JP2012520989A5 - - Google Patents

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一つの湾曲された弾性手段１５ａと四つの静止摩擦手段１５を備える装置Ｐ１の第一実施例を示す。 湾曲された弾性手段２５ａ，２５ｂと半円状弾性案内面２５ａ’，２５ｂ’を備える二つの差し込み接続部をもつ装置Ｐ２の第二実施例を示す。 質量ユニット３７を加える図２のような装置Ｐ２の第三実施例を示す。 走査ゾンデ顕微鏡における図２に基づく装置Ｐ２の使用を示す。 装置Ｐ３を形成する二つの上下に配置されて、電気的に互いに絶縁された管状圧電素子（上）並びに揺動なしにロータを特に同じ形状に位置決めする電圧経過（下）を示す。 装置Ｐ４を形成する二つの上下に配置されて、電気的に互いに絶縁された管状圧電素子（上）並びに揺動なしにロータを特に同じ形状に位置決めする電圧経過（下）を示す。 管状圧電素子７８内部に走査するように配置されている図５に示されたような二つの上下に配置された管状圧電素子を備える装置Ｐ３を示す。 同じ外径を備える管状圧電素子８８上で走査するように配置されている図６に示されたような二つの互いの中に配置された管状圧電素子を備える装置Ｐ４を示す。
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