JP2012504868A - 加圧流体を使用して半導体基板を洗浄する装置及び方法 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (15)
- 処理容積部を画定するチャンバボディと;
前記処理容積部内に配置される2つのローラであって、これらのローラの各々が、基板の外周縁を収容するように構成される溝を有し、かつこれらの2つのローラが、基板を略垂直な姿勢で支持し、前記基板を回転させるように構成される、前記2つのローラと;
前記処理容積部内に可動に配置され、かつ前記基板に平行に移動し、加圧流体を前記基板の1つ以上の領域に向けて誘導するように構成されるノズルと;
前記処理容積部内に配置される回動アームであって、前記回動アームが、回動モータに接続される前記回動アームの第1端部を有し、前記ノズルが、前記回動アームの第2端部に接続され、前記回動アームが、前記ノズルを、前記基板を横切って移動させるように構成される、前記回動アームと;
を備えた基板洗浄装置。 - 前記回動アームは、前記基板の上側部分に対応する領域内で前記ノズルを移動させるように構成される、請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記処理容積部内に配置される圧力ホイールを更に備え、前記圧力ホイールは、押圧力を前記基板の外周縁に加えて、前記基板を前記2つのローラに押し付けるように構成される、請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 前記圧力ホイールに接続される移動機構を更に備え、前記移動機構は、前記基板が通過するための通路を空けるように構成される後退位置と、前記基板を前記圧力ホイールと前記2つのローラとの間に保持するように構成される突出位置との間で前記圧力ホイールを移動させる位置制御アクチュエータを含み、前記移動機構は、前記突出位置の前記圧力ホイールを移動させて前記基板を押し付け、解放するように構成される係合アクチュエータを更に含む、請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記係合アクチュエータは:
直線シリンダと;
前記直線シリンダに接続される圧力センサと、を含み、前記圧力センサが、前記基板に加わる圧力を示す特徴量を検出するように構成される、請求項4に記載の基板洗浄装置。 - 前記圧力ホイールに接続される回転センサを更に備え、前記回転センサが、前記基板の回転速度を測定するように構成される、請求項3に記載の基板洗浄装置。
- 前記処理容積部内に配置される第1及び第2噴射バーを更に備え、前記第1及び第2噴射バーの各々が、前記各噴射バーに形成される複数のノズルを有し、前記第1及び第2噴射バーが、洗浄液を前記基板の表面及び裏面に噴射するように構成される、請求項1に記載の基板洗浄装置。
- 基板を略垂直な姿勢で収容するように構成される処理容積部を画定し、かつ基板の通過を可能にするように構成される上面開口部を有するチャンバボディと;
前記処理容積部の下側部分に配置される第1及び第2ローラであって、前記第1及び第2ローラの各々が、前記基板の外周縁を収容するように構成される溝を有し、かつ前記第1及び第2ローラが、前記基板を前記略垂直な姿勢で回転させるように構成される、前記第1及び第2ローラと;
前記処理容積部の上側部分に配置される圧力ホイールであって、前記圧力ホイールが、前記基板が通過する通路を空けるように構成される後退位置と、前記基板を保持するように構成される突出位置との間で移動することができ、前記圧力ホイールが、押圧力を前記基板の前記外周縁に加えて、前記基板を前記第1及び第2ローラに押し付けることにより、前記基板を前記第1及び第2ローラに係合させるように構成される、前記圧力ホイールと;
前記処理容積部内に配置される回動アームに接続され、かつ前記基板に平行に揺動し、加圧流体を前記基板の1つ以上の領域に向けて誘導するように構成される揺動ノズルと;
を備えた基板洗浄装置。 - 前記処理容積部内に配置される第1及び第2噴射バーを更に備え、前記第1及び第2噴射バーの各々が、前記各噴射バーに形成される複数のノズルを有し、前記第1及び第2噴射バーが、洗浄液を前記基板の表面及び裏面に噴射するように構成される、請求項8に記載の基板洗浄装置。
- 前記圧力ホイールに接続される移動機構を更に備え、前記移動機構は:
前記基板が通過する通路を空けるように構成される後退位置と、前記基板を前記圧力ホイールと前記第1及び第2ローラとの間に保持するように構成される突出位置との間で前記圧力ホイールを移動させる位置制御アクチュエータと;
前記突出位置の前記圧力ホイールを移動させて前記基板を押し付け、解放するように構成される係合アクチュエータと、を含み、前記係合アクチュエータは:
直線シリンダと;
前記直線シリンダに接続され、かつ前記基板に加わる圧力を示す特徴量を検出するように構成される圧力センサと、を含む、
請求項8に記載の基板洗浄装置。 - 前記圧力ホイールに接続される回転センサを更に備え、前記回転センサは、前記基板の回転速度を測定するように構成される、請求項10に記載の基板洗浄装置。
- 前記第1及び第2ローラの両方に接続される駆動モータを更に備え、前記駆動モータは、前記第1及び第2ローラを回転させることにより前記基板を回転させるように構成され、前記駆動モータは、前記第1ローラに直接連結され、前記駆動モータは、前記第2ローラにベルトアセンブリを介して連結される、請求項8に記載の基板洗浄装置。
- 半導体基板を洗浄する方法であって:
基板を第1及び第2ローラに載るように位置決めすることであって、前記第1及び第2ローラが、前記基板を支持し、前記基板を略垂直な姿勢で回転させるように構成される、前記位置決めすることと;
前記基板の外周縁に圧力ホイールにより押圧力を加えることにより、前記基板を前記第1及び第2ローラに係合させることと;
前記第1及び第2ローラを回転させて前記基板を回転させることと;
前記基板に向けて加圧流体を噴射ノズルから、前記噴射ノズルを前記基板の半径を横切って揺動させながら誘導することにより、前記基板を洗浄することと、
を含む方法。 - 前記基板を前記第1及び第2ローラに係合させることは:
直線シリンダを使用して、前記圧力ホイールを前記第1及び第2ローラに向けて移動させることと;
前記直線シリンダの圧力を測定することにより、前記基板に加わる前記押圧力をモニタリングすることと、
を含む、請求項13に記載の方法。 - 前記基板の両方の面の側に配置される噴射バーを使用して、前記基板の表面及び裏面に洗浄液を噴射することを更に含み、これらの噴射バーの各々は、前記各噴射バーに形成される複数の噴射ノズルを有する、請求項13に記載の方法。
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