于控制微镜装置15中的微镜20的系统10的一部分的示意图。该系统10包括控制装置1、致动装置13和微镜装置15。图1的检测装置14在图4中两部分地作为用于微镜的水平偏转Ph的检测装置14a和用于微镜20的垂直偏转Pv的检测装置14b示出。

控制装置1包括第一信号发生器2、信号转换装置3、第一信号分配器4、调制器5、第二信号分配器6以及调节回路1a。调节回路1a可以包括第二信号发生器7、频率控制回路8以及相位检测器9。在下面，控制装置1的各个元件的工作方式参照在图5a至5d的图表中示出的信号更精确地阐述。

第一信号发生器2被设计用于生成控制信号S1，该控制信号可以被用于控制微镜20围绕第一翻转轴线的垂直翻转运动。例如，控制信号S1可以是一个锯齿信号，例如在图5a中的信号图中所示。锯齿信号在此可以具有一个重复频率，该重复频率相当于用于控制微镜20的垂直翻转运动的频率f_v。控制信号S1可以被传输到信号转换装置3，信号转换装置附加地能够从检测装置14b获得关于微镜20的实际垂直偏转Pv的反馈信号。信号转换装置3可以被设计用于按照从检测装置14b接收到的反馈信号通过适当的滤波和/或调节来准备控制信号S1。例如，信号转换装置3可以被设计用于如在图5b中所示将控制信号S1转换为控制信号S2。

第一信号分配器4可以被设计用于接收经转换的控制信号S2并且将其如在图5c中所示分成两个分控制信号S3a和S3b。分控制信号S3b在此尤其是由控制信号S2通过逆变得出。分控制信号S3a和S3b在此可以分别具有正的振幅并且例如被用于微镜装置15的力耦合输入元件对21和22以及23和24的致动。

第二信号分配器7同时可以被设计用于生成用于控制微镜20围绕水平翻转轴线的水平翻转运动的控制信号S4。控制信号S4可以例如在信号分配器6中被分成两个部分S4a和S4b，如在图5中的两个上方图表中所示。分控制信号S4a和S4b可以例如是具有频率f_h的矩形信号，该频率相当于微镜20围绕水平翻转轴线的扭转运动的谐振频率。分控制信号S4a和S4b可以在此分别具有正的振幅并且例如被用于微镜装置15的力耦合输入元件对21和24以及22和23的致动。控制信号S4在此可以例如由三角形信号C形成，如例如在图5d中的下方视图中绘出。第二信号发生器7还可以被设计用于将三角形信号C传输到调制器5上以便进一步处理。此外，第二信号发生器7可以被构造用于第一信号发生器2的计时。

第二信号发生器7可以在调节回路1a、例如相位调节回路（PLL，“phaselocked loop”）中与相位检测器9和频率控制回路8连接，并且针对微镜的由检测装置14a反馈的实际水平偏转Ph来调节控制信号S4的生成。

调制器5接收控制信号S3或者说分控制信号S3a和S3b并且被设计用于通过二进制调制、例如PWM调制来调制控制信号S3或者说分控制信号S3a和S3b。PWM调制在此以由第二信号发生器7提供的控制信号C的频率f_h进行，使得调制器5将经脉宽调制的控制信号S5输出到致动装置13以便控制力耦合输入元件21至24。通过PWM调制能够在围绕水平翻转轴线的扭转运动时将具有微镜20的谐振频率的高频信号部分调制成控制信号S3。这引起，高频信号部分可以提供用于水平翻转轴线的附加的转矩，而不会影响围绕垂直翻转轴线的翻转运动。在此要注意，不激励任何干扰模式，尤其是不激励垂直翻转轴线在谐振频率f_res时的谐振模式。

换言之，致动装置13一方面接收水平控制信号S4或者说分控制信号S4a和S4b，它们被用于通过对力耦合输入元件对21和22以及23和24的致动产生微镜20的围绕水平翻转轴线的高频翻转运动。另一方面，致动装置13接收垂直控制信号S5或者说分控制信号S5a和S5b，它们被用于通过对力耦合输入元件对21和24以及22和23的致动产生微镜20的围绕垂直翻转轴线的低频翻转运动。但是经脉宽调制的垂直控制信号S5的高频信号部分同时负责在力耦合输入元件上的附加的力引入，它们增强了水平的翻转运动，而对垂直翻转运动的影响不值一提。由此能够实现的是，将附加的驱动能量传递到水平翻转轴线上。与控制信号S4的纯信号耦合输入相比，通过控制信号S5的脉宽调制可以得到30%的驱动能量收益。

显然，任何类型的二进制调制都适合于控制信号的调制，并且PWM调制仅仅举例地在下面更详细地阐述。

图5以示意图示出调制器5的示例设计方式。由第二信号发生器7提供的三角形信号C可以一方面通过逆变器31、偏压发生器33和放大器35的功能模块以及另一方面通过偏压发生器32和放大器34的功能模块分成两个相位相反的三角形信号，它们分别被馈送到比较器36a和37a或者说36b和37b中。第一信号分配器4的第一分控制信号S3a和S3b在此同样可以被馈送到比较器36a和37a或者说36b和37b中，使得在调制器的信号输出端上提供分控制信号S5a、S5b、S5c和S5d。分控制信号S5a、S5b、S5c和S5d在此是经脉宽调制的控制信号，其可以被用于微镜装置15的各个力耦合输入元件21、22、23和24的致动。

分控制信号S5a、S5b、S5c和S5d可以与水平分控制信号S4a和S4b一起被转送给致动装置13，在致动装置中这些分控制信号可以组合用于控制微镜装置15的各个力耦合输入元件21、22、23和24。在图7中举例地示出分控制信号的可能组合。例如，分控制信号S5a和S4a可以相加或叠加并且用于力耦合输入元件21的致动。例如类似的组合调节也适用于其余的分控制信号。

图8示出经改进的用于控制微镜20的系统10的示意图。图8中的系统10与图4中的系统10的区别在于，第一信号分配器4通过信号转换逻辑电路4a取代。信号转换逻辑电路4a可以被设计用于接收信号转换装置3的经转换的控制信号S2并且按照预确定的脉宽阈值B将其转换为经调制的控制信号S6。

如在图10中所示，控制信号S2具有一些区域，在这些区域中振幅A的绝对值很小，即，具有一些区域，其中微镜20围绕垂直翻转轴线的偏转很小。当在调制器5中按照上述的方式进行二进制调制、例如脉宽调制时，经调制的垂直控制信号S5的能量引入因此在这些区域中非常小。通过小的能量引入（例如在脉宽调制时：小的脉宽），与其中实现微镜20的高垂直偏转的区域相比，限制了用于将驱动能量传递到力耦合输入元件上的可能性。信号转换逻辑电路4a因此可以被设计用于将经脉宽调制的控制信号S5的期待的脉宽与一个预确定的且可调节的脉宽阈值B比较。此外，信号转换逻辑电路4a可以具有在图9中示出的举例的结构。控制信号S2此外通过功能模块41、42、43和45以及多路复用器44连接到两个多路复用器47a和47b上。通过将控制信号S2的振幅与同样连接到多路复用器47a和47b上的比较模块46和48上的脉宽阈值B比较，能够在信号转换逻辑电路4a的信号输出端上分别产生一个分控制信号S6a和S6b，该分控制信号例如具有在图10的下方图表中所示的信号变化曲线。多路复用器47a和47b在此可以按照在图10的第二信号图表中所示的选择函数V运行，以便在信号转换逻辑电路4a的信号输出端上选择地提供控制信号S2、脉宽阈值B、恒定的零线k或逆变的控制信号S2。以该方式能够产生分控制信号S6a和S6b，它们具有在平均值上比分控制信号S3a和S3b高的绝对振幅。

在图8中的调制器5a可以被设计用于以三角形信号C的第一频率f_h对信号转换逻辑电路4a的分控制信号S6a和S6b进行二进制调制，例如脉宽调制并且生成经调制的控制信号S7或者说分控制信号S7a和S7b。经调制的控制信号S7或者说分控制信号S7a和S7b在此可以与经调制的控制信号S5或者说分控制信号S5a和S5b类似地被产生。在此要注意，分控制信号S6a和S6b在一些区域（其中控制信号S2在二进制调制例如脉宽调制之后具有低于预确定的脉宽阈值B的脉宽能量）中分别具有叠加的驱动信号。然而这些驱动信号通过经由力耦合输入元件21至24的相应力耦合输入分别与微镜20的垂直翻转轴线对称地被馈入。由此在围绕垂直翻转轴线的翻转运动方面不得到垂直偏转，因为分控制信号S6a和S6b的高频信号部分在这些区域中恰好被消除。

通过在经二进制调制的控制信号S5的所有脉冲上在平均值上较高的脉宽可以保证馈入更高的信号能量来支持微镜的水平翻转运动，该信号能量馈入比控制信号S4的信号能量馈入高出约50%。

Claims (9)

1.用于控制微镜（20）的方法，具有以下步骤：

生成具有第一频率（f_h）的第一控制信号（S4），该第一控制信号对微镜（20）围绕第一翻转轴线的翻转运动编码；

生成具有第二频率（f_v）的第二控制信号（S2，S3），该第二控制信号对微镜（20）围绕垂直于第一翻转轴线的第二翻转轴线的翻转运动编码，该第二频率小于第一频率（f_h）；

通过以第一频率对第二控制信号（S2，S3）的二进制调制来调制第二控制信号（S2，S3）；和

以经调制的第二控制信号（S5）和第一控制信号（S4）控制微镜（20）的力耦合输入元件（21，22，23，24）。

2.根据权利要求1的方法，其中，第一频率（f_h）是微镜（20）的相对于围绕第一翻转轴线的偏转的谐振频率，并且第二频率（f_v）低于微镜（20）的相对于围绕第二翻转轴线的偏转的谐振频率（f_res）。

3.根据权利要求1或2的方法，还具有以下步骤：

将经调制的第二控制信号（S5）和第一控制信号（S4）分成分控制信号（S5a，S5b，S5c，S5d；S4a，S4b），这些分控制信号分别被构造用于控制微镜（20）的不同的力耦合输入元件（21，22，23，24）。

4.根据权利要求1至3之一的方法，还具有以下步骤：

将第二控制信号（S2）的振幅与脉宽阈值（B）比较；

由第二控制信号（S2）基于所述比较生成经变换的控制信号（S6），其中，经变换的控制信号（S6）在平均值上具有比第二控制信号（S2）大的信号振幅；和

由经变换的控制信号（S6）生成第三控制信号（S7），其中，第三控制信号（S7）以第一频率被二进制调制。

5.根据权利要求4的方法，其中，第三控制信号（S7）在时间平均值上对微镜（20）围绕第二翻转轴线的通过第二控制信号（S2）编码的翻转运动编码。

6.用于控制微镜（20）的控制装置，具有：

第一信号发生器（7），它被设计用于生成具有第一频率（f_h）的第一控制信号（S4，C），该第一控制信号对微镜（20）围绕第一翻转轴线的翻转运动编码；

第二信号发生器（2），它被设计用于生成具有第二频率（f_v）的第二控制信号（S2，S3），该第二控制信号对微镜（20）围绕垂直于第一翻转轴线的第二翻转轴线的翻转运动编码，该第二频率小于第一频率（f_h）；

调制器（5），它与第一信号发生器（7）和第二信号发生器（2）连接，并且该调制器被设计用于通过以第一频率（f_h）对第二控制信号（S2，S3）的二进制调制来调制第二控制信号（S2，S3）；和

致动装置（13），它与调制器（5）连接，并且该致动装置被设计用于以经调制的第二控制信号（S5）和第一控制信号（S4）控制微镜（20）的力耦合输入元件（21，22，23，24）。

7.根据权利要求6的控制装置，还具有：

第一信号分配器（6），它被连接在第一信号发生器（7）和致动装置（13）之间，并且该第一信号分配器被设计用于将第一控制信号（S4）分成用于控制微镜（20）的不同力耦合输入元件（21，22，23，24）的第一分信号（S4a，S4b）；和

第二信号分配器（3），它被连接在第二信号发生器（2）和调制器（5）之间，并且该第二信号分配器被设计用于将第二控制信号（S2）分成用于控制微镜（20）的不同力耦合输入元件（21，22，23，24）的第二分信号（S3a，S3b）。

8.根据权利要求6或7的方法，其中，第一频率（f_h）是微镜（20）的相对于围绕第一翻转轴线的偏转的谐振频率，并且第二频率（f_v）低于微镜（20）的相对于围绕第二翻转轴线的偏转的谐振频率（f_res）。

9.图像投影系统（10），具有：

微镜装置（15），它具有至少一个具有多个力耦合输入元件（21，22，23，24）的微镜（20）；

图像生成装置（16），它被设计用于按照预确定的图像数据产生光束并且将光束指向到微镜装置（15）的所述至少一个微镜（20）上；

图像数据生成装置（11），它被设计用于生成预确定的图像数据并且馈入到图像生成装置（16）中；和

根据权利要求6至8之一的控制装置（1），它被设计用于通过控制多个力耦合输入元件（21，22，23，24）来产生所述至少一个微镜（20）的翻转运动，从而由图像生成装置（16）产生的光束被所述至少一个微镜（20）转向以生成与图像数据相应的图像。

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