JP2012518898A5 - - Google Patents

Claims (16)

1. 内部空間を取り囲む複数の壁パネル（５１０）を備えている真空チャンバー（４００）であり、
   前記壁パネルは、複数の接続部材（５０４，５２４，５２８）を使用して組み立てられてチャンバーを形成し、前記接続部材は前記壁パネルを所定の配置で設置し、
   前記真空チャンバーは、前記壁パネルの端に設けられた一つ以上のシール部材（５０９と５２２）をさらに備えており、
   前記壁パネルは、前記内部空間に真空を形成する結果として真空密接シールが形成されるように配置され、
   前記一つ以上のシール部材は、六つの壁パネルの複数の端にあるすきまを封止するように適合された十二の延長部を備えているシール材料の単一の可撓部品で構成される、真空チャンバー。
2. 前記接続部材は、前記壁パネルを取り外し可能に接続するように、また分解を可能にするように適合されている、請求項１の真空チャンバー。
3. 前記接続部材は、前記壁パネルの小さい所定の範囲の移動を提供しながら前記壁パネルを設置するように適合されている、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
4. 前記壁パネルの隣接するものは、前記接続部材（５０４，５２４，５２８）を使用して、互いに取り外し可能に付けられている、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
5. フレーム（５００）をさらに備えており、前記一つ以上のシール部材（５０９，５２２）は、前記壁パネルと前記フレームの間に前記真空密接シールを形成するために、前記壁パネルと前記フレームの間に設けられる、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
6. 前記接続部材はピンまたはボルトで構成される、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
7. 前記接続部材（５２４）はラッチを備えている、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
8. 前記シール部材の一つ以上は、隣接する壁パネル（５１０）の間に配置されたＯリングまたはＣリング（５２２）で構成される、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
9. 前記シール材料の単一の可撓部品（５２２）は、三次元立方体形態に形成されたＯリングまたはＣリングで構成される、請求項１の真空チャンバー。
10. 前記壁パネルの一つ以上は、前記一つ以上のシール部材（５２２）を部分的に収容するための溝（５７０）を有している、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
11. 前記チャンバー（４００）の前記壁パネルはアルミニウムで構成される、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
12. 前記チャンバー（４００）の前記壁パネルの少なくとも一つの面はミューメタルで実質的に覆われている、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
13. 前記チャンバー（４００）の前記壁パネルは、ミューメタルの一つ以上の層（６０３，６０５）を有する複合構造体を備えている、先行請求項のいずれか一つの真空チャンバー。
14. 真空チャンバー（４００）の中への組み立てのためのコンポーネントのキットセットであり、複数の壁パネル（５１０）と、内部空間を取り囲む所定の配置で壁パネルを設置するために前記壁パネルに取り外し可能に付いているように適合された複数の接続部材（５０４，５２４，５２８）と、前記壁パネルの端に真空密接シールを形成するように適合された一つ以上のシール部材（５０９，５２２）を備えており、前記一つ以上のシール部材は、六つの壁パネルの複数の端にあるすきまを封止するように適合された十二の延長部を備えているシール材料の単一の可撓部品で構成される、キットセット。
15. 前記接続部材は、前記キットセットが組み立てられるときに、前記壁パネルの小さい所定の範囲の移動を提供しながら前記壁パネルを設置するように適合されている、請求項１４のキットセット。
16. 前記接続部材は、前記キットセットが組み立てられるときに、前記壁パネルの端に真空密接シールを提供する位置に向けて前記壁パネルを案内するように適合されている、請求項１４または１５のキットセット。