KR100784789B1 - 기판 처리 장치 및 방법 - Google Patents
기판 처리 장치 및 방법 Download PDFInfo
- Publication number
- KR100784789B1 KR100784789B1 KR1020060066482A KR20060066482A KR100784789B1 KR 100784789 B1 KR100784789 B1 KR 100784789B1 KR 1020060066482 A KR1020060066482 A KR 1020060066482A KR 20060066482 A KR20060066482 A KR 20060066482A KR 100784789 B1 KR100784789 B1 KR 100784789B1
- Authority
- KR
- South Korea
- Prior art keywords
- substrate
- gas
- nozzle
- center
- dry gas
- Prior art date
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67011—Apparatus for manufacture or treatment
- H01L21/67017—Apparatus for fluid treatment
- H01L21/67028—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like
- H01L21/67034—Apparatus for fluid treatment for cleaning followed by drying, rinsing, stripping, blasting or the like for drying
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Abstract
Description
Claims (6)
- 삭제
- 삭제
- 삭제
- 기판에 대응되는 형상을 가지는 가스 분사 판의 분사 구들을 통해 기판상에 건조 가스를 공급하되,상기 분사 구들은 상기 가스 분사 판의 중심부로부터 주변부로 갈수록 개구 면적이 작아지도록 형성되고, 상기 건조 가스는 상기 가스 분사 판의 중심부로 공급된 후 중심부로부터 주변부로 이동하면서 상기 분사 구들을 통해 건조 가스의 공급 유량을 달리하여 순차적으로 기판상에 공급되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
- 삭제
- 제 4 항에 있어서,상기 건조 가스는 회전하는 기판상에 공급되는 것을 특징으로 하는 기판 처리 방법.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060066482A KR100784789B1 (ko) | 2006-07-14 | 2006-07-14 | 기판 처리 장치 및 방법 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
KR1020060066482A KR100784789B1 (ko) | 2006-07-14 | 2006-07-14 | 기판 처리 장치 및 방법 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
KR100784789B1 true KR100784789B1 (ko) | 2007-12-14 |
Family
ID=39140714
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
KR1020060066482A KR100784789B1 (ko) | 2006-07-14 | 2006-07-14 | 기판 처리 장치 및 방법 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
KR (1) | KR100784789B1 (ko) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102343704A (zh) * | 2010-07-23 | 2012-02-08 | Apro系统株式会社 | 去除面板之间空气的挤压装置和方法 |
CN115537778A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-12-30 | 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 | 一种用于晶圆处理设备的进气装置及晶圆处理设备 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR20040011829A (ko) * | 2002-07-30 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정 장치 |
JP3729344B2 (ja) | 2002-02-07 | 2005-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
KR20060030070A (ko) * | 2003-07-02 | 2006-04-07 | 에스.이.에스 카부시키가이샤 | 기판 처리법 및 기판 처리 장치 |
-
2006
- 2006-07-14 KR KR1020060066482A patent/KR100784789B1/ko active IP Right Grant
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3729344B2 (ja) | 2002-02-07 | 2005-12-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理方法及び基板処理装置 |
KR20040011829A (ko) * | 2002-07-30 | 2004-02-11 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정 장치 |
KR100457053B1 (ko) | 2002-07-30 | 2004-11-10 | 삼성전자주식회사 | 웨이퍼 세정 장치 |
KR20060030070A (ko) * | 2003-07-02 | 2006-04-07 | 에스.이.에스 카부시키가이샤 | 기판 처리법 및 기판 처리 장치 |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN102343704A (zh) * | 2010-07-23 | 2012-02-08 | Apro系统株式会社 | 去除面板之间空气的挤压装置和方法 |
KR101207916B1 (ko) * | 2010-07-23 | 2012-12-05 | 아프로시스템 주식회사 | 기포 제거용 가압장치 및 방법 |
CN115537778A (zh) * | 2022-09-26 | 2022-12-30 | 盛吉盛(宁波)半导体科技有限公司 | 一种用于晶圆处理设备的进气装置及晶圆处理设备 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US7802579B2 (en) | Apparatus and method for treating substrates | |
JP4461163B2 (ja) | 基板処理装置及び基板処理方法 | |
KR100841498B1 (ko) | 매엽식 기판세정장치 | |
KR101325899B1 (ko) | 액처리 장치 및 액처리 방법 | |
US8267103B2 (en) | Method and apparatus for cleaning substrates | |
US20070000524A1 (en) | Substrate processing apparatus and substrate processing method | |
KR20090126181A (ko) | 액처리 장치, 액처리 방법 및 기억 매체 | |
KR100695228B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100784789B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100924930B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100715984B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100797080B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 방법 | |
KR100794586B1 (ko) | 기판 처리 장치 및 이를 이용한 기판의 건조 방법 | |
KR20090132965A (ko) | 매엽식 세정장치 | |
KR100776281B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100749547B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100811824B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR20080030203A (ko) | 기판 세정 장치 및 이를 이용한 기판의 세정 방법 | |
KR100757849B1 (ko) | 기판 처리 방법 | |
KR100732520B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100831989B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR100771096B1 (ko) | 기판 처리 장치 | |
KR20140058839A (ko) | 기판 건조장치 | |
KR101398442B1 (ko) | 매엽식 세정장치 | |
KR100749548B1 (ko) | 기판 처리 장치 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A201 | Request for examination | ||
E902 | Notification of reason for refusal | ||
E701 | Decision to grant or registration of patent right | ||
GRNT | Written decision to grant | ||
G170 | Publication of correction | ||
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20121204 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20131204 Year of fee payment: 7 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20141208 Year of fee payment: 8 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20151204 Year of fee payment: 9 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20161201 Year of fee payment: 10 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20181205 Year of fee payment: 12 |
|
FPAY | Annual fee payment |
Payment date: 20191128 Year of fee payment: 13 |