JP3510113B2 - 円筒壁用シャッタ装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】 【０００１】 【発明の属する技術分野】本発明は、透明部材を有する
内部観察用窓が設けられた円筒壁の内側に配置されて前
記内部観察用窓の内側面を開閉する円筒壁用シャッタに
関する。前記円筒壁用シャッタは、前記内部観察用窓の
透明部材の内側面に異物が付着するのを防止するために
使用される。 【０００２】 【従来の技術】円筒壁で囲まれたチャンバまたは真空チ
ャンバ内で種々の作業（イオンビームにより、ワイヤの
影になった部分を残して試料表面を削りとばすことによ
って電子顕微鏡用の観察試料断面を作成するイオンミリ
ング作業またはスパッタリング作業等）を行う際、チャ
ンバの外側からチャンバ内部の様子を観察する必要があ
る。このため、前記円筒壁の外部から内部を観察可能に
前記円筒壁に設けられた透明部材を有する内部観察用窓
が設けられる。この場合、前記イオンミリング作業また
はスパッタリング作業ではじき飛ばされた粒子が前記内
部観察用窓の透明部材内面に付着して透明度を損ねてし
まうという問題がある。前記内部観察用窓の透明部材内
面に前記粒子が付着するのを防ぐ目的で、観察時以外は
シャッタを用いて前記内部観察用窓の内面を閉塞するの
が一般的である。前記シャッタの開閉機構としては回転
式、スライド式等が採用されている。 【０００３】前記円筒壁に設けた内部観察用窓のシャッ
タを開閉する回転式のシャッタ装置（円筒壁用シャッタ
装置）として次の技術（Ｊ01）が考えられる。 （Ｊ01）図５に示す技術 図５は従来の回転式の円筒壁用シャッタ装置の説明図
で、図５Ａは要部の円筒壁の軸に垂直な断面図、図５Ｂ
は前記図５Ａの矢印ＶＢから見た図である。図５におい
て、円筒壁０１の内部には真空チャンバＡが形成されて
おり、円筒壁０１の上部にはイオンガン装着孔０２が形
成されている。なお、図５ではイオンガンは図示してい
ない。前記円筒壁０１には透明部材０３aにより内外が
遮断された内部観察用窓０３が設けられている。円筒壁
０１の前記内部観察用窓０３に隣接した部分には円筒壁
０１を内外に貫通するシャッタ作動軸０４が回転可能に
支持されている。前記シャッタ作動軸０４の内端には板
金製のシャッタ０６が固定されている。前記シャッタ０
６は、前記シャッタ作動軸０４の回転に応じて、前記内
部観察用窓０３の内面を閉塞する閉塞位置Ｐ1と前記内
面を開放する開放位置Ｐ2との間で移動可能な開閉シャ
ッタである。 【０００４】図５の実線に示すように前記閉塞位置Ｐ1
において、前記シャッタ０６の回転中心部０６aは前記
円筒壁０１を内側面に近接しており、前記回転中心部０
６aから先端側の折れ曲った部分である閉塞部分０６bも
前記内側面に近接して前記内部観察用窓０３の内面を閉
塞する。前記シャッタ０６が前記開放位置Ｐ2（図５の
２点鎖線参照）に回動すると、前記回転中心部０６aが
前記円筒壁０１の内側面に近接したままであるが、前記
閉塞部分０６bは前記内側面から内側へ離れた状態とな
る。 【０００５】 【発明が解決しようとする課題】（前記図５に示す技術
の問題点）前記図５に示す技術は、前記開放位置Ｐ2に
おいて、前記シャッタ０６の閉塞部０６bが、前記円筒
壁０１の前記内側面から内側へ離れた状態となる。した
がって、前記閉塞部０６bが移動する空間（図５Ａの点
を付けた空間）は利用できないデッドスペースになると
いう問題がある。装置を小型化するため、前記真空チャ
ンバＡ自体は小さく設計されることが望ましいので、前
記シャッタ０６の開閉のために取られてしまうスペース
は小さいほうがよい。また、スライド式のシャッタを設
けた場合でもスライドさせるためのスペースや前記スラ
イド式のシャッタを前記真空チャンバＡ外から操作する
部材を設けるためのスペースを確保する必要があるの
で、前記真空チャンバＡ自体を小さく設計できない。 【０００６】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）円筒壁に設けられた内部観察用窓を内側で開閉
するシャッタを設置するための空間または前記シャッタ
の開閉に必要な空間を小さくすること。 【０００７】 【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決し
た本発明を説明するが、本発明の説明において本発明の
構成要素の後に付記したカッコ内の符号は、本発明の構
成要素に対応する後述の実施例の構成要素の符号であ
る。なお、本発明を後述の実施例の構成要素の符号と対
応させて説明する理由は、本発明の理解を容易にするた
めであり、本発明の範囲を実施例に限定するためではな
い。 【０００８】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の円筒壁用シャッタ装置は、下記の要件を備えたこ
とを特徴とする、（Ａ01）円筒壁（２）の外部から内部
を観察可能に前記円筒壁（２）に設けられた透明部材
（４１）を有する内部観察用窓（２b）、（Ａ02）前記
内部観察用窓（２b）に隣接した円筒壁（２）部分を内
外に貫通して配置されたシャッタ作動軸（４２；４
２′）であって、内端部にシャッタ連結部（４４；４
４′）が設けられ、外端部に前記シャッタ作動軸（４
２；４２′）を回転させるための作動軸操作部（４３；
４３′）が設けられた前記シャッタ作動軸（４２；４
２′）、（Ａ03）前記シャッタ連結部（４４；４４′）
に連結され且つ前記円筒壁（２）の内側面の形状に倣っ
て変形する弾性薄板により構成されるとともに、前記シ
ャッタ作動軸（４２；４２′）の回転に伴って前記内部
観察用窓（２b）の内側面を閉塞する閉塞位置（Ｐ1）と
開放する開放位置（Ｐ2）との間で回転可能な薄板状シ
ャッタ（４８）。 【０００９】（本発明の作用）前述の特徴を備えた本発
明の円筒壁用シャッタ装置では、シャッタ作動軸（４
２；４２′）は、前記内部観察用窓（２b）に隣接した
円筒壁（２）部分を内外に貫通して配置される。前記シ
ャッタ作動軸（４２；４２′）の外端に設けられた作動
軸操作部（４３；４３′）により前記シャッタ作動軸
（４２；４２′）を回転させると、前記シャッタ作動軸
（４２；４２′）の内端部のシャッタ連結部（４４；４
４′）に連結され且つ弾性薄板により構成された薄板状
シャッタ（４８）は、前記シャッタ作動軸（４２；４
２′）の回転に伴って閉塞位置（Ｐ1）と開放位置（Ｐ
2）との間で回転する。このとき、前記薄板状シャッタ
（４８）は前記円筒壁（２）の内側面の形状に倣って変
形する。前記閉塞位置（Ｐ1）において、前記薄板状シ
ャッタ（４８）は前記内部観察用窓（２b）の内側面を
閉塞する。前記開放位置（Ｐ2）において、前記薄板状
シャッタ（４８）は前記内部観察用窓（２b）の内側面
を開放し、前記内部観察用窓（２b）の透明部材（４
１）を通して前記円筒壁（２）の外部から内部の観察が
可能となる。したがって、前記薄板状シャッタ（４８）
は前記円筒壁（２）の内側面の形状に倣って変形する弾
性薄板により構成されているので、前記薄板状シャッタ
（４８）は前記閉塞位置（Ｐ1）または開放位置（Ｐ2）
で前記円筒壁（２）の内側面から内側へ離れることがな
い。このため、前記シャッタが前記閉塞位置（Ｐ1）と
開放位置（Ｐ2）との間を回転しても前記円筒壁（２）
の内側で利用することのできない空間（デッドスペー
ス）が形成されない。また、前記薄板状シャッタ（４
８）が前記内部観察用窓（２b）を開閉する際、前記円
筒壁（２）の内側面の形状に倣って変形しながら回転す
るので、スライド式のシャッタに比べてスライドのため
のスペースが小さくてすみ、シャッタを設置するための
空間が小さくてすむ。 【００１０】 【実施例】次に図面を参照しながら、本発明の実施例の
円筒壁用シャッタ装置を説明するが、本発明は以下の実
施例に限定されるものではない。なお、以後の説明の理
解を容易にするために、図面において、前後方向をＸ軸
方向、右左方向をＹ軸方向、上下方向をＺ軸方向とし、
矢印Ｘ，−Ｘ，Ｙ，−Ｙ，Ｚ，−Ｚで示す方向または示
す側をそれぞれ、前方、後方、右方、左方、上方、下
方、または、前側、後側、右側、左側、上側、下側とす
る。また、図中、「○」の中に「・」が記載されたもの
は紙面の裏から表に向かう矢印を意味し、「○」の中に
「×」が記載されたものは紙面の表から裏に向かう矢印
を意味するものとする。 【００１１】（実施例１）図１は本発明の実施例１の円
筒壁用シャッタ装置を備えたイオンミリング装置の説明
図で、図１Ａは前記イオンミリング装置の縦断面図、図
１Ｂは前記図１ＡのＩＢ−ＩＢ線から見た図である。図
２は前記図１のII−II線断面図である。図３は本発明の
実施例１の円筒壁用シャッタ装置の説明図で、図３Ａは
要部の円筒壁の軸に垂直な断面図、図３Ｂは前記図３Ａ
の矢印IIIＢから見た図である。図１、図２において、
イオンミリング装置Ｉのベースプレート１上面には、円
筒壁２が支持されており、前記円筒壁２の右左には右側
壁３、左側壁４がそれぞれ連結されている。前記円筒壁
２、右側壁３、および左側壁４の内側には真空試料室Ａ
が形成されており、図示しない真空ポンプにより真空に
保持されるようになっている。 【００１２】前記円筒壁２の上側の部分にはフランジ部
材装着孔２aが形成されており、前記フランジ部材装着
孔２aには固定フランジ部材６が装着されて固定されて
いる。前記フランジ部材装着孔２aの内周面と前記固定
フランジ部材６の外周面とはオーリングにより前記真空
試料室Ａ内外を気密にシールしている。前記フランジ部
材６の中央部には上下方向に延びて貫通するガン支持部
材装着孔６aが形成されている。前記ガン支持部材装着
孔６aには略円筒状のガン支持部材７の下端部が装着さ
れて、鉛直軸線Ｌ1回りに３６０°回転可能に支持され
ている。前記ガン支持部材７の内側にはガン装着孔７a
が形成されている。前記ガン支持部材７の下端部の外周
面と前記ガン支持部材装着孔６aの内周面との間はオー
リング８が配置されており、前記ガン支持部材７の鉛直
軸線Ｌ1回りの回転により前記真空チャンバＡ内が真空
リークしないように構成されている。 【００１３】前記ガン支持部材７のガン装着孔７aには
円筒状のイオンガン９が装着されている。前記ガン装着
孔７a内周面と前記イオンガン９の外周面との間は前記
イオンガン９の軸方向中央部に装着されたオーリング１
０により、前記真空チャンバＡ内外を気密にシールして
いる。前記ガン支持部材７は前記円筒状のイオンガン９
の中心軸線Ｌ2が前記鉛直軸線Ｌ1に対して角度θで傾斜
した状態で且つ前記中心軸線Ｌ2および前記鉛直軸線Ｌ1
の交点Ｐが形成されるように前記イオンガン９を支持す
る。なお、この実施例１では前記角度θは５°に設定さ
れた値である。前記円筒状のイオンガン９の下端部から
は前記中心軸線Ｌ2を沿ってイオンビームＢが出射され
る。 【００１４】図１Ａにおいて、前記イオンガン９の下方
位置には、傾斜台１１が前記左側壁４に傾斜可能に支持
されている。前記傾斜台１１は、右側壁部１２、左側壁
部１３および底壁部１４とにより構成されている。傾斜
台１１の左側壁部１３は筒状の内側軸部材１６に連結さ
れており、内側軸部材１６の外端部は外側軸部材１７に
連結されている。前記内側軸部材１６は、軸受１８によ
り前記左側壁４に回転自在に支持されている。前記軸受
１８および内側軸部材１６は、前記左側壁４に固定され
た内側リング状プレート１９および外側リング状プレー
ト２１により位置決めされている。前記外側軸部材１７
にはギヤ１７aが設けられており、このギヤ１７aはモー
タ２２の出力軸に装着されたウォーム２３によって回転
駆動されるように構成されている。 【００１５】前述のように、前記左側の外側軸部材１
７、内側軸部材１６、傾斜台１１等は、一体的に連結さ
れており、それらは軸受１８により回転自在（傾斜可
能）に支持されている。したがって、前記モータ２２に
より前記左側の外側軸部材１７を回転させると、前記軸
受１８の中心線（すなわち、傾斜用軸線）Ｔ回りに傾斜
台１１が傾斜するように構成されている。前記傾斜用軸
線Ｔは水平に配置され且つ前記交点Ｐを通るように配置
されている 【００１６】前記傾斜台１１の底壁材１４上面には試料
ステージＳＴが支持されている。前記試料ステージＳＴ
は、その下部にＹ軸テーブル３１を有している。前記Ｙ
軸テーブル３１にはスクリューシャフト３２およびガイ
ドシャフト３３（図１、図２参照）が右左方向（Ｙ軸方
向）に貫通しており、前記スクリューシャフト３２の左
端部にはギヤＧ1が固着されている。前記ギヤＧ1はモー
タユニットＭyにより駆動されるギヤＧ2に噛み合ってお
り、前記モータユニットＭyによりギヤＧ2およびＧ1を
介してスクリューシャフト３２を回転させると、Ｙ軸テ
ーブル３１は右左方向（Ｙ軸方向）に移動するように構
成されている。 【００１７】前記Ｙ軸テーブル３１の上面には、Ｘ軸テ
ーブル３４が配置されている。前記Ｘ軸テーブル３４に
もスクリューシャフト３６およびガイドシャフト３７が
前後方向に貫通しており、前記スクリューシャフト３６
が、その後端に配置されているモータユニットＭx（図
２参照）の駆動により回転して前記Ｘ軸テーブル３４を
前後方向（Ｘ軸方向）に移動させるように構成されてい
る。前記Ｘ軸テーブル３４の上面には、前記上下方向
（Ｚ軸方向）軸回りに回転する回転テーブル３８が配置
されており、前記回転テーブル３８の上面には、試料保
持部材３９が固定されている。前記傾斜用軸線Ｔと前記
交点Ｐ近傍で垂直に交差するようにワイヤＷ（イオンミ
リング用ワイヤ）が配置されている。前記ワイヤＷの両
端部は、前後方向（Ｘ軸方向）に延びており、この実施
例１では前記Ｘ軸テーブル３４に支持されている。前記
試料保持部材３９には試料Ｓが保持されており、前記試
料Ｓ表面は前記交点Ｐに近接して配置されている。ま
た、前記試料ステージＳＴは前記真空チャンバＡ内を大
気圧に戻すことにより前記円筒壁２の左側に連結されて
いる左側壁４とともに前記真空チャンバＡ内から引っ張
り出すことができるようになっている。 【００１８】図１Ａに示すように前記ワイヤＷの延びる
方向、すなわち前後方向（Ｘ軸方向）から見た前記鉛直
軸線Ｌ1と前記イオンガン９の中心軸線Ｌ2（イオンビー
ムＢ）との角度（Ｘ軸方向から見たビームの照射角度）
θ1は、イオンガン９を前記鉛直軸線Ｌ1回りに回転させ
ると−θ≦θ1≦θの範囲で変化する。したがって、前
記イオンガン９を前記鉛直軸線Ｌ1回りに回転させるこ
とにより前記Ｘ軸方向から見たビームの照射角度θ1が
調節できる。 【００１９】図２、図３において、前記円筒壁２の上側
部分に形成されたフランジ部材装着２aから円周方向に
沿って前側に４５°の部分には内部観察用窓２bが形成
されている。前記内部観察用窓２bは透明部材４１によ
り前記真空チャンバＡ内外が遮断されている。前記内部
観察用窓２bの外には観察用顕微鏡（図示せず）が取り
付けてある。前記円筒壁２の内部観察用窓２bから円周
方向に沿って下側の隣接した部分には、作動軸貫通孔２
cが形成されている。前記作動軸貫通孔２cの外端部の外
周には、前記作動軸貫通孔２cの内径より大きな径の操
作部当接凹部２dが形成されている。 【００２０】前記作動軸貫通孔２cにはシャッタ作動軸
４２が回転可能に貫通している。前記シャッタ作動軸４
２は、外端側の作動軸操作部４３と前記作動軸操作部４
３の外径より小さな径を有する内端側のシャッタ連結部
４４とを有しており、前記作動軸貫通孔２cを貫通す
る。前記シャッタ連結部４４の内端にはネジ螺合孔４４
aが形成されている。前記シャッタ作動軸４２が前記作
動軸貫通孔２cに貫通した状態では、前記作動軸操作部
４３のリング状の内端面と前記操作部当接凹部２d底面
との間には摩擦低減用のリング部材４６が配置されてい
る。前記リング部材４６は、ジュラコンで形成されてい
るが、フッ素樹脂などの他の低摩擦材で形成することも
可能である。 【００２１】前記作動軸貫通孔２cの内周面と前記作動
軸貫通孔２cに回転可能に支持されているシャッタ連結
部４４外周面との間にはオーリング４７が配置されてお
り、前記真空チャンバＡ内外を気密にシールしている。
前記シャッタ作動軸４２のシャッタ連結部４４の内端で
前記円筒壁２の内側面には薄板状シャッタ４８が配置さ
れている。この実施例１において、前記薄板状シャッタ
４８は、略長方形の弾性を有する薄い金属板（ベリリウ
ム銅製）で形成されており、厚さ０．２〜０．３ｍｍで
形成されている。 【００２２】図３において、前記略長方形状の薄板状シ
ャッタ４８の一端部は、連結用ネジ４９およびワッシャ
５１により前記薄板状シャッタ４８が前記シャッタ連結
部４４の内端に連結される。前記作動軸４２を回転させ
ると前記薄板状シャッタ４８が回転して、前記内部観察
用窓２bの内面を閉塞する閉塞位置Ｐ1と前記内面を開放
する開放位置Ｐ2との間で回転するようになっている。
なお、前記薄板状シャッタ４８の表面は薄く樹脂コーテ
ィングしてもよく、その場合、前記薄板状シャッタ４８
の回転により発生する前記薄板状シャッタ４８の表面と
前記円筒壁２の内側面との摩耗を防止することが可能で
ある。また、前記符号４２〜５１で示された要素からこ
の実施例１の円筒壁用シャッタ装置（４２〜５１）が構
成される。 【００２３】（実施例１の作用）図１〜図３において、
前記試料ステージＳＴを引出して前記試料ステージＳＴ
の試料保持部材３９に前記試料Ｓを装着する。次に図３
Ａにおいて、前記薄板状シャッタ４８が前記開放位置Ｐ
2に回転していた場合には、前記シャッタ作動軸４２の
外端側に設けられた作動軸操作部４３を回転させて、前
記開放位置Ｐ2に回転していた前記シャッタ作動軸４２
の内端に連結された薄板状シャッタ４８を閉塞位置Ｐ1
に回転させる。このとき、前記薄板状シャッタ４８は前
記円筒壁２の内側面の形状に倣って変形し、前記内部観
察用窓２bの内側面を閉塞する。前記傾斜台１１を前記
傾斜用軸線Ｔ回りに揺動させながら前記イオンビームＢ
を前記試料Ｓ表面に垂直に照射し、前記試料Ｓ表面の前
記ワイヤＷの影となった部分以外を削り飛ばす。はじき
飛ばされた粒子が前記内部観察用窓２bへ飛んでも、前
記内部観察用窓２bの透明部材４１内面が前記薄板状シ
ャッタ４８により閉塞されているので、前記透明部材４
１内面に前記粒子が付着せず透明度を損なうことがな
い。 【００２４】また、イオンミリング中、どの程度ミリン
グが進んでいるか確認したいときには、イオンビームＢ
の照射や前記傾斜台１１の揺動を一旦停止させる。そし
て、前記シャッタ作動軸４２を回転させて、前記薄板状
シャッタ４８を開放位置Ｐ2に回転させる。前記開放位
置Ｐ2では前記薄板状シャッタ４８が前記内部観察用窓
２bの内側面を開放し、前記内部観察用窓２bの透明部材
４１を通して前記円筒壁２の外部から内部の観察が可能
となる。この状態で、前記内部観察用窓２bの外に取付
けてある観察用顕微鏡（図示せず）によってミリング状
況を観察する。観察後に、前記薄板状シャッタ４８を閉
塞位置Ｐ1に回転させて、イオンミリングを再開する。 【００２５】前記薄板状シャッタ４８は前記円筒壁２の
内側面の形状に倣って変形する弾性薄板により構成され
ているので、前記薄板状シャッタ４８は前記閉塞位置Ｐ
1または開放位置Ｐ2で前記円筒壁２の内側面から内側へ
離れることがない。このため、前記傾斜台１１が揺動す
る際、前記傾斜台１１が前記円筒壁２の内側面に接近し
ても前記薄板状シャッタ４８に接触することがない。し
たがって、前記薄板状シャッタ４８の開閉のために取ら
れてしまうスペースは小さくてすみ、この実施例１の真
空チャンバＡは従来の真空チャンバより小さくできる。 【００２６】（実施例２）図４は本発明の実施例２の円
筒壁用シャッタ装置の説明図である。なお、この実施例
２の説明において、前記実施例１の構成要素に対応する
構成要素には同一の符号を付して、その詳細な説明を省
略する。この実施例２は、下記の点で前記実施例１と相
違しているが、他の点では前記実施例１と同様に構成さ
れている。この実施例２では、シャッタ作動軸４２′は
別々に構成された作動軸操作部４３′とシャッタ連結部
４４′とを有している。前記シャッタ連結部４４′の外
端部は前記作動軸操作部４３′に形成された連結用孔４
３a′に嵌合し、固定ネジ５２により固定されている。 【００２７】前記薄板状シャッタ４８には、前記シャッ
タ連結部４４′の内端部に形成されている凸部が嵌合す
る穴が形成されており、前記薄板状シャッタ４８の穴と
前記凸部とは嵌合した状態で溶接により連結されてい
る。また、前記凸部を前記薄板状シャッタ４８に圧入し
て連結することも可能である。なお、前記薄板状シャッ
タ４８の穴および前記シャッタ連結部４４′の凸部の形
状をＤ型にし、嵌合した状態では回転不能に構成するこ
とが可能である。また、前記符号４２′〜５２で示され
た要素からこの実施例２の円筒壁用シャッタ装置（４
２′〜５２）が構成される。 【００２８】この実施例２においても前記実施例１と同
様、前記薄板状シャッタ４８が閉塞位置Ｐ1または開放
位置Ｐ2に回転すると、前記円筒壁２の内側面の形状に
倣って変形し、前記円筒壁２の内側面から内側へ離れる
ことがない。このため、前記薄板状シャッタ４８の開閉
のために取られてしまうスペースは小さくてすみ、この
実施例２の真空チャンバＡは従来の真空チャンバより小
さくできる。また、この実施例２では、前記実施例１の
ようにネジで前記薄板状シャッタ４８と前記シャッタ作
動軸４２′とを連結していないので、ネジの頭部が前記
円筒壁２の内側面から内側に突出せず、より省スペース
となる。 【００２９】以上、本発明の実施例を詳述したが、本発
明は、前記実施例に限定されるものではなく、特許請求
の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内で、種々の変
更を行うことが可能である。 （Ｈ01）前記各実施例の薄板状シャッタ４８は、リン青
銅板で形成することも可能である。 （Ｈ02）前記各実施例の薄板状シャッタ４８は、弾性を
有する金属板で構成された場合を例示したが、前記薄板
状シャッタ４８は前記円筒壁２の内側面の形状に倣って
変形する弾性を有した樹脂の薄板で形成することも可能
である。 （Ｈ03）前記各実施例では円筒壁用シャッタ装置がイオ
ンミリング装置に備えられた場合を例示したが、前記円
筒壁用シャッタ装置は前記イオンミリング装置以外の円
筒壁を有する装置に設置可能である。 【００３０】 【発明の効果】前述の本発明の円筒壁用シャッタ装置
は、下記の効果を奏することができる。 （Ｅ01）円筒壁に設けられた内部観察用窓を内側で開閉
するシャッタを設置するための空間または前記シャッタ
の開閉に必要な空間を小さくすることができる。

【図面の簡単な説明】 【図１】 図１は本発明の実施例１の円筒壁用シャッタ
装置を備えたイオンミリング装置の説明図で、図１Ａは
前記イオンミリング装置の縦断面図、図１Ｂは前記図１
ＡのＩＢ−ＩＢ線から見た図である。 【図２】 図２は前記図１のII−II線断面図である。 【図３】 図３は本発明の実施例１の円筒壁用シャッタ
装置の説明図で、図３Ａは要部の円筒壁の軸に垂直な断
面図、図３Ｂは前記図３Ａの矢印IIIＢから見た図であ
る。 【図４】 図４は本発明の実施例２の円筒壁用シャッタ
装置の説明図である。 【図５】 図５は従来の回転式の円筒壁用シャッタ装置
の説明図で、図５Ａは要部の円筒壁の軸に垂直な断面
図、図５Ｂは前記図５Ａの矢印ＶＢから見た図である。 【符号の説明】 Ｐ1…閉塞位置、Ｐ2…開放位置、２…円筒壁、２b…内
部観察用窓、４１…透明部材、４２；４２′…シャッタ
作動軸、４３；４３′…作動軸操作部、４４；４４′…
シャッタ連結部、４８…薄板状シャッタ。

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (56)参考文献 特開 昭60−64239（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−86258（ＪＰ，Ａ) 特開 平７−97684（ＪＰ，Ａ) 実開 昭59−83969（ＪＰ，Ｕ) 実開 平１−137530（ＪＰ，Ｕ) 実開 昭58−38775（ＪＰ，Ｕ) 実開 平６−42958（ＪＰ，Ｕ) (58)調査した分野(Int.Cl.⁷，ＤＢ名) H01J 37/16 H01J 37/20 H01J 37/22 H01J 37/09 H05H 1/46 C23C 14/52 H01J 37/30 - 37/317 B23K 15/00 508

Claims (1)

1. (57)【特許請求の範囲】 【請求項１】 下記の要件（Ａ01）〜（Ａ03）を備え
   たことを特徴とする円筒壁用シャッタ装置、（Ａ01）円
   筒壁の外部から内部を観察可能に前記円筒壁に設けられ
   た透明部材を有する内部観察用窓、（Ａ02）前記内部観
   察用窓に隣接した円筒壁部分を内外に貫通して配置され
   たシャッタ作動軸であって、内端部にシャッタ連結部が
   設けられ、外端部に前記シャッタ作動軸を回転させるた
   めの作動軸操作部が設けられた前記シャッタ作動軸、
   （Ａ03）前記シャッタ連結部に連結され且つ前記円筒壁
   の内側面の形状に倣って変形する弾性薄板により構成さ
   れるとともに、前記シャッタ作動軸の回転に伴って前記
   内部観察用窓の内側面を閉塞する閉塞位置と開放する開
   放位置との間で回転可能な薄板状シャッタ。