JP2012524986A - 電気機械の変換器の製造プロセス - Google Patents

Abstract

本発明は、電気機械の（例えば圧電気の）変換器の製造方法に関する。穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）が、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスにより、第１の連続的なポリマー層（1b）に対して付け加えられる。被覆（4; 1b、2b）は、穴（3; 3a）が閉じられてキャビティ（5）を形成するように、穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）に対して付け加えられる。被覆（4; 1b、2b）は、穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）に接続される。さらに、本発明は、本発明の製造方法によって製造される電気機械の変換器、及びその使用方法に関する。

Description

本発明は、電気機械の（例えば圧電気の）変換器の製造プロセスに関し、電気機械の変換器に関し、及びその使用方法に関する。

印加された機械的応力に応じて電位を生成するいくつかの材料の能力は、圧電気と呼ばれる。確立された圧電材料は、チタン酸ジルコン酸鉛（PZT）、及びポリフッ化ビニリデン（PVDF）のようなフッ素化重合体である。圧電気の挙動は、発泡させた密閉気孔のポリプロピレン（PP）においても観察されている。圧電気を達成するために、かかる発泡ポリプロピレンは高い電界中で帯電される（charged）。結果として、電気的な破壊が、巨視的な双極子の生成と、巨視的な材料の分極とを、気孔内で引き起こす。かかるポリプロピレンの強誘電エレクトレット（ferroelectrets）は、ニュートン当たり数百ピコクーロン（picocoulombs）の圧電係数を有する。センサ作用の敏感さをさらに増加させるために、一方の上の他方を積み重ねた複数の発泡体（foam）を備える多層システムが開発されている。

ゲルハード（Gerhard）らの文献（電気的絶縁及び誘電の現象に関する２００７年の年次報告会議、４５３ページ乃至４５６ページ）は、機械的又は、レーザーに基づくドリリングによって複数の均一な貫通穴を備えるポリテトラフルオロエチレン・フィルムが、２つの均一なフルオロエチレンプロピレン・フィルムの間に配置される３層の強誘電エレクトレット（ferroelectret）について記述する。しかしながら、機械的又は、レーザーに基づくドリリングによる貫通穴の合体（incorporation）は、大規模生産には複雑で不適切である。例えば、また前述のゲルハードの文献（４５４ページ）で開示されるように、金属残留物（バリ）又は有機的な残留物を除去するために、穿孔された層は、機械的又は、レーザーに基づくドリリング後に化学的に清潔でならなければならない。

ゲルハードらの文献に示された３層の強誘電エレクトレット（ferroelectret）は、積層工程によって製造される。この工程において、穴を備えるポリテトラフルオロエチレン・フィルムは、高圧及び高温（３１０℃）下で２つの加熱された回転シリンダ間に前記の層を通過させることにより、フルオロエチレンプロピレン・フィルムに接合される。

好ましくは、大規模生産に適している、電気機械の（例えば、圧電気の）変換器の製造プロセスが提供される。

したがって、本発明によれば、次の工程を備える、電気機械の（例えば圧電気の）変換器の製造プロセスが提案されている。すなわち、当該製造プロセスは、
積層工程を除いて、印刷及び／又はコーティングのプロセスにより、第１の連続的なポリマー層（1; 1a）に対して穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）を付け加える（apply）工程Ａ）と、
穴（3; 3a）を有する前記第１のポリマー層（2; 2a）の穴（3; 3a）が閉じられてボイド（void）（5）を形成するように、穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）に被覆（covering）（4; 1b、2b）を付け加える（apply）工程Ｂ）と、及び、
穴（3; 3a）を有する前記第１のポリマー層（2; 2a）に前記被覆（4; 1b、2b）を接合する工程Ｃ）と、を備え、
工程Ｄ）において、電極（6a）が第１の連続的なポリマー層（1、1a）の外側に付け加えられ、電極（6b）が被覆（4; 1b、2b）の外側に付け加えられて、当該電極（6a、6b）が、工程Ａ）乃至工程Ｃ）の一つの工程の前後に、互いに独立してあるいは同時に付け加えられて、
工程Ｅ）において、工程C）の後に、あるいは工程C）に続く工程の後に得られた配置（arrangement）がチャージされる（charged）ことを特徴とする。

本発明に係るプロセスにより、電気機械の変換器は、好適に大規模で製造される。

本発明の範囲内で、コーティングプロセスは、例えばゲルハードらの文献において開示されるように、積層工程でないこととして特に理解される。

さらに、穴は、本発明に係るプロセスにおいて様々な形状を有することができる。したがって、穴の形状は、円形の断面領域を持った円筒形状に限定されない。さらに、本発明に係るプロセスは、異なった形状の穴を組み合わせる可能性を提供する。このように、一方では、もたらされたボイドのトータルボイド体積を最大にすることは好適には可能である。他方では、本発明に係るプロセスによって製造された電気機械の変換器の電気機械の（特に圧電気の）プロパティは、穴形状、配置及び／又は分布（distribution）の選択によって調節される。

さらに、バリ及び他の縁の鋭い（sharp-edged）穴表面の不規則性は、本発明に係るプロセスによって回避される。一方では、このことは、電気機械の、特に圧電気のプロパティ有利な効果がある。他方では、かかる不規則性を除去するという作業工程（working step）が不必要であるので、それは、変換器の製造における費用を低減する。

好適には、穴を有するポリマー層は、製造されることになっている電気機械の変換器をその厚みに沿ってより柔軟にすることができ、その弾性係数を低下させて、もたらされた（resulting）ボイドにおいて分極プロセスを可能にし、及び／又は帯電プロセスの後に連続的なポリマー層において形成された負荷（load）層を分離する。

第１の連続的なポリマー層に付け加えられた（applied to）、穴を有する第１のポリマー層の断面図を示す。 穴を有する第２のポリマー層と、第２の連続的なポリマー層と、を備える被覆の形態の断面図を示す。 図１ｂに示される被覆が付け加えられている（applied to）、図１ａに示される層配置の断面図を示す。 第１の連続的なポリマー層に付け加えられた（applied to）、穴を有する第１のポリマー層の断面図を示す。 第３の連続的なポリマー層の形態をしている被覆が付け加えられた（applied to）、図２ａに示される層配置の断面図を示す。 帯電（charging）プロセス後の図２ｂに示される配置の断面図を示す。 帯電プロセス及び電極取り付け（application）の後の図２ｂに示される配置の断面図を示す。 一方の上に他方を積み重ねた３つの配置を有する、本発明に係る変換器の断面図を示す。各配置は、第１の連続的なポリマー層と、穴を有する第１のポリマー層と、第３の連続的なポリマー層の形をしている被覆と、を備える。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。 穴を有するポリマー層の異なる実施態様の上面図である。

当該プロセスの実施態様において、被覆は、穴を有する第２のポリマー層と、第２の連続的なポリマー層と、を備える。穴を有する第２のポリマー層は、第２の連続的なポリマー層の上に配置されている。特に、被覆は、穴を有する第２のポリマー層と、第２の連続的なポリマー層と、から成ることができる。

当該プロセスの更なる実施態様において、被覆は第３の連続的なポリマー層である。

当該プロセスの更なる実施態様において、被覆は、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスにより、第２の連続的なポリマー層に対して穴を有する第２のポリマー層を付け加えることにより製造される。

第１の連続的なポリマー層に付け加えられた後の、穴を有する第１のポリマー層の材料は、例えば、部分的に乾燥され及び／又は部分的に架橋（crosslinked）され及び／又は部分的に固化され（solidified）及び／又は部分的に結晶されて、部分的に硬化される。同様に、第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後の、穴を有する第２のポリマー層の材料は、例えば、部分的に乾燥され及び／又は部分的に架橋（crosslinked）され及び／又は部分的に固化され（solidified）及び／又は部分的に結晶されて、部分的に硬化される。特に、第１の連続的なポリマー層に付け加えられた後の、穴を有する第１のポリマー層の材料及び／又は第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後の、穴を有する第２のポリマー層の材料は、連続的なポリマー層に付け加えられる際のその粘性と比較してその粘性が増加するように、例えば、部分的に乾燥され及び／又は部分的に架橋（crosslinked）され及び／又は部分的に固化され（solidified）及び／又は部分的に結晶されて、部分的に硬化される。このように、一方では、穴の寸法安定性が改善される。他方では、材料の更なる硬化、特に完全な硬化により、部分的な硬化だけが、第３の連続的なポリマー層あるいは穴を有する第２のポリマー層に対して穴を有する第１のポリマー層を接合する可能性を提供する。

したがって、当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層を被覆に接合することは、第１の連続的なポリマー層に付け加えられた後に穴を有する第１のポリマー層の材料だけを部分的に硬化すること、及び／又は第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後に穴を有する第２のポリマー層の材料だけを部分的に硬化すること、及び、被覆が付け加えられた後に穴を有する第１のポリマー層の材料をさらに硬化する、特に完全に硬化すること、及び／又は、被覆が付け加えられた後に穴を有する第２のポリマー層の材料をさらに硬化する、特に完全に硬化することによって達成される。本願明細書では、硬化は、乾燥及び／又は架橋及び／又は固化及び／又は結晶化を意味するものとして理解される。

例えば、第１の連続的なポリマー層に付け加えられた後に穴を有する第１のポリマー層の材料を、及び／又は、第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後に穴を有する第２のポリマー層の材料を、乾燥すること、例えば、熱的に乾燥することが可能であり、被覆が付け加えられた後だけに架橋を実行ことが可能である。

さらなる実施例は、穴を有する第１のポリマー層及び／又は穴を有する第２のポリマー層として、固化する及び／又は無定形に結晶化する材料を、特にポリマー（例えばポリウレタン）を用いることである。固化する及び／又は無定形に結晶化する材料は、穴を有する第１の又は第２のポリマー層を形成するために、例えば、第１の又は第２の連続的なポリマー層への分散（dispersion）の形で付け加えることができる。固化する及び／又は無定形に結晶化する材料は、例えば、第１の又は第２の連続的なポリマー層に付け加えられる後に、部分的に固化する及び／又は無定形に結晶化することができ、被覆が付け加えられた後、完全に無定形に固化する及び／又は結晶化することができて、その結果として、穴を有する第１のポリマー層を被覆に接合することができる。しかしながら、固化する及び／又は無定形に結晶化する材料は、第１の又は第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後に完全に固化する及び／又は無定形に結晶するとともに、被覆が付け加えられた後に架橋することができる。穴を有する第１のポリマー層は被覆に接合される。さらに、無定形に固化する及び／又は結晶する材料は、第１の又は第２の連続的なポリマー層に付け加えられた後に完全に固化する及び／又は無定形に結晶化することができ、被覆が付け加えられた後に、固化する及び／又は結晶化する材料が無定形に軟化する及び／又は溶融する温度に加熱することができ、第３の連続的なポリマー層、あるいは穴を有する別のポリマー層が濡れていて、穴を有するポリマー層の構造が保持されて、そして、低い温度まで冷却した後に、穴を有する第１のポリマー層は被覆に接合される。

穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の材料は、例えば熱的に、紫外線光の照射（放射）により、赤外線光の照射により及び／又は乾燥により、架橋することができる。特に、層が、ポリカーボネートのような低いUV安定性を有するポリマーを備えるときには、架橋は、熱的に、赤外線の照射により、あるいは乾燥により、起こることができる。

当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層の取り付け及び／又は穴を有する第２のポリマー層の取り付けは、次のようなコーティング又は印刷工程によって起こる。すなわち、ドクターブレードによる塗布、スピンコーティング、浸せきコーティング、スプレーコーティング、カーテンコーティング（curtain coating）、スロットダイ（slot-die）コーティング、フレキソ印刷、グラビア印刷、タンポン印刷（tampon printing）、ディジタル印刷、熱転写印刷、多孔性印刷、特に、凸版印刷、平版印刷、オフセット印刷及び／又はスクリーン印刷、及び／又は例えばローラー・アプリケータをハルドエンジニアリング株式会社（Hardo Maschinenbau GmbH）（Bad Salzuflen、Germany）からのホットメルト接着剤に用いるローラー塗布工程、である。

穴を有する第１のポリマー層の塗布及び／又は穴を有する第２のポリマー層の塗布は、例えば、ドクターブレード、スピンコーティング、浸せきコーティング、スプレーコーティング及び／又はマトリックス又はテンプレートと併用されるカーテンコーティングによる塗布によって、実行される。

当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層の塗布及び／又は穴を有する第２のポリマー層の塗布は、スクリーン印刷プロセスによって実行される。

穴を有する第１のポリマー層の塗布及び／又は穴を有する第２のポリマー層の塗布は、加熱された、例えば電気的に加熱された、スクリーンを、特にスクリーン印刷織物を用いて実行される。スクリーン印刷用の加熱されたスクリーンは、例えば、商標名がホットスクリーンであるケーネン株式会社（Koenen GmbH）（Ottobrunn、Germany）によって供給される。

加熱されたスクリーンに対するスクリーン印刷ペーストとして、例えば、ポリウレタン、ポリエステル及び／又はポリアミドに基づく（based on）反応性及び非反応性のホットメルト接着剤のような熱可塑性物質、特に、ホットメルト・ペースト、あるいは高沸点溶媒を含む及び／又は紫外線光の下で乾燥するスクリーン印刷ペーストを用いることができる。

熱可塑性物質（すなわちホットメルト・ペースト）は、室温で固体であることが好適である。例えば６０℃以上乃至８０℃以下のスクリーンが加熱される温度で、従来のスクリーン印刷ペーストの粘性と比較可能な粘性が、例えば１０００ｍＰａ・ｓ以上乃至２０,０００ｍＰａ・ｓ以下に達する。溶媒の追加は、かかるホットメルト・ペーストでは必要としない。熱可塑性物質は連続的なポリマー層との接触で冷えて、鋭い輪郭を維持することができる。鋭い輪郭の構造に付け加えて、加熱されたスクリーン及び熱可塑性物質の使用は、乾燥工程を省略できるという利点を有する。

高沸点溶媒を備える及び／又は紫外線光下で乾燥するスクリーン印刷ペーストは、加熱されたスクリーン、特にスクリーン印刷織物を用いて、及び選択的に加熱されたドクターブレードを用いて、塗布することができる。スクリーンの加熱は、ペーストの粘性を低下させる。ペーストが連続的なポリマー層と接触するとき、ペーストが冷えてその粘性が増加する。このことは、輪郭鮮鋭度が増加するという利点を有する。スクリーン印刷織物の繊度（fineness）に応じて、低粘度ペーストも選択的に用いることができる。織物の繊度は、センチメートル当たりのスレッド（thread）の数を意味するものとして理解される。例えば、センチメートル当たり少なくとも１２０スレッド・カウント、特にセンチメートル当たり少なくとも１５０スレッド・カウントを有するスクリーン印刷織物が用いられる。

加熱されたスクリーンが用いられるたときに、ペーストが印刷時に冷えることを防止するために、及び、印刷の間に最適な加工性を実現するために、印刷のブレード及び／又はフラッドコーター（flood coater）を加熱することができる。

穴を有するポリマー層の厚みを増加させるために、複数の印刷が上下に（one above the other）実施される。穴を有する第１の又は第２のポリマー層の材料は、個々の印刷工程の間に、例えば乾燥される及び／又は架橋される及び／又は固化される及び／又は結晶化されるように、部分的にあるいは完全に硬化される。当該印刷は、選択的にウェット・オン・ウェット（wet-on-wet）で実施される。

穴を有するポリマー層の構造を印刷プロセスによって直接に塗布することができるが、上記被覆プロセスにおける後者の穴の位置は、当初はカバーされるか覆われる。

当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層の取り付け及び／又は穴を有する第２のポリマー層の取り付けは、転写コーティングによって実行される。「転写コーティング」とは、穴を有するポリマー層が、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスにより転写層（例えば剥離（release）紙又は剥離フィルム）の上に最初に形成されて、連続的なポリマー層に転写され、連続的なポリマー層に接合されることを特に意味することとして理解される。適切な印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスは、前述の印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスである。例えば、最初は部分的にだけ硬化してそしてその後さらに特に十分に硬化する工程及び前述の積層工程に基づいた前述の手順が、連続的なポリマー層に接合するのに適切である。好適には、転写コーティングは、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の製造を空間的に一時的に分離すること、及び穴を有する層を連続層に接合することの可能性を提供する。

当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層の穴は、穴を有する第１のポリマー層を、特に連続的なポリマー層の方向に貫通し（pass right through）、及び／又は、穴を有する第２のポリマー層の穴は、穴を有する第２のポリマー層を、特に連続的なポリマー層の方向に貫通する（pass right through）。このように、本発明に係るプロセスの完成時に形成されたボイド（void）は、一方の側で１つの（第１の）連続的なポリマー層と接触し、他方の側で（第２の又は第３の）連続的なポリマー層と接触する。このことは、結果として（in turn）、製造される電気機械のエネルギー変換器の電気機械の挙動に有利な効果を有する。

本発明の範囲内に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、第１の又は第２の連続的なポリマー層を穴を有する連続的なポリマー層で印刷すること及び／又はコーティングすることにより、あるいは、第１の又は第２の連続的なポリマー層を同一又は異なった、分離又は相互接続された構造で印刷すること及び／又はコーティングすることにより形成される。前述の構造は、例えば、幾何学的図形の曲線又は直線、独立線（individual line）又は交差線又は円周線、断面（cross）の円形線又は円周線のような、点又は線のような小さな表面領域を持っているか、又は、満たされた（filled）長方形、円、クロスなどのような大きな表面領域を持っている。好適には、当該構造のサイズと層厚みは、連続的なポリマー層が互いに接触できない及び／又は製造後に得られたトータルのボイドの体積ができるだけ大きいように構成されている。電気機械変換器において、穴を有する第１のポリマー層及び／又は第２のポリマー層は、例えば、１μｍ以上乃至８００μｍ以下の層厚みを、特に１０μｍ以上乃至４００μｍ以下の層厚みをそれぞれ有することができる。もし、穴を有する第１のポリマー層だけが電気機械変換器の製造の間に付け加えられるならば、電気機械変換器における穴を有する第１のポリマー層は、特に１μｍ以上乃至８００μｍ以下の層厚みを、例えば１０μｍ以上乃至４００μｍ以下の層厚みを有することができる。もし穴を有する第１のポリマー層及び第２のポリマー層の両方が電気機械変換器の製造の間に付け加えられるならば、電気機械変換器における穴を有する第１のポリマー層及び第２のポリマー層は、１μｍ以上乃至８００μｍ以下の全体層厚みを、例えば１０μｍ以上乃至４００μｍ以下の全体層厚みを有することができる。電気機械変換器の製造の中で用いられる印刷プロセス及び／又はコーティングプロセス、及びパラメータに依存して、例えば溶媒含有印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤を用いたときに、穴を有するポリマー層を連続層に塗布した直後での穴を有する第１のポリマー層及び／又は第２のポリマー層の層厚みが、電気機械変換器における穴を有するもたらされた（resulting）ポリマー層の層厚みよりも大きいか著しく大きいことが可能である。好適には、レイアウト、印刷プロセスパラメータ及び／又はコーティングプロセス・パラメータは、穴を有するポリマー層が、連続的なポリマー層に接触していない、ボイドを有さないように特にガス介在物を有さないように、構成されている。

被覆が付け加えられたとき、穴を有する第１のポリマー層の穴の少なくともいくつか、及び穴を有する第２のポリマー層の穴の少なくともいくつかが、部分的にあるいは完全に重なるように、穴を有する第１のポリマー層の穴と、穴を有する第２のポリマー層の穴とが、形成且つ配置される。

当該プロセスの更なる実施態様において、被覆が付け加えられたとき、穴を有する第１のポリマー層の１つの穴、及び穴を有する第２のポリマー層の１つの穴が、部分的にあるいは完全に重なるように、穴を有する第１のポリマー層の穴と、穴を有する第２のポリマー層の穴とが、形成且つ配置される。このことは、被覆が付け加えられたとき、穴を有する第１のポリマー層の１つの穴、及び穴を有する第２のポリマー層の１つの穴が、共通のボイドを形成するように、好適には、穴を有する第１のポリマー層の穴と、穴を有する第２のポリマー層の穴とが、形成且つ配置されることを意味する。穴を有する第１のポリマー層の１つの穴、及び穴を有する第２のポリマー層の１つの穴が、完全に重なるように、好適には、穴を有する第１のポリマー層の穴と、穴を有する第２のポリマー層の穴とが、形成且つ配置される。例えば、穴を有する第１の及び第２のポリマー層は、合同である（congruent）、特に同一である。一方の側にある連続的なポリマー層から他方の側の連続的なポリマー層まで連続的であるボイドを製造することがこのように可能である。

本発明の範囲内で、少なくとも穴を有する第１のポリマー層の穴の少なくともいくつか及び／又は穴を有する第２のポリマー層の穴の少なくともいくつかは、大略丸い物（例えば円形、楕円、楕円形）、多角形（例えば三角形、長方形、台形、菱形、五角形、六角形、特にハニカム形状）、十字形、星形、部分的に丸くて部分的に多角形（例えばＳ字形状）等の断面領域からなるグループから選ばれた断面領域を有する形状を有することができる。しかしながら、少なくとも穴を有する第１のポリマー層の穴の全て及び／又は穴を有する第２のポリマー層の穴の全ては、大略丸い物（例えば円形、楕円、楕円形）、多角形（例えば三角形、長方形、台形、菱形、五角形、六角形、特にハニカム形状）、十字形、星形、部分的に丸くて部分的に多角形（例えばＳ字形状）、それらから異なる形状等の断面領域からなるグループから選ばれた断面領域を有する形状を有することも可能である。

当該プロセスの更なる実施態様の範囲内で、穴を有する第１のポリマー層の穴及び／又は穴を有する第２のポリマー層の穴は、ハニカム形状に形成され及び／又は配置される。穴のハニカムの形状及び配置は、一方で、非常に大きなトータルのボイド積に帰着する。他方で、穴のハニカムの形状及び配置は、高い機械的安定性を有することができる。

断面領域のサイズは、穴を有するポリマー層の穴の全てにおいて、異なるか又は同じとすることができる。

本発明に係るプロセスの範囲内で、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の穴は、均一に又は不均一に分布することができる。特に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の穴は、均一に分布することができる。しかしながら、製造されることになっている電気機械変換器の適用分野に依存して、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の穴を、特に意図的に、空間分解された（space-resolved）方法で不均一に分布することも好適である。

選択的に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の穴は、部分的にあるいは完全に相互接合される。

当該プロセスの更なる実施態様において、穴を有する第１のポリマー層及び／又は穴を有する第２のポリマー層は、異なった形状の穴を備える。特に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、第１の形状の複数の穴と、第２の形状の複数の穴と、選択的に第３形状の複数の穴等とを有する。穴を有する第１の又は第２のポリマー層における異なった形状の穴は、均一にあるいは不均一に分布することができ、及び／又は部分的にあるいは完全に相互接合される。一方、好適には、もたらされた（resulting）ボイドのトータルボイド体積は、異なった形状の穴の組み合わせにより最大にすることができる。他方、本発明に係るプロセスによって製造された電気機械の変換器電気機械の特性、特に圧電気の特性は、穴の形状、配置及び／又は分布の選択によって調節される。

特に、穴を有する第１の及び／又は第２の層の穴の少なくともいくつかは、円形の断面領域、特に、略円形の断面領域を有さない形状を有することができる。この理由は、単独で含む円形又は略円形の断面領域を有するボイドだけを備える層のトータルボイド体積が、例えば、円形及び菱形の断面領域を有するボイド均一に分布された配置における、あるいはハニカム断面領域を有するボイドだけに基づく配置における、トータルのボイド体積より小さいことである。

穴を有する第１の及び第２のポリマー層は、ボイドにおける分極プロセスを可能にするとともに、帯電（charging）プロセスの後にポリマーフィルムに形成された帯電（charge）層を分離するのに適しているあらゆるポリマーから互いに無関係に原則としては形成される。例えば、穴を有するポリマー層は、エラストマーから形成される。

印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤は、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層を塗布する（付け加える）ために、あるいは、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層を形成するために、用いることができる。これらは、プロセスの直前に調合（formulated）されるか、あるいは市販されている。

例えば、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、セルロースエステル、セルロースエーテル、ゴム誘導体、ポリエステル樹脂、不飽和ポリエステル、アルキド樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アミド樹脂、ケトン樹脂、キシレン-ホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリビニルエーテル、ポリアクリレート（polyacrylates）、ポリメタクリレート（polymethacrylates）、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、コポリエステル、ポリアミド、シリコーン樹脂、ポリウレタン（polyurethanes）、特にポリウレタン（polyurethanes）、及びこれらのポリマーの混合物、特にバインダーの形での混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを含むか、あるいはこれらから形成される。印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層が樹脂を備えるならば、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、選択的に、１つ以上の樹脂硬化剤をさらに備えることができる。

多くの市販されている製品は、特に結合剤として、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層にさらに適切である。当該製品は、例えば、ドイツ国のバイエルンにあるProll KG、WeissenburgによるNoriphan HTR、Noriphan PCI、Noriphan N2K、Noricry及びNoriPETという商品名（trade name）で、ドイツ国のタムにあるMarabu GmbH社によるMaraflex FXという商品名で、ドイツ国のボトロップにあるFujifilm Sericol Deutschland GmbHによるPolyplast PYという商品名で、ドイツ国のヌーレンベルグにあるCoates Screen Inks GmbHによるスクリーン印刷インキ、HG、SG、CP、CX、PK、J、TL、及びYNという商品名で、米国のシャウニーにあるNazdarによる1500 Series UV Flexiform、1600 Power Print Series、1700 Versa Print, 3200 Series、1800 Power Print plus、9700 Series, PP Series、7200 Lacquer及び7900 Seriesという商品名で、市販されている。

紫外線光の下で硬化する印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤に適切なものとして、特に結合剤として、例えばエポキシ樹脂、エステル、エーテル及び／又はウレタンアクリレートがある。ウレタンアクリレートは、反応性希釈剤（低粘度のメタ／アクリル酸エステル（meth/acrylic acid esters））における溶液（solution）の形態で、低粘度オリゴマーの形態で、粉体コーティング技術に対する固体の形態で、あるいはウレタンアクリレート分散の形態で用いられる。ウレタンアクリレートは、ドイツ国のレーバークーゼンにあるバイエルマテリアルサイエンス社からのDesmoluxという商品名／商標で、入手可能である。硬化に適切なものとして、例えば、電子ビーム硬化、モノ硬化技術及びデュアル硬化技術がある。イソシアネートウレタンアクリル（Isocyanatourethane acryls）は、デュアル硬化技術に特に適している。

印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤は、水性の、あるいは水以外の溶媒に基づくことができる。

印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー又は接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、１つ以上のポリウレタン（polyurethanes）を備えるか、１つ以上のポリウレタン（polyurethanes）から形成される。特に、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、１つ以上の一液形の（one-component）ポリウレタン及び／又は１つ以上の二液形の（two-component）ポリウレタン及び／又は１つ以上の水性ポリウレタン分散液（aqueous polyurethane dispersions）及び／又は１つ以上のポリウレタンホットメルト接着剤を備えるか、又はそれらから形成される。

例えば、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、２より大きくて４までの平均の官能基（mean functionality）を有する多官能イソシアネート（polyfunctional isocyanates）の化学量論的過剰量とアルコールとの反応によって製造されるプレポリマーを備える１つ以上の一液形のポリウレタンを備えるか、あるいはそれらから形成される。当該プレポリマーは、選択的に添加剤及び／又は溶媒をさらに備えることができる。

プレポリマーは、ウレタン基及び末端イソシアネート基（terminal isocyanate groups）を形成するために、例えば、平均して単官能基のアルコールとポリオールとの混合物であるアルコールとポリウレタンとの反応によって得られる。

例えば、ポリエーテル、ポリアクリレート（polyacrylate）、ポリカーボネート、ポリカプロラクトン（polycaprolactone）、ポリウレタン及びポリエステル・ポリオールのような、業者に知られていてポリウレタン化学において通常である（conventional）ポリオールが、ポリオールとして用いられる。それらは、例えば、工業化学のウルマンの百科事典（第４版、１９巻、３０４−３０５ページ、化学出版社、ワインハイム、ポリウレタンコーティングにおける、ウルリッヒマイヤーベスツエスによる接着剤とシーラント、ヴィンセント ネットワーク、ハノーバー、２００７年）（Ullmanns Enzyklopadie der technischen Chemie, 4th Edition, Volume 19, p.304-5, Verlag Chemie, Weinheim, or in Polyurethan Lacke, Kleb- und Dichtstoffe by Ulrich Meier-Westhues, Vincentz Network, Hanover, 2007）に記述される。ドイツ国のレーバークーゼンにあるバイエルマテリアルサイエンス社からのデスモフェン（Desmophen：登録商標）と呼ばれるポリオールが用いられる。

２より大きな平均の官能基を有する多官能基のイソシアネート（isocyanates）として、例えば、工業化学のウルマンの百科事典（第４版、１９巻、３０３−３０４ページ、化学出版社、ワインハイム）に記載されているような、ポリウレタン化学において通常であり、当業者に知られている製品が用いられる。例えば、三量体を形成した（trimerized）ヘキサメチレン・ジイソシアネートのデスモジュール（Desmodur）（登録商標）N（ドイツ国のレーバークーゼンにあるバイエルマテリアルサイエンス社の商品名）、それとジイソシアネートとの混合物、イソシアヌレート（isocyanurate）基によって三量体を形成したイソシアネート、あるいはそれとジイソシアネート（diisocyanates）との混合物のような、ビウレット基（biuret group）によって三量体を形成した（trimerized）イソシアネートが、実施例として述べられる。ポリオールとジイソシアネート（diisocyanates）との付加物（adducts）が、例えば、トリメチロールプロパンとトルエン・ジイソシアネートとの付加物が、適切である。

例えばジモルホリノジエチル（dimorpholinodiethyl）エーテルやビス-[2-N,N-（ジメチルアミノ）エチル]エーテルのような第三アミン又はジブチル錫ジラウレート又はオクタン酸（octoate）錫（II）のような錫化合物である硬化促進触媒のようなプレポリマー添加剤、老化防止剤及び光安定剤、乾燥剤、例えば塩化ベンゾイルのような安定剤、付着を改善するための接着促進剤、例えばフタル酸ジオクチルのような可塑剤とともに、顔料及びフィラーも付け加えられる。

湿気に対するイソシアネートの敏感さのために、水の注意深い排除を取り扱うために一般に必要である、すなわち、無水の原料が用いられることになっており、反応中に湿気が入ることが回避されることになっている。

プレポリマーは、２官能基又は多官能基のイソシアネート化合物の化学量論の過剰と、ポリオール及び単官能基アルコールの混合物とを反応させることにより製造することができる。しかしながら、前の反応におけるイソシアネート化合物と単官能基のヒドロキシル化合物とを反応させることも可能である。

しかしながら、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー又は、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、例えばイソシアネート基を有する成分とイソシアナート反応性成分を備える１つ以上の二液形のポリウレタンを備えるか、それらから形成される。

印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層に適切なポリイソシアナートとして、当業者に知られている好ましくは２以上の官能基を有するイソシアナート（NCO）官能基の化合物を用いることができる。これらは、典型的には、脂肪族の、脂環式の、芳香族脂肪族（araliphatic）の及び／又は芳香族のジイソシアネートあるいはトリイソシアネートとともに、２つ以上の遊離のNCO基を含む、イミノオキサジアジンジオン、イソシアヌレート（isocyanurate）、ウレトジオン（uretdione）、ウレタン、アロファナート（allophanate）、ビウレット、尿素、オキサジアジントリオン、オキサゾリジノン、アシル尿素（acylurea）、及び／又は、カルボジイミドの構造を有する、それらのより高分子量の副産物（secondary product）である。

かかるジイソシアネートあるいはトリイソシアネートの実施例は、テトラメチレン・ジイソシアナート、シクロヘキサン-1,3-及び-1,4のジイソシアナート、ヘキサメチレン・ジイソシアナート（HDI）、1-イソシアン酸基-3,3,5-トリメチル-5-イソシアナトメチル-シクロヘキサン（イソホロンジイソシアネート：IPDI）、メチレン-ビス-（4-イソシアナトシクロヘキサン）、テトラメチルキシリルエン・ジイソシアナート（TMXDI）、トリイソシアナトノナン、トルイレン・ジイソシアナート（TDI）、ジフェニルメタン-2,4'-及び／又は-4,4'-及び／又は-2,2'-ジイソシアナート（MDI）、トリフェニルメタン-4,4'-ジイソシアナート、ナフチレン-1,5-ジイソシアネート、4-イソシアナトメチル-1,8-オクタン・ジイソシアナート（ノナン・トリイソシアナート、トリイソシアナトノナン：TIN）、及び／又は、1,6,11-ウンデカン・トリイソシアナートとともに、それらの任意の混合物と選択的には他のジイソシアネート、トリイソシアネート及び／又はポリイソシアネートとである。典型的には、かかるポリイソシアネートは、0.5重量%乃至60重量%、好ましくは3重量%乃至30重量%、特に好ましくは5重量%乃至25重量%のイソシアネート含有量を有する。

好ましくは、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層において、イソシアヌレート（isocyanurate）、ウレタン、アロファナート（allophanate）、ビウレット、イミノオキサ・ジアジントリオン、オキサジアジントリオン、及び／又は脂肪族の及び／又は脂環式の及び／又は芳香族のジイソシアナート（diisocyanates）に基づくウレトジオン（uretdione）基を有するより高分子量の化合物が用いられる。

特に好ましくは、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層において、ビウレット、イミノオキサジアジンジオン、イソシアヌレート（isocyanurate）、及び／又は、ヘキサメチレン・ジイソシアナート、イソフォロン・ジイソシアナート、4,4'-ジイソシアナトジシクロヘキシルメタン、ジフェニルメタン-4,4′-ジイソシアネート、ジフェニルメタン-2,4'-ジイソシアナート、2,4-トルイレン・ジイソシアナート、2,6-トルイレン・ジイソシアナート及び／又はキシリレン・ジイソシアナートに基づくウレトジオン（uretdione）基を有する化合物が用いられる。

イソシアネート含有成分の調製及び／又は使用は、溶媒の中で実行される。実施例は、N-メチルピロリドン、N-エチルピロリドン、キシレン、溶媒ナフサ、トルエン、酢酸ブチル、メトキシプロピル酢酸塩、アセトンあるいはメチルエチルケトンである。イソシアネート基が完全に反応したときに、溶媒を加えることが可能である。例えば、溶液を安定させるかあるいはラッカー特性を改善することに役立つ、アルコールのようなプロトン性溶媒を用いることも可能である。溶媒の任意の混合物も可能である。溶媒の量は、一般に、20重量%乃至100重量%、好ましくは50重量%乃至90重量%の溶液が得られるように構成される。

架橋を促進するために触媒も加えられる。適切な触媒は、「ポリウレタンの化学及び技術」のXVI巻、パート1、セクションIV、129-211ページイソシアネート反応の動力学及び触媒作用に記載されている。例えば、第三アミン、錫、亜鉛又はビスマスの化合物、あるいは塩基性塩が適切である。ジブチル錫のジラウレートとオクタン酸（octoate）が好適である。

例えばポリヒドロキシル（polyhydroxyl）化合物のような適切なイソシアネート反応性成分は、当業者にそれ自身知られている。それらは、好適には、ポリヒドロキシ・ポリエステル、ポリヒドロキシ・ポリウレタン、ポリヒドロキシ・ポリエーテル、ポリカーボネート・ジオールに基づく、又は、ポリヒドロキシ・ポリアクリレート、ポリアクリレート・ポリウレタン、それ自身知られているポリウレタン・ポリアクリレートのようなポリヒドロキシ基を含有するポリマーに基づく、それ自身知られている結合剤である。
説明された実施例は、ドイツ国のレーバークーゼンにあるバイエルマテリアルサイエンス社からのDesmophenと呼ばれるポリオールである。

しかしながら、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー又は、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、１つ以上の水性ポリウレタン分散液（aqueous polyurethane dispersions）（例えばポリウレタン-ポリ尿素分散）を備えるか、それらから形成される。印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤の調合（formulating）に適している水性ポリウレタン分散液は、例えば、米国特許公報第2,479,310号（US2,479,310A）、米国特許公報第4,092,286号（US4,092,286A）、ドイツ国特許公報第2811148号（DE2811148A）、ドイツ国特許公報第3603996号（DE3603996）及び欧州特許公報第08019884号（EP08019884）に記述されるようなものである。

ポリウレタン-ポリ尿素分散の調製に適切なジオール及び／又はポリオールの成分は、イソシアネートの方へ反応性である少なくとも２つの水素原子を有するとともに平均分子量が、６２ｇ／ｍｏｌ以上で１８,０００ｇ／ｍｏｌ以下であり、好ましくは、６２ｇ／ｍｏｌ以上で４０００ｇ／ｍｏｌ以下である化合物である。適切な鎖延長（chain-extension）成分の実施例は、ポリエーテル、ポリエステル、ポリカーボネート、ポリラクトン（polylactones）及びポリアミドである。好ましいポリオールは、２以上４以下の、好ましくは２以上３以下のヒドロキシル（hydroxyl）を含む。このタイプの異なった化合物の混合物も適切である。

ポリウレタン-ポリ尿素分散は、単独で、あるいは１つ以上の親水的に改質された（hydrophilically modified）架橋剤との組み合わせで用いられる。ポリウレタン-ポリ尿素ポリマーのさらなる架橋は、粘着剤の耐熱性及び加水分解安定性の著しい増大をもたらす。

１つ以上の潜在反応性ポリウレタン-ポリ尿素分散を用いることが可能である。潜在反応性ポリウレタン-ポリ尿素分散は、例えば、欧州特許公報第0922720号（EP0922720A）と国際公開2008/071307号（WO2008/071307）に記載されている。この製品クラスの利点は、どんな場合も必要であるように、穴を有するポリマー層が積層工程の間に加熱される場合、ポリマーの架橋反応が開始するということである。

分散は、単独で用いるか、あるいは結合剤、補助物質及び／又はコーティング及び接着技術において既知である添加成分と一緒に用いられる。添加成分は、特に、ＵＶ吸収剤及び立体障害の（sterically hindered）アミン（HALS：光安定剤）のような乳化剤及び光安定剤、酸化防止剤、フィラー、沈降防止剤、泡止め剤、湿潤剤、流れ向上剤、反応性希釈剤、可塑剤、中和剤、触媒、補助溶媒及び／又は増粘剤及び／又は添加剤（顔料、着色剤あるいはマティファイ（mattifying）剤等）である。粘着付与剤も加えられる。添加剤はプロセス直前に加えられる。しかしながら、結合剤の分散の前に、あるいはその分散の間に添加剤のうちの少なくともいくつかを加えることができる。

個々の成分に及び／又は全体として混合物に加えられる、これらの物質の選択及び計量（metering）は、原則として当業者に知られており、過度に高い費用なしで、単純な予備試験によって決定され、本件の特定の適用にカスタマイズされる。

好ましくは、水性ポリウレタン分散液のレオロジーは、適切な増粘剤によって調節される。その結果、水性ポリウレタン分散液は、適用の後に例えば連続的なポリマー層にもはや流れない。特に液性限界の固有粘度が高くなることができる。かかる水性ポリウレタン分散液の使用には、穴を有するポリマー層が、適用の後にまず乾燥され、それにより、ポリマー又はポリマー混合物に依存して、ポリウレタン・ポリマーが固化及び／又は無定形に結晶化して、ポリウレタン・ポリマーが軟化及び／又は溶融して、連続的なポリマー層が湿る程度になるように、穴を有するポリマー層が後の積層工程で加熱され、穴を有するポリマー層の構造が保持されるという長所がある。

しかしながら、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー又は、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、あるいは反応性又は非反応性のポリウレタンホットメルト接着剤を備えるか、それから形成される。

適切な反応性のポリウレタンホットメルト接着剤は、例えば、ドイツ国特許公報第3827724号（DE3827724）、ドイツ国特許公報第4114229号（DE4114229）及び欧州特許公報第354527号（EP354527）に記載されている。これらのホットメルト接着剤は、適用（application）の後に、基板からの湿気で架橋して、必要な耐熱性を達成する、遊離のイソシアネート基を有する。

ポリウレタンのホットメルト接着剤は、単独で用いられるか、あるいは結合剤、補助物質及び／又はコーティング及び接着技術において既知である添加成分と一緒に用いられる。添加成分は、特に、ＵＶ吸収剤及び立体障害の（sterically hindered）アミン（HALS：光安定剤）のような光安定剤、酸化防止剤、フィラー、湿潤剤、流れ向上剤、反応性希釈剤、可塑剤、中和剤、触媒、補助溶媒及び／又は粘着付与剤及び／又は添加剤（顔料、着色剤あるいはマティファイ（mattifying）剤等）である。添加剤はプロセス直前に加えられる。しかしながら、反応性ホットメルト接着剤の調製の前に、あるいはその調製の間に添加剤のうちの少なくともいくつかを加えることもできる。

個々の成分に及び／又は全体として混合物に加えられる、これらの物質の選択及び計量（metering）は、原則として当業者に知られており、過度に高い費用なしで、単純な予備試験によって決定され、本件の特定の適用（application）にカスタマイズされる。

適切な非反応性のポリウレタンホットメルト接着剤は、例えば、ドイツ国特許公報第1256822号（DE1256822）、ドイツ国特許公報第1930336号（DE1930336）あるいは欧州特許公報第192946号（EP192946）に記載されている。更なる適切な非反応性のホットメルト接着剤は、ポリエステル及びコポリエステル、ポリアミド、ポリオレフィン（APAO）、エチレン酢酸ビニル共重合体、ポリエステルエラストマー、ポリウレタンエラストマー及びコポリアミドエラストマーである。

好ましくは、印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、エレクトレット及び／又は電気機械（例えば圧電気）の特性を改善するための少なくとも１つの添加剤をさらに備える。当該添加剤は、材料の電気機械（例えば圧電気）の特性に影響を与えるあらゆるポリマー特性及びパラメータを改善することができる。例えば、添加剤は、ポリマー又はポリマー混合物の、誘電率、弾性係数、粘弾性の挙動、最大伸び及び／又は絶縁耐力を改善することができる。ポリマーの誘電率、電気伝導率及び／又は弾性係数を低下させる、及び／又は、ポリマーの絶縁耐力を高める添加剤の使用が優先される。例えば、クレー粒子、ファインセラミックス・パウダー及び／又は炭化水素油、鉱油、シリコーン油のような可塑剤及び／又は特に高分子量のシリコン・エラストマーが、添加剤として用いられる。好適には、材料の複数の特性が、複数の添加剤の選択により同時に改善される。印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカーあるいは接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、穴を有するポリマー層の塗布（取り付け）を容易にする添加剤をさらに備えることができる。これらは、例えば、流れ添加剤、泡止め及び／又はレオロジー添加剤とともに、可塑剤のように穴を有するポリマー層の特性の改善のための添加成分である。

印刷インキ、インキ、ペースト、製剤（formulation）、ラッカー又は、接着剤、あるいは穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、特に電気機械の変換器が製造される前に、溶媒をさらに備えることができる。その実施例は、酢酸エチル、酢酸ブチル、酢酸メトキシプロピル、酢酸エトキシプロピル、アセトン、シクロヘキサノン、トルエン、キシレン、ソルベッソ100、シェルゾールA及び／又はこれらの溶媒の２つ以上の混合物である。

好ましくは、第１の連続的なポリマー層及び／又は第２の連続的なポリマー層及び／又は第３の連続的なポリマー層は、コンパクトなポリマー層である。本発明の範囲内にある「コンパクト（ぎっしり詰まった）：compact」という用語は、連続的なポリマー層が、気泡のような介在物をできるだけ少なく含んでいて、特にかかる介在物を含まないことを意味する。特に、連続的なポリマー層が、ポリマーフィルムとなることができる。第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、層とフィルム、特に薄い層とフィルムの製造のあらゆる既知のプロセスにより原則としてお互いに独立して製造される。例えば、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、押出し、ドクターブレードによる塗布（特にドクターブレードによる溶液塗布）、スピンコーティングあるいはスプレーにより、お互いに独立して製造される。しかしながら、本発明の範囲内で、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層として市販の連続的なポリマー層あるいはポリマーフィルムを用いることも可能である。

本発明の範囲内において、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、長時間（例えば数ヶ月や数年）にわたって電荷を保持するのに適しているあらゆるポリマー又はポリマーの混合物から原則としてお互いに独立して形成される。例えば、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、ほとんどどの同一又は異なった高分子材料を備えるか構成される。例えば、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、ポリカーボネート、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）やフルオロエチレンプロピレン（FEP）やパーフルオロアルコキシエチレン（perfluoroalkoxyethylenes：PFA）等のような全フッ素置換された（perfluorinated）あるいは部分的にフッ素化された（fluorinated）重合体及び共重合体、ポリエチレンテレフタレート（PET）又はポリエチレンナフタレート（PEN）のようなポリエステル、ポリイミド（特にポリエーテルイミド）、ポリエーテル、ポリメタクリル酸メチル、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィン共重合体、ポリプロピレンのようなポリオレフィン、及びこれらのポリマーの混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを備えるか、又はそれらから形成される。好適には、かかるポリマーは、導入される分極を長時間にわたって保持することができる。適切なポリカーボネートは、例えば、ポリオール（好ましくはジオール）と、ジフェニルカーボネート、ジメチル・カーボネートあるいはホスゲンのような炭酸誘導体との反応によって得られる。適切なジオールの実施例は、エチレングリコール、1,2-プロパンジオール、1,3-プロパンジオール、1,3-ブタンジオール、1,4-ブタンジオール、1,6-ヘキサンジオール、1,8-オクタンジオール、ネオペンチルグリコール、1,4-ビス-ヒドロキシメチルシクロヘキサン、2-メチル-1,3-プロパンジオール、2,2,4-トリメチル-1,3-ペンタンジオール、ジプロピレン・グリコール、ポリプロピレングリコール、ジブチレン・グリコール、ポリブチレン・グリコール、ビスフェノールA、ビスフェノールF、トリメチル-シクロヘキシル-ビスフェノール（ビスフェノール-TMC）、これらの混合物及びラクトンで修飾されたジオールである。ビスフェノールA、ビスフェノールF、トリメチル-シクロヘキシル-ビスフェノール（ビスフェノール-TMC）及びその混合物から製造されたポリカーボネートが好ましい。ビスフェノールAに基づくポリカーボネートは最も特に好ましい。さらに、連続的なポリマー層は、お互いに独立して、ホモポリマーを含むか、それからを形成される。

さらに、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、エレクトレット特性及び／又は電気機械（例えば圧電気）特性を改善するための少なくとも１つの添加剤を備えることができる。例えば、当該添加剤は、材料の電気機械（例えば圧電気）特性に影響（effect）を与えるあらゆるポリマー特性及びパラメータを改善することができる。例えば、添加剤は、ポリマー又はポリマー混合物の、エレクトレット特性、誘電率、弾性係数、粘弾性の挙動、最大伸び及び／又は絶縁耐力を改善することができる。エレクトレット特性（すなわちチャージ貯蔵能力を増大させる）を改善する、電気伝導率を低下させる、及び／又は、ポリマーの絶縁耐力を高める、一つの添加剤又は複数の添加剤の使用が優先される。例えば、クレー粒子、ファインセラミックス・パウダー及び／又は炭化水素油、鉱油、シリコーン油のような可塑剤及び／又は特に高分子量のシリコン・エラストマーが、添加剤として用いられる。好適には、材料の複数の特性が、複数の添加剤の選択により同時に改善される。

本発明の範囲内で、特に電気機械の変換器において、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、お互いに独立して、例えば、１０μｍ以上乃至５００μｍ以下の層厚みを、２０μｍ以上乃至２５０μｍ以下の層厚みを有することができる。

第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層に付け加えて、本発明に係る変換器は、１つ以上のさらなる連続的なポリマー層を備えることができる。かかるさらなる連続的なポリマー層は、穴を有する隣接したポリマー層の反対側にある、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層の側に、例えば配置される。

選択的に、本発明に係るプロセスの中で用いられる前に、あるいは本発明に係るプロセスの範囲内において、連続的なポリマー層が調節される（tempered）。

当該プロセスは、第１の連続的なポリマー層への電極の塗布（取り付け）と、被覆（特に被覆の（第２か第３の）連続的なポリマー層）への電極の塗布（取り付け）と、を行う工程Ｄ）をさらに備えることができる。しかしながら、本発明の範囲内において、電極は、第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層と一緒に提供され、特に各ケースにおいてそれらの上に形成される。電極は、外側に塗布（付け加えられ）（applied）、すなわち、第１の連続的なポリマー層の側あるいは穴から遠いところにあるカバーの側に付け加えられる（applied）。

電極は、当業者に知られたプロセスによって付け加えられる（applied）。例えば、スパッタリング、蒸着、化学的蒸着（CVD）、印刷、ドクターブレードによる塗布、スピンコーティングのようなプロセスが適切である。電極は、接着により既成（prefabricated）の形態で付け加えることもできる。

電極材料は当業者に知られていた導体材料とすることができる。例えば、金属、合金、半導体、ポリチオフェン（polythiophenes）やポリアニリン（polyanilines）やポリピロールのような伝導性のオリゴマー又はポリマー、インジウムスズ酸化物（ITO）のような伝導性の酸化物あるいは混合酸化物、あるいは導電性フィラーで満たされたポリマー等が適切である。導電性フィラーで満たされたポリマーに適しているフィラーは、例えば、金属、例えばカーボンブラック、カーボンナノチューブ（CNT）のような導電性カーボンに基づいた材料、あるいは伝導性のオリゴマー又はポリマーである。好ましくは、導電性フィラーが連続な導電性パスを形成することを特徴とする、ポリマーのフィラー含有量（content）は、浸透限界（percolation threshold）より上にある。

本発明の範囲内で、電極も構造化される（structured）。例えば、変換器がアクティブ領域とパッシブ領域とを示すように電極は構造化される。特にセンサモードにおいて信号が空間分解（space-resolved）方法で検出され、及び／又は、特にアクチュエータモードにおいてアクティブ領域が意図的に（purposively）トリガーされるように特に電極は構造化される。このことは、例えば、パッシブ領域に電極がない一方、アクティブ領域に電極を提供することにより達成される。

当該プロセスは、工程Ｃ）で得られた、配置、特に交互重ね（sandwich）配置を、チャージするという工程Ｅ）をさらに備えることができる。特に、第１の連続的なポリマー層及び被覆、特に、被覆の（第１の又は第３の）連続的なポリマー層は、異なった符号を有する電荷でチャージすることができる。チャージ（charging）は、例えば、摩擦帯電（tribocharging）、電子ビームボンバード、電極への電圧の印加、又はコロナ放電により実行される。特に、帯電は一対の電極のコロナ配置によって実行される。ニードル電圧は、少なくとも２０ｋＶ以上であり、例えば少なくとも２５ｋＶ以上であり、特に少なくとも３０ｋＶ以上である。チャージ時間は、少なくとも２０秒以上であり、例えば少なくとも３０秒以上であり、特に少なくとも１分以上である。本発明の範囲内で、まず工程Ｄ）を実行してその後に工程E）を実行するか、あるいはまず工程Ｅ）を実行してその後工程Ｄ）を実行することができる。

当該プロセスは、工程Ｃ）で得られた、２つ以上の配置、特に交互重ね（sandwich）配置を積み重ねるという工程Ｆ）をさらに備えることができる。第１の連続的なポリマー層及び被覆、特に、被覆の（第２の又は第３の）連続的なポリマー層は、各ケースに電極に接することができる。工程Ｃ）で得られた異なった配置の２つの隣接した連続的なポリマー層が、好ましくは、同じ分極でチャージされる。特に、工程Ｃ）で得られた異なった配置の２つの隣接した連続的なポリマー層が、同じ電極に接触することができるか、あるいは、同じ電極がそれらに接触することができる。

本発明に係るプロセスの更なる特徴に関して。本発明に係る電気機械の変換器及びその使用に関連して（in connection with）与えられた説明について明示的に申し述べます。

本発明は、特に本発明に係るプロセスによって製造されて、第１の連続的なポリマー層と、穴を有する第１のポリマー層と被覆とを備える、電気機械の（例えば圧電気の）変換器をさらに提供する。当該変換器では、穴を有する第１のポリマー層が、第１の連続的なポリマー層と被覆との間に配置されて、穴を有する第１のポリマー層の穴が、第１の連続的なポリマー層により一方の側が閉じられ且つ他方の側が被覆により閉じられて、ボイド（void）を形成する。

本発明に係る製造プロセスが、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスに基づくので、特に穴の限界を定める（delimit）表面の性質は、ドリリングにより製造された穴の穴の限界を定める表面の性質とは異なることができる。例えば、本発明に係るプロセスに起因する穴の限界を定める表面は、より少数のバリ及び他の縁の鋭い表面不規則性を有する。それらは特有の値で明示することができないが、電気機械の（特に、圧電気の）特性に影響を、特に悪影響を及ぼすことができる。

電気機械の変換器の実施態様において、被覆は、穴を有する第２のポリマー層及び第２の連続的なポリマー層を有する。当該第２の連続的なポリマー層は、穴を有する第２のポリマー層の上に配置されており、穴を有する第２のポリマー層は、穴を有する第１のポリマー層の上に配置されており、その結果、特に、共通のボイドを形成する。

電気機械の変換器の実施態様において、被覆は第３の連続的なポリマー層である。

電気機械の変換器の実施態様において、穴を有する第１のポリマー層は、異なった形状の穴を備え、及び／又は、穴を有する第２のポリマー層は、異なった形状の穴を備える。

既に説明されたように、好適には、もたらされた（resulting）ボイドのトータルのボイド体積を一方で最大にすることは、及び、電気機械の（特に圧電気の）の特性を他方で調節することは、異なった形状の穴の組み合わせを用いることにより、可能である。

選択的に、穴を有する第１のポリマー層の穴及び／又は穴を有する第２のポリマー層の穴は、部分的にあるいは完全に相互接続することができる。

電気機械の変換器の実施態様において、穴を有する第１のポリマー層の穴の少なくともいくつかは、円形の断面領域、特に実質的に円形の断面領域を有していない形状を有する、及び／又は、穴を有する第２のポリマー層の穴の少なくともいくつかは、円形の断面領域、特に実質的に円形の断面領域を有していない形状を有する。

既に説明されたように、円形の断面領域、特に実質的に円形の断面領域を有する穴の少なくとも部分的な回避により、トータルのボイド体積が増加する。

穴を有する第１の及び第２のポリマー層は、特に合同に（congruent）する、特に一致することができる。

穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層における穴は、均一にあるいは不均一に分布することができる。特に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層における穴は、均一に分布することができる。しかしながら、製造されることになっている電気機械の変換器の応用分野に依存して、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層の穴が、特に意図的に不均一に空間分解の（space-resolved）方法で分布されることは、好適となる。

穴を有する第１のポリマー層の穴は、好ましくは、穴を有する第１のポリマー層を、特に連続的なポリマー層の方向に真っ直ぐに（right）貫通する、及び／又は、穴を有する第２のポリマー層の穴は、好ましくは、穴を有する第２のポリマー層を、特に連続的なポリマー層の方向に真っ直ぐに（right）貫通する。

穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、第１の形状の複数の穴、第２の形状の複数の穴、及び選択的に第３形状の複数の穴などを有することができる。穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層における異なった形状の穴は、均一にあるいは不均一に分布することができ、及び／又は、部分的にあるいは完全に相互接続することができる。

本発明の範囲内で、穴のうちのいくつかあるいはすべては、例えば、実質的に丸い物（例えば、円形、楕円形、卵形）、多角形（例えば、三角形、長方形、台形、菱形、五角形、六角形（特にハニカム形状））、十字形、星形、及び部分的に丸くて部分的に多角形（例えばＳ形）の断面領域からなるグループから選ばれた断面領域を有する形状を有することができる。穴を有する第１の及び／又は第２の層の穴は、好ましくは、ハニカム形状の断面領域を有するか、あるいはハニカム形状に形成されている及び／又はハニカム形状で配置される。特に好ましくは、穴を有する第１の及び第２の層の穴は、ハニカム断面領域を有するか、あるいはハニカム形状に形成されている及び／又はハニカム形状で配置される。一方で、穴のハニカム形状及びハニカム配置は、非常に大きなトータルのボイド体積に帰着する。他方で、穴のハニカム形状及びハニカム配置は、高い機械的安定性を有することができる。

断面領域のサイズは、穴を有するポリマー層のすべての穴において、同じであるか異なることができる。

穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、例えば、１μｍ以上乃至８００μｍ以下、特に１０μｍ以上乃至４００μｍ以下の層厚みを各々有することができる。電気機械の変換器が、穴を有するポリマー層をたった１つ有するならば、穴を有する第１のポリマー層は、１μｍ以上乃至８００μｍ以下、例えば１０μｍ以上乃至４００μｍ以下の層厚みを有することができる。電気機械の変換器が穴を有する第１のポリマー層及び第２のポリマー層の両方を有するならば、として、穴を有する第１のポリマー層と穴を有する第２のポリマー層との全体の層厚みは、１μｍ以上乃至８００μｍ以下、例えば１０μｍ以上乃至４００μｍ以下である。

第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、お互いに独立して、例えば１０μｍ以上乃至５００μｍ以下、例えば２０μｍ以上乃至２５０μｍ以下の層厚みを有することができる。

穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、例えば、セルロースエステル、セルロースエーテル、ゴム誘導体、ポリエステル樹脂、不飽和ポリエステル、アルキド樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アミド樹脂、ケトン樹脂、キシレン-ホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリビニルエーテル、ポリアクリレート（polyacrylates）、ポリメタクリレート（polymethacrylates）、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、コポリエステル、ポリアミド、シリコーン樹脂、ポリウレタン（polyurethanes）、特にウレタン樹脂（polyurethanes）及びこれらのポリマーの混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを備えるか、それらから形成される。特に、穴を有する第１の及び／又は第２のポリマー層は、１つ以上の一液形のポリウレタン及び／又は１つ以上の二液形のポリウレタン及び／又は１つ以上のポリウレタンのホットメルト接着剤を備えるか、それらから形成される。

第１の及び／又は第２の及び／又は第３の連続的なポリマー層は、例えば、ポリカーボネート、ポリテトラフルオロエチレン（PTFE）やフルオロエチレンプロピレン（FEP）やペルフルオロアルコキシエチレン（perfluoroalkoxyethylenes：PFA）のような全フッ素置換された（perfluorinated）あるいは部分的にフッ素置換されたポリマー及び共重合体、ポリエチレンテレフタレート（PET）又はポリエチレンナフタレート（PEN）のようなポリエステル、ポリイミド（特にポリエーテルイミド）、ポリエーテル、ポリメタクリル酸メチル（ポリメチルメタクリレート）、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィン共重合体、ポリプロピレンのようなポリオレフィン及びこれらのポリマーの混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを備えるか、それらから形成される。

好ましくは、電気機械の変換器は、２つの電極を、特に、一方の電極が第１の連続的なポリマー層に接触するとともに他方の電極が被覆（特に被覆の（第２のあるいは第３の）連続的なポリマー層）に接触する電極層をさらに備える。さらに、第１の連続的なポリマー層及び被覆（特に被覆の（第２のあるいは第３の）連続的なポリマー層）は、異なった符号の電荷を有することができる。特に、発明に係る電気機械の変換器は、２つ以上の配置を、特に、一方の上の他方を積み重ねた、交互重ね（sandwich）配置を含むことができる。その各々は、第１の連続的なポリマー層と、穴を有する第１のポリマー層と、被覆と、を備える。穴を有する第１のポリマー層は、第１の連続的なポリマー層と被覆との間に配置されている。穴を有する第１のポリマー層の穴は、第１の連続的なポリマー層により一方の側が閉じられて、被覆により他方の側が閉じられて、その結果ボイドを形成する。第１の連続的なポリマー層及び被覆（特に被覆の（第２のあるいは第３の）連続的なポリマー層）は、それぞれ電極に接触することができる。好ましくは、異なった配置の２つの隣接した連続的なポリマー層は、同じ電荷の分極を有する。特に、異なった配置の２つの隣接した連続的なポリマー層が、同じ電極に接触している。

本発明に係る電気機械の変換器の更なる特徴に関して、本発明に係るプロセス及び本発明に係る使用に関連して与えられた説明について明示的に申し述べられる。

本発明は、センサ、例えば電気機械の分野及び／又は電気音響学の分野（特に機械的振動からエネルギーを得る分野（環境発電（energy harvesting）））における発生器及び／又はアクチュエータ、音響学の、超音波学の、医学的診断の、音波顕微鏡の、機械的なセンサシステム（特に圧力や力や歪みのセンサシステム）、ロボット工学及び／又は通信技術（特にラウドスピーカー）、振動変換器、光デフレクター、メンブレン、光ファイバー用の変調器、焦電検出器、コンデンサー及びコントロールシステムとして使用される、変換器の使用方法をさらに提供する。

本発明に係る使用の更なる特徴に関して、本発明に係るプロセス及び本発明に係る電気機械の変換器に関連して与えられた説明が明示的に申し述べられる。

図面及びテスト説明
本発明に係る製造と、本発明に係る電気機械の（例えば圧電気の）構造が、図面と以下に与えられる図面の説明と以下のテスト説明により非常に詳細に説明される。図面及びテスト説明が、単に本質的に本述的であり、決して本発明を制限することを意図するものではないことに注目すべきである。

図１ａは、穴3aを有する第１のポリマー層2aが付け加えられた（applied to）第１の連続的なポリマー層1aの断面図を示す。

図１ｂは、穴3bを有する第２のポリマー層2bと、第２の連続的なポリマー層1bと、を備える被覆の形態の断面図を示す。

図１ｃは、図１ｂに示される被覆が付け加えられている（applied to）、図１ａに示される層配置の断面図を示す。図１ｃは、穴3aを有する第１のポリマー層2aに被覆1b，2bを付け加えた後に、穴3aを有する第１のポリマー層2aの穴3aと穴3bを有する第２のポリマー層2bの穴3bとが完全に重なって、その結果共通のボイド5を形成するように、穴3aを有する第１のポリマー層2aの穴3aと穴3bを有する第２のポリマー層2bの穴3bとが、形成され且つ配置されていることを示す。

図２ａは、穴3を有する第１のポリマー層2が付け加えられている（applied to）、第１の連続的なポリマー層1の断面図を示す。図２ａは、穴を有する第１のポリマー層の穴3が、穴3を有するポリマー層2を真っ直ぐに（right）貫通することを示す。

図２ｂは、第３の連続的なポリマー層4の形態をしている被覆が、図１ａに示される層配置の穴3を有する第１のポリマー層2に付け加えられている（applied to）ことを示す。図２ｂは、穴3を有する第１のポリマー層2の穴3が第１の連続的なポリマー層1により一方の側が閉じられて、第３の連続的なポリマー層4により他方の側が閉じられて、その結果ボイドを形成することを示す。

図３ａは、図２ｂに示された配置の断面図を示し、図２ｂに示された配置の帯電（charging）後の帯電分布を示す。図３ａは、負電荷が第１の連続的なポリマー層1の上に配置されて、正電荷が第３の連続的なポリマー層4の上に配置されることを示す。

図３ｂは、帯電（charging）プロセスの後及び電極取り付け（application）の後の、図２ｂに示される配置の断面図を示す。第１の連続的なポリマー層1及び第３の連続的なポリマー層4は、それぞれ、電極6a、6bに接触している。電極6a、6bは、穴を有する第１のポリマー層2に隣接するとともにボイド5を形成する側と反対の第１の連続的なポリマー層1及び第３の連続的なポリマー層4の側に電極層の形態である。

図４は、一方の上に他方を積み重ねた３つの配置を有する、本発明に係る変換器の断面図を示す。各配置は、第１の連続的なポリマー層11a、11b、11cと、穴を有する第１のポリマー層12a、12b、12cと、第３の連続的なポリマー層14a、14b、14cの形態をしている被覆と、を備える。図４は、異なった配置の２つの隣接する連続的なポリマー層11a、14b;11b、14cが、同じ分極で帯電しているとともに、同じ電極16ab;16bcに接触している。図４は、電極16a、16ab、16bc、16cを電圧装置／電流測定装置／供給装置／記憶装置17cに接続する可能性をさらに示す。

図５ａ乃至図５ｉは、穴3を有するポリマー層及び穴形態の異なる実施態様を示す。しかしながら、図５ａ乃至図５ｉに示される実施態様と形態は、単なる実施例であり、決して本発明を限定しようとするものではない。明瞭さの理由で、特定の形状の１つの穴だけが、図５ａ乃至図５ｉにおける実施例として参照番号によって特定される（identified）。

図５ａは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴は、円形の断面領域を有する。図５ａは、複数の小さな穴3が、本発明に係るプロセスによって形成されることをさらに示す。

図５ｂは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、細長い長方形の断面領域を有する。図５ｂは、複数の小さな穴3が、本発明に係るプロセスによって形成されることを同様に示す。

図５ｃは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、十字形状の断面領域を有する。

図５ｄは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、円形の断面領域を有する。図５ｄは、円形の断面領域を有する穴3だけを用いて、最適なトータルのボイド体積を達成することが可能でないことを示す。

図５ｅは、穴3，3'を有するポリマー層を示す。当該穴のうちのいくつかは、円形の断面領域3を有しており、いくつかは菱形の断面領域3'を有する。図５ｅは、円形の断面領域3及び菱形の断面領域3'を有する穴の均一に分布された配置で、図５ｄに示されるような円形の断面領域を持った穴3だけを使用する場合よりも、より大きなトータルのボイド体積が達成されることを示す。

図５ｆは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、ハニカム形状の断面領域を有する。図５ｆは、ハニカム形状の断面領域を有する穴3にもっぱら基づいた配置を用いることにより、図５ｄに示されるような円形の断面領域を有する穴3だけを使用する場合よりも、著しく大きなトータルのボイド体積を達成することが可能なことを示す。

図５ｇは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、ハニカム形状の断面領域を有するとともに、部分的に相互接続している。

図５ｈは、穴3，3'，3"を有するポリマー層を示す。その穴は、異なる形状をサイズからなり、十字形状の断面領域3'，3"と、実質的にハニカム形状の断面領域3と、を有する。図５ｈは、穴が不均一に分布されているとともに、部分的に相互接続することをさらに示す。

図５ｉは、穴3を有するポリマー層を示す。その穴3は、異なる構造（特に六角形状／ハニカム形状）、異なるポイントのクロス及びポイント、線の太さの組合せを、印刷プロセス及び／又は被覆プロセスによって、連続的なポリマー層1に適用することで、形成される。図５ｉは、本発明に係る製造プロセスの完了時に、連続的なポリマー層に接触する１つ以上の閉じられたボイドを得るために、少なくとも、連続的なポリマー層の端領域が印刷される及び／又は閉じた構造で覆われることをさらに示す。このように、連続的なボイドが形成される。図５ｉは、本発明の範囲内で、穴を有するポリマー層がたった１つの穴3を有するポリマー層であるとして理解されることを、特に、たった１つの穴3が複数の穴の組み合わせ又は接続であるとして理解されることをさらに示す。

実施例
テスト説明
実施例１
スクリーン印刷プロセスにより穴を有するポリマー層を作成するために、第１のスクリーン印刷ペーストが調合（formulated）された。第１のスクリーン印刷ペーストは、47.14重量%のデスモデュル（Desmodur）登録商標N75 MPAと、52.11重量%のデスモフェン（Desmophen）登録商標670と、を含んでいた。印刷の間にペーストの流れ及び泡生成を低減するために、0.75重量%の流れ向上剤（ブトキシルの中にBYK 410 50%）が、調合に加えられた。

実施例２
スクリーン印刷プロセスによって穴を有する更なるポリマー層を作成するために、第２のスクリーン印刷ペーストが調合（formulated）された。第２のスクリーン印刷ペーストにおいて、40.40重量%のデスモデュル（Desmodur）登録商標N75 MPAと、44.59重量%のデスモフェン（Desmophen）登録商標670と、11.26重量%の酢酸エトキシプロピル（ethoxypropyl acetate）と、3.30重量%の流れ向上剤と、0.45重量%のブトキシル及びBYK 410の１：１の混合物とが用いられた。

多くのスクリーン印刷実験は、実施例１及び２によるスクリーン印刷ペーストを用いることで、単一の印刷層及び複数の印刷層の両方を連続して付け加える（塗布する）（apply）ことが可能であることを示した。特に、印刷層は、まだ完全には硬くなっていない前印刷層に塗布される（ウェット・オン・ウェット、プロセス）。層厚みを増加させるために、中間の乾燥を持って、複数の印刷工程が行なわれることが分かっている。例えば、印刷層は、中間の乾燥を持って、ウェット・オン・ウェットのプロセスにより連続的なポリカーボネートフィルムに、２回塗布され。１センチメートル当たり１２乃至２００のスレッド（thread）を、好ましくは１センチメートル当たり２２乃至１２０のスレッド（thread）を有する織物が、印刷に用いられた。微細構造の場合に良好な層厚みを実現するために、１センチメートル当たり９０のスレッド（thread）を有する織物が用いられた。このように、ウェット・オン・ウェット（wet-on-wet）印刷による７μｍ乃至１２μｍの層厚みと、中間乾燥を有するウェット・オン・ウェット（wet-on-wet）印刷を２回行うことにより１５μｍ乃至２５μｍの層厚みを実現することが可能であった。

Claims (14)

1. 積層工程を除いて、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスによって第１の連続的なポリマー層（1; 1a）に対して穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）を付け加える工程Ａ）と、
   前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）に被覆（4; 1b、2b）を付け加えて、その結果、前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の穴（3; 3a）が、閉じられてボイド（5）を形成する工程Ｂ）と、
   前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）に前記被覆（4; 1b、2b）をつなぐ工程Ｃ）と、
   電極（6a）が、前記第１の連続的なポリマー層（1; 1a）の外側に付け加えられ、電極（6b）が前記被覆（4; 1b、2b）の外側に付け加えられて、工程Ａ）乃至Ｃ）のうちの１つの前後に、電極（6a、6b）がお互いに独立してあるいは同時に付け加えられる工程Ｄ）と、
   工程Ｃ）の後にあるいは工程C）に続く工程の後に得られた配置が帯電される工程Ｅ）と、を備えることを特徴とする、電気機械の変換器の製造プロセス。
2. 前記被覆が、穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）と、第２の連続的なポリマー層（1b）と、を備えて、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）が、前記第２の連続的なポリマー層（1b）の上に配置されて、第２のポリマー層（2b）の穴（3b）が前記第１のポリマー層（2a）の穴（3a）に対面配置されるように前記被覆が配置されているか、あるいは、
   前記被覆が、第３の連続的なポリマー層（4）であることを特徴とする、請求項１に記載の製造プロセス。
3. 前記被覆は、印刷プロセス及び／又はコーティングプロセスにより、前記第２の連続的なポリマー層（1b）に対して穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）を付け加えることによって製造されることを特徴とする、請求項１に記載の製造プロセス。
4. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）が前記第１の連続的なポリマー層（1; 1a）に付け加えられた後に、前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の材料を単に部分的に硬化させることと、及び／又は、
   前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）が前記第２の連続的なポリマー層（1b）に付け加えられた後に、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の材料を単に部分的に硬化させること、及び、
   前記被覆（4; 1b、2b）が付け加えられた後に、前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の材料をさらに硬化させることと、及び／又は、
   前記被覆（4; 1b、2b）が付け加えられた後に、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の材料をさらに硬化させることにより、
   前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）が、前記被覆（4; 1b、2b）につながれることを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
5. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の取り付け及び／又は前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の取り付けは、ドクターブレード、スピンコーティング、浸漬コーティング、スプレーコーティング、カーテンコーティング、スロットダイコーティング、フレキソ印刷、グラビア印刷、タンポン印刷、ディジタル印刷、熱転写印刷、多孔性印刷、ローラー塗布工程及び／又はスクリーン印刷プロセスによる塗布によって行われることを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
6. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の穴（3; 3a）が、穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）を真っ直ぐに貫通し、及び／又は、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の穴（3b）が、穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）を真っ直ぐに貫通することを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
7. 前記穴（3a）を有する第１のポリマー層（2a）の穴（3a）と前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の穴（3b）とが、前記被覆（1b、2b）を付け加える際に、前記穴（3a）を有する第１のポリマー層（2a）の１つの穴（3a）と前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の１つの穴（3b）とが部分的に又は完全に重なるように形成且つ配置されていることを特徴とする、請求項１に記載の製造プロセス。
8. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）及び／又は前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）は、異なった形状の穴（3; 3a、3b）を、好ましくはハニカム形状をした及び／又はハニカム形状で配置された穴（3; 3a、3b））を、有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
9. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）及び／又は前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）は、セルロースエステル、セルロースエーテル、ゴム誘導体、ポリエステル樹脂、不飽和ポリエステル、アルキド樹脂、フェノール樹脂、アミノ樹脂、アミド樹脂、ケトン樹脂、キシレン-ホルムアルデヒド樹脂、エポキシ樹脂、フェノキシ樹脂、ポリオレフィン、ポリ塩化ビニル、ポリビニルエステル、ポリビニルアルコール、ポリビニルアセタール、ポリビニルエーテル、ポリアクリレート、ポリメタクリレート、ポリスチレン、ポリカーボネート、ポリエステル、コポリエステル、ポリアミド、シリコーン樹脂、ポリウレタン及びこれらのポリマーの混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを備え、及び／又は、
   前記第１の連続的なポリマー層（1; 1a）及び／又は前記第２の連続的なポリマー層（1b）及び／又は前記第３の連続的なポリマー層（4）は、ポリカーボネート、全フッ素置換されたあるいは部分的にフッ素化された重合体及び共重合体、ポリエステル、ポリイミド、ポリエーテル、ポリメタクリル酸メチル、シクロオレフィンポリマー、シクロオレフィン共重合体、ポリオレフィン及びこれらのポリマーの混合物から成るグループから選ばれた少なくとも１つのポリマーを備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
10. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）が１μｍ以上乃至８００μｍ以下の層厚みを有し、及び／又は、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）が１μｍ以上乃至８００μｍ以下の層厚みを有し、及び／又は、
    前記第１の連続的なポリマー層（1; 1a）及び／又は前記第２の連続的なポリマー層（1b）及び／又は前記第３の連続的なポリマー層（4）が、１０μｍ以上乃至５００μｍ以下の層厚みを有することを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
11. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）及び／又は前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）は、１つ以上の一液形のポリウレタン及び／又は１つ以上の二液形のポリウレタン及び／又は１つ以上の水性ポリウレタン分散液及び／又は１つ以上のポリウレタンホットメルト接着剤を備えることを特徴とする、請求項１又は２に記載の製造プロセス。
12. 請求項１又は２に記載の製造プロセスによって製造されたことを特徴とする、電気機械の変換器。
13. 前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）が異なった形状の穴（3; 3a）を有し、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）が異なった形状の穴（3b）を有し、好ましくは、前記穴（3; 3a）を有する第１のポリマー層（2; 2a）の穴（3; 3a）の少なくともいくつかが、非円形の断面領域を持った形状を、特にハニカム形状の構造を有し、及び／又は、前記穴（3b）を有する第２のポリマー層（2b）の穴（3b）の少なくともいくつかが、非円形の断面領域を持った形状を、特にハニカム形状の構造を有することを特徴とする、請求項１２に記載の電気機械の変換器。
14. 請求項１２又は１３に記載の電気機械の変換器が、センサ、特に電気機械の分野及び／又は電気音響学の分野（好ましくは機械的振動からエネルギーを得る分野）における発生器及び／又はアクチュエータ、音響学の、超音波学の、医学的診断の、音波顕微鏡の、機械的なセンサシステム（特に圧力や力や歪みのセンサシステム）、ロボット工学及び／又は通信技術（特にラウドスピーカー）、振動変換器、光デフレクター、メンブレン、光ファイバー用の変調器、焦電検出器、コンデンサー及びコントロールシステムとして使用されることを特徴とする、電気機械の変換器の使用方法。

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