JP2013030690A - 基板処理装置、フィルタ洗浄方法、およびフィルタ洗浄装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板処理装置1は、基板Wに供給される処理液をろ過するフィルタ16を内部で保持するハウジング17と、ハウジング17に保持されている状態のフィルタ16の温度を変化させるフィルタ洗浄機構22とを含む。フィルタ洗浄機構22は、ハウジング17に保持されているフィルタ16を加熱および/または冷却することにより、フィルタ16の温度を変化させて、フィルタ16に対する異物の結合力を低下させる。
【選択図】図2
Description
たとえば特許文献1には、複数枚の基板を一括して処理するバッチ式の基板処理装置と、基板を一枚ずつ処理する枚葉式の基板処理装置とが開示されている。各基板処理装置は、基板に供給される処理液を循環させる循環経路を備えている。基板に供給された処理液は、循環経路に介装されたフィルタによってろ過された後、再び基板に供給される。
また、この発明の他の目的は、フィルタから異物を除去できるフィルタ洗浄方法およびフィルタ洗浄装置を提供することである。
この構成によれば、ハウジングに保持されているフィルタが、洗浄手段によって加熱および/または冷却される。これにより、フィルタの温度が変化する。そのため、フィルタに付着している異物の温度も変化する。フィルタおよび異物は、膨張率が異なるから、フィルタの温度が変化すると、フィルタに対する異物の結合力が低下する。これにより、異物をフィルタから離脱させて除去できる。また、異物がフィルタから離脱しなかったとしても、フィルタに対する異物の結合力が低下しているので、液体の供給によって異物を容易に洗い流すことができる。これにより、フィルタから異物を除去できる。したがって、フィルタの目詰まりを軽減して、フィルタの寿命を延ばすことができる。さらに、フィルタがハウジングに保持されている状態で異物を除去できるので、ハウジングからフィルタを取り外すなどの作業が不要である。よって、フィルタの洗浄を簡単に行える。
流体供給手段は、温度の異なる複数の気体をフィルタに順次供給する気体供給手段であってもよいし、温度の異なる複数の液体をフィルタに順次供給する液体供給手段であってもよいし、温度の異なる気体および液体をフィルタに順次供給する気体・液体供給手段であってもよい。気体は、液体の蒸気であってもよいし、ミストであってもよい。
流体供給手段は、混ざり合うことにより発熱する複数の気体をフィルタに順次供給する気体供給手段であってもよいし、混ざり合うことにより発熱する複数の液体をフィルタに順次供給する液体供給手段であってもよいし、混ざり合うことにより発熱する気体および液体をフィルタに順次供給する気体・液体供給手段であってもよい。気体は、液体の蒸気であってもよいし、ミストであってもよい。
この構成によれば、フィルタに対する異物の結合力が低下している状態で、液体供給手段からの液体がフィルタに供給される。フィルタに対する異物の結合力が低下しているので、フィルタに付着している異物は、液体の供給によって容易に洗い流される。これにより、フィルタから異物を除去して、フィルタの寿命を延ばすことができる。
この構成によれば、フィルタによってろ過すべき処理液と同種の処理液がフィルタに供給される。したがって、洗浄後のフィルタには、この同種の処理液が付着している。そのため、洗浄後のフィルタを使って処理液をろ過したときに、当該処理液とは異なる液体が、ろ過された処理液に混入して、処理液の濃度が変化することを抑制または防止できる。これにより、基板に供給される処理液の濃度変化を抑制または防止できる。
この構成によれば、ハウジングの内部から回収された処理液がフィルタに供給され、フィルタに付着している異物が洗い流される。このように、ハウジングの内部から回収した処理液を利用するので、処理液の消費量を低減できる。
この構成によれば、加熱流体としての処理液が、フィルタに向けて吐出部から吐出される。吐出部から吐出された処理液は、フィルタに吹き付けられ、フィルタに沿って流れ落ちる。これにより、フィルタ全体に処理液が供給される。吐出部からフィルタに向けて処理液を吐出するので、ハウジングの内部を処理液で満たして、フィルタを浸漬させる場合よりも、少量の処理液でフィルタ全体を洗浄できる。これにより、ハウジングから回収した処理液を効率的に使用できる。
請求項11記載の発明は、前記洗浄ステップは、温度の異なる複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給ステップ(S3〜S5)を含む、請求項10に記載のフィルタ洗浄方法である。この構成によれば、請求項2の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。
請求項13記載の発明は、前記洗浄ステップは、前記フィルタに液体を供給して、前記フィルタに付着している異物を洗い流す液体供給ステップ(S3〜S5)を含む、請求項10〜12のいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法である。この構成によれば、請求項4の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。
請求項15記載の発明は、前記同種液供給ステップは、前記フィルタを内部で保持するハウジングの内部に供給された液体を回収し、回収した液体を前記ハウジングの内部に供給する回収液供給ステップ(S4、S5)を含む、請求項14に記載のフィルタ洗浄方法である。この構成によれば、請求項6の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。
請求項18記載の発明は、前記洗浄ステップが行われる前に、前記フィルタを内部で保持するハウジングの内部を含む環状の循環経路(P1)で液体を循環させる循環ステップと、前記洗浄ステップが行われる前に、前記循環経路での液体の循環を中断させる中断ステップ(S1)と、前記洗浄ステップが行われる前であって、前記中断ステップが行われた後に、前記ハウジングの内部から液体を排出させて、前記ハウジングに保持されている状態の前記フィルタを液体から露出させる排出ステップ(S2)と、前記洗浄ステップが行われた後に、前記循環経路での液体の循環を再開させる再開ステップ(S7)とをさらに含む、請求項10〜17のいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法である。
請求項21記載の発明は、前記洗浄手段は、混ざり合うことにより発熱する複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給手段(23、24)を含む、請求項19または20に記載のフィルタ洗浄装置である。この構成によれば、請求項3の発明に関して述べた効果と同様な効果を奏することができる。
なお、この項において、括弧内の英数字は、後述の実施形態における対応構成要素の参照符号を表すものであるが、これらの参照符号により特許請求の範囲を限定する趣旨ではない。
[基板処理装置]
図1は、本発明の第1実施形態に係る基板処理装置1の概略構成を説明するための模式図である。
基板処理装置1は、たとえば、複数枚の基板Wを一括して処理するバッチ式の基板処理装置である。基板処理装置1は、処理液の一例である薬液を貯留する処理槽2(処理液供給手段)と、処理槽2に薬液を供給する薬液ノズル3と、処理槽2に貯留されている薬液に基板Wを浸漬させるリフター4(基板保持手段)と、処理槽2に貯留されている薬液を循環させる循環機構5と、基板処理装置1に備えられた各機器やバルブを制御する制御装置6とを含む。
基板処理装置1は、フィルタ16を内部で保持するハウジング17を含む。フィルタ16は、ハウジング17に保持されている。ハウジング17は、開閉可能であり、フィルタ16は、ハウジング17に取り外し可能に取り付けられている。フィルタ16は、たとえば、上端が閉塞された筒状である。ハウジング17の内部は、フィルタ16によって上流側空間X1と下流側空間X2とに仕切られている。上流側空間X1は、ろ過すべき液体が供給されるフィルタ16の外側の空間であり、下流側空間X2は、フィルタ16によってろ過された液体が供給されるフィルタ16の内側の空間である。ハウジング17は、上流側空間X1に連通する流入部17aと、下流側空間X2に連通する流出部17bとを含む。
最初に、加熱流体および冷却流体が、それぞれ、水蒸気および液体窒素である場合について説明する。
[水蒸気&液体窒素]
フィルタ16が洗浄されるときには、最初に、循環経路P1での薬液の循環が中断される(S1)。具体的には、制御装置6は、フィルタ洗浄機構22の各バルブ25、26、31、35、36が閉じられている状態で、上流側バルブ20および下流側バルブ21を閉じる。これにより、上流側配管18からハウジング17内への薬液の供給が停止され、循環経路P1での薬液の循環が停止される。薬液が循環配管12を循環している状態では、フィルタ16に一定の圧力(薬液の供給圧)が加わっている。したがって、循環経路P1での薬液の循環が停止されることにより、フィルタ16に加わる液圧が減少する。そのため、薬液の循環が中断される前よりも、異物がフィルタ16から離脱し易い状態になる。
次に、加熱流体および冷却流体が、それぞれ、硫酸および過酸化水素水であり、薬液がSPM(硫酸と過酸化水素水とを含む混合液)である場合について説明する。ただし、循環経路P1でのSPMの循環が中断され、ハウジング17内のSPMが排出されるまでの動作は前述の動作例(S1〜S2)と同様であるので、それより後に行われる動作から説明する。
次に、加熱流体および冷却流体が、それぞれ、温水および冷水である場合について説明する。ただし、循環経路P1での薬液の循環が中断され、ハウジング17内の薬液が排出されるまでの動作は前述の動作例(S1〜S2)と同様であるので、それより後に行われる動作から説明する。
次に、加熱流体および冷却流体が、それぞれ、高温窒素ガス&低温窒素ガスである場合について説明する。ただし、循環経路P1での薬液の循環が中断され、ハウジング17内の薬液が排出されるまでの動作は前述の動作例(S1〜S2)と同様であるので、それより後に行われる動作から説明する。
図4は、本発明の第2実施形態に係るフィルタ洗浄装置201の概略構成を説明するための模式図である。
フィルタ洗浄装置201は、ハウジング17を含む。フィルタ16は、ハウジング17に取り外し可能に取り付けられる。フィルタ16は、ハウジング17の内部で保持される。フィルタ洗浄装置201は、フィルタ16を洗浄するフィルタ洗浄機構222(洗浄手段)を含む。フィルタ洗浄機構222は、加熱配管23と、冷却配管24と、加熱バルブ25と、冷却バルブ26とを含む。さらに、フィルタ洗浄機構222は、排液配管33および大気連通配管34と、排液バルブ35および連通バルブ36とを含む。フィルタ洗浄装置201は、フィルタ洗浄装置201に備えられた各機器やバルブを制御する制御装置6を含む。
たとえば、前述の第1および第2実施形態では、加熱流体および冷却流体の供給によってフィルタ16の温度を変化させる場合について説明したが、ハウジング17の内部または外部に配置されたヒータによってハウジング17に保持されている状態のフィルタ16を加熱してもよい。また、ドライアイスによってハウジング17に保持されている状態のフィルタ16を冷却してもよい。
また前述の第1実施形態では、ハウジング17から回収された薬液によって仕上げ洗浄を行う場合について説明したが、未使用の薬液をハウジング17内(上流側空間X1)に供給する新液配管を設けて、未使用の薬液によって仕上げ洗浄を行ってもよい。
また前述の第1および第2実施形態では、フィルタ16が筒状である場合について説明したが、フィルタ16は、筒状以外の形状であってもよい。
その他、特許請求の範囲に記載された事項の範囲で種々の設計変更を施すことが可能である。
2 処理槽(処理液供給手段)
4 リフター(基板保持手段)
15 ヒータ(加熱手段)
16 フィルタ
17 ハウジング
18 上流側配管
19 下流側配管
22 フィルタ洗浄機構(洗浄手段)
23 加熱配管(流体供給手段、液体供給手段)
24 冷却配管(流体供給手段、冷却流体供給手段、液体供給手段)
27 回収機構(流体供給手段、加熱流体供給手段、液体供給手段、同種液供給手段、回収液供給手段)
30a 吐出部
201 フィルタ洗浄装置
222 フィルタ洗浄機構(洗浄手段)
237 新液配管(液体供給手段、同種液供給手段)
W 基板
Claims (23)
- 基板に供給される処理液をろ過するフィルタを内部で保持するハウジングと、
前記ハウジングに保持されている状態の前記フィルタの温度を変化させて、前記フィルタに対する異物の結合力を低下させる洗浄手段とを含む、基板処理装置。 - 前記洗浄手段は、温度の異なる複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給手段を含む、請求項1記載の基板処理装置。
- 前記洗浄手段は、混ざり合うことにより発熱する複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給手段を含む、請求項1または2記載の基板処理装置。
- 前記洗浄手段は、前記ハウジングに保持されている状態の前記フィルタに液体を供給して、前記フィルタに付着している異物を洗い流す液体供給手段を含む、請求項1〜3のいずれか一項に記載の基板処理装置。
- 前記液体供給手段は、前記フィルタによってろ過すべき処理液と同種の処理液を前記フィルタに供給する同種液供給手段を含む、請求項4項に記載の基板処理装置。
- 前記同種液供給手段は、前記フィルタによってろ過すべき処理液を前記ハウジングの内部から回収して、回収した処理液を前記ハウジングの内部に供給する回収液供給手段を含む、請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記基板処理装置は、前記フィルタによってろ過すべき処理液を前記ハウジングの内部に導く上流側配管と、前記上流側配管を流れる処理液を加熱する加熱手段とをさらに含み、
前記流体供給手段は、前記上流側配管から前記ハウジングの内部に供給された処理液を回収して、回収した処理液を加熱流体として前記ハウジングの内部に供給する加熱流体供給手段と、前記加熱流体よりも低温の冷却流体を前記ハウジングの内部に供給する冷却流体供給手段とを含む、請求項2に記載の基板処理装置。 - 前記加熱流体供給手段は、前記フィルタに向けて処理液を吐出する吐出部を含む、請求項7記載の基板処理装置。
- 基板を保持する基板保持手段と、
前記基板保持手段に保持されている基板に処理液を供給する処理液供給手段と、
前記処理液供給手段と前記ハウジングとを接続しており、基板に供給された処理液を前記ハウジングの内部に導く上流側配管と、
前記処理液供給手段と前記ハウジングとを接続しており、前記ハウジングの内部で前記フィルタによってろ過された処理液を前記処理液供給手段に導く下流側配管とをさらに含む、請求項1〜8のいずれか一項に記載の基板処理装置。 - 液体をろ過するフィルタの温度を変化させて、前記フィルタに対する異物の結合力を低下させる洗浄ステップを含む、フィルタ洗浄方法。
- 前記洗浄ステップは、温度の異なる複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給ステップを含む、請求項10に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記洗浄ステップは、混ざり合うことにより発熱する複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給ステップを含む、請求項10または11に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記洗浄ステップは、前記フィルタに液体を供給して、前記フィルタに付着している異物を洗い流す液体供給ステップを含む、請求項10〜12のいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記液体供給ステップは、前記フィルタによってろ過すべき液体と同種の液体を前記フィルタに供給する同種液供給ステップを含む、請求項13に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記同種液供給ステップは、前記フィルタを内部で保持するハウジングの内部に供給された液体を回収し、回収した液体を前記ハウジングの内部に供給する回収液供給ステップを含む、請求項14に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記流体供給ステップは、
加熱手段によって加熱されており、前記フィルタを内部で保持するハウジングの内部に供給された液体を回収し、回収した液体を加熱流体として前記ハウジングの内部に供給する加熱流体供給ステップと、
前記加熱流体供給ステップが行われる前後の少なくとも一方で、前記加熱流体よりも低温の冷却流体を前記ハウジングの内部に供給する冷却流体供給ステップとを含む、請求項11に記載のフィルタ洗浄方法。 - 前記加熱流体供給ステップは、前記フィルタに向けて液体を吐出する吐出ステップを含む、請求項16に記載のフィルタ洗浄方法。
- 前記洗浄ステップが行われる前に、前記フィルタを内部で保持するハウジングの内部を含む環状の循環経路で液体を循環させる循環ステップと、
前記洗浄ステップが行われる前に、前記循環経路での液体の循環を中断させる中断ステップと、
前記洗浄ステップが行われる前であって、前記中断ステップが行われた後に、前記ハウジングの内部から液体を排出させて、前記ハウジングに保持されている状態の前記フィルタを液体から露出させる排出ステップと、
前記洗浄ステップが行われた後に、前記循環経路での液体の循環を再開させる再開ステップとをさらに含む、請求項10〜17のいずれか一項に記載のフィルタ洗浄方法。 - 液体をろ過するフィルタが取り付けられ、取り付けられた前記フィルタを内部で保持するハウジングと、
前記ハウジングに取り付けられている状態の前記フィルタの温度を変化させて、前記フィルタに対する異物の結合力を低下させる洗浄手段とを含む、フィルタ洗浄装置。 - 前記洗浄手段は、温度の異なる複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給手段を含む、請求項19に記載のフィルタ洗浄装置。
- 前記洗浄手段は、混ざり合うことにより発熱する複数の流体を前記フィルタに順次供給する流体供給手段を含む、請求項19または20に記載のフィルタ洗浄装置。
- 前記洗浄手段は、前記ハウジングに保持されている状態の前記フィルタに液体を供給して、前記フィルタに付着している異物を洗い流す液体供給手段を含む、請求項19〜21のいずれか一項に記載のフィルタ洗浄装置。
- 前記液体供給手段は、前記フィルタによってろ過すべき液体と同種の液体を前記フィルタに供給する同種液供給手段を含む、請求項22に記載のフィルタ洗浄装置。
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