JP2012519239A - ガスインジェクタを備えたcvdシステム用のガスインジェクタ - Google Patents
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Abstract
Description
熱化ガスインジェクタの好ましい実施形態
次に、(チャンバの物理的なレイアウトおよび関連する設備を考慮して)管路構造体を、状況において合理的に必要な長さよりも長さを増大させたガスの流路を有するように構成し、大きさを決めることによって増加したガスの滞留時間を実現し、かつ(管路内のガス流の周知の原理を考慮して)意図されたガスの流速に対して合理的に必要な断面積より少なくとも実質的に小さくない断面積を有する、本発明の熱化ガスインジェクタの好ましい実施形態について説明する。それに応じて、この実施形態のインジェクタは、比較的低い流量でCVDチャンバに入るガスに対して有用となり得る。好ましくは、増大した経路長は、流路を蛇行した形、例えば螺旋形に曲げるかつ/または折り畳むことによって適応させることができる。
次に、(管路内のガス流の周知の原理を考慮して)管路構造体を、意図されたガスの流速に対して合理的に必要な断面積よりも断面積を増大させたガスの流路を有するように構成し、大きさを決めることによって増加したガスの滞留時間を実現し、かつ(特にチャンバの物理的なレイアウトおよび関連する設備を考慮して)状況において合理的に必要である長さと少なくとも同程度の長さを有する、本発明の熱化ガスインジェクタの好ましい実施形態について説明する。それに応じて、この実施形態のインジェクタは、比較的高い流量でCVDチャンバに入るガスに対して有用となり得る。
次に、増加したガスの滞留時間によってある程度の熱化が得られるだけではなく、1つまたは複数のガスの流れを、制御された横方向の空間的分布を有する別個の長手方向のガス流として注入する、本発明の熱化ガスインジェクタの好ましい実施形態について説明する。特に、少なくとも1つの長手方向のガスの流れの空間的分布は、サセプタの直径のかなりの部分である幅にわたって横方向にほとんど均一になるように制御される。空間的分布は、異なるガスが早すぎる混合を起こさない、または温度を変えない、または化学的に相互作用しないように制御することもできる。この実施形態のインジェクタは、本明細書において「バイザ」型インジェクタ、または「バイザ」インジェクタまたは「バイザ」と呼ばれる。
Claims (30)
- ガスをCVD(化学気相成長)チャンバに注入するためのガスインジェクタであって、
ガス伝導管路であって、ガスを流路に沿って、前記管路を通してガス入口ポートから1つまたは複数のガス出口ポートまで運ぶためのガス伝導管路と、
前記ガス伝導管路の1つまたは複数のセグメントであって、各セグメントは、前記管路を通るガスの流動時間を、そのように構成されていないかつ大きさを決められていないガス管路のセグメントに比べて増加させるように構成された、または大きさを決められた1つまたは複数のセグメントと、
前記ガス伝導管路の前記1つまたは複数のセグメントを、前記ガスがそれを通して運ばれるときに加熱するように配置された加熱手段と、
を備えることを特徴とするガスインジェクタ。 - 前記ガス伝導管路は、石英を含むことを特徴とする請求項1に記載のガスインジェクタ。
- 前記加熱手段は、加熱されたCVDチャンバをさらに備え、前記ガス伝導管路は、前記CVDチャンバから熱を受け取るように配置されることを特徴とする請求項1に記載のガスインジェクタ。
- 前記加熱手段は、1つまたは複数の熱発生要素をさらに備え、前記ガス伝導管路は、前記熱発生要素から熱を受け取るように配置されることを特徴とする請求項1に記載のガスインジェクタ。
- 少なくとも1つの選択されたセグメントは、より長いガスの流路、および実質的に同様のガスの流速における増加したガスの流動時間を有するように構成されることを特徴とする請求項1に記載のガスインジェクタ。
- 前記ガス伝導管路は、内部を流れ、前記CVDチャンバ内でのIII族窒化物半導体の成長のためのIII族金属前駆体を含むガスを包含することを特徴とする請求項5に記載のガスインジェクタ。
- 前記ガス伝導管路の前記少なくとも1つの選択されたセグメントは、螺旋状の形状を備えることを特徴とする請求項5に記載のガスインジェクタ。
- 前記螺旋形のセグメントの一部またはすべてを囲む外側ハウジングをさらに備え、前記加熱要素は、前記外側ハウジングの外部に隣接して配置された1つまたは複数のクランプシェルヒータをさらに備えることを特徴とする請求項7に記載のインジェクタ。
- 前記加熱手段は、前記外側ハウジングの中に、ただし前記螺旋形のセグメントの外部に配置された黒体要素をさらに備え、前記外部のヒータから前記ガス伝導管路への熱伝達を高めることを特徴とする請求項7に記載のガスインジェクタ。
- 前記外側ハウジングは、ガス入口ポートおよびガス出口ポートをさらに備え、ガスが内側ハウジングを通って、前記入口ポートから前記出口ポートまで流れることができるようにさらに構成され、大きさを決められることを特徴とする請求項7に記載のガスインジェクタ。
- 少なくとも1つの選択されたセグメントは、より大きい断面の大きさ、およびより小さいガスの流速における増加した流動時間を伴うガスの流路を有するように構成されることを特徴とする請求項1に記載のガスインジェクタ。
- 前記ガス伝導管路は、内部を流れ、前記CVDチャンバ内でのIII族窒化物半導体の成長のための窒素前駆体を含むガスを包含することを特徴とする請求項11に記載のガスインジェクタ。
- 前記より大きいセグメントは、実質的に一定のより大きい断面の大きさを有することを特徴とする請求項11に記載のガスインジェクタ。
- 前記加熱手段は加熱されたCVDチャンバをさらに備え、前記より大きいセグメントは、前記CVDチャンバの内部に前記チャンバの長手方向の内壁に沿って配置されるように構成され、大きさを決められ、複数の出口ポートは、ガス流が側壁から前記チャンバの中心に向かって流れるように配置されることを特徴とする請求項11に記載のガスインジェクタ。
- 前記より大きいセグメントの断面の大きさは、先端部から、前記セグメントがCVDチャンバに通じる基部に向かって大きくなることを特徴とする請求項11に記載のガスインジェクタ。
- ガス伝導管路内を流れるガスは、前記CVDチャンバ内でのIII族窒化物半導体の成長のためのIII族金属前駆体を含むことを特徴とする請求項15に記載のガスインジェクタ。
- 前記より大きいセグメントは、平坦な構造体の中に楔形の流路を備え、前記楔形の流路は、ガス入口ポートを備えた比較的狭い先端、および前記CVDチャンバに通じる第1の出口を備えた比較的広い基部を有し、前記平坦な構造体は、垂直方向により短く横方向により長いことを特徴とする請求項15に記載のガスインジェクタ。
- 前記楔形の流路と交差せず、第2のガス入口ポートを有し、実質的に一定の断面の大きさを有し、前記楔形の流路の前記出口の横に、CVDチャンバに通じる1つまたは複数の第2の出口を有する、少なくとも1つの第2のガス伝導流路をさらに備えることを特徴とする請求項17に記載のガスインジェクタ。
- 前記加熱手段は加熱されたCVDチャンバをさらに備え、前記平坦な構造体は、前記CVDチャンバの内部に上流の横壁に沿って配置されるように構成され、大きさを決められ、ガス流を下流方向に方向付けるように配置されることを特徴とする請求項17に記載のガスインジェクタ。
- 上流の横壁および下流の横壁、ならびに2つのより長い長手方向の壁を有するCVDチャンバと、
ガスを前記CVDチャンバに注入するための、請求項1、7、14および17の1つまたは複数に記載の1つまたは複数のガスインジェクタと、
を備えることを特徴とするCVD(化学気相成長)システム。 - 成長面を有し、前記CVDチャンバ内に配置されたサセプタと、
前記チャンバの中に、前記上流の横壁に隣接して配置された請求項17に記載の第1のガスインジェクタであって、
前記サセプタに隣接する第1の出口ポートは、第1のガスを前記サセプタの成長面の一部を横断して広がる長手方向の流れとして注入し、かつ
2つの第2の出口ポートは、第3のガスを前記第1のガス流の各縁部の横の2つの長手方向の流れとして注入する、ように構成および配置される第1のガスインジェクタと、
をさらに備えることを特徴とする請求項20に記載のCVDシステム。 - 請求項7に記載の第3のガスインジェクタをさらに備え、前記第3のガスインジェクタは、第1のガスが前記第3のインジェクタの出口ポートから、前記第1のインジェクタの入口ポートまで流れるように構成されることを特徴とする請求項20に記載のCVDシステム。
- 前記チャンバ内に配置された請求項14に記載の2つの第2のガスインジェクタをさらに備え、第2のガスはそれぞれ、長手方向のチャンバ壁の内部に沿って構成され、前記複数の出口ポートが、ガス流を前記側壁から前記チャンバの前記中心に向かって方向付けるように配置されることを特徴とする請求項20に記載のCVDシステム。
- 1つまたは複数の黒体プレートをさらに備え、前記CVDチャンバの外部の加熱要素から前記2つの第2のガスインジェクタへの熱伝達を高めることを特徴とする請求項23に記載のCVDシステム。
- 前記第1のガス、前記第2のガスおよび前記第3のガスが、CVDプロセスのための前駆体ガスおよびパージガスを含むことを特徴とする請求項21に記載のCVDシステム。
- ガスをCVD(化学気相成長)チャンバに注入するための方法であって、
ガスをセグメント化された流路に沿って、ガス入口ポートから1つまたは複数のガス出口ポートまで運ぶステップであって、各セグメントは、ガスの流動時間を、そのように構成されていない、かつ大きさを決められていないセグメントに比べて増加させるように構成される、または大きさを決められるステップと、
前記1つまたは複数のセグメントを、前記ガスがそれを通して運ばれるときに加熱するステップと、
を含むことを特徴とする方法。 - 少なくとも1つの選択されたセグメントは、より大きい断面の大きさ、およびより小さいガスの流速における増加したガスの流動時間を伴うガスの流路を提供し、その内部を流れるガスは、前記チャンバ内でのIII族窒化物半導体の成長のための窒素前駆体を含むことを特徴とする請求項26に記載の方法。
- 少なくとも1つの他のセグメントは、先端部から、前記セグメントが前記チャンバに通じる基部に向かって大きくなる断面の大きさを有し、その中を流れるガスは、前記チャンバ内でのIII族窒化物半導体の成長のためのIII族金属前駆体を含むことを特徴とする請求項27に記載の方法。
- 前記チャンバは、成長面を有するサセプタを内部に含み、III族金属前駆体および窒素前駆体のガスは加熱され、III族窒化物半導体がその上で成長するための前記サセプタの成長面に向かって方向付けられることを特徴とする請求項28に記載の方法。
- 前記ガスは、およそ930℃より高い温度で反応し、前記サセプタの成長面上でのIII族窒化物半導体の成長を容易にすると同時に、望ましくない前駆体複合物の形成を最小限に抑えることを特徴とする請求項29に記載の方法。
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