JPH1027564A - 試料ステージ支持装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な構成で試料ホルダの回転軸を調整
すること。 【解決手段】 試料ホルダ（３３＋３４）をホルダ軸Ｌ
回りに回転可能に保持する試料ステージ（３１〜３
５）、前記試料ステージ（３１〜３５）を収容する真空
試料室Ａ、前記真空試料室Ａの開口４の周囲に設けられ
る取付フランジ５、前記取付フランジ５の外端面に連結
される真空シール用フランジ１２、前記各フランジの間
に配置される枠状の真空シール部材Ｇ、前記真空シール
用フランジ１２の外端面に配置される弾性変形可能なス
ペーサ２１、前記真空シール用フランジ１２と連結し前
記スペーサ２１を挟んで配置され前記試料ステージ（３
１〜３５）を支持する位置調整用フランジ２２、前記各
フランジの内周縁を気密にシールする枠状シール部材２
６、および、取付用ネジ貫通孔１３，２３を貫通し取付
用ネジ孔６と螺合する取付用ネジ１１により形成される
試料ステージ支持装置。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、荷電粒子線装置
（電子ビーム、イオンビーム等を用いた分析装置や電子
顕微鏡装置等）の真空試料室内に配置される試料ステー
ジを真空試料室形成用の外壁部材に支持する試料ステー
ジ支持装置に関し、特に、前記試料ステージに回転可能
に保持される試料ホルダのホルダ回転軸を荷電粒子線に
交差させることが可能な試料ステージ支持装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】試料ステージを真空試料室形成用の外壁
部材に装着した際、前記荷電粒子線装置は前記試料ホル
ダの回転軸（以下「ホルダ軸」という）を荷電粒子線に
交差させ、ホルダ軸上に保持した試料に荷電粒子線が照
射されるように設計されている。前記ホルダ軸上に試料
面を保持し前記試料面に荷電粒子線を照射して観察、分
析を行う際、設計通りにホルダ軸が荷電粒子線と交差す
る場合にはホルダ軸回りに試料ホルダを回転させても試
料面上の荷電粒子線の入射位置は変化しない。しかし、
前記試料ステージを真空試料室形成用の外壁部材に装着
した際、製作誤差等により、前記ホルダ軸は荷電粒子線
と交差していない場合が多い。この場合に前記試料ホル
ダをホルダ軸回りに回転させると前記試料ホルダの荷電
粒子線の試料面への入射位置は前記試料ホルダの回転の
前後で異なる。この場合試料を回転させながら試料面の
同一位置の観察、分析ができなくなる。したがって、前
記試料ホルダの回転軸と前記荷電粒子線とを交差するよ
うに調整しなければならない。

【０００３】従来、試料ホルダの回転軸と荷電粒子線と
を交差させる技術として下記の技術が知られている。 （ａ）前記試料ホルダを支持している前記試料ステージ
の位置をゴニオメータ等の構成の複雑な試料ステージ支
持装置を用いて調整することによって前記試料ホルダの
回転軸を荷電粒子線と交差させる技術。 （ｂ）前記試料ホルダの回転軸を調整せず、荷電粒子線
照射系装置の位置を調整することによって荷電粒子線と
試料ホルダの回転軸とを交差させる技術。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】前記（ａ）の技術で
は、以下の問題点がある。構成の複雑な前記試料ステー
ジ支持装置では装置が大型となりコストが高くなる。前
記（ｂ）の技術では、以下の問題点がある。荷電粒子線
照射系装置の位置を調整する場合、装置が大がかりとな
り簡単な構成で前記試料ホルダの回転軸を調整すること
ができない。

【０００５】簡単な構成で荷電粒子線と試料ホルダの回
転軸とを交差させる技術として下記の技術（Ｊ01）が考
えられる。 （Ｊ01）（図４に示す技術） 図４は荷電粒子線装置の１例としてのＳＥＭ（走査電子
顕微鏡）の平断面図である。図４において試料に照射さ
れる電子ビームＬ0は、図４の紙面手前側から後側に向
かって照射される。試料ステージ０１は試料ホルダ０１
aおよび前記試料ホルダ０１aをホルダ軸Ｌ回りに回転可
能に支持するホルダ保持部材０１bにより構成されてい
る。前記試料ステージ０１を支持する試料ステージ支持
部材０２は真空試料室形成用の外壁部材０３に取り付け
られている。前記真空試料室形成用の外壁部材０３には
前記試料ステージ支持部材０２と互いに接する面にＯリ
ング収容溝０４が形成されていて、シール材としてＯリ
ング０６が収容されている。また、前記試料ステージ支
持部材０２には、馬鹿孔である複数の取付用ネジ貫通孔
０７が形成されている。前記複数の取付用ネジ貫通孔０
７に対応して前記真空試料室形成用の外壁部材０３に複
数の取付用ネジ孔０８が形成されていて、複数の取付用
ネジ０９が前記各取付用ネジ貫通孔０７を貫通して前記
取付用ネジ孔０８に螺合している。

【０００６】これらにより前記試料ステージ支持部材０
２は前記真空試料室形成用の外壁部材０３に取り付けら
れる。この際、前記試料ホルダ０１aに保持された試料
の観測面は前記ホルダ軸Ｌ上に保持する必要があり、且
つ前記試料ステージ支持部材０２は荷電粒子線Ｌ0と前
記ホルダ軸Ｌとが交差するように配置する必要がある。
したがって、前記荷電粒子線Ｌ0と前記ホルダ軸Ｌとが
交差するように前記試料ステージ０１を調節しなければ
ならない。

【０００７】（前記（Ｊ01）の問題点）前記試料ステー
ジ支持部材０２に形成されている前記取付用ネジ貫通孔
０７が馬鹿孔に形成されているので、前記試料ステージ
０１の横方向（図４で左右方向）および上下方向（紙面
に垂直な方向）の位置調節が可能である。しかしなが
ら、前記真空試料室形成用の外壁部材０３に対する前記
ステージ支持部材０２の横方向の微小な位置調節は非常
に困難である。また、前記Ｏリング０６をＯリング収容
溝０４から突出する状態で配置し、前記複数の取付用ネ
ジ０９の締付量を調節して、前記試料ステージ０１の傾
きを調節することができる。前記試料ステージ０１の傾
きの調節により前記ホルダ軸Ｌの位置を前記電子ビーム
Ｌ0に交差させることができる。この際、前記Ｏリング
０６を前記Ｏリング収容溝０４から突出さなければなら
ないが、この場合には前記Ｏリング０６のシール性が低
下する等の原因から、真空試料室内の超高真空状態が十
分に保持できない。このため、超高真空対応になってい
る荷電粒子線装置（たとえばオージェ電子分光装置な
ど）に対して（Ｊ01）の技術の適応は難しい。

【０００８】本発明は、前述の事情に鑑み、下記の記載
内容を課題とする。 （Ｏ01）簡単な構成で試料ホルダの回転軸を調整するこ
と。

【０００９】

【課題を解決するための手段】次に、前記課題を解決す
るために案出した本発明を説明するが、本発明の要素に
は、後述の実施例の要素との対応を容易にするため、実
施例の要素の符号をカッコで囲んだものを付記する。ま
た、本発明を後述の実施例の符号と対応させて説明する
理由は、本発明の理解を容易にするためであり、本発明
の範囲を実施例に限定するためではない。

【００１０】（本発明）前記課題を解決するために、本
発明の試料ステージ支持装置は、下記の要件を備えたこ
とを特徴とする、（Ａ01）試料ホルダ（３３＋３４）お
よび前記試料ホルダ（３３＋３４）をホルダ軸（Ｌ）回
りに回転可能に保持するホルダ保持部材（３１）を有す
る試料ステージ（３１〜３５）、（Ａ02）荷電粒子線
（Ｌ0）に前記試料ホルダ（３３＋３４）が配置される
状態で前記試料ステージ（３１〜３５）を収容する真空
試料室（Ａ）、（Ａ03）試料ステージ挿入用の開口
（４）および前記開口（４）の周囲に設けられ、前記開
口（４）から真空試料室（Ａ）に搬入した前記試料ステ
ージ（３１〜３５）を取り付ける取付フランジ（５）を
有し、前記真空試料室（Ａ）を形成する真空試料室形成
用の外壁部材（３）、（Ａ04）前記取付フランジ（５）
の外周に沿って形成された多数の取付用ネジ孔（６）、
（Ａ05）前記取付フランジ（５）の外端面に連結される
真空シール用フランジ（１２）、この真空シール用フラ
ンジ（１２）の外端面に弾性変形可能なスペーサ（２
１）を挟んで配置された位置調整用フランジ（２２）、
および前記真空シール用フランジ（１２）内周縁および
位置調整用フランジ（２２）の内周縁を気密にシールす
る枠状シール部材（２６）を有し、前記位置調整用フラ
ンジ（２２）により前記試料ステージ（３１〜３５）を
支持するステージ支持部材（１２〜２６）、（Ａ06）前
記取付フランジ（５）および前記真空シール用フランジ
（１２）間に配置された枠状の真空シール部材（Ｇ）、
（Ａ07）前記取付用ネジ孔（６）に対応して、前記真空
シール用フランジ（１２）および位置調整用フランジ
（２２）の外周に沿って形成された多数の取付用ネジ貫
通孔（１３，２３）、（Ａ08）前記各取付用ネジ貫通孔
（１３，２３）を貫通し、前記取付用ネジ孔（６）と螺
合して前記取付フランジ（５）と連結する取付用ネジ
（１１）。

【００１１】

【作用】次に、前述の特徴を備えた本発明の作用を説明
する。前述の特徴を備えた本発明の試料ステージ支持装
置では、真空試料室形成用の外壁部材（３）は、真空試
料室（Ａ）を形成する。試料ホルダ（３３＋３４）およ
び前記試料ホルダ（３３＋３４）をホルダ軸（Ｌ）回り
に回転可能に保持するホルダ保持部材（３１）を有する
試料ステージ（３１〜３５）は、前記真空試料室形成用
の外壁部材（３）の試料ステージ挿入用の開口（４）か
ら真空試料室（Ａ）に搬入される。前記試料ステージ
（３１〜３５）は、荷電粒子線（Ｌ0)の通路に前記試料
ホルダ（３３＋３４）が配置される状態で真空試料室
（Ａ）に収容される。前記開口（４）周囲の前記真空試
料室形成用の外壁部材（３）に設けられた取付フランジ
（５）には外周に沿って多数の取付用ネジ孔（６）が形
成されている。前記取付フランジ（５）の外端面に連結
されるステージ支持部材（１２〜２６）の真空シール用
フランジ（１２）および位置調整用フランジ（２２）に
はそれらの外周に沿って前記取付用ネジ孔（６）に対応
する多数の取付用ネジ貫通孔（１３，２３）が形成され
ている。

【００１２】前記取付フランジ（５）と前記真空シール
用フランジ（１２）との間は枠状の真空シール部材
（Ｇ）によりシールされる。前記真空シール用フランジ
（１２）の外端面には弾性変形可能なスペーサ（２１）
を挟んで位置調整用フランジ（２２）が配置される。枠
状シール部材（２６）は、前記真空シール用フランジ
（１２）の内周縁および位置調整用フランジ（２２）の
内周縁を気密にシールする。前記ステージ支持部材（１
２〜２６）の位置調整用フランジ（２２）は、前記試料
ステージ（３１〜３５）を支持する。前記取付フランジ
（５）の外周に沿って形成された多数の取付用ネジ孔
（６）に対応して、前記各取付用ネジ貫通孔（１３，２
３）を貫通し、前記取付用ネジ孔（６）と螺合する取付
用ネジ（１１）が前記取付フランジ（５）と連結する。
このような簡単な構成でもって試料ホルダ（３３＋３
４）の回転軸の調整が可能となる。

【００１３】

【発明の実施の形態】次に図面を参照しながら、本発明
の試料ステージ支持装置の実施の形態の例（実施例）を
説明するが、本発明は以下の実施例に限定されるもので
はない。 なお、以後の説明の理解を容易にするため
に、図面において互いに直交する矢印Ｘ，Ｙ，Ｚの方向
に直交座標軸Ｘ軸、Ｙ軸、Ｚ軸を定義し、矢印Ｘ方向を
前方、矢印Ｙ方向を左方、 矢印Ｚ方向を上方とする。
この場合、Ｘ方向（前方）と逆向き（−Ｘ方向）は後
方、Ｙ方向（左方）と逆向き（−Ｙ方向）は右方、Ｚ方
向（上方）と逆向き（−Ｚ方向）は下方となる。また、
前方（Ｘ方向）及び後方（−Ｘ方向）を含めて前後方向
又はＸ軸方向といい、左方（Ｙ方向）及び右方（−Ｙ方
向）を含めて左右方向又はＹ軸方向といい、上方（Ｚ方
向）及び下方（−Ｚ方向）を含めて上下方向又はＺ軸方
向ということにする。さらに図中、「○」の中に「・」
が記載されたものは紙面の裏から表に向かう矢印を意味
し、「○」の中に「×」が記載されたものは紙面の表か
ら裏に向かう矢印を意味するものとする。

【００１４】（実施例１）図１は本発明の実施例１の試
料ステージ支持装置の正面図である。図２は同実施例１
の試料ステージ支持装置の平断面図で、前記図１のII−
II線断面図である。図３は同実施例１の要部拡大図で前
記図２の矢印IIIで示す部分の拡大図である。図１にお
いて、電子ビーム照射装置（荷電粒子線装置）１の下端
部は真空容器２上端に支持されている。電子ビーム照射
装置１下端の電子ビーム出射部１aは真空容器２上端内
部に配置されている。電子ビーム照射装置１の図示しな
い上端部に設けた電子銃（図示せず）から出射した電子
ビームＬ0は、前記電子ビーム出射部１aから下方に出射
して真空容器２内に配置された試料（後述）を照射す
る。前記真空容器２は外壁部材３を有し、外壁部材３内
側には、真空試料室Ａが形成される。

【００１５】図２、図３において、前記外壁部材３はそ
の側面に、試料ステージ挿入用開口４が形成されてい
る。前記開口４の外周で且つ前記真空容器２の外側面側
に、リング状の取付フランジ５を有している。前記取付
フランジ５の外周部には多数の取付用ネジ孔６が形成さ
れている。前記取付フランジ５の外端面７には前記取付
用ネジ孔６より中心側部分に、リング状の外端面真空シ
ール部材収容部８が形成されている。前記外端面真空シ
ール部材収容部８のリング状部分のほぼ中央にリング状
の外端面シール用凸条９が形成されている。前記外端面
シール用凸条９は、前記外端面真空シール部材収容部８
において取付フランジ５の外端面から外方向へ隆起して
形成されている（図３参照）。前記取付フランジ５に
は、前記取付用ネジ孔６に螺合する取付用ネジ１１によ
り後述のステージ支持部材（１２〜２６）が取付けられ
るようになっている。

【００１６】前記取付フランジ５の外端面７側にはリン
グ状の真空シール用フランジ１２が配置される。前記真
空シール用フランジ１２は、前記取付フランジ５と重な
り合うような形状、大きさをしている部材である。前記
真空シール用フランジ１２の中央には、試料ステージ挿
入口１２aが形成されている。前記試料ステージ挿入口
１２aの外周には、前記取付フランジ５に形成されてい
る取付用ネジ孔６に対応する多数の取付用ネジ貫通孔１
３が形成されている。前記取付用ネジ貫通孔１３より中
心側の前記取付フランジ５と接する側にはリング状の内
端面真空シール部材収容部１４が形成されている。前記
内端面真空シール部材収容部１４のリング状部分のほぼ
中央には、リング状の内端面シール用凸条１５が形成さ
れている。前記内端面シール用凸条１５は、前記外端面
シール用凸条９に対向して形成されており、前記内端面
真空シール部材収容部１４において、前記真空シール用
フランジ１２の内端面から前記取付フランジ５方向へ隆
起している（図３参照）。 前記真空シール用フランジ１２の内周面の軸方向（Ｙ軸
方向）外端面には外端面枠状シール材接合部１６が形成
されている。前記外端面枠状シール材接合部１６は、図
３に示すように前記真空シール用フランジ１２の外端面
内周縁側が中心方向（Ｙ方向）へ隆起している。

【００１７】前記内端面シール用凸条１５と前記外端面
シール用凸条９とによってリング状の真空シール部材で
あるガスケットＧが支持されている。前記ガスケットＧ
は、銅製の部材で、前記取付フランジ５の外端面シール
用凸条９と前記真空シール用フランジ１２の内端面シー
ル用凸条１５とで締めつけられる。

【００１８】前記真空シール用フランジ１２の外端面に
は、スプリングワッシャ２１を挟んで位置調整用フラン
ジ２２が配置されている。前記スプリングワッシャ２１
は、前記真空シール用フランジ１２と位置調整用フラン
ジ２２の間隔を保持する機能を有し、前記ガスケットＧ
を十分にシールするに足る力を加えても塑性変形しない
ような強度を持つ材質であることが必要である。前記位
置調整用フランジ２２は、前記取付フランジ５と前記真
空シール用フランジ１２と重なり合うような形状、大き
さをしている部材である。前記位置調整用フランジ２２
の中央には、試料ステージ挿入口２２aが形成されてい
る。前記試料ステージ挿入口２２aの外周外端面には、
Ｏリング溝２２bが形成されその外周には試料ステージ
支持用ネジ孔２２cが形成されている。前記Ｏリング溝
２２b内にはＯリング２２dが収容されている。前記試料
ステージ支持用ネジ孔２２cの外周には、前記取付用ネ
ジ孔６と前記取付用ネジ貫通孔１３に対応する多数の取
付用ネジ貫通孔２３が形成されている。前記取付用ネジ
貫通孔２３より中心側の前記真空シール用フランジ１２
と接する側には内端面枠状シール部材接合部２４が形成
されている。前記内端面枠状シール部材接合部２４は、
図３に示すように前記位置調整用フランジ２２の内端面
内周縁側が中心方向（Ｙ方向）へ隆起している。

【００１９】前記外端面枠状シール材接合部１６と前記
内端面枠状シール部材接合部２４との間には枠状シール
部材２６が配置されている。前記枠状シール部材２６は
弾性を有する断面Ｖ字型のベローズ状の部材である。こ
れによって、前記枠状シール部材２６は前記真空シール
用フランジ１２と前記位置調整用フランジ２２との間を
連結するとともに、両フランジ１２，２２の内周面側を
外周面に対して気密にシールする。前記符号１２〜２６
で示された要素によりステージ支持部材（１２〜２６）
が構成され、前記ステージ支持部材（１２〜２６）と前
記取付用ネジ１１とから試料ステージ支持装置Ｓが構成
されている。

【００２０】前記位置調整用フランジ２２には、ステー
ジ固定用ネジ２９により、円筒状のホルダ保持部材３１
のフランジ３２が固定される。前記フランジ３２の内端
面と前記位置調整用フランジ２２の外端面とは位置調整
用フランジ２２の外端面に設けられたＯリング溝２２b
に収容されたＯリング２２dにより気密にシールされ
る。図１、図２において、前記円筒状のホルダ保持部材
３１の内側にはホルダ本体３３がホルダ軸Ｌ回りに配置
されるように回転可能に支持されている。ホルダ本体３
３の先端部には、試料保持部３４が設けられている。前
記試料保持部３４は試料の観察面（電子ビーム入射面）
がホルダ軸Ｌ上に配置されるように前記試料を支持する
部材である。前記ホルダ本体３３の外端部には試料ホル
ダ回転操作部３５が設けられていて、手動により前記試
料ホルダ１をホルダ軸Ｌ回りに回転させることができる
ようになっている。なお、手動の代わりに自動回転駆動
機構を設けることが可能である。前記ホルダ本体３３お
よび試料保持部３４により試料ホルダ（３３＋３４）が
構成されている。また、前記符号３１〜３５で示した要
素により試料ステージ（３１〜３５）が構成されてい
る。

【００２１】（実施例１の作用）次に前述の構成を備え
た実施例１の作用を説明する。前述の特徴を備えた本発
明の実施例１では、前記試料ホルダ本体３３をホルダ軸
Ｌに回転可能に保持する試料ステージ（３１〜３５）
は、ステージ固定用ネジ２９により位置調整用フランジ
２２に固定して支持される。前記位置調整用フランジ２
２の複数の取付用ネジ貫通孔２３を貫通する各取付用ネ
ジ１１は、前記位置調整用フランジ２２と前記真空シー
ル用フランジ１２との間に配置されている複数のスプリ
ングワッシャ２１および前記真空シール用フランジ１２
の各取付用ネジ貫通孔１３とを貫通し、前記取付フラン
ジ５周囲に設けられた複数の取付用ネジ孔６と螺合す
る。これにより前記試料ステージ（３１〜３５）、前記
両フランジ２２，１２およびスプリングワッシャ２１と
が取付フランジ５に連結される。この際、前記位置調整
用フランジ２２と真空シール用フランジ１２との内周縁
側で接合されている枠状シール部材２６、前記真空シー
ル用フランジ１２と取付フランジ５との内周縁側で配置
されているガスケットＧ、およびＯリング２２dにより
前記真空試料室Ａ内部は外部に対して気密にシールされ
る。

【００２２】前記試料ホルダ本体３３の先端部の試料保
持部３４には試料がその観察面をホルダ軸Ｌ上に配置し
た状態で支持される。前記試料の観察面の角度（電子ビ
ームの入射角度）を変えるには、前記ホルダ本体３３の
外端部に設けてある試料ホルダ操作部３５を回転させる
ことで可能となる。しかし、前記電子ビームＬ0と前記
ホルダ本体３３のホルダ軸Ｌとが交差していない場合に
は、試料保持部３４に載置してある試料の観察面に入射
する電子ビームの入射位置が移動するので同一の試料面
の観測、分析が不可能となる。このため前記複数の各取
付用ネジ１１を締め付けることによって試料ステージ
（３１〜３５）の傾きを変えて前記電子ビームＬ0とホ
ルダ軸Ｌとが交差するように調整する。なお、スペーサ
２１が変形できなくなるまでネジ１１が締め込まれた時
点で、それ以上の調整はできなくなるので、スペーサ２
１の大きさは必要な調整量に十分なだけの大きさでなけ
ればならない。これにより、本実施例のような簡単な構
成でも前記電子ビームＬ0とホルダ軸Ｌとが交差するよ
うに調整できる。前記ホルダ軸Ｌが電子ビームＬ0と交
差する状態では前記ホルダ本体３３の外端部に設けてあ
る試料ホルダ操作部３５を回転させても前記試料の観察
面に入射する電子ビームの入射角度が変わるだけで入射
位置は移動しなくなる。したがって、試料の観察面の電
子ビーム入射位置を移動させることなく、電子ビームの
入射角度を変化させて試料面を観察または分析すること
ができる。

【００２３】（変更例）以上、本発明の実施例を詳述し
たが、本発明は、前記実施例に限定されるものではな
く、特許請求の範囲に記載された本発明の要旨の範囲内
で、種々の変更を行うことが可能である。本発明の変更
実施例を下記に例示する。 （Ｈ01）前記スプリングワッシャには皿ばねワッシャな
ど圧縮可能な弾性部材の使用可能である。 （Ｈ02)前記ガスケットは銅製の部材を使用しているが
他の材質の真空シール部材でも使用可能である。

【００２４】

【発明の効果】前述の本発明の試料ステージ支持装置
は、下記の効果を奏することができる。 （Ｅ01）簡単な構成で真空状態を保持しつつ試料ホルダ
のホルダ軸の調整が可能となる。

【図面の簡単な説明】

【図１】 図１は本発明の実施例１の試料ステージ支持
装置の正面図である。

【図２】 図２は同実施例１の試料ステージ支持装置の
平断面図で、前記図１のII−II線断面図である。

【図３】 図３は同実施例１の要部拡大図で前記図２の
矢印IIIで示す部分の拡大図である。

【図４】 図４は荷電粒子線装置の１例としてのＳＥＭ
（走査電子顕微鏡）の平断面図である。

【符号の説明】

Ａ…真空試料室、Ｇ…真空シール部材（ガスケット）、
Ｌ…ホルダ軸、Ｌ0…荷電粒子線、３…外壁部材、４…
開口、５…取付フランジ、６…取付用ネジ孔、１１…取
付用ネジ、１２…真空シール用フランジ、（１２〜２
６）…ステージ支持部材、（１３，２３）…取付用ネジ
貫通孔、２１…スペーサ、２２…位置調整用フランジ、
２６…枠状シール部材、３１…ホルダ保持部材、（３１
〜３５）…試料ステージ、（３３＋３４）…試料ホル
ダ、

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下記の要件を備えたことを特徴とする試
   料ステージ支持装置、（Ａ01）試料ホルダおよび前記試
   料ホルダをホルダ軸回りに回転可能に保持するホルダ保
   持部材を有する試料ステージ、（Ａ02）荷電粒子線に前
   記試料ホルダが配置される状態で前記試料ステージを収
   容する真空試料室、（Ａ03）試料ステージ挿入用の開口
   および前記開口の周囲に設けられ、前記開口から真空試
   料室に搬入した前記試料ステージを取り付ける取付フラ
   ンジを有し、前記真空試料室を形成する真空試料室形成
   用の外壁部材、（Ａ04）前記取付フランジの外周に沿っ
   て形成された多数の取付用ネジ孔、（Ａ05）前記取付フ
   ランジの外端面に連結される真空シール用フランジ、こ
   の真空シール用フランジの外端面に弾性変形可能なスペ
   ーサを挟んで配置された位置調整用フランジ、および前
   記真空シール用フランジ内周縁および位置調整用フラン
   ジの内周縁を気密にシールする枠状シール部材を有し、
   前記位置調整用フランジにより前記試料ステージを支持
   するステージ支持部材、（Ａ06）前記取付フランジおよ
   び前記真空シール用フランジ間に配置された枠状の真空
   シール部材、（Ａ07）前記取付用ネジ孔に対応して、前
   記真空シール用フランジおよび位置調整用フランジの外
   周に沿って形成された多数の取付用ネジ貫通孔、（Ａ0
   8）前記各取付用ネジ貫通孔を貫通し、前記取付用ネジ
   孔と螺合して前記取付フランジと連結する取付用ネジ。