JP2012525107A - 圧電駆動装置および圧電駆動装置を備えたマイクロバルブ - Google Patents
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Abstract
【選択図】図3
Description
02 −
03 電極対
04 ダイヤフラム/変形層
05 ダイヤフラム台座
06 第1の電気的接続部
07 第2の電気的接続部
08 入口通路
09 出口通路
10 弁室
Claims (13)
- 給電のために逆極性の2つの電極からなる少なくとも1つの電極対(03)を備えた圧電層(01)の一つの面に結合されている変形層(04)を含む圧電駆動装置、特にマイクロバルブ用の圧電駆動装置において、電極対(03)の逆極性の両電極が、圧電層(01)の変形層(04)とは反対側の面に共通に配置されていることを特徴とする圧電駆動装置。
- 変形層(04)が非導電性材料からなることを特徴とする請求項1記載の圧電駆動装置。
- 逆極性の両電極が交互の極性にて隣接して延在する複数の帯状電極によって構成されていることを特徴とする請求項1又は2記載の圧電駆動装置。
- 逆極性の両電極が、電圧印加時に圧電層(01)の変形が変形面(04)の位置とは反対の方向に生じるように、パターン化されていることを特徴とする請求項1から3の1つに記載の圧電駆動装置。
- 逆極性の両電極が、円形面の内側において半径方向に延在し交互極性を持つ帯状電極として配置されていることを特徴とする請求項1から4の1つに記載の圧電駆動装置。
- 逆極性の両電極が、交互極性を持つ正弦波状の帯状電極として配置されていることを特徴とする請求項1から4の1つに記載の圧電駆動装置。
- 多数の逆極性の電極が、平行して延在するように圧電層(01)の変形層(04)とは反対側の面に取り付けられていることを特徴とする請求項1から6の1つに記載の圧電駆動装置。
- 多数の逆極性の電極が、不均一な電界が圧電層(01)の表面領域に形成されるように、圧電層(01)の変形層(01)とは反対側の面に取り付けられていることを特徴とする請求項1から7の1つに記載の圧電駆動装置。
- 逆極性の電極によって覆われた面が、実質的に圧電層(01)の外側縁まで延びていることを特徴とする請求項1から8の1つに記載の圧電駆動装置。
- 圧電層(01)が変形層(04)に直接に取り付けられていることを特徴とする請求項1から9の1つに記載の圧電駆動装置。
- 少なくとも1つの弁通路(08,09)と該弁通路を開放又は閉塞するダイヤフラム(04)とを備えたマイクロバルブにおいて、ダイヤフラム(04)が同時に請求項1から10の1つに記載の圧電駆動装置の変形層を形成していることを特徴とするマイクロバルブ。
- ダイヤフラム(04)は、活性化されていない圧電駆動装置において変形されていない状態で弁通路(08,09)を閉鎖し、圧電駆動装置の活性化によって変形されてバブル通路から離れて弁通路を開放することを特徴とする請求項11記載のマイクロバルブ。
- 圧電駆動装置の圧電層(01)が、ダイヤフラム(04)の弁通路とは反対側の面に配置されていることを特徴とする請求項12記載のマイクロバルブ。
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