JP2012504317A5 - - Google Patents

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【０００６】
加えて、ワイヤーボンディング装置の様々なサブシステムは、ボンドサイト領域におけるボンディングワイヤーの酸化の可能性を軽減する目的で、カバーガスを前記ワイヤーボンディング装置の前記ボンドサイト領域に提供するために使用される。前記ボンドサイト領域にカバーガスを提供する典型的なサブシステムとは、米国特許出願番号第２００７／０２８４４２１号、及び第２００７／０２５１９８０号と、米国特許番号第５，２６５，７８８号、第５，３９５，０３７号、第６，８６６，１８２号、及び第７，１８２，７９３号を含む。
ワイヤーボンディングにおいて、酸化を軽減するような、改良済みの構造を提供することが望まれる。
この出願の発明に関連する先行技術文献情報としては、以下のものがある（国際出願日以降国際段階で引用された文献及び他国に国内移行した際に引用された文献を含む）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００７】
【特許文献１】 米国特許第６２６７２９０号明細書
【特許文献２】 米国特許第７１０３９５９号明細書
【特許文献３】 米国特許第７５７８４２３号明細書
【特許文献４】 米国特許第４５７２７７２号明細書
【特許文献５】 米国特許第６２３４３７６号明細書
【特許文献６】 米国特許第５２６５７８８号明細書
【特許文献７】 米国特許第５３９５０３７号明細書
【特許文献８】 米国特許第６８６６１８２号明細書
【特許文献９】 米国特許第７１８２７９３号明細書
【特許文献１０】 米国特許第７６５８３１３号明細書
【特許文献１１】 米国特許第６１８０８９１号明細書
【特許文献１２】 米国特許第７６２８３０７号明細書
【特許文献１３】 米国特許第５６１６２５７号明細書
【特許文献１４】 米国特許出願公開第２００８／００９９５３１号明細書
【特許文献１５】 米国特許出願公開第２００３／０１７３６５９号明細書
【特許文献１６】 米国特許出願公開第２００７／０２８４４２１号明細書
【特許文献１７】 米国特許出願公開第２００７／０２５１９８０号明細書
【特許文献１８】 特開２００８−１３０８２５号公報
【特許文献１９】 特開平０７−１８３３２３号公報
【特許文献２０】 特開平０７−２７３１３８号公報
【特許文献２１】 特開昭６０−２４４０３４号公報
【特許文献２２】 特開昭６０−０５４４４６号公報
【特許文献２３】 特開昭５９−１５０４３７号公報
【特許文献２４】 特開昭５９−１５０４４０号公報
【特許文献２５】 特開昭６１−０７６１３１号公報
【特許文献２６】 特開２００７−２９４９７５号公報
【発明の概要】
【課題を解決するための手段】
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