JP2005016255A - 扉ロック装置、及び扉システム - Google Patents
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Abstract
【課題】扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供する。
【解決手段】扉ロック装置50は、所定方向に沿って延びる縁部60,62に対して扉33の一縁56を当接させてロックするために、扉33に取り付けられる。この装置50は、所定間隙を隔てて設けられた第1及び第2の挟持面96,100を有する挟持部72と、扉32の主面と交差する軸を中心として、挟持部72を回転させるための操作部70と、を備える。そして、挟持部72は、操作部70により回転方向の位置が変位されることで、第1及び第2の挟持面96,100の間で、扉33の一縁56と縁部60,62とを挟持してロック可能に設けられている。
【選択図】 図14
【解決手段】扉ロック装置50は、所定方向に沿って延びる縁部60,62に対して扉33の一縁56を当接させてロックするために、扉33に取り付けられる。この装置50は、所定間隙を隔てて設けられた第1及び第2の挟持面96,100を有する挟持部72と、扉32の主面と交差する軸を中心として、挟持部72を回転させるための操作部70と、を備える。そして、挟持部72は、操作部70により回転方向の位置が変位されることで、第1及び第2の挟持面96,100の間で、扉33の一縁56と縁部60,62とを挟持してロック可能に設けられている。
【選択図】 図14
Description
【0001】
【発明の属する技術分野】
本発明は、扉ロック装置、及び扉システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
高度にデジタル制御された機器は、他からの電磁波の影響を受けやすく、誤動作の原因となっている。そこで、他からの電磁波の影響を受けないように進入を抑えたり、自機で発生した電磁波を外部に漏れないようにしたりして、電子機器に電磁波対策を施す必要がある。
【0003】
基板処理システムとしての露光システムも電磁波の影響を受けるため、誤動作等を抑制して信頼性の向上を図るべく、電磁波対策が施される。例えば、特許文献1に開示の露光システムでは、レクチルのパターンを基板に露光する露光部、及びレクチルや基板を露光部に搬送する搬送部を、エンクロージャーで遮蔽している。エンクロージャーは、メンテナンスのための扉を有する。扉としては、アクセス性を向上させるために、観音開きの扉が利用されることが多い。
【0004】
エンクロージャーの扉を開閉するための扉ロック装置としては、例えば特許文献2に開示のものがある。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−135422号公報
【特許文献2】
特開平7−324528号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記したような観音開きの扉を利用したエンクロージャーでは、一対の扉間の隙間を完全に塞いで電磁波対策の万全を図るために、両扉の重なり合う縁部の間で導電性のガスケットを挟み込むと有効である。
【0007】
しかしながら、上記した従来の扉ロック装置では、このような場合に両扉の縁部を密接させてロックすることが容易ではなかった。
【0008】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る扉ロック装置は、所定方向に沿って延びる縁部に対して扉の一縁を当接させてロックするために、扉に取り付けられる。この装置は、所定間隙を隔てて設けられた第1及び第2の挟持面を有する挟持部と、扉の主面と交差する軸を中心として、挟持部を回転させるための操作部と、を備える。そして、挟持部は、操作部により回転方向の位置が変位されることで、第1及び第2の挟持面の間で、扉の一縁と縁部とを挟持してロック可能に設けられていることを特徴とする。
【0010】
この扉ロック装置では、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とを第1及び第2の挟持面の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【0011】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに縁部側に位置する第1の挟持面はテーパー面を含み、扉の一縁と縁部とを挟持する第1及び第2の挟持面の間隙は、操作部によりロックするに伴い漸次狭まるように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第1及び第2の挟持面の間隙に重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易く、且つ間隙が漸次狭まることでロックが確実となる。
【0012】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに扉の一縁側に位置する第2の挟持面は、操作部による挟持部の回転範囲内において、その一縁と常に接するように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第1及び第2の挟持面の間隙に、重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易くなる。
【0013】
本発明に係る扉システムは、所定方向に沿って延びる縁部に対して一縁が当接される扉と、扉に取り付けられる上記扉ロック装置と、を備えることを特徴とする。
【0014】
この扉システムでは、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とが第1及び第2の挟持面の間で挟持され、容易且つ確実にロックされる。
【0015】
本発明に係る扉システムは、扉の一縁と縁部との間に設けられており、弾性及び導電性を有するガスケットを備えることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉の一縁と縁部との隙間が塞がれて電磁波対策の向上が図られる。
【0016】
本発明に係る扉システムは、縁部を含む他の扉を有し、扉と他の扉とは観音開きにより開閉されることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉及び他の扉の開放時には広い開口が得られるため、内部へのアクセスが容易になる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0018】
図1は、本実施形態に係る基板処理システムとしての電子ビーム近接露光システム(以下、単に「露光システム」ともいう)の構成を示す斜視図である。また図2は、メンテナンス時における露光システムの各装置ブロックの配置を示す斜視図である。
【0019】
図1及び図2に示すように、露光システム1は複数の装置ブロックを統合して構成されている。具体的には、露光装置ブロック2、メイン制御ブロック3、マスクストッカーブロック4、ミニエンバイロメントブロック5、サブ制御ブロック6、及び操作盤ブロック7を統合して、露光システム1が構成されている。
【0020】
露光装置ブロック2は、図2に示すように、電子ビーム近接露光装置(以下、単に「露光装置」ともいう)10と、露光装置10を包囲するエンクロージャー12と、を備えている。露光装置10は、真空チャンバ内で電子ビーム露光を行い、半導体ウェハ上のレジストに対して所望のマスクパターンを転写する。
【0021】
エンクロージャー12は、真空チャンバの4つの角に対応して立設された四本の縦枠14,16,18,20と、縦枠14,16,18,20の上端に横架された四本の横枠22,24,26,28と、これら四本の横枠22,24,26,28上に設けられた天板30とを有している。これら縦枠14,16,18,20、横枠22,24,26,28、及び天板30は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。
【0022】
図2において、手前の二本の縦枠14,16及び横枠22により規定される前部開口は、左右一対の下部扉32,33及び左右一対の上部扉34,35により開閉される。なお、手前の二本の縦枠14,16の下端には、補助横枠36が横架されている。また、手前の二本の縦枠14,16の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠37が横架されている。
【0023】
また、後ろの二本の縦枠18,20及び横枠24により規定される後部開口は、左右一対の下部扉32,33及び左右一対の上部扉34,35により開閉される。なお、後ろの二本の縦枠14,16の下端には、補助横枠が横架されている。また、後ろの二本の縦枠14,16の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠が横架されている。これら上部扉34,35、下部扉32,33、及び補助横枠も、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。なお、エンクロージャー12の左右には扉が設けられることなく、開放されている。
【0024】
メイン制御ブロック3は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の右隣に隣接して配置されている。このメイン制御ブロック3は、半導体ウェハWとマスクMとの位置決めや、露光補正を行うための画像処理等の、真空チャンバ内で半導体ウェハWに露光処理を施すに際して必要な制御を行うための種々の制御装置を含んでいる。そして、これら制御装置は外形が直方体状をなす筐体40内に収容されている。この筐体40は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体40下部には、図示しない車輪が設けられており、図2に示すように、メイン制御ブロック3は、設置面上を移動可能に設けられている。
【0025】
マスクストッカーブロック4は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の右隣に隣接して、かつメイン制御ブロック2に隣接して配置されている。マスクストッカーブロック4は、マスクストッカーを含んでいる。マスクストッカーは、所望パターンが形成された複数のマスクMからなるマスクセットを貯蔵する。このマスクストッカーから、真空チャンバの後壁部に設けられた図示しないマスクローダに、マスクMが順次供給される。そして、マスクローダは、マスクストッカーから受け取ったマスクMを真空チャンバ内に供給する。このマスクストッカーは、外形が直方体状をなす筐体42内に収容されている。この筐体42は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体42下部には、図示しない車輪が設けられており、マスクストッカーブロック4は、図2に示すように、設置面上を移動可能に設けられている。
【0026】
ミニエンバイロメントブロック5は、図1に示すように、通常運転時において、サブ制御ブロック6及び操作盤ブロック7に挟まれた状態で、露光装置ブロック2の左隣に隣接して配置されている。ミニエンバイロメントブロック5は、真空チャンバの左側壁部に設けられた図示しないウェハローダに対し、半導体ウェハWの供給及び引き取りを行うI/O部を、外形が直方体状をなす筐体44で囲った局所的高清浄度空間である。筐体44は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。このミニエンバイロメントブロック5は、露光装置ブロック2の左隣に隣接した状態で固定されている。
【0027】
サブ制御ブロック6は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック5に隣接して配置されている。サブ制御ブロック6は、露光装置10の電子ビーム照射部を制御する制御装置を含んでいる。この制御装置は、外形が直方体状をなす筐体46内に収容されている。筐体46は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体46下部には、図示しない車輪が設けられており、サブ制御ブロック6は、図2に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【0028】
操作盤ブロック7は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック5に隣接して配置されている。操作盤ブロック7は、この露光システム1を操作するための操作盤を含んでいる。この操作盤を介して、作業者は露光システム1による露光処理の条件を設定する。この操作盤は、外形が直方体状をなす筐体48内に収容されている。筐体48は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体48下部には、図示しない車輪が設けられており、操作盤ブロック7は、図2に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【0029】
このように、上記した露光装置ブロック2、メイン制御ブロック3、マスクストッカーブロック4、ミニエンバイロメントブロック5、サブ制御ブロック6、及び操作盤ブロック7を統合することで、露光システム1が構成されている。図1に示すように、通常運転時には、電磁波対策を施すため、露光システム1全体として外形が略直方体状をなすように、これら各装置ブロックが互いに接触するように隣接して配置される。そして、メンテナンス時においてミニエンバイロメントブロック5を除く各装置ブロックは、図2に示すように、設置面上において所定方向に移動される。
【0030】
この露光システム1では、メンテナンス時においてエンクロージャー12の下部扉32,33が開放される。以下の説明では、エンクロージャー12の前部側と後部側とで扉ロック装置50、及びこれを含む扉システムの構成は同一であるため、前部側についてのみ説明する。
【0031】
図3は、左右の下部扉32,33を背面側からみた斜視図である。図2及び図3に示すように、下部扉32,33は正面視において矩形状をなす。右側の下部扉33は、右縁部が蝶番52を介して縦枠16に開閉可能に取り付けられる。一方、左側の下部扉32は、左縁部が蝶番52を介して縦枠14に開閉可能に取り付けられる。これにより、左右の下部扉32,33は観音開きにより開閉される。
【0032】
これら左右の下部扉32,33の縁部は、左側の下部扉32の右縁部を除き、内側に90度に屈曲され第1折り返し部54が形成されており、更に第1折り返し部54が内側に90度だけ屈曲されて第2折り返し部56が形成されている。左側の下部扉32の右縁部は、内側に90度に屈曲され第3折り返し部58が形成されており、第3折り返し部58が外側に90度だけ屈曲されて第4折り返し部60が形成され、更に第4折り返し部60が内側に180度だけ屈曲されて第5折り返し部62が形成されている。
【0033】
左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62が、本発明における「所定方向に沿って延びる縁部」を構成し、右側の下部扉33の第2折り返し部54が、本発明における「扉の一縁」を構成する。
【0034】
右側の下部扉33に、本実施形態に係る扉ロック装置50が取り付けられている。扉ロック装置50は、操作部70と挟持部72とを備えている。操作部70は、図4及び図5に示すように、下部扉33に固定される固定部74と、ハンドル76と、回転板78とを有している。
【0035】
固定部74は、下部扉33の開口に嵌め込まれて固定される。この固定部74は、ハンドル76を収納可能な凹部80を有する。ハンドル76は、図5及び図6に示すように、下部扉33の主面に直交する軸Xを中心として、略90度の角度範囲で回転する。回転板78は、図7に示すように、外形が短冊形をなし、後述する挟持部72と連結される連結部82を有する。この連結部82には、挟持部72に対してネジ止めするための孔84が設けられている。この回転板78は、固定部74の背面側において、ハンドル76と一体回転可能に連結されている。図7及び図8に示すように、このハンドル76の回転により、回転板78が、ハンドル76と共に略90度の角度範囲で回転される。図7に示すように、ロック時には回転板78の長手方向は水平方向に沿い、図8に示すように、アンロック時には回転板78の長手方向は鉛直方向に沿う。
【0036】
挟持部72は、図9に示すように、本体部86と挟持板部88とを有する。本体部86は、図10に示すように、円板の略1/4に相当するような外形を有する。本体部86の表面側には、回転板78を連結するための連結部90が設けられている。また、本体部86の裏面側には、挟持板部88を連結するための連結部92が設けられている。これら連結部90,92は、孔94を通して連通されている。また、本体部86の裏面側には、下部扉33の第2折り返し部56に常時接する挟持面(第2の挟持面)96が、略円弧状に設けられている。なお挟持面96のうち、後述する挟持板部88の挟持面100と対峙するのは、その一部のみである。
【0037】
挟持板部88は、図11に示すように、矩形の外形を有する。挟持板部88は、本体部86に対してネジ止めするための孔98を有する。挟持板部88の本体部86と対面する挟持面(第1の挟持面)100は、テーパー面102を含んでいる。テーパー面102は、中央付近から側縁に向かって傾斜している。
【0038】
図9に示すように、これら回転板78、挟持部72の本体部86及び挟持板部88とが、軸X方向に重ね合わされ、ネジ104により連結される。このとき、図12に示すように、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100とは、軸X方向に所定の間隙Sを持って離間している。この間隙Sは、後述するように、下部扉33の第2折り返し部56、下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62、及びこれらの間に介在されるガスケット(図14の106)の厚みを考慮して規定される。
【0039】
図13は、扉ロック装置50がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。この状態では、図14に示すように、右側の下部扉33の第2折り返し部56と、左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62とが、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100との間で挟持される。なお、右側の下部扉33の第2折り返し部56と左側の下部扉32の第4折り返し部62との間にはガスケット106が設けられている。よって、第2折り返し部56と第4折り返し部60とは、このガスケット106を介して当接されている。このガスケット106は、例えば、EPDM(ethylene−propylene−dien−methylene)スポンジ等の材料からなる弾性体の表面を、アルミ箔等の材料からなる金属箔により被覆して構成されており、弾性及び導電性を有する。
【0040】
図15は、扉ロック装置50がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。図15に示すように、ハンドル76を軸Xを中心に反時計回りに回すと、回転板78を介して挟持部72が軸Xを中心に回転され、挟持板部88の挟持面100と左側の下部扉32の第5折り返し部62との当接が解除されるため、左右下部扉32,33のロックが解除される。ただし、この場合であっても、本体部86の挟持面96は、右側の下部扉33の第2折り返し部56に接した状態にある。すなわち、挟持部72の本体部86の挟持面96は、ハンドル76による挟持部72の回転範囲内(略90度の回転範囲)において、常に下部扉33の第2折り返し部56に接している。
【0041】
左右の下部扉32,33をロックするときには、ハンドル76を軸Xを中心として時計回りに回して挟持部72を回転させて、図13に示すように、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100との間で、右側の下部扉33の第2折り返し部56と、左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62とを挟持する。このとき、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、また挟持板部88の挟持面100はテーパー面102を含むため、左右下部扉32,33の重なり部分を挟持面96,100間にガイドし易く、また間隙Sが漸次狭まることでロックを確実に行うことができる。
【0042】
このように本実施形態では、操作部70により挟持部72を回転操作することで、左右下部扉32,33の重なり部分を挟持部72の挟持面96,100の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【0043】
このとき、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、また挟持板部88の挟持面100はテーパー面102を含むため、下部扉32,33をロックするときに重なり部分を挟持面96,100間にガイドし易く、且つ間隙Sが漸次狭まることでロックが確実となる。
【0044】
また、左右の下部扉32,33の重なり部分に弾性及び導電性を有するガスケット106を設けているため、左右の下部扉32,33の隙間が完全に塞がれて、電磁波対策の向上が図られる。このように、ガスケット106を挟んでロックするときは、ガスケット106を押し潰すための潰し代と、押し潰す力が必要である。本実施形態に係る扉ロック装置50では、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、この挟持面96に向かって挟持板部88の挟持面100により第4及び第5折り返し部60,62を引き付けて挟持するため、挟持面96,100間で十分な押し潰し力を得ることができ、ガスケット106を押し潰して左右の下部扉32,33の隙間を完全に塞ぐことができる。
【0045】
また、左右の下部扉32,33は観音開きにより開閉されるため、メンテナンス時には広い開口が得られ、エンクロージャー12内へのアクセスが容易になってメンテナンス性の向上が図られる。
【0046】
上記したように、左右の下部扉32,33は重なり部分が挟持部72の挟持面96,100の間で挟持され、確実にロックされて電磁波対策の向上が図られる。しかしながら、電磁波対策のより一層の向上を図るためには、下部扉32,33の上縁部と補助横枠37との密接を図る必要があり、また下部扉32,33の下縁部と補助横枠36との密接を図る必要がある。そこで、エンクロージャー12は、図3及び図16に示すように、上縁ロック装置110と下縁ロック装置112とを更に備えている。なお、上縁ロック装置110と下縁ロック装置112とは実質的に構成が同一であるため、上縁ロック装置110についてのみ詳細を説明する。
【0047】
上縁ロック装置110は、上下方向に沿って延びるロッド114と、ロッド110の上下動をガイドするガイド部116とを有している。ガイド部116は、図17に示すように、直方体状の外形を有する部材であって、上下方向に貫通する貫通孔118を有する。また、ガイド部116には前面と後面とを貫通する開口部120が設けられている。貫通孔118の軸と開口部120の軸とは交差しており、これら貫通孔118と開口部120とは連通している。ガイド部116の上面には、一対のネジ穴122が設けられている。
【0048】
ガイド部116は、下部扉33の上縁部の第1折り返し部54に、ネジ穴122を通してネジ止めされている。そして、ロッド114の上端がガイド部116の貫通孔118に挿通され、下端が扉ロック装置50の回転板78に連結されている。従って、ハンドル76の回転により回転板78が回転されることで、ロッド114が上下動されるようになっている。なお、ロッド114の上端は、扉ロック装置50によるロック時には開口部120よりも上にあり、アンロック時には開口部120よりも下にある。
【0049】
下縁ロック装置112も上縁ロック装置110と同様の構成を有し、ガイド部116が下部扉33の下縁部の第1折り返し部54に、ネジ穴122を通してネジ止めされている。そして、ロッド114の下端がガイド部116の貫通孔118に挿通され、上端が扉ロック装置50の回転板78に連結されている。従って、ハンドル76の回転により回転板78が回転されることで、ロッド114が上下動されるようになっている。なお、ロッド114の下端は、扉ロック装置50によるロック時には開口部120よりも下にあり、アンロック時には開口部120よりも上にある。
【0050】
補助横枠37には、図18に示すように、上縁ロック装置110のガイド部116に対応する位置に、ロック板130がネジ止めされている。ロック板130は、図19に示すように、板状の部材であって、補助横枠37にネジ止めするための孔132を有している。ロック板130には、上縁ロック装置110のロッド114が挿通される孔が設けられており、この孔には樹脂スリーブ136が嵌め込まれている。ロッド114は、この樹脂スリーブ136の孔134内を進退する。下部扉33が閉じられるとき、図20(a)に示すように、ロック板130は上縁ロック装置110のガイド部116の開口部120に進入し、ロック板130の孔134とガイド部116の貫通孔118とが連通される。そして、図20(b)に示すように、ハンドル76を回すことでロッド114が上昇して、ロッド114がロック板130の孔134に挿通される。これにより、下部扉33の上縁が補助横枠37に引き寄せられ、密接される。ここで、図20に示すように、ロッド114の上端は円錐台状に縮径されていると好ましい。このようにすれば、ロック板130の孔134への挿通が容易になる。なお、下部扉33の上縁部の第2折り返し部56の内側には、前述したガスケット106と同様なガスケットによりライニングが施されており、下部扉33の上縁と補助横枠37との隙間が完全に閉塞されて電磁遮蔽の一層の向上が図られている。下縁ロック装置112も、上縁ロック装置110と同様に作用し、下部扉33の下縁が補助横枠36に引き寄せられ、密接される。
【0051】
なお、左側の下部扉32にも、右側の下部扉33と同様の上縁ロック装置110及び下縁ロック装置112が設けられており、上下縁がそれぞれ補助横枠37,36に引き寄せられ、密接される。左側の下部扉32のロック装置は、上下縁をロックするためのものであり、挟持部72が設けられていないことの他は、右側の下部扉33に設けられた扉ロック装置50と同様の構成を有する。
【0052】
【発明の効果】
本発明によれば、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である(通常運転状態)。
【図2】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である(メンテナンス状態)。
【図3】左右の下部扉を背面側からみた斜視図である。
【図4】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である(ロック状態)。
【図5】扉ロック装置の操作部を側面から見た図である(ロック状態であって、ハンドルの取り出し時)。
【図6】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である(アンロック状態)。
【図7】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である(ロック状態)。
【図8】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である(アンロック状態)。
【図9】扉ロック装置の挟持部の構成を示す斜視図である。
【図10】挟持部の本体部の構成を示す図である。
【図11】挟持部の挟持板部の構成を示す図である。
【図12】扉ロック装置の挟持部の構成を示す側面図である。
【図13】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図14】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す断面図である。
【図15】扉ロック装置がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図16】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す正面図である(説明の便宜上、下部扉を省略して図示している。)。
【図17】上縁(下縁)ロック装置のガイド部の構成を示す図である。
【図18】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す側面図である。
【図19】補助横枠に取り付けられるロック板の構成を示す図である。
【図20】上縁ロック装置による下部扉のロックの様子を説明するための側断面図である。
【符号の説明】
1…電子ビーム近接露光システム、2…露光装置ブロック、3…メイン制御ブロック、4…マスクストッカーブロック、5…ミニエンバイロメントブロック、6…サブ制御ブロック、7…操作盤ブロック、32,33…下部扉、50…扉ロック装置、56…第2折り返し部、60…第4折り返し部、62…第5折り返し部、70…操作部、72…挟持部、96,100…挟持面、102…テーパー面、106…ガスケット、S…間隙、X…軸。
【発明の属する技術分野】
本発明は、扉ロック装置、及び扉システムに関する。
【0002】
【従来の技術】
高度にデジタル制御された機器は、他からの電磁波の影響を受けやすく、誤動作の原因となっている。そこで、他からの電磁波の影響を受けないように進入を抑えたり、自機で発生した電磁波を外部に漏れないようにしたりして、電子機器に電磁波対策を施す必要がある。
【0003】
基板処理システムとしての露光システムも電磁波の影響を受けるため、誤動作等を抑制して信頼性の向上を図るべく、電磁波対策が施される。例えば、特許文献1に開示の露光システムでは、レクチルのパターンを基板に露光する露光部、及びレクチルや基板を露光部に搬送する搬送部を、エンクロージャーで遮蔽している。エンクロージャーは、メンテナンスのための扉を有する。扉としては、アクセス性を向上させるために、観音開きの扉が利用されることが多い。
【0004】
エンクロージャーの扉を開閉するための扉ロック装置としては、例えば特許文献2に開示のものがある。
【0005】
【特許文献1】
特開平11−135422号公報
【特許文献2】
特開平7−324528号公報
【0006】
【発明が解決しようとする課題】
ここで、上記したような観音開きの扉を利用したエンクロージャーでは、一対の扉間の隙間を完全に塞いで電磁波対策の万全を図るために、両扉の重なり合う縁部の間で導電性のガスケットを挟み込むと有効である。
【0007】
しかしながら、上記した従来の扉ロック装置では、このような場合に両扉の縁部を密接させてロックすることが容易ではなかった。
【0008】
本発明は、上記した事情に鑑みて為されたものであり、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムを提供することを目的とする。
【0009】
【課題を解決するための手段】
本発明に係る扉ロック装置は、所定方向に沿って延びる縁部に対して扉の一縁を当接させてロックするために、扉に取り付けられる。この装置は、所定間隙を隔てて設けられた第1及び第2の挟持面を有する挟持部と、扉の主面と交差する軸を中心として、挟持部を回転させるための操作部と、を備える。そして、挟持部は、操作部により回転方向の位置が変位されることで、第1及び第2の挟持面の間で、扉の一縁と縁部とを挟持してロック可能に設けられていることを特徴とする。
【0010】
この扉ロック装置では、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とを第1及び第2の挟持面の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【0011】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに縁部側に位置する第1の挟持面はテーパー面を含み、扉の一縁と縁部とを挟持する第1及び第2の挟持面の間隙は、操作部によりロックするに伴い漸次狭まるように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第1及び第2の挟持面の間隙に重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易く、且つ間隙が漸次狭まることでロックが確実となる。
【0012】
本発明に係る扉ロック装置では、扉をロックするときに扉の一縁側に位置する第2の挟持面は、操作部による挟持部の回転範囲内において、その一縁と常に接するように設けられていることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉をロックするときに、第1及び第2の挟持面の間隙に、重なり合った扉の一縁と縁部とをガイドし易くなる。
【0013】
本発明に係る扉システムは、所定方向に沿って延びる縁部に対して一縁が当接される扉と、扉に取り付けられる上記扉ロック装置と、を備えることを特徴とする。
【0014】
この扉システムでは、操作部により挟持部を回転操作することで、扉の一縁とそれが当接される縁部とが第1及び第2の挟持面の間で挟持され、容易且つ確実にロックされる。
【0015】
本発明に係る扉システムは、扉の一縁と縁部との間に設けられており、弾性及び導電性を有するガスケットを備えることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉の一縁と縁部との隙間が塞がれて電磁波対策の向上が図られる。
【0016】
本発明に係る扉システムは、縁部を含む他の扉を有し、扉と他の扉とは観音開きにより開閉されることを特徴としてもよい。このようにすれば、扉及び他の扉の開放時には広い開口が得られるため、内部へのアクセスが容易になる。
【0017】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の実施形態について説明する。なお、図面の説明において同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省略する。
【0018】
図1は、本実施形態に係る基板処理システムとしての電子ビーム近接露光システム(以下、単に「露光システム」ともいう)の構成を示す斜視図である。また図2は、メンテナンス時における露光システムの各装置ブロックの配置を示す斜視図である。
【0019】
図1及び図2に示すように、露光システム1は複数の装置ブロックを統合して構成されている。具体的には、露光装置ブロック2、メイン制御ブロック3、マスクストッカーブロック4、ミニエンバイロメントブロック5、サブ制御ブロック6、及び操作盤ブロック7を統合して、露光システム1が構成されている。
【0020】
露光装置ブロック2は、図2に示すように、電子ビーム近接露光装置(以下、単に「露光装置」ともいう)10と、露光装置10を包囲するエンクロージャー12と、を備えている。露光装置10は、真空チャンバ内で電子ビーム露光を行い、半導体ウェハ上のレジストに対して所望のマスクパターンを転写する。
【0021】
エンクロージャー12は、真空チャンバの4つの角に対応して立設された四本の縦枠14,16,18,20と、縦枠14,16,18,20の上端に横架された四本の横枠22,24,26,28と、これら四本の横枠22,24,26,28上に設けられた天板30とを有している。これら縦枠14,16,18,20、横枠22,24,26,28、及び天板30は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。
【0022】
図2において、手前の二本の縦枠14,16及び横枠22により規定される前部開口は、左右一対の下部扉32,33及び左右一対の上部扉34,35により開閉される。なお、手前の二本の縦枠14,16の下端には、補助横枠36が横架されている。また、手前の二本の縦枠14,16の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠37が横架されている。
【0023】
また、後ろの二本の縦枠18,20及び横枠24により規定される後部開口は、左右一対の下部扉32,33及び左右一対の上部扉34,35により開閉される。なお、後ろの二本の縦枠14,16の下端には、補助横枠が横架されている。また、後ろの二本の縦枠14,16の間で上部扉と下部扉の境界には、補助横枠が横架されている。これら上部扉34,35、下部扉32,33、及び補助横枠も、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。なお、エンクロージャー12の左右には扉が設けられることなく、開放されている。
【0024】
メイン制御ブロック3は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の右隣に隣接して配置されている。このメイン制御ブロック3は、半導体ウェハWとマスクMとの位置決めや、露光補正を行うための画像処理等の、真空チャンバ内で半導体ウェハWに露光処理を施すに際して必要な制御を行うための種々の制御装置を含んでいる。そして、これら制御装置は外形が直方体状をなす筐体40内に収容されている。この筐体40は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体40下部には、図示しない車輪が設けられており、図2に示すように、メイン制御ブロック3は、設置面上を移動可能に設けられている。
【0025】
マスクストッカーブロック4は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の右隣に隣接して、かつメイン制御ブロック2に隣接して配置されている。マスクストッカーブロック4は、マスクストッカーを含んでいる。マスクストッカーは、所望パターンが形成された複数のマスクMからなるマスクセットを貯蔵する。このマスクストッカーから、真空チャンバの後壁部に設けられた図示しないマスクローダに、マスクMが順次供給される。そして、マスクローダは、マスクストッカーから受け取ったマスクMを真空チャンバ内に供給する。このマスクストッカーは、外形が直方体状をなす筐体42内に収容されている。この筐体42は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体42下部には、図示しない車輪が設けられており、マスクストッカーブロック4は、図2に示すように、設置面上を移動可能に設けられている。
【0026】
ミニエンバイロメントブロック5は、図1に示すように、通常運転時において、サブ制御ブロック6及び操作盤ブロック7に挟まれた状態で、露光装置ブロック2の左隣に隣接して配置されている。ミニエンバイロメントブロック5は、真空チャンバの左側壁部に設けられた図示しないウェハローダに対し、半導体ウェハWの供給及び引き取りを行うI/O部を、外形が直方体状をなす筐体44で囲った局所的高清浄度空間である。筐体44は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。このミニエンバイロメントブロック5は、露光装置ブロック2の左隣に隣接した状態で固定されている。
【0027】
サブ制御ブロック6は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック5に隣接して配置されている。サブ制御ブロック6は、露光装置10の電子ビーム照射部を制御する制御装置を含んでいる。この制御装置は、外形が直方体状をなす筐体46内に収容されている。筐体46は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体46下部には、図示しない車輪が設けられており、サブ制御ブロック6は、図2に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【0028】
操作盤ブロック7は、図1に示すように、通常運転時において、露光装置ブロック2の左隣に隣接して、かつミニエンバイロメントブロック5に隣接して配置されている。操作盤ブロック7は、この露光システム1を操作するための操作盤を含んでいる。この操作盤を介して、作業者は露光システム1による露光処理の条件を設定する。この操作盤は、外形が直方体状をなす筐体48内に収容されている。筐体48は、SUS等の導電性を有する材料から形成されている。筐体48下部には、図示しない車輪が設けられており、操作盤ブロック7は、図2に示すように、設置面上で移動可能に設けられている。
【0029】
このように、上記した露光装置ブロック2、メイン制御ブロック3、マスクストッカーブロック4、ミニエンバイロメントブロック5、サブ制御ブロック6、及び操作盤ブロック7を統合することで、露光システム1が構成されている。図1に示すように、通常運転時には、電磁波対策を施すため、露光システム1全体として外形が略直方体状をなすように、これら各装置ブロックが互いに接触するように隣接して配置される。そして、メンテナンス時においてミニエンバイロメントブロック5を除く各装置ブロックは、図2に示すように、設置面上において所定方向に移動される。
【0030】
この露光システム1では、メンテナンス時においてエンクロージャー12の下部扉32,33が開放される。以下の説明では、エンクロージャー12の前部側と後部側とで扉ロック装置50、及びこれを含む扉システムの構成は同一であるため、前部側についてのみ説明する。
【0031】
図3は、左右の下部扉32,33を背面側からみた斜視図である。図2及び図3に示すように、下部扉32,33は正面視において矩形状をなす。右側の下部扉33は、右縁部が蝶番52を介して縦枠16に開閉可能に取り付けられる。一方、左側の下部扉32は、左縁部が蝶番52を介して縦枠14に開閉可能に取り付けられる。これにより、左右の下部扉32,33は観音開きにより開閉される。
【0032】
これら左右の下部扉32,33の縁部は、左側の下部扉32の右縁部を除き、内側に90度に屈曲され第1折り返し部54が形成されており、更に第1折り返し部54が内側に90度だけ屈曲されて第2折り返し部56が形成されている。左側の下部扉32の右縁部は、内側に90度に屈曲され第3折り返し部58が形成されており、第3折り返し部58が外側に90度だけ屈曲されて第4折り返し部60が形成され、更に第4折り返し部60が内側に180度だけ屈曲されて第5折り返し部62が形成されている。
【0033】
左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62が、本発明における「所定方向に沿って延びる縁部」を構成し、右側の下部扉33の第2折り返し部54が、本発明における「扉の一縁」を構成する。
【0034】
右側の下部扉33に、本実施形態に係る扉ロック装置50が取り付けられている。扉ロック装置50は、操作部70と挟持部72とを備えている。操作部70は、図4及び図5に示すように、下部扉33に固定される固定部74と、ハンドル76と、回転板78とを有している。
【0035】
固定部74は、下部扉33の開口に嵌め込まれて固定される。この固定部74は、ハンドル76を収納可能な凹部80を有する。ハンドル76は、図5及び図6に示すように、下部扉33の主面に直交する軸Xを中心として、略90度の角度範囲で回転する。回転板78は、図7に示すように、外形が短冊形をなし、後述する挟持部72と連結される連結部82を有する。この連結部82には、挟持部72に対してネジ止めするための孔84が設けられている。この回転板78は、固定部74の背面側において、ハンドル76と一体回転可能に連結されている。図7及び図8に示すように、このハンドル76の回転により、回転板78が、ハンドル76と共に略90度の角度範囲で回転される。図7に示すように、ロック時には回転板78の長手方向は水平方向に沿い、図8に示すように、アンロック時には回転板78の長手方向は鉛直方向に沿う。
【0036】
挟持部72は、図9に示すように、本体部86と挟持板部88とを有する。本体部86は、図10に示すように、円板の略1/4に相当するような外形を有する。本体部86の表面側には、回転板78を連結するための連結部90が設けられている。また、本体部86の裏面側には、挟持板部88を連結するための連結部92が設けられている。これら連結部90,92は、孔94を通して連通されている。また、本体部86の裏面側には、下部扉33の第2折り返し部56に常時接する挟持面(第2の挟持面)96が、略円弧状に設けられている。なお挟持面96のうち、後述する挟持板部88の挟持面100と対峙するのは、その一部のみである。
【0037】
挟持板部88は、図11に示すように、矩形の外形を有する。挟持板部88は、本体部86に対してネジ止めするための孔98を有する。挟持板部88の本体部86と対面する挟持面(第1の挟持面)100は、テーパー面102を含んでいる。テーパー面102は、中央付近から側縁に向かって傾斜している。
【0038】
図9に示すように、これら回転板78、挟持部72の本体部86及び挟持板部88とが、軸X方向に重ね合わされ、ネジ104により連結される。このとき、図12に示すように、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100とは、軸X方向に所定の間隙Sを持って離間している。この間隙Sは、後述するように、下部扉33の第2折り返し部56、下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62、及びこれらの間に介在されるガスケット(図14の106)の厚みを考慮して規定される。
【0039】
図13は、扉ロック装置50がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。この状態では、図14に示すように、右側の下部扉33の第2折り返し部56と、左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62とが、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100との間で挟持される。なお、右側の下部扉33の第2折り返し部56と左側の下部扉32の第4折り返し部62との間にはガスケット106が設けられている。よって、第2折り返し部56と第4折り返し部60とは、このガスケット106を介して当接されている。このガスケット106は、例えば、EPDM(ethylene−propylene−dien−methylene)スポンジ等の材料からなる弾性体の表面を、アルミ箔等の材料からなる金属箔により被覆して構成されており、弾性及び導電性を有する。
【0040】
図15は、扉ロック装置50がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。図15に示すように、ハンドル76を軸Xを中心に反時計回りに回すと、回転板78を介して挟持部72が軸Xを中心に回転され、挟持板部88の挟持面100と左側の下部扉32の第5折り返し部62との当接が解除されるため、左右下部扉32,33のロックが解除される。ただし、この場合であっても、本体部86の挟持面96は、右側の下部扉33の第2折り返し部56に接した状態にある。すなわち、挟持部72の本体部86の挟持面96は、ハンドル76による挟持部72の回転範囲内(略90度の回転範囲)において、常に下部扉33の第2折り返し部56に接している。
【0041】
左右の下部扉32,33をロックするときには、ハンドル76を軸Xを中心として時計回りに回して挟持部72を回転させて、図13に示すように、本体部86の挟持面96と挟持板部88の挟持面100との間で、右側の下部扉33の第2折り返し部56と、左側の下部扉32の第4及び第5折り返し部60,62とを挟持する。このとき、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、また挟持板部88の挟持面100はテーパー面102を含むため、左右下部扉32,33の重なり部分を挟持面96,100間にガイドし易く、また間隙Sが漸次狭まることでロックを確実に行うことができる。
【0042】
このように本実施形態では、操作部70により挟持部72を回転操作することで、左右下部扉32,33の重なり部分を挟持部72の挟持面96,100の間で挟持して、容易且つ確実にロックすることができる。
【0043】
このとき、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、また挟持板部88の挟持面100はテーパー面102を含むため、下部扉32,33をロックするときに重なり部分を挟持面96,100間にガイドし易く、且つ間隙Sが漸次狭まることでロックが確実となる。
【0044】
また、左右の下部扉32,33の重なり部分に弾性及び導電性を有するガスケット106を設けているため、左右の下部扉32,33の隙間が完全に塞がれて、電磁波対策の向上が図られる。このように、ガスケット106を挟んでロックするときは、ガスケット106を押し潰すための潰し代と、押し潰す力が必要である。本実施形態に係る扉ロック装置50では、挟持部72の本体部86の挟持面96は下部扉33の第2折り返し部56に常に接しており、この挟持面96に向かって挟持板部88の挟持面100により第4及び第5折り返し部60,62を引き付けて挟持するため、挟持面96,100間で十分な押し潰し力を得ることができ、ガスケット106を押し潰して左右の下部扉32,33の隙間を完全に塞ぐことができる。
【0045】
また、左右の下部扉32,33は観音開きにより開閉されるため、メンテナンス時には広い開口が得られ、エンクロージャー12内へのアクセスが容易になってメンテナンス性の向上が図られる。
【0046】
上記したように、左右の下部扉32,33は重なり部分が挟持部72の挟持面96,100の間で挟持され、確実にロックされて電磁波対策の向上が図られる。しかしながら、電磁波対策のより一層の向上を図るためには、下部扉32,33の上縁部と補助横枠37との密接を図る必要があり、また下部扉32,33の下縁部と補助横枠36との密接を図る必要がある。そこで、エンクロージャー12は、図3及び図16に示すように、上縁ロック装置110と下縁ロック装置112とを更に備えている。なお、上縁ロック装置110と下縁ロック装置112とは実質的に構成が同一であるため、上縁ロック装置110についてのみ詳細を説明する。
【0047】
上縁ロック装置110は、上下方向に沿って延びるロッド114と、ロッド110の上下動をガイドするガイド部116とを有している。ガイド部116は、図17に示すように、直方体状の外形を有する部材であって、上下方向に貫通する貫通孔118を有する。また、ガイド部116には前面と後面とを貫通する開口部120が設けられている。貫通孔118の軸と開口部120の軸とは交差しており、これら貫通孔118と開口部120とは連通している。ガイド部116の上面には、一対のネジ穴122が設けられている。
【0048】
ガイド部116は、下部扉33の上縁部の第1折り返し部54に、ネジ穴122を通してネジ止めされている。そして、ロッド114の上端がガイド部116の貫通孔118に挿通され、下端が扉ロック装置50の回転板78に連結されている。従って、ハンドル76の回転により回転板78が回転されることで、ロッド114が上下動されるようになっている。なお、ロッド114の上端は、扉ロック装置50によるロック時には開口部120よりも上にあり、アンロック時には開口部120よりも下にある。
【0049】
下縁ロック装置112も上縁ロック装置110と同様の構成を有し、ガイド部116が下部扉33の下縁部の第1折り返し部54に、ネジ穴122を通してネジ止めされている。そして、ロッド114の下端がガイド部116の貫通孔118に挿通され、上端が扉ロック装置50の回転板78に連結されている。従って、ハンドル76の回転により回転板78が回転されることで、ロッド114が上下動されるようになっている。なお、ロッド114の下端は、扉ロック装置50によるロック時には開口部120よりも下にあり、アンロック時には開口部120よりも上にある。
【0050】
補助横枠37には、図18に示すように、上縁ロック装置110のガイド部116に対応する位置に、ロック板130がネジ止めされている。ロック板130は、図19に示すように、板状の部材であって、補助横枠37にネジ止めするための孔132を有している。ロック板130には、上縁ロック装置110のロッド114が挿通される孔が設けられており、この孔には樹脂スリーブ136が嵌め込まれている。ロッド114は、この樹脂スリーブ136の孔134内を進退する。下部扉33が閉じられるとき、図20(a)に示すように、ロック板130は上縁ロック装置110のガイド部116の開口部120に進入し、ロック板130の孔134とガイド部116の貫通孔118とが連通される。そして、図20(b)に示すように、ハンドル76を回すことでロッド114が上昇して、ロッド114がロック板130の孔134に挿通される。これにより、下部扉33の上縁が補助横枠37に引き寄せられ、密接される。ここで、図20に示すように、ロッド114の上端は円錐台状に縮径されていると好ましい。このようにすれば、ロック板130の孔134への挿通が容易になる。なお、下部扉33の上縁部の第2折り返し部56の内側には、前述したガスケット106と同様なガスケットによりライニングが施されており、下部扉33の上縁と補助横枠37との隙間が完全に閉塞されて電磁遮蔽の一層の向上が図られている。下縁ロック装置112も、上縁ロック装置110と同様に作用し、下部扉33の下縁が補助横枠36に引き寄せられ、密接される。
【0051】
なお、左側の下部扉32にも、右側の下部扉33と同様の上縁ロック装置110及び下縁ロック装置112が設けられており、上下縁がそれぞれ補助横枠37,36に引き寄せられ、密接される。左側の下部扉32のロック装置は、上下縁をロックするためのものであり、挟持部72が設けられていないことの他は、右側の下部扉33に設けられた扉ロック装置50と同様の構成を有する。
【0052】
【発明の効果】
本発明によれば、扉の一縁を相手側に密接させて、容易且つ確実にロックすることを可能とする扉ロック装置、及び扉システムが提供される。
【図面の簡単な説明】
【図1】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である(通常運転状態)。
【図2】電子ビーム近接露光システムの構成を示す斜視図である(メンテナンス状態)。
【図3】左右の下部扉を背面側からみた斜視図である。
【図4】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である(ロック状態)。
【図5】扉ロック装置の操作部を側面から見た図である(ロック状態であって、ハンドルの取り出し時)。
【図6】扉ロック装置の操作部を正面から見た図である(アンロック状態)。
【図7】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である(ロック状態)。
【図8】扉ロック装置の操作部を背面から見た図である(アンロック状態)。
【図9】扉ロック装置の挟持部の構成を示す斜視図である。
【図10】挟持部の本体部の構成を示す図である。
【図11】挟持部の挟持板部の構成を示す図である。
【図12】扉ロック装置の挟持部の構成を示す側面図である。
【図13】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図14】扉ロック装置がロック状態にあるときの様子を示す断面図である。
【図15】扉ロック装置がアンロック状態にあるときの様子を示す斜視図である。
【図16】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す正面図である(説明の便宜上、下部扉を省略して図示している。)。
【図17】上縁(下縁)ロック装置のガイド部の構成を示す図である。
【図18】扉ロック装置と上縁ロック装置及び下縁ロック装置とを示す側面図である。
【図19】補助横枠に取り付けられるロック板の構成を示す図である。
【図20】上縁ロック装置による下部扉のロックの様子を説明するための側断面図である。
【符号の説明】
1…電子ビーム近接露光システム、2…露光装置ブロック、3…メイン制御ブロック、4…マスクストッカーブロック、5…ミニエンバイロメントブロック、6…サブ制御ブロック、7…操作盤ブロック、32,33…下部扉、50…扉ロック装置、56…第2折り返し部、60…第4折り返し部、62…第5折り返し部、70…操作部、72…挟持部、96,100…挟持面、102…テーパー面、106…ガスケット、S…間隙、X…軸。
Claims (6)
- 所定方向に沿って延びる縁部に対して扉の一縁を当接させてロックするために、該扉に取り付けられる扉ロック装置であって、
所定間隙を隔てて設けられた第1及び第2の挟持面を有する挟持部と、
前記扉の主面と交差する軸を中心として、前記挟持部を回転させるための操作部と、を備え、
前記挟持部は、
前記操作部により回転方向の位置が変位されることで、前記第1及び第2の挟持面の間で、前記扉の前記一縁と前記縁部とを挟持してロック可能に設けられていることを特徴とする扉ロック装置。 - 前記扉をロックするときに前記縁部側に位置する前記第1の挟持面はテーパー面を含み、
前記扉の前記一縁と前記縁部とを挟持する前記第1及び第2の挟持面の間隙は、前記操作部によりロックするに伴い漸次狭まるように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の扉ロック装置。 - 前記扉をロックするときに前記扉の前記一縁側に位置する前記第2の挟持面は、前記操作部による前記挟持部の回転範囲内において、該一縁と常に接するように設けられていることを特徴とする請求項1に記載の扉ロック装置。
- 所定方向に沿って延びる縁部に対して一縁が当接される扉と、
前記扉に取り付けられる請求項1に記載の扉ロック装置と、
を備えることを特徴とする扉システム。 - 前記扉の前記一縁と前記縁部との間に設けられており、弾性及び導電性を有するガスケットを備えることを特徴とする請求項4に記載の扉システム。
- 前記縁部を含む他の扉を有し、前記扉と該他の扉とは観音開きにより開閉されることを特徴とする請求項4に記載の扉システム。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2003185630A JP2005016255A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 扉ロック装置、及び扉システム |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2003185630A JP2005016255A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 扉ロック装置、及び扉システム |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
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JP2005016255A true JP2005016255A (ja) | 2005-01-20 |
Family
ID=34185020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2003185630A Pending JP2005016255A (ja) | 2003-06-27 | 2003-06-27 | 扉ロック装置、及び扉システム |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JP2005016255A (ja) |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2012518898A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | 荷電粒子リソグラフィ装置と、真空チャンバー内の真空を生成する方法 |
JP2012518902A (ja) * | 2009-02-22 | 2012-08-16 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | リソグラフィマシン及び基板処理構成体 |
JP2014501442A (ja) * | 2010-12-14 | 2014-01-20 | マッパー・リソグラフィー・アイピー・ビー.ブイ. | リソグラフィシステム及びこのようなリソグラフィシステムで基板を処理する方法 |
-
2003
- 2003-06-27 JP JP2003185630A patent/JP2005016255A/ja active Pending
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