JP2012519392A - 高圧処理器及び高圧シーリング方法 - Google Patents
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Abstract
【選択図】図1
Description
11 供給ポート
12 ウェーハ収納空間部
13 開閉空間部
20 ウェーハ支持部
21 分散供給部
22 供給ホール
23 分散溝
24 ウェーハ保持部
25 保持突起
30 ドア駆動部
31 シリンダー
32 移動軸
33 連結部
34 リンク部
40 ドア
41 固定ドア
42 移動ドア
43 Oリング
44 間隔調節ポート
45 ベローズ
46 ドアカバー
Claims (11)
- 高圧の二酸化炭素または高圧の二酸化炭素と添加剤が供給され、加圧雰囲気でウェーハを洗浄またはリンス処理するか、またはマイクロ電子機械システムを乾燥させる方法において、
前記供給された高圧の二酸化炭素または高圧の二酸化炭素と添加剤の圧力により前記ウェーハがローディング及びアンローディングされる空間部が設けられたドアカバー側にドアを密着させて圧力の漏洩を防止し、圧力の差が発生する前にも、ドアを前進及び後退させて密着度を調節することができる、高圧シーリング方法。 - (a)内部と外部の境界面に位置し、ウェーハがローディング及びアンローディングされることができる空間を提供するドアカバーを用いてウェーハが内側にローディングされることができるようにドアをオープンし、且つ、前記ドアのオープン時に、ドアカバーから所定の距離だけ離隔されることができるように後退させる段階と;
(b)前記ドアを移動させて前記ドアカバーの空間を密閉することができる位置に移動させ、且つ、前記ドアカバーとドアが密着することができるように前進させる段階と;
(c)前記ドアが密着した状態で、洗浄、リンスまたは乾燥処理のために内部が高圧雰囲気になれば、内部と外部の圧力差により前記ドアをドアカバーに密着させて、シーリングを強化する段階と;
(d)前記洗浄、リンスまたは乾燥処理が完了した後、内部の圧力を外部と同一にした状態で前記ドアを後退させた後、オープンし、処理されたウェーハをアンローディングさせる段階と;を含む、高圧シーリング方法。 - 前記ドアの前進時には、互いに分割された両面のドアの中央に設けられたベローズに空気を注入し、後退時には、前記ベローズに充填された空気を排出させることを特徴とする請求項1または2に記載の高圧シーリング方法。
- 高圧の二酸化炭素が内側に供給され、該高圧の二酸化炭素でウェーハを洗浄またはリンス処理するか、またはマイクロ電子機械システムを乾燥する高圧処理器において、
高圧処理器の内部と外部との間に圧力漏洩遮断のためのドアを設置し、且つ、該ドアは、内部の圧力により高圧処理器の内部と外部との間に位置し、ウェーハがローディング及びアンローディングされることができる空間を提供するドアカバーに密着し、圧力の漏洩を防止する、高圧処理器。 - 高圧の二酸化炭素が内側に供給され、該高圧の二酸化炭素でウェーハを洗浄することができる収納空間部と、該収納空間部の前段で該収納空間部の高さよりさらに高い空間である開閉空間部とを備える本体と;
前記本体の収納空間部に固定設置されて前記ウェーハを実装し、前記流入された高圧の二酸化炭素を前記ウェーハの表面に沿って流れるようにして洗浄するウェーハ支持部と;
前記本体の開閉空間部の一側を密閉し、且つ、前記ウェーハのローディング及びアンローディングが可能な開口部が設けられたドアカバーと;
前記開閉空間部内で上下移動が可能であり、前記ドアカバー側に前後移動が可能なドアと;
前記ドアを上下方向に駆動させるドア駆動部と;を含む、高圧処理器。 - 前記ドアは、
前記ドアカバーの内側面と近接した状態で前記ドア駆動部の上下運動を伝達される固定ドアと;
複数のベローズにより前記固定ドアの内面に連結されていて、前記ベローズの膨脹と収縮によって前記固定ドアとの間隔が調節される移動ドアと;
一側が前記移動ドアに固定され、前記固定ドアの中央部に設けられたホールによって外部に露出し、外部の空気を前記ベローズに供給するか、または前記ベローズの空気を外部に排出する間隔調節ポートと;
前記移動ドアの外縁部に設けられ、前記ドアカバーと気密を維持するOリングと;を含むことを特徴とする請求項4または5に記載の高圧処理器。 - 前記ベローズは、
前記ドアが閉じた状態である時には、空気が流入されて膨脹され、ドアが移動する時には、空気が外部に流出されて収縮されることを特徴とする請求項6に記載の高圧処理器。 - 前記ドアカバーは、
前記ドア駆動部の移動軸がその幅に上下方向に挿入され、前記ドアに駆動力を伝達することができるようにすることを特徴とする請求項6に記載の高圧処理器。 - 前記ウェーハ支持部は、
前記収納空間部内に固定設置され、流入された高圧の二酸化炭素を垂直方向に分散移動させる多数の供給ホールと、該供給ホールと連通し、収納された前記ウェーハの面に沿って横方向に噴射する分散溝とを備える分散供給部と、
前記分散供給部の両側端の各々から多数個突出し、各々内側に保持突起が設けられたウェーハ保持部とで構成されることを特徴とする請求項6に記載の高圧処理器。 - 前記本体には、
流入された前記二酸化炭素と添加剤の容易な混合のための超音波発生装置をさらに含むことを特徴とする請求項9に記載の高圧処理器。 - 前記本体には、
二酸化炭素を供給する複数の供給ポートが設けられていて、初期二酸化炭素の供給でドライアイスによるウェーハ損傷を防止するために、前記供給ポートのうちウェーハに二酸化炭素を直接噴射しない位置の供給ポートだけを通じて二酸化炭素を供給することを特徴とする請求項4または5に記載の高圧処理器。
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