JP2013026272A5 - - Google Patents
Download PDFInfo
- Publication number
- JP2013026272A5 JP2013026272A5 JP2011156740A JP2011156740A JP2013026272A5 JP 2013026272 A5 JP2013026272 A5 JP 2013026272A5 JP 2011156740 A JP2011156740 A JP 2011156740A JP 2011156740 A JP2011156740 A JP 2011156740A JP 2013026272 A5 JP2013026272 A5 JP 2013026272A5
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- measurement light
- measurement
- light
- diffraction grating
- angle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Description
本発明の第1の態様によれば、第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、その第1部材及びその第2部材の一方に設けられ、その第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、第1及び第2計測光を供給する光源部と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給されたその第1計測光をその格子パターン面に向けて照射し、且つその回折格子で回折されたその第1計測光を受光する第1光学部材と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給されたその第2計測光をその格子パターン面に向けて照射し、且つその回折格子で回折されたその第2計測光を受光する第2光学部材と、その回折格子で回折されたその第1計測光とその回折格子で回折されたその第2計測光とを光電検出する光電検出器と、該光電検出器の検出信号を用いて、その第2部材の相対移動量を求める計測部と、を備え、その第1光学部材は、その回折格子で正反射されるその第1計測光の進行方向を、その回折格子で回折されてその第2光学部材に入射するその第2計測光の進行方向とは異なる方向に設定するエンコーダ装置が提供される。
本発明の別の態様によれば、第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置が提供される。このエンコーダ装置は、その第1部材及びその第2部材の一方に設けられ、その第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、互いに可干渉性のある第1計測光及び第2計測光を供給する光源部と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給された第1計測光をその格子パターン面に向けて反射する第1反射部材と、その回折格子からの回折光と他の回折光又はその第2計測光との干渉光を検出する第1光電検出器と、その第1光電検出器の検出信号を用いてその第2部材の相対移動量を求める計測部と、を備え、その反射部材からその格子パターン面に向かうその第1計測光のその第1方向の入射角を、その回折格子のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定するものである。
本発明のさらに別の態様によれば、第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置が提供される。このエンコーダ装置は、その第1部材及びその第2部材の一方に設けられ、その第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、計測光を供給する光源部と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給されたその計測光をその格子パターン面に向けて照射し、且つその回折格子で回折されたその計測光を受光する光学部材と、を備え、その光学部材は、互いに異なる進行方向の第1及び第2計測光をその格子パターン面に向けて照射し、その回折格子で正反射されるその第1計測光の進行方向と、その回折格子で回折されてその第2光学部材に入射するその第2計測光の進行方向とを異なる方向に設定するものである。
本発明の別の態様によれば、第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置が提供される。このエンコーダ装置は、その第1部材及びその第2部材の一方に設けられ、その第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、互いに可干渉性のある第1計測光及び第2計測光を供給する光源部と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給された第1計測光をその格子パターン面に向けて反射する第1反射部材と、その回折格子からの回折光と他の回折光又はその第2計測光との干渉光を検出する第1光電検出器と、その第1光電検出器の検出信号を用いてその第2部材の相対移動量を求める計測部と、を備え、その反射部材からその格子パターン面に向かうその第1計測光のその第1方向の入射角を、その回折格子のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定するものである。
本発明のさらに別の態様によれば、第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置が提供される。このエンコーダ装置は、その第1部材及びその第2部材の一方に設けられ、その第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、計測光を供給する光源部と、その第1部材及びその第2部材の他方に設けられ、その光源部から供給されたその計測光をその格子パターン面に向けて照射し、且つその回折格子で回折されたその計測光を受光する光学部材と、を備え、その光学部材は、互いに異なる進行方向の第1及び第2計測光をその格子パターン面に向けて照射し、その回折格子で正反射されるその第1計測光の進行方向と、その回折格子で回折されてその第2光学部材に入射するその第2計測光の進行方向とを異なる方向に設定するものである。
本発明によれば、エンコーダ装置の光学系の高さ(格子パターン面の法線方向の高さ)を低くできる。
さらに、第1光学部材からその格子パターン面に向かう第1計測光の第1方向の入射角を、回折格子のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定した場合には、格子パターン面の高さの変化に対して回折光の横シフト量が小さく、干渉光の強度変化が小さいとともに、回折格子からの0次光の影響を低減して計測精度を向上できる。
さらに、第1光学部材からその格子パターン面に向かう第1計測光の第1方向の入射角を、回折格子のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定した場合には、格子パターン面の高さの変化に対して回折光の横シフト量が小さく、干渉光の強度変化が小さいとともに、回折格子からの0次光の影響を低減して計測精度を向上できる。
Claims (17)
- 第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、
前記第1部材及び前記第2部材の一方に設けられ、前記第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、
第1及び第2計測光を供給する光源部と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方に設けられ、前記光源部から供給された前記第1計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、且つ前記回折格子で回折された前記第1計測光を受光する第1光学部材と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方に設けられ、前記光源部から供給された前記第2計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、且つ前記回折格子で回折された前記第2計測光を受光する第2光学部材と、
前記回折格子で回折された前記第1計測光と前記回折格子で回折された前記第2計測光とを光電検出する光電検出器と、
該光電検出器の検出信号を用いて、前記第2部材の相対移動量を求める計測部と、を備え、
前記第1光学部材は、前記回折格子で正反射される前記第1計測光の進行方向を、前記回折格子で回折されて前記第2光学部材に入射する前記第2計測光の進行方向とは異なる方向に設定することを特徴とするエンコーダ装置。 - 前記第1光学部材は、該第1光学部材から前記格子パターン面に向かう前記第1計測光の前記第1方向の入射角を、前記回折格子のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定することを特徴とする請求項1に記載のエンコーダ装置。
- 前記第1光学部材は、前記第1計測光を反射する第1反射部材と、該第1反射部材から前記格子パターン面に向かう前記第1計測光の前記第1方向の入射角を、前記リトロー角に対して前記所定角度変化した角度に設定する角度調整部材とを備えることを特徴とする請求項2に記載のエンコーダ装置。
- 前記光源部から出力される前記第1計測光を前記回折格子の前記格子パターン面にほぼ平行にする光路折り曲げ部材を備え、
前記第1光学部材は、前記光路折り曲げ部材を介した前記第1計測光を前記格子パターン面に前記リトロー角で入射させ、
前記光路折り曲げ部材は、前記第1計測光を、前記格子パターン面に平行な面内で前記第1方向に直交する第2方向に対して前記所定角度に対応した角度だけ傾斜させて反射することを特徴とする請求項2又は3に記載のエンコーダ装置。 - 前記角度調整部材は、前記第1反射部材と前記格子パターン面との間に設けられて、前記第1計測光の前記格子パターン面に対する入射面内の振れ角を前記所定角度に応じた角度に設定する楔型プリズムであることを特徴とする請求項3に記載のエンコーダ装置。
- 前記回折格子で回折される前記第1計測光を、前記格子パターン面に前記第1方向の入射角が前記リトロー角に対して変化した角度になるように反射する再反射部材を備え、
前記楔型プリズムの振れ角は前記所定角度の2倍であることを特徴とする請求項5に記載のエンコーダ装置。 - 前記第2光学部材は、該第2光学部材から前記格子パターン面に向かう前記第2計測光の前記第1方向の入射角を、前記リトロー角と符号が逆のリトロー角に対して所定角度変化した角度に設定することを特徴とする請求項2乃至6のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記光源部は、
光源から射出される光束から前記第1及び第2計測光、並びに第1及び第2参照光を分離する分離面を有する分離光学部材と、
前記分離面に関して前記格子パターン面までの光路長がほぼ等しい反射面を有し、該反射面で前記第1及び第2参照光を反射する参照用反射部材と、を備えることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記計測部は、前記光電検出器の検出信号を用いて前記第2部材の前記第1方向の相対移動量及び前記格子パターン面の法線方向の相対移動量を求めることを特徴とする請求項1乃至8のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。
- 前記回折格子の前記格子パターンは、前記第1方向に直交する第2方向にも周期性を有し、
前記光源部は、さらに第3及び第4計測光を供給し、
前記第1部材及び前記第2部材の他方に設けられ、前記光源部から供給された前記第3計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、且つ前記回折格子で前記第2方向に回折された前記第3計測光を受光する第3光学部材と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方に設けられ、前記光源部から供給された前記第4計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、且つ前記回折格子で前記第2方向に回折された前記第4計測光を受光する第4光学部材と、を備え、
前記光電検出器は、前記回折格子で回折された前記第3計測光と前記回折格子で回折された前記第4計測光とを光電検出し、
前記第3光学部材は、前記回折格子で正反射される前記第3計測光の進行方向を、前記回折格子で回折されて前記第3光学部材に入射する前記第4計測光の進行方向とは異なる方向に設定することを特徴とする請求項1乃至9のいずれか一項に記載のエンコーダ装置。 - 前記光電検出器は、
前記第1及び第2計測光と、前記第3及び第4計測光から分離された第1及び第2参照光との干渉光をそれぞれ検出する第1及び第2検出部と、
前記第3及び第4計測光と、前記第1及び第2計測光から分離された第3及び第4参照光との干渉光をそれぞれ検出する第3及び第4検出部と、を備え、
前記第3及び第4計測光の前記第1及び第2参照光に対する光量比、及び前記第1及び第2計測光の前記第3及び第4参照光に対する光量比を調整する第1及び第2調整部材を備えることを特徴とする請求項10に記載のエンコーダ装置。 - 第1部材に対して少なくとも第1方向に相対移動する第2部材の相対移動量を計測するエンコーダ装置であって、
前記第1部材及び前記第2部材の一方に設けられ、前記第1方向を周期方向とする格子パターンを有する反射型の回折格子と、
計測光を供給する光源部と、
前記第1部材及び前記第2部材の他方に設けられ、前記光源部から供給された前記計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、且つ前記回折格子で回折された前記計測光を受光する光学部材と、を備え、
前記光学部材は、互いに異なる進行方向の第1及び第2計測光を前記格子パターン面に向けて照射し、前記回折格子で正反射される前記第1計測光の進行方向と、前記回折格子で回折されて前記第2光学部材に入射する前記第2計測光の進行方向とを異なる方向に設定することを特徴とするエンコーダ装置。 - 前記第1及び第2計測光は前記格子パターン面の異なる位置に照射されることを特徴とする請求項12に記載のエンコーダ装置。
- 前記光学部材は、前記第1計測光を前記格子パターン面に向けて照射する第1光学部材と、前記第2計測光を前記格子パターン面にに向けて照射する第2光学部材とを備えることを特徴とする請求項12又は13に記載のエンコーダ装置。
- 請求項1乃至14のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、
対象物用の光学系と、を備えることを特徴とする光学装置。 - パターンを被露光体に露光する露光装置であって、
フレームと、
前記被露光体を支持するとともに前記フレームに対して少なくとも前記第1方向に相対移動可能なステージと、
前記第1方向への前記ステージの相対移動量を計測するための請求項1乃至14のいずれか一項に記載のエンコーダ装置と、を備えることを特徴とする露光装置。 - リソグラフィ工程を含むデバイス製造方法であって、
前記リソグラフィ工程で、請求項16に記載の露光装置を用いて物体を露光することを特徴とするデバイス製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011156740A JP5862857B2 (ja) | 2011-07-15 | 2011-07-15 | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011156740A JP5862857B2 (ja) | 2011-07-15 | 2011-07-15 | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 |
Publications (3)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013026272A JP2013026272A (ja) | 2013-02-04 |
JP2013026272A5 true JP2013026272A5 (ja) | 2014-10-09 |
JP5862857B2 JP5862857B2 (ja) | 2016-02-16 |
Family
ID=47784306
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011156740A Active JP5862857B2 (ja) | 2011-07-15 | 2011-07-15 | エンコーダ装置、光学装置、及び露光装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5862857B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2014006935A1 (ja) * | 2012-07-06 | 2014-01-09 | 株式会社ニコン | 位置計測装置、ステージ装置、露光装置、およびデバイス製造方法 |
Family Cites Families (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH0660808B2 (ja) * | 1986-08-01 | 1994-08-10 | 日本電信電話株式会社 | 微小変位測定方法および微小変位測定装置 |
JP2683098B2 (ja) * | 1989-05-12 | 1997-11-26 | キヤノン株式会社 | エンコーダー |
JPH032504A (ja) * | 1989-05-30 | 1991-01-08 | Nikon Corp | 位置合わせ装置 |
JPH085324A (ja) * | 1994-06-16 | 1996-01-12 | Mitsutoyo Corp | 格子干渉型変位検出装置 |
JP4023923B2 (ja) * | 1998-07-02 | 2007-12-19 | ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社 | 光学式変位測定装置 |
JP2005026614A (ja) * | 2003-07-02 | 2005-01-27 | Nikon Corp | 露光装置 |
CN101405838B (zh) * | 2006-09-01 | 2011-12-14 | 株式会社尼康 | 移动体驱动方法及移动体驱动系统、图案形成方法及装置、曝光方法及装置、组件制造方法、以及校正方法 |
-
2011
- 2011-07-15 JP JP2011156740A patent/JP5862857B2/ja active Active
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6712349B2 (ja) | アライメントシステム | |
JP2019117386A5 (ja) | エンコーダ装置及び露光装置 | |
US20190107388A1 (en) | Autofocus system and method | |
JP2018025817A5 (ja) | エンコーダ装置及び計測方法、露光装置及び方法、並びにデバイス製造方法 | |
JP4555847B2 (ja) | 角度分解分光リソグラフィキャラクタライゼイション方法およびデバイス | |
JP6156147B2 (ja) | エンコーダ装置、光学装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
TWI448831B (zh) | 位置感測器及微影裝置 | |
JP2015021904A5 (ja) | ||
US9760020B2 (en) | In-situ metrology | |
KR101791123B1 (ko) | 정렬 센서, 리소그래피 장치 및 정렬 방법 | |
IL292787B2 (en) | A diffraction-based metrology coverage tool and method | |
JP2011040547A5 (ja) | ||
TWI489081B (zh) | 使用編碼器系統的低同調干涉技術 | |
JP2017199725A5 (ja) | ||
TW202217278A (zh) | 灰度模式掃描散射量測疊對計量 | |
JP2007010659A5 (ja) | ||
EP2918968A2 (en) | Optical shape measuring apparatus with diffraction grating and method of manufacturing article | |
JP6489330B2 (ja) | エンコーダ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | |
KR20150011313A (ko) | 간섭계, 리소그래피 장치, 및 물품 제조 방법 | |
KR20150023319A (ko) | 파면 계측 방법 및 장치, 및 노광 방법 및 장치 | |
JP2010078566A (ja) | 変位計測装置 | |
JP2010192470A5 (ja) | ||
JP2017513041A (ja) | コヒーレント回折イメージング方法と、マイクロピンホール及びアパーチャシステムとを使用した、反射モードにおけるイメージングシステム | |
JP2003515153A5 (ja) | ||
JP2010122207A5 (ja) | 測定装置、光源装置、干渉測定装置、露光装置、及びデバイス製造方法 |