JP2013007780A - 光偏向器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】 光偏向器1は、反射部2を支持する第1支持部4と、これを支持する第2支持部6と、一端が第1支持部4に、他端が第2支持部6にそれぞれ連結され、圧電駆動により第1支持部4を第2支持部6に対して第2軸X周りに揺動させる第2圧電アクチュエータ51,52とを備える。第2圧電アクチュエータ51,52の圧電駆動により、第2支持部6に伝達される振動を検知する検知部71,72が第2支持部6に配置される。
【選択図】 図1
Description
本発明の第1実施形態の光偏向器の構成について説明する。第1実施形態の光偏向器1は、反射体としての反射部2と、一対の第1圧電アクチュエータ31,32と、第1支持部4と、一対の第2圧電アクチュエータ51,52と、第2支持部6とを備える。
次に、本発明の第2実施形態の光偏向器について説明する。図5に示されるように、第2実施形態の光偏向器101は、第1実施形態の光偏向器1との相違点は、第2支持部6に、検知部71,72が設けられている位置の裏側に凹部6aが設けられている点である。これ以外の構造は同じである。
Claims (3)
- 反射面を有するミラー部と、該ミラー部を支持する支持部と、一端が前記ミラー部に、他端が前記支持部にそれぞれ連結され、圧電駆動により前記ミラー部を前記支持部に対して所定の軸周りに揺動させる圧電アクチュエータとを備えた光偏向器において、
前記圧電アクチュエータの圧電駆動により前記支持部に伝達される振動を検知する検知用圧電素子が、前記支持部に配置されていることを特徴とする光偏向器。 - 請求項1に記載の光偏向器において、前記支持部は、前記検知用圧電素子が配置された部分が、検知用圧電素子が配置されていない部分より薄く形成されていることを特徴とする光偏向器。
- 請求項1又は2に記載の光偏向器において、
前記ミラー部は、前記反射面を有する反射体と、前記反射体を支持する反射体支持部と、圧電駆動により前記反射体を前記反射体支持部に対して前記軸と交差する別の軸周りに揺動させる前記圧電アクチュエータとは別の圧電アクチュエータとを備え、
前記圧電アクチュエータは、一端が前記反射体支持部に連結され、他端が前記支持部に連結され、
前記別の圧電アクチュエータは、一端が前記反射体に連結され、他端が前記反射体支持部に連結され、
前記検知用圧電素子は、前記圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動及び前記別の圧電アクチュエータの圧電駆動により伝達される振動を検知することを特徴とする光偏向器。
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