JP3193562B2 - 圧電アクチュエータ - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、圧電（電歪を含む）素
子の伸縮を利用した衝撃力で移動体を移動する小型の圧
電アクチュエータに関する。

【０００２】

【従来の技術】圧電素子と、これの一端に固定された移
動体と、この移動体に摺動可能に摩擦係合している静止
部材とからなる圧電アクチュエータが知られている（特
開平４−１７７２１４号公報）。そして、前記圧電素子
は前記移動体から一方に突き出すように取り付けられて
いる。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな構成では、移動体と圧電素子が直列に連結され、か
つ圧電素子がその軸方向に長く、移動体の外形領域から
圧電素子が大きく突き出しているため、圧電アクチュエ
ータ装置全体のサイズがかなり大きくなってしまい、こ
れの医療機器や光学機器等へのコンパクトな組み込みが
容易でない。

【０００４】前記圧電アクチュエータが外的衝撃を受け
た際、その圧電素子が変形し、静止部材や、組込み対象
の機器の部材に対して、その圧電素子が直接に衝突して
しまい、圧電素子が破断する虞れがあり、耐衝撃性に問
題があった。

【０００５】本発明は前記課題に着目してなされたもの
で、その目的とするところは、その圧電アクチュエータ
の小型化とともに、衝撃に対する耐久性を向上すること
ができ、低侵襲でかつ高性能な医療機器、光学機器への
適用が実現できる圧電アクチュエータを提供することに
ある。

【０００６】

【課題を解決する手段および作用】本発明は、静止部材
と、基端部から先端側に延設された複数の延設部を有し
前記静止部材の内面に対して移動可能に摩擦係合する複
数の摩擦係合部が設けられた移動体と、前記移動体の基
端部に一端部が連結されるとともに前記移動体の複数の
延設部間を先端側に向かって他端部が延設され駆動電圧
を印加することにより前記移動体の移動方向と平行な軸
方向に伸縮する圧電素子とを有し、前記移動体の移動方
向に垂直な方向においての少なくとも１つの向きで前記
移動体の外形に包含される位置に前記圧電素子を配置し
た圧電アクチュエータである。このような構成によれ
ば、移動体の外形領域内に圧電素子を収め得ることか
ら、圧電アクチュエータの小型化と共に、外部からの衝
撃に対する耐久性が高まる。

【０００７】

【実施例】

（第１の実施例）この第１の実施例を図１および図２を
参照して説明する。この実施例における圧電アクチュエ
ータの基本的な部材として、静止部材１、移動体２、及
び圧電素子３がある。静止部材１には、図１（ａ）で示
すような直管状のステンレススチール製の円管４を使
い、この円管４内に移動体２を嵌合して円管４に移動体
２を摺動可能に摩擦係合させる。この移動体２は基部５
と弾性を持つ一対の梁（脚と称しても良い。）６とから
なり、これはアルミニューム製の一体部材からなってい
る。図１（ｂ），（ｃ）に示されるように、その基部５
から略同じ向き側に突き出す一対の梁６の突出先端の外
側面部には前記円管４の内面に当たる突出部７がそれぞ
れ形成されている。つまり、移動体２は一対の梁６が、
それ自身の弾性力によって拡がる付勢力によってその突
出部７を円管４の内面に摩擦的に係合させる。

【０００８】図１（ｂ），（ｃ）に示されるように、圧
電素子３は、前記円管４の中心軸方向に積層した直方体
形状の板状積層型圧電素子によって構成されており、一
対の梁６の間で定まる領域の空間中央で、その長手方向
が円管４の中心軸に沿って配置されている。また、圧電
素子３の板（横）幅より小さな板厚方向に、各梁６を対
向させて位置させる。図１（ｃ）で示されるように、こ
の実施例では、梁６の幅より圧電素子３の板幅が僅かに
大きいが、梁６の幅よりも圧電素子３の板幅が小さくて
もよい。このいずれの場合にも、前記移動体２の移動方
向に垂直方向おいて前記圧電素子３は、前記移動体２の
外形に実質的に包含される領域内に位置して配置される
ものである。

【０００９】また、圧電素子３はその一端が前記移動体
２の基部５に接着固定しており、したがって、圧電素子
３は前記移動体２の梁６側に変形し易い片持ち梁式で、
移動体２に支えられている。

【００１０】圧電素子３の自由端部には、給電部材とし
てのリード線８が、半田付けあるいは導電性ペーストに
よる接着等の接続手段で、機械的かつ電気的に接続され
ている。この給電用のリード線８は、圧電素子３の自由
端部が湾曲変形しやすい板厚方向に対して垂直な向きで
対向する両側面の部分にそれぞれ接続されている。つま
り、前記移動体２の部材に対向しないそれを避けた部位
において前記圧電素子３に前記給電部材としてのリード
線８の接続部を設けた。また、このリード線８の導出部
分は一対の梁６がなす面に平行になるように設けられ、
その接続部の大きさは前記移動体２に外接する円に接触
しないように抑えてある。

【００１１】図１（ｂ）に示されるように、前記圧電素
子３における突き出す自由端の、アクチュエータの移動
方向の長さは、前記移動体２の梁６の突出長さよりも短
くなっている。つまり、前記移動体２の移動方向におい
て前記圧電素子３は、前記移動体２の外形に包含される
領域内に位置して配置されるものである。

【００１２】なお、前記円管４の材料としては、アクリ
ル等でもよく、また、前記移動体２の材料としては、プ
ラスチック等であってもよい。

【００１３】この圧電アクチュエータが落下衝突した時
の衝撃等により、前記円管４に外的衝撃が加えられたと
き、梁６は円管４に弾性的に係合しており、また、前記
移動体２の一方の梁６はその慣性によって円管４の軸中
心軸側へ弾性的にたわむ。これにより、梁６は衝撃を吸
収する緩衝材として働く。また、前記圧電素子３は前記
移動体２の外形に包含される程、短いので、前記移動体
２の外形から大きく突出する場合に比べて、前記圧電素
子３に加わる衝撃力が小さく、かつ円管４やこの圧電ア
クチュエータを組み込む機器の他の部材に直接に当たる
こともなく、折れに対する抵抗力（抗折力）が増加する
ので、前記圧電素子３の破断が少ない。前記圧電素子３
は、板状に形成され、その板厚方向に前記移動体２の梁
６が位置してそれの外形に包含されるため、衝撃を受け
た際、前記圧電素子３はその板厚方向により変形しやす
いが、その移動部材２の弾性的な梁６によって大きな変
形が阻止されるため、圧電素子３がより防止される。

【００１４】図２（ａ）〜（ｄ）に示すような電圧波形
の信号のいずれかを圧電素子３に印加することにより、
前記圧電素子３は急激な変形とゆっくりした復元を行う
伸縮作用に伴う、衝撃と圧電素子３自体の質量によって
発生する慣性力と、静止体１と移動体２の摩擦係合力と
の関係で、移動体２を軸方向の任意の向きに移動させる
ことができる。その際、給電部材としてのリード線８と
圧電素子３との接続部は、その設置位置及び圧電素子３
と移動体２との相対的長さによらず、脚６と干渉するこ
とはない。圧電素子３および脚６の長さを任意に設定で
き、全長の短い圧電アクチュエータを提供できる。ま
た、脚６と給電部材が干渉せず、給電部材の破断が避け
られ、耐久性の向上した圧電アクチュエータが提供でき
る。また、移動体の外形領域内に圧電素子を収めること
により、コンパクト化が図れ、また、後述するような耐
熱対策や耐滅菌対策構造が採用しやすい。

【００１５】（第２の実施例）この実施例は、図３
（ａ）（ｂ）で示すように、前記圧電素子３を全長にわ
たり等径な円柱状に積層した形状のものとしたものであ
る。また、円柱状の圧電素子３の径は、図３（ｂ）で示
すように、梁６の幅の大きさより小さい。そして、圧電
素子３はその一対の梁６の間で、その幅内中央に配置さ
れている。つまり、前記移動体２の外形に包含される。

【００１６】この圧電アクチュエータに落下等により外
的衝撃が加えられたとき、円柱型圧電素子３にも衝撃力
が伝わるが、その圧電素子３が円柱形をしているので、
あらゆる方向からくる衝撃に対しても、受ける影響は同
じであり、極端に弱い部分がなくなる。したがって、全
体としての抗折力が増加すことになり、外的衝撃が加え
られたとき、圧電素子３の破断が少なくなる。

【００１７】また、この構成によれば、前述した第１の
実施例の効果の他、耐久性を保持したまま、圧電アクチ
ュエータの細径化と小型化が図れる。

【００１８】さらに、前記移動体２の３本の脚６に対向
しない前記圧電素子３の面に給電部材としてのリード線
８の接続部が構成され、これよりリード線８が脚６に触
れないように後方へ導出する。したがって、移動体２の
脚６と前記給電部材との干渉がないため、動作時におい
て、給電部材が破断することが無く、耐久性が向上す
る。

【００１９】なお、この実施例での圧電素子３を第１の
実施例での板形状のものと置き換えてもよい。

【００２０】（第３の実施例）図４（ａ）（ｂ）で示す
ように、この実施例は、前述した第２の実施例と同様、
円柱状の圧電素子３を構成する。さらに、前記移動体２
の梁６を２本ではなく、３本にした。そして、この３本
の梁６は前記円管４の中心軸方向から見て円周方向に互
いの位置が１２０゜の等間隔の関係で配置されている。
前記圧電素子３が前記移動体２の外形に包含される位置
に配置される。

【００２１】この構成によれば、前述した第１及び第２
の実施例の効果の他、前記移動体２に３本の脚６を設
け、これが前記静止部材１と摩擦係合しているため、前
記移動体２の前記静止部材１に対する姿勢が安定し、ス
ムーズな移動が得られる。つまり、３本の梁６により、
前記圧電アクチュエータの駆動による移動体２の移動
時、前記円管４の半径方向へ前記移動体２が傾くことが
抑制され、圧電アクチュエータの動作を安定させる。

【００２２】（第４の実施例）この実施例を図５で示
す。これは、前述した第１の実施例に構成においての圧
電素子３の自由端に別部材の慣性体としての重り９を接
着等により取着し、別部材たる慣性体を付加する構成と
したものである。前記圧電素子３と重り９とを合わせた
軸方向長さは、前記第１の実施例での移動体２の長さよ
りも僅かに短く、前記重り９の先端位置は梁６の先端位
置よりも引き込んだ位置にある。なお、重り９の先端と
梁６の先端を一致または僅かに突き出す程度に設けても
よい。これも前記移動体２の外形に包含される位置に前
記圧電素子３及び重り９を配置したことになる。

【００２３】この構成によれば、図２（ａ）〜（ｄ）に
示すような電圧波形の信号を圧電素子３に印加すること
により、前述した第１の実施例の場合と同様に移動体２
を軸方向の向きに移動させることができるが、圧電素子
３の慣性力の他に、重り９の慣性力が加わり衝撃力が増
加する。この結果、圧電アクチュエータ自身の移動速度
が上昇するとともに、駆動力を高めることができる。圧
電アクチュエータの駆動速度を上げ、駆動力を高めるた
め、より重い負荷を迅速確実に操作することができる。

【００２４】（第５の実施例）この実施例を図６を参照
して説明する。この基本的な構成は前述した第１の実施
例のものと略同様なものであるが、円管４からなる静止
部材１に移動体２の一対の梁６が摩擦係合している構成
において、前記移動体２の移動方向の長さが、前記圧電
素子３のそれと同程度あるいは、梁６の先端から若干突
き出すように、圧電素子３の方を長くしたものである。
これも前記圧電素子３が前記移動体２の外形に包含され
る。リード線８の接続部も前記第１の実施例の場合と同
様に設けられるが、その接続部は移動体２の梁６の先端
から突き出す位置にある。もっとも、この種の圧電アク
チュエータは数mmから数cm程度のかなり小さなものであ
るから、その接続部を第１の実施例と同様な位置に設け
ることは重要でこの場合にも同様なメリットが得られ
る。

【００２５】この圧電アクチュエータに外部から衝撃が
加わったとき、図６（ｃ）のように前記圧電素子３は前
記移動体２における梁６の方へたわむが、圧電素子３の
リード線８が接続されている自由端側が前記円管４の内
面に当たる前に、移動体２の梁６に当たることになる。
この場合、移動体２の梁６が弾性を持っているため、圧
電素子３が実際に受ける衝撃力は円管４に直接加わった
衝撃力に比べ、低減されることになる。これにより、圧
電素子３が折れにくい。一方、衝撃が加わったとき、た
わんだ圧電素子３が先に円管４に衝突する構成の場合に
は圧電素子３の受ける衝撃が大きいので、その圧電素子
３が折れ易くなる。これに対して、この第５の実施例の
構成によれば、衝撃力の低減が図られ、圧電素子３が折
れにくい。その他、前述した第１の実施例と同様の効果
が得られる。

【００２６】（第６の実施例）図７で示すように、この
実施例の基本的な構成は前述した第１の実施例のものと
略同様なものであるが、以下の点で異なる。すなわち、
図７（ａ）に示すように、移動体２の梁６の長さが、前
記圧電素子３のそれよりも十分に短く、圧電素子３の自
由端が梁６の間の空間内に引っ込む位置にある。また、
図７（ｂ）に示すように、前記圧電素子３の横幅（板
幅）、つまり、電極対向方向の幅が、前記移動体２の梁
６の横幅よりも短くなっている。このように前記移動体
２の長さと幅内に圧電素子３を設置すれば、後述する耐
熱対策を取り易くなる。

【００２７】前記移動体２の対向する一対の梁６の対向
側平面と、前記圧電素子３との間の空間には放熱のため
の熱伝導性グリース１１が充填される。このグリース１
１が周囲にこぼれないように、前記移動体２の先端面と
左右側端面には、その部分の開口を塞ぐ板ばね１２が接
着固定されている。また、リード線８はこの板ばね１２
に設けられた小さな孔１３を通じて導出されている。こ
の導出部の隙間は例えばポリパラキシリレン（商標名…
パリレン）シール１４により覆われてシールされてい
る。耐滅菌対策構造ともなる。

【００２８】しかして、この圧電アクチュエータを駆動
する場合、その圧電素子３に対してリード線８を通じて
前述したような電圧波形の駆動信号を印加すれば、その
圧電アクチュエータを駆動することができる。このと
き、一般に圧電素子３は発熱するが、この熱は圧電素子
３から前記熱伝導性グリース１１へ伝導され、これが移
動体２の部材全体、さらには円管４の部材全体に伝導さ
れ、圧電素子３から出た熱を放熱し、圧電素子３の過熱
を抑制する。圧電素子３が過熱されると、その分極が消
失してしまう虞れがあるが、この実施例ではこれを防止
できる。

【００２９】（第７の実施例）図８で示すように、上述
の第６の実施例の構成においての前記移動体２を円筒形
とし、その左右両側部分にそれぞれスリット２１を設け
ることにより、上下に位置して、移動体２の一対の梁６
を形成する。この各スリット２１の隙間はゴム系接着剤
２２により埋められ、シールされている。

【００３０】この場合も、上述したような伝熱経路で前
記圧電素子３からの放熱が行われるが、第６の実施例の
場合よりも、大きな表面積で移動体２と円管４との間で
の伝熱が行われる。したがって、前述した第６の実施例
の場合よりもその放熱効果が高くなり、圧電素子３の熱
的耐久性が向上する。

【００３１】（第８の実施例）図９で示すように、この
実施例は、前述した第１の実施例の構成において、前記
円管４に移動体２の梁６が摩擦係合する構成において、
圧電素子３の、前記アクチュエータの移動方向の長さ
が、その移動体２のそれよりも短く、且つ、前記圧電素
子３の横幅、すなわち、電極対向方向の幅が、前記移動
体２の梁６の横幅よりも短くなっており、前記移動体２
の一対の梁６の対向平面間に、衝撃緩衝部材２５として
シリコンゴムを圧入し、前記梁６と前記衝撃緩衝部材２
５との接触面同志を接着固定している。なお、衝撃緩衝
部材２５として前記熱伝導性グリース１１と同じものを
使っても良い。

【００３２】この構成によれば、圧電アクチュエータに
外部より衝撃が加わったとき、この衝撃力が前記衝撃緩
衝部材２５の弾性力あるいは粘性により吸収され、前記
圧電素子３に加わる衝撃力を低減する緩衝効果が得られ
る。

【００３３】（第９の実施例）この実施例を図１０及び
図１１に基づいて説明する。この実施例は本発明に係る
圧電アクチュエータを電子式内視鏡における光学系の例
えば焦点調節機構の駆動に利用した態様のものである。
図１０は電子式内視鏡の挿入部３１における先端部３２
の部分を断面して示しており、図１１はその光学系の焦
点調節機構の部分を駆動するアクチュエータユニット３
３を示している。

【００３４】前記先端部３２には、撮像部３４の他に照
明部、処置具等を通すチャンネル、撮像光学系における
観察レンズ３５の表面の洗浄を行う送気送水チューブな
どが内蔵されている。前記撮像部３４は、光学レンズ群
３８と、このレンズ群３８を収納する固定したレンズ枠
３９と、撮像装置（ＣＣＤ）４０からなる。レンズ群３
８におけるその一部のレンズ４１は可動枠４２に保持さ
れて前記レンズ枠３９に対して光軸方向に摺動可能に取
り付けられている。可動枠４２は光軸方向と平行に設置
された前記アクチュエータユニット３３によって光軸方
向に移動させられる。可動枠４２にはアクチュエータユ
ニット３３側に突き出す連結アーム４３が突設され、こ
の連結アーム４３の先端は、前記アクチュエータユニッ
ト３３における移動体２に前記光軸に平行に突設された
シャフト４５とわずかな遊びを持つようにして連結され
ている。

【００３５】ここでのアクチュエータユニット３３に
は、前述または後述するような実施例の圧電アクチュエ
ータを適用できる。図１１は前述した圧電アクチュエー
タを利用した構成である。なお、前記レンズ枠３９が静
止部材１を構成する。

【００３６】しかして、圧電素子３に前述したような駆
動波形電圧を印加すると、その圧電アクチュエータの移
動体２は光軸方向に移動する。その駆動力は、前記シャ
フト４５を介して、レンズ枠たる可動枠４２に伝わり、
その可動枠４２は光軸方向に移動する。これに伴ってレ
ンズ４１が移動することによりズーミングまたはフォー
カシングが行われる。

【００３７】このような構成によれば、圧電アクチュエ
ータにおける圧電素子３の衝撃耐久性が向上するので、
外的衝撃に強い内視鏡を得ることができる。また、前記
圧電素子３を短くしたことで、内視鏡の挿入部３１の硬
性長を短くすることができ、その内視鏡の挿入性が良く
なり、患者の負担を軽減できる。

【００３８】（第１０の実施例）この実施例を図１２な
いし図１４に基づいて説明する。この実施例は本発明に
係る圧電アクチュエータを内視鏡に装着するＴＶカメラ
アダプタにおける絞り機構の駆動に利用した態様のもの
である。図１２は硬性内視鏡の接眼部に装着した状態の
ＴＶカメラ用アダプタの断面図、図１３はその絞り機構
部分の説明図、図１４にそのアクチュエータユニットの
拡大図である。

【００３９】図１２において、ＴＶカメラ用アダプタ５
０はその鏡筒５１の一端部に内視鏡５２の接眼部５３に
対して着脱される第１の装着部５４を設け、鏡筒５１の
他端部にはＴＶカメラ５５を着脱自在に装着する第２の
装着部５６を設けている。アダプタ５０の鏡筒５１には
焦点調節機構５７と絞り機構５８とが設けられている。
焦点調節機構５７は調節環５９を回転することにより、
レンズ群６０の光軸Ｌ上の位置を変えることにより焦点
調節を行う。

【００４０】前記絞り機構５８は後述するように絞り機
構部分の複数の絞り羽根８１を回動してその絞り量を調
節する。この絞り機構５８について、具体的に説明す
る。図１３で示すように、光軸Ｌを中心として回転する
リング状の回転円板６６を設け、この回転円板６６の一
面側にはアクチュエータユニット６７が設けられてい
る。

【００４１】絞り機構５８の回転円板６６には可動ピン
６９が固定され、この可動ピン６９と、固定板７１のピ
ン７２とが、バネ７３により接続されている。そして、
前記固定板７１の面内において、前述した実施例で述べ
たような構成でのアクチュエータユニット６７が設けら
れている。その静止部材としての円管７４が固定板７１
に接着固定され、この円管７４内には、摩擦係合してい
る移動体７６と、これに取着固定された圧電素子７７が
収納されている。また、前述した実施例で述べたような
構造で給電部材が接続されている。

【００４２】また、この移動体７６の先には、シャフト
７８が突設されており、そのシャフト７８の先端には前
記可動ピン６９に向き合うつい立て７９が設けられてい
る。この圧電素子７７の伸縮軸方向は光軸Ｌを中心とす
る仮想円の接線方向に向けて設置されている。

【００４３】絞り羽根８１は３枚、等間隔で設けられ、
支持ピン８２によって、その中間部分が枢着されてい
る。絞り羽根８１の基端は前記回転円板６６に立設した
駆動ピン８３に連結されている。回転円板６６を回転す
れば、支持ピン８２を中心として絞り羽根８１が回転
し、絞り量を調節する。また、前記回転円板６６には、
案内ピン８５を嵌め込むガイド孔８６が設けられてい
る。

【００４４】そこで、圧電アクチュエータユニット６７
の圧電素子７７に前述した第１の実施例の場合と同様、
駆動波形電圧を印加したとき、その圧電アクチュエータ
の移動体７６が進退運動することにより、つい立て７９
が可動ピン６９を押すことにより、絞り羽根８１が回転
し、光路を広げる。一方、圧電アクチュエータの移動体
７６が逆向き、すなわち、図１４の右方向へ動くとき
は、圧電アクチュエータの移動体７６が右へ移動するの
で、つい立て７９が、右へ動き、可動ピン６６がバネ７
３の復元力によって、右方向へ動くことにより、絞り羽
根８１が逆回転し、光路を覆うことになる。以上の動作
により、ＴＶカメラアダプタの光量絞りが行える。

【００４５】この構成によれば、圧電アクチュエータに
ついての前述した第１の実施例の効果に加えて、外的衝
撃に強いＴＶカメラ用アダプタを実現することができ
る。また、前記圧電素子の長さが短いため、前記アクチ
ュエータを、半径方向へはみ出さないように絞り固定板
の上に固定できるので、ＴＶカメラ用アダプタの細径化
が図れる。

【００４６】（第１１の実施例）この実施例を図１５な
いし図１７に基づいて説明する。この実施例は本発明に
係る前述したような圧電アクチュエータを内視鏡におけ
るアイリス絞り機構の駆動に利用した態様のものであ
る。図１５は電子観察装置として例えば内視鏡の挿入部
先端部の断面図、図１６はその絞り機構部分の説明図、
図１７はその圧電アクチュエータユニット部分の拡大図
である。

【００４７】図１５中、９０は内視鏡の挿入部における
先端部本体であり、この先端部本体９０には観察窓レン
ズ部９１に連結した撮像ユニット９２が組み込まれてい
る。撮像ユニット９２にはユニットケース９３内に絞り
調節用アイリスユニット９４と、撮像レンズ９５及びＣ
ＣＤ等の固体撮像素子９６等を液密または気密的に組み
込んでいる。

【００４８】アイリスユニット９４はその結像レンズ群
の中に設けられている。図１６は前記アイリスユニット
９４を示す。前記アイリスユニット９４は、前述した第
１０の実施例と同様、その光軸Ｌを中心として回転する
リング状の回転円板６６と、絞り羽根８１と、支持ピン
８２、駆動ピン８３、支持ピン８２と、前記回転円板６
６を回動する圧電アクチュエータユニット６７とを有し
て構成されている。

【００４９】図１６で示すように、前記絞り羽根８１は
３枚あり、これらは等間隔で配置されており、各絞り羽
根８１は押さえ部材９７によって押さえられる。前記支
持ピン８２はその絞り押さえ部材９７に立設されてい
る。絞り羽根８１はその支持ピン８２によって中間部分
が枢着されている。絞り羽根８１の基端は回転円板６６
に立設した駆動ピン８３に連結されている。

【００５０】前記回転円板６６には押し当て部材９８が
固定されている。アイリスユニット９４の基台９９には
アクチュエータユニット６７が固定されている。このア
クチュエータユニット６７は、前記回転円板６６とアイ
リスユニット９４の基台９９との間のスペースに配置さ
れる。このことにより、コンパクトに組み込まれる。

【００５１】前記アクチュエータユニット６７の構造
は、図１７で示すように構成される。すなわち、前述し
た第１の実施例の構造と同様に、静止部材としての円管
１０１、移動体１０２、圧電素子１０３が設けられ、圧
電素子１０３には給電部材１０４が接続されている。静
止部材としての円管１０１は、基台９９に固定されてい
る。また、移動体１０２にはシャフト１０５が設けら
れ、その先端には可撓管１０６が固定されている。前記
可撓管１０６は前記押し当て部材９８に固定されてい
る。

【００５２】そこで、第１の実施例の場合と同様に給電
部材１０４を通じて圧電素子１０３に駆動電圧を印加す
ると、圧電アクチュエータの移動体１０２が移動し、前
記押し当て部材９８を押し引きする。その際に生じる前
記シャフト１０５と前記押し当て部材９８とのずれは、
前記可撓管１０６にて吸収される。押し当て部材９８が
回転すると、それに伴って回転円板６６も回転するた
め、支持ピン８２を中心として絞り羽根８１が回転し、
その絞り量を調節する。

【００５３】この構成によれば、第１の実施例のそれに
加え、特に内視鏡先端部に組み込み、先端部を太径化す
ることなく、また硬性部を長くすることがない圧電アク
チュエータを提供できる。また、小さなアイリスユニッ
トが構成できる圧電アクチュエータを提供できる。ま
た、連続的な光量調節ができる圧電アクチュエータを提
供できる。さらに、前記アクチュエータを絞りの固定板
の上に固定できるので、内視鏡の細径化が図れる。

【００５４】（第１２の実施例）この実施例について図
１８を参照して説明する。この実施例は前述したような
構成でなる急速変形式の圧電アクチュエータを利用して
内視鏡用処置具１１０の処置部を操作するものである。

【００５５】すなわち、処置具１１０は可撓管１１１の
先端に同径またはそれより僅かに小径の硬性管１１２を
同軸的に接続している。そして、この硬性管１１２に急
速変形式の圧電アクチュエータ１１３を組み込む。この
圧電アクチュエータ１１３は前述した例えば第１の実施
例と同様に構成され、これにより開閉する処置用カップ
１１４のアームをリンク機構１１５を介して操作する。

【００５６】圧電アクチュエータ１１３は、静止部材と
しての前記硬性管１１２内に嵌挿される移動体１１６、
この移動体１１６に取着される圧電素子１１７を有して
いる。そして、圧電アクチュエータ１１３の圧電素子１
１７には前述した第１の実施例と同様の構造で、給電部
材としてのリード線１１８が接続されている。リード線
１１８は前記可撓管１１１内を通じて外部の圧電アクチ
ュエータ制御装置１１９に接続されている。

【００５７】しかして、前述したような駆動電圧をリー
ド線１１８を通じて圧電素子１１７に印加することによ
り、その圧電素子１１７が伸縮すると、リンク機構１１
５を介してカップ１１４を開閉操作する。

【００５８】圧電アクチュエータ１１３は前述したよう
な構成としているため、前述したと同様な第１の実施例
のような圧電アクチュエータとしての効果のほか、外的
衝撃に強い処置具を得ることができる。特に、先端が湾
曲する医療用処置具に組み込み、先端部を太径化するこ
となく、また、挿入部の硬性部を長くすることなく、小
さな曲率で湾曲が行える。

【００５９】また、従来のようなワイヤによってリンク
機構の押し引きが不要なため、可撓管１１１を小さな曲
率で曲げてもスムーズに処置用カップ１１４の開閉がで
きる圧電アクチュエータ及び処置具を提供できる。

【００６０】（第１３の実施例）この実施例を図１９及
び図２０を参照して説明する。これは三次元超音波内視
鏡装置のプローブ１６０に設ける超音波送受信ユニット
１６１を本発明形式の圧電アクチュエータ１６２で移動
することによりそれの走査を行うようにしたものであ
る。超音波送受信素子１６３はモータ駆動回路１６４に
よって回転制御させられるモータ１６５の回転に支持さ
れ、その回転はエンコーダ１６６によって検出される。
超音波送受信素子１６３、モータ１６５及びエンコーダ
１６６からなるユニットは圧電アクチュエータ１６２の
移動体１６７によって保持され、移動される。

【００６１】移動体１６７は円筒状の静止部材１６８の
内面に圧接する複数の脚部１６９を有し、静止部材１６
８の内面に沿って摺動できるように組み込まれている。
移動体１６７は超音波送受信素子１６３の回転軸方向に
沿って移動できる。

【００６２】この移動体１６７には前述したと同様な積
層型圧電素子１７０がその積層方向を前記軸方向に合わ
せて取り付けられる。圧電素子１７０はその一端を移動
体１６７の基部に取着し、圧電素子１７０の自由端には
リード線１７１が前述したと同様な接続構造で取り付け
られている。リード線１７１は圧電アクチュエータ制御
回路１７２に接続されている。

【００６３】また、圧電素子１７０の側面には軸方向に
縞状に分極された磁性薄膜１７３が付設される。一方、
この磁性薄膜１７３に対応して円筒状の静止部材１６８
の内面にはＭＲセンサ１７４が設置されている。

【００６４】前記超音波送受信素子１６３には一対のば
ね電極１７５が突出して設けられており、このばね電極
１７５は、静止部材１６８の内面に形成した電極に接触
するする。この電極には超音波観測装置１７７が接続し
ている。また、磁性薄膜１７３を検知して圧電アクチュ
エータ１６２の移動体１６７の位置を検出するＭＲセン
サ１７４の信号はその超音波観測装置１７７に入力する
とともに、この信号は圧電アクチュエータ制御回路１７
２にも入力する。

【００６５】超音波観測装置１７７には、エンコーダ１
６６の信号が入力されるとともに、超音波送受信素子１
６３からのエコー信号が入力される。超音波観測装置１
７７の出力信号は、第１のＣＲＴ１８１に入力されてラ
ジアルスキャンにより得られた超音波画像の二次画像の
表示に用いられるとともに、三次元画像処理装置１８２
に入力される。また、磁性薄膜１７３を検知するＭＲセ
ンサ１７４の信号は、圧電アクチュエータ制御回路１７
２と送信回路１８３に入力される。

【００６６】さらに、タイミング回路１８４が発生する
基準クロック信号が距離計１８５と前記圧電アクチュエ
ータ制御回路１７２に入力される。圧電アクチュエータ
制御回路１７２はそのタイミングに合わせて圧電アクチ
ュエータ１６２の動作を制御する。圧電アクチュエータ
制御回路１７２は、タイミング回路１８４からの基準ク
ロック信号とＭＲセンサ１７４からの信号に応じて駆動
信号を出力する。例えば前述したような波形の駆動信号
で圧電アクチュエータ１６２を駆動し、移動体１６７を
適宜移動する。この動作は前述したものと同様なので詳
しい説明は省略する。この動作により、回転する超音波
送受信素子１６３をその軸方向に移動走査する。

【００６７】圧電アクチュエータ１６２の移動距離を測
定する距離計１８５の出力信号は三次元画像処理装置１
８２に入力される。三次元画像処理装置１８２は、この
信号及び超音波観測装置１７７からの信号に基づいて画
像処理を行い、その出力信号は第２のＣＲＴ１８６に入
力され、三次元画像の表示に用いられる。

【００６８】この構成によれば、圧電アクチュエータ１
６２についての第１の実施例のそれに加え、特に、三次
元超音波内視鏡の先端部に組み込み、先端部を太径化す
ることなく、硬性部を長くすることがない圧電アクチュ
エータを提供できる。さらに、外的衝撃に強い超音波プ
ローブを得ることができる。また、前記圧電素子を短く
したことで、プローブの硬性長を短くすることができ、
挿入性が良くなり、患者の負担を軽減できる。

【００６９】なお、図２１はこのプローブ１６０におけ
る圧電アクチュエータ１６２の変形例を示すものであ
る。圧電素子１７０の先端が移動体１６７の先端より突
き出す長さとしたものである。

【００７０】（第１４の実施例）この実施例は前記圧電
アクチュエータの変形例である。図２２で示すように、
この圧電アクチュエータ１２０は、圧電素子１２１と、
この圧電素子１２１の他端に設けた樹脂性の移動体１２
２と、該移動体１２２が摩擦係合する筒状部材からなる
静止部材１２３と、前記圧電素子１２１の上下各面に形
成した電極１２４と摺接して電気的に接続される上下一
対の給電部材１２５とを有して構成される。前記移動体
１２２は基部から同じ向きの延出する左右一対の脚
（梁）部１２６を有しており、この先端には静止部材１
２３の内面に弾性的に当たり摩擦係合する突部１２７が
設けられている。すなわち、移動体１２２は脚部１２６
によるばね力によりその突部１２７が静止部材１２３と
摺動可能に摩擦係合している。

【００７１】前記移動体１２３の脚１２６の面に対向し
ない前記圧電素子１２１の上下面にそれぞれ対向して前
記電極１２４に対応する給電部材１２５が設けられてい
る。前記給電部材１２５の一端部分は前記静止部材１２
３内に入り込んでおり、その給電部材１２５の端部もし
くは途中には前記圧電素子１２１側の電極１２４と接す
る少なくとも１つの接点１２８が設けられている。前記
給電部材１２５は前記静止部材１２３に固定されてい
る。なお、前記圧電素子１２１側の電極１２４も給電部
材１２５とと共に給電部材を構成するものである。

【００７２】前記給電部材１２５を通じて圧電素子１２
１に駆動電圧を印加する。前記給電部材１２５の接点１
２８を介して前記圧電素子１２１の電極１２４に電圧が
印加される。前記電圧の波形を図２に示すものを使用す
ると、第１の実施例と同じ原理で、圧電アクチュエータ
１２０の移動体１２２が左側または右側に移動すること
ができる。その際、前記圧電素子１２１の長さ分の移動
量を確保できる。

【００７３】また、前記給電系の部材の配置によれば、
前記圧電素子１２１の脚１２６と前記給電部材１２５と
の干渉がないため、その給電部材１２５等を破断するこ
とが無く、耐久性が向上する。また、この実施例のもの
では、前記給電部材１２５が前記静止部材１２３に対し
移動することがないため、前記給電部材１２５を収納す
る空間を省略でき、前記圧電アクチュエータ１２０を短
くできる。また、この実施例では前記圧電素子１２１の
長さを前記移動体１２２の脚１２６の長さより長くし、
電極１２４の範囲を長くしてあるため、十分な移動量が
得られる。また、一般に圧電素子１２１の長さが長くな
ると発生力が大きくなるため、大きな力が出せる。もっ
とも、圧電素子１２１の先端と移動体１２３の脚１２６
の先端を略一致または圧電素子１２１の方を短くしても
よい。

【００７４】（第１５の実施例）この実施例を図２３で
示す。この実施例は内視鏡先端部に圧電アクチュエータ
を組み込み、観察光学系または撮像光学系におけるレン
ズ群のうち移動レンズを移動し、ズーミングやフォーカ
シングを行えるようにしたものである。電子内視鏡先端
部の具体的な構成としては前述した第９の実施例での図
１０で示したものと同様なものである。

【００７５】その内視鏡先端部に組み込むアクチュエー
タユニットは図２３で示すように構成されているが、前
述した第９の実施例でのものと同一符号を付す部材はそ
の第９の実施例のものと共通する。

【００７６】この第１５の実施例では、前記給電部材と
してのリード線８が、前記移動体２の基部に設けられた
溝部１４１を通り、前記シャフト４５の方へ延ばされて
いる。リード線８はその溝部１４１において接着固定さ
れている。前記移動体２より延ばされている前記給電部
材としてのリード線８は、前記移動体２の移動量を吸収
するだけのたるみをもってその移動体２の梁６の方向へ
折り返され、通路１４２を通じて後方へ導かれる。

【００７７】しかして、前記実施例と同様に、リード線
８を通じて圧電アクチュエータの圧電素子３に駆動波形
電圧をかけることにより、その移動体２は光軸方向に移
動する。そのときに発生する駆動力は、前記シャフト４
５を介して前記可動枠４２に伝わり、その可動枠４２は
光軸方向に移動する。この可動枠の移動により、光学系
のズーミングまたはフォーカシングが行われる。

【００７８】この圧電アクチュエータは、第１の実施例
と同様に構成されたアクチュエータであるので、アクチ
ュエータの組み込みにより内視鏡先端部が長くなること
はない。また、前記圧電アクチュエータが作動する際の
前記給電部材としてのリード線８の屈曲を収納するスペ
ースを前記シャフト４５のまわりに設けたため、その収
納部が前記圧電アクチュエータ部分の後方へ突出するこ
となく、前記内視鏡先端部が長くなることはない。

【００７９】この構成によれば、前記給電部材としての
リード線８を移動体２に接着固定して有るため、その給
電部材を前記圧電素子のみに取り付けるよりは耐久性が
向上している。また、内視鏡先端部に組み込むことによ
り、先端部を太径化することなく、硬性部を長くするこ
となく、ズーミングまたはフォーカシングを行えるアク
チュエータを提供できる。また、硬性部が短いため内視
鏡を小さな曲率で曲げることができる。また本アクチュ
エータを使用したため精度の良いズーミングまたはフォ
ーカシングができる。

【００８０】前述した態様によれば、以下の項で示す各
種の構成が得られる。 １．静止部材と、この静止部材に対して摺動可能に摩擦
係合している移動体と、駆動電圧を印加することにより
軸方向に変形するとともにその軸方向の一端部を前記移
動体に連結した圧電素子とを有する圧電アクチュエータ
において、前記圧電素子の軸方向に垂直な方向において
の少なくとも１つの向きにおいて前記移動体の外形に包
含される位置にその圧電素子を配置したことを特徴とし
た圧電アクチュエータ。

【００８１】２．前記移動体に連結する前記圧電素子の
一端が前記移動体の内部にあることを特徴とする第１項
に記載の圧電アクチュエータ。 ３．前記圧電素子の他端の位置が前記移動体のそれと同
程度（同じ位置を含む）であることを特徴とする第１、
２項に記載の圧電アクチュエータ。 ４．前記圧電素子の幅が、前記移動体のそれよりも短い
ことを特徴とする第１、２、３項に記載の圧電アクチュ
エータ。 ５．前記圧電素子が、前記移動体のある向きに変形し易
い構成で、前記移動体に取り付けられていることを特徴
とする第１ないし４項に記載の圧電アクチュエータ。 ６．前記圧電アクチュエータが外部から衝撃を受けたと
き、先に前記圧電素子が移動体に当たるような長さで、
その圧電素子を構成したことを特徴とした第１ないし５
項に記載の圧電アクチュエータ。

【００８２】７．前記圧電素子を積層圧電素子にしたこ
とを特徴とした第１ないし６項に記載の圧電アクチュエ
ータ。

【００８３】８．前記積層素子の横断面形状が四角形ま
たは長方形であることを特徴とした第１ないし７項に記
載の圧電アクチュエータ。

【００８４】９．前記積層素子の横断面形状が円形であ
ることを特徴とした第１ないし７項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【００８５】１０．前記移動体を金属製で梁状に形成し
たことを特徴とした第１ないし９項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【００８６】１１．前記移動体を形成する材料の金属が
軽金属であることを特徴とした請求項第１ないし１０項
に記載の圧電アクチュエータ。

【００８７】１２．前記移動体を非金属製の梁状に形成
したことを特徴とした第１ないし９項に記載の圧電アク
チュエータ。金属製の移動体は切削によって加工するた
め、加工性が悪い。また、電気絶縁処理を行わなくては
ならないが、この第１２項の構成によれば、製作製が良
い圧電アクチュエータを提供できる。

【００８８】１３．前記静止部材を金属製の円管とした
ことを特徴とする第１ないし１２項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【００８９】１４．前記静止部材を形成する材料の金属
を軽金属にて構成したことを特徴とした第１ないし１３
項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９０】１５．前記静止部材を非金属の円管とした
ことを特徴とする第１ないし１３項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【００９１】１６．前記静止部材を形成する材料の非金
属を樹脂としたことを特徴とする第１５項に記載の圧電
アクチュエータ。

【００９２】１７．前記移動体と前記圧電素子の間に放
熱手段を設けたことを特徴とした第１項ないし第１６項
に記載の圧電アクチュエータ。

【００９３】１８．前記放熱手段として熱伝導媒質を前
記移動体と前記圧電素子の間に充填したことを特徴とす
る第１７項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９４】１９．前記熱伝導媒質として熱伝導グリー
スを用いたことを特徴とする第１８項に記載の圧電アク
チュエータ。

【００９５】２０．移動体に対向する梁を設け、この梁
の間に衝撃緩衝部材を設けたことを特徴とする第１ない
し１９項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９６】２１．前記衝撃緩衝部材として、弾性部材
を設けたことを特徴とする第２０項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【００９７】２２．前記弾性部材として、ゴムを設けた
ことを特徴とする第２１項に記載の圧電アクチュエー
タ。

【００９８】２３．前記移動体の梁を前記圧電素子の側
方に複数本設けたことを特徴とした第１０、２０、２
１、２２項に記載の圧電アクチュエータ。

【００９９】２４．前記梁の本数を３本にしたことを特
徴とする第２３項に記載の圧電アクチュエータ。

【０１００】２５．前記移動体を筒状に形成し、その一
部にスリットを設けて梁状に形成し、この移動体を静止
部材の孔内に嵌挿したことを特徴とする第１項ないし第
２４項に記載の圧電アクチュエータ。

【０１０１】２６．内視鏡の挿入部先端に組み込まれ、
内部機構を操作することを特徴とする第１ないし２５項
に記載の圧電アクチュエータ。

【０１０２】２７．内視鏡のズーム機構あるいはフォー
カス機構の駆動源に適用されることを特徴とする第２６
項に記載の圧電アクチュエータ。

【０１０３】２８．内視鏡の光量絞り機構の駆動源に適
用されることを特徴とする第２６項に記載の圧電アクチ
ュエータ。

【０１０４】２９．内視鏡のＴＶカメラ用アダプタの表
面に設けたことを特徴とする第１ないし２５項に記載の
圧電アクチュエータ。

【０１０５】３０．医療用の処置具の操作駆動源に適用
されることを特徴とした第１ないし２５項に記載の圧電
アクチュエータ。

【０１０６】３１．三次元超音波プローブの駆動源に適
用されることを特徴とした第１ないし２５項に記載の圧
電アクチュエータ。

【０１０７】３２．静止部材と、この静止部材に対して
摺動可能に摩擦係合している移動体と、駆動電圧を印加
することにより軸方向に変形するとともにその軸方向の
一端部を前記移動体に連結した圧電素子とを有する圧電
アクチュエータにおいて、前記移動体の移動方向と、そ
の移動方向と垂直方向の少なくとも一方向において前記
圧電素子が前記移動体の外形に包含される位置に前記圧
電素子を配置したことを特徴とした圧電アクチュエー
タ。

【０１０８】３３．前記圧電素子に給電する給電部材を
有し、前記移動体の部材に対向しないでそれを避けた部
位において前記圧電素子と前記給電部材との接続部を設
けたことを特徴とする第１ないし第３２項に記載の圧電
アクチュエータ。

【０１０９】３４．前記移動体は静止部材に摺動自在に
摩擦係合する複数の脚を有し、前記接続部はこの脚に対
向しないでそれを避けた部位に設けられたことを特徴と
したことを特徴とする第３３項に記載の圧電アクチュエ
ータ。

【０１１０】３５．前記圧電素子に積層型圧電セラミッ
ク素子を使用することを特徴とした第１ないし３４項に
記載の圧電アクチュエータ。

【０１１１】３６．前記圧電素子と前記移動体の接続に
接着剤を用いたことを特徴とする第１ないし第３５項に
記載の圧電アクチュエータ。

【０１１２】３７．前記移動体の材料に金属を用い、こ
の金属は好ましくは、アルミを用いたことを特徴とする
第１項に記載の圧電アクチュエータ。

【０１１３】３８．前記給電部材と、前記圧電素子との
接続に半田を用いたことを特徴とする第１項に記載の圧
電アクチュエータ。

【０１１４】３９．前記給電部材と前記圧電素子との接
続に導電性接着剤を用いたことを特徴とする第１項に記
載の圧電アクチュエータ。

【０１１５】４０．前記圧電素子をポリパラキシリレン
コートでコーティングしたことを特徴とする第１項に記
載の圧電アクチュエータ。シールと防湿効果がある。

【０１１６】４１．前記移動体とこれが摺接する静止部
材の摺接面の断面形状が同じであることを特徴とした第
１項に記載の圧電アクチュエータ。静止部材に対する移
動体の姿勢が悪いと、引っ掛かりや、かみつきが有り、
十分な性能が出せなく、耐久性が落ちる。姿勢を一定に
保つ必要がある。これによると、耐久性の高いアクチュ
エータを提供できる。

【０１１７】４２．前記移動体の脚の長さが前記圧電素
子の長さよりも長いことを特徴とする第１項に記載の圧
電アクチュエータ。

【０１１８】４３．前記移動体の脚の長さが前記圧電素
子の長さよりも長いが、耐衝撃機能的には移動体の外形
に包含されている長さにあることを特徴とする第１項に
記載の圧電アクチュエータ。

【０１１９】４４．前記給電部材を前記圧電素子の電極
に電気的に接触しながら、前記圧電素子に対し移動可能
に設けたことを特徴とする第１項に記載の圧電アクチュ
エータ。これは長い圧電素子のものに適する。

【０１２０】４５．前記給電部材を前記移動体に外接す
る円内で固定したことを特徴とする第４４項に記載の圧
電アクチュエータ。

【０１２１】４６．前記給電部材を、前記移動体と前記
圧電素子が接続されている方向とは逆向きへ導出するこ
とを特徴とした第１ないし４３項に記載の圧電アクチュ
エータ。

【０１２２】４７．前記給電部材を前記移動体に固定し
たことを特徴とした第４６項に記載の圧電アクチュエー
タ。

【０１２３】４８．前記移動体に一端側を連結した前記
圧電素子の他端部に圧電素子とは別部材の慣性体を取着
したことを特徴とする第１ないし４７項に記載の圧電ア
クチュエータ。

【０１２４】

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、そ
の圧電アクチュエータの小型化とともに、衝撃に対する
耐久性を向上することができ、低侵襲でかつ高性能な医
療機器、光学機器への適用が実現できる圧電アクチュエ
ータを提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図２】圧電アクチュエータに印加する駆動電圧の波形
の例を示す説明図。

【図３】本発明の第２の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図４】本発明の第３の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図５】本発明の第４の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図６】本発明の第５の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図７】本発明の第６の実施例に係る圧電アクチュエー
タの説明図。

【図８】本発明の第７の実施例に係る圧電アクチュエー
タの縦断面図。

【図９】本発明の第８の実施例に係る圧電アクチュエー
タの横断面図。

【図１０】本発明の第９の実施例に係り圧電アクチュエ
ータを内視鏡の光学系の駆動に利用する例の説明図。

【図１１】本発明の第９の実施例のものにおける圧電ア
クチュエータ付近の説明図。

【図１２】本発明の第１０の実施例に係り、圧電アクチ
ュエータを内視鏡に装着するＴＶカメラアダプタにおけ
る絞り機構の駆動に利用した例の説明図。

【図１３】本発明の第１０の実施例に係る絞り機構の部
分の説明図。

【図１４】本発明の第１０の実施例に係る絞り機構を駆
動する圧電アクチュエータの部分の説明図。

【図１５】本発明の第１１の実施例に係り、圧電アクチ
ュエータを内視鏡におけるアイリス絞り機構の駆動に利
用した例の説明図。

【図１６】本発明の第１１の実施例に係るアイリス絞り
機構の部分の説明図。

【図１７】本発明の第１１の実施例に係るアイリス絞り
機構を駆動する圧電アクチュエータの部分の説明図。

【図１８】本発明の第１２の実施例に係り、圧電アクチ
ュエータを利用して内視鏡用処置具の例の説明図。

【図１９】本発明の第１３の実施例に係り、圧電アクチ
ュエータを三次元超音波内視鏡装置の超音波送受信ユニ
ットに適用した例の説明図。

【図２０】本発明の第１３の実施例の圧電アクチュエー
タの部分の説明図。

【図２１】本発明の第１３の実施例の変形例の説明図。

【図２２】本発明の第１４の実施例の圧電アクチュエー
タの説明図。

【図２３】本発明の第９の実施例の変形例を示す説明
図。

【符号の説明】

１…静止部材、２…移動体、３…圧電素子、４…円管、
６…梁、８…リード線。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H02N 2/00 A61B 1/00 300 H01L 41/083

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】静止部材と、基端部から先端側に延設され
   た複数の延設部を有し前記静止部材の内面に対して移動
   可能に摩擦係合する複数の摩擦係合部が設けられた移動
   体と、前記移動体の基端部に一端部が連結されるととも
   に前記移動体の複数の延設部間を先端側に向かって他端
   部が延設され駆動電圧を印加することにより前記移動体
   の移動方向と平行な軸方向に伸縮する圧電素子とを有
   し、前記移動体の移動方向に垂直な方向においての少な
   くとも１つの向きで前記移動体の外形に包含される位置
   に前記圧電素子を配置したことを特徴とする圧電アクチ
   ュエータ。