JP2012504227A - カーボンナノチューブを含有する化学センサ、その製造方法、およびその使用 - Google Patents

カーボンナノチューブを含有する化学センサ、その製造方法、およびその使用 Download PDF

Info

Publication number
JP2012504227A
JP2012504227A JP2011528359A JP2011528359A JP2012504227A JP 2012504227 A JP2012504227 A JP 2012504227A JP 2011528359 A JP2011528359 A JP 2011528359A JP 2011528359 A JP2011528359 A JP 2011528359A JP 2012504227 A JP2012504227 A JP 2012504227A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
group
precursor
nanotubes
molecule
chemical compound
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP2011528359A
Other languages
English (en)
Other versions
JP5475786B2 (ja
Inventor
マルティン マン―レルミテ,
セルジュ パラサン,
パスカル シュヌヴィエ,
ジェローム シャンコロン,
オレリアン ゴイエ,
Original Assignee
コミッサリア ア ロンネルジー アトミック エ オ ゾンネルジー ザルテルナティーフ
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by コミッサリア ア ロンネルジー アトミック エ オ ゾンネルジー ザルテルナティーフ filed Critical コミッサリア ア ロンネルジー アトミック エ オ ゾンネルジー ザルテルナティーフ
Publication of JP2012504227A publication Critical patent/JP2012504227A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP5475786B2 publication Critical patent/JP5475786B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N27/00Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means
    • G01N27/26Investigating or analysing materials by the use of electric, electrochemical, or magnetic means by investigating electrochemical variables; by using electrolysis or electrophoresis
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y15/00Nanotechnology for interacting, sensing or actuating, e.g. quantum dots as markers in protein assays or molecular motors
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B82NANOTECHNOLOGY
    • B82YSPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
    • B82Y30/00Nanotechnology for materials or surface science, e.g. nanocomposites
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/14Heterocyclic carbon compound [i.e., O, S, N, Se, Te, as only ring hetero atom]
    • Y10T436/142222Hetero-O [e.g., ascorbic acid, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/16Phosphorus containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/16Phosphorus containing
    • Y10T436/163333Organic [e.g., chemical warfare agents, insecticides, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/17Nitrogen containing
    • Y10T436/172307Cyanide or isocyanide
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/17Nitrogen containing
    • Y10T436/173845Amine and quaternary ammonium
    • Y10T436/175383Ammonia
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/18Sulfur containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/19Halogen containing
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/20Oxygen containing
    • Y10T436/204998Inorganic carbon compounds
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/20Oxygen containing
    • Y10T436/204998Inorganic carbon compounds
    • Y10T436/205831Carbon monoxide only
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/21Hydrocarbon
    • Y10T436/214Acyclic [e.g., methane, octane, isoparaffin, etc.]
    • YGENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
    • Y10TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
    • Y10TTECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER US CLASSIFICATION
    • Y10T436/00Chemistry: analytical and immunological testing
    • Y10T436/22Hydrogen, per se

Landscapes

  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Nanotechnology (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Molecular Biology (AREA)
  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
  • Composite Materials (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Electrochemistry (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
  • Carbon And Carbon Compounds (AREA)

Abstract

本発明は、少なくとも1つの化学化合物を検出するためのデバイスであって、このデバイスが、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも1つのカーボンナノチューブを含み、そこに化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1つの分子がグラフトされている、デバイスに関する。本発明はまた、こうしたデバイスの使用およびこうしたデバイスの調製方法に関する。
【選択図】図1

Description

本発明は、ガス状の化学物質種および特に毒性のガス状化学物質種の検出、同定および定量の分野に関する。
本発明は、より詳細には、機能化されたマルチシートのカーボンナノチューブを含み、こうした検出、同定および定量を可能にする化学センサタイプのデバイス、その調製方法ならびにその使用に関する。機能化は、ポリマーの微細層またはその他にはカーボンナノチューブの表面におけるいくつかの化学基として現れる。
大気中の毒性化学物質の検出は、一般市民または専門家両方の生活における安全上の重要な保障である。平均曝露値を制限することも、多数の化学剤に関して既に確立されている。そのため、こうした背景において、機能する化学センサ、すなわち化学的情報を有用な分析シグナルに変換するセンサの開発は絶対に必要である。
しかし、厳しい制約が、高感度および選択性の両方を有していなければならない、こうした化学センサの製造を制限する。
実際、センサは、標的化学剤に対して非常に高感度でなければならない、すなわち制限含有量(ガスに依存してppmまたはppb)未満の含有量に対して応答を示すことができなければならない。
センサはまた、選択性でなければならない、すなわちいくつかの化学剤を区別できなければならない。
これらの基本的な制約に対して、他にもさらなる二次的な問題が仕様書に加えられる場合もある。
このように、
−センサは低嵩高性を有すること、換言すれば、サンプリングを行う代わりに、分析されるべき媒体中にて直接分析を行うために、小型化可能であり得ること;
−センサは、可能な限り低い生成コストを有するために製造が簡便でなければならないこと;
−操作中のセンサは、ほとんどエネルギーを消費すべきでないこと、および携帯性を増大させるためにそうでなければならないこと;
−センサは、数回使用可能であること(センサの可逆性原理)
が好ましい。
多くの毒性ガスは、センサタイプのデバイスによって標的とされる:揮発性有機化合物、アンモニア、酸化窒素、塩素化化合物、ジメチルメチルホスホネート(DMMP)、水素、メタンなど。以降に示される化学剤のセンサに関する当該技術分野の現状は、より詳細には、塩素ガスの検出を可能にするデバイスおよびカーボンナノチューブに基づくセンサに関する。
生命および健康に対して即時に危険を引き起こし得る塩素濃度値は、約10ppmである。塩素の制限重量平均曝露(作業日あたり8時間の曝露)は、特定の公共団体、例えば労働健康安全委員会(Commission de la Sante et de la Securite du Travail)(Occupational Health and Safety Commission)(カナダの組織)では500ppbと見積もられている。これは、数百ppbのオーダーの濃度またはさらにはそれ未満の濃度においてこうしたガスの検出を確実にすることが必要とされる理由である。
一般に、化学剤のセンサは、2つの主要な成分からなる:認知システムおよびシグナル変換器。それらは、それ自体の変換方法:電気、熱量、電気化学、光学、質量または磁気変換に従って分類され、健康、環境、産業および防衛市場である4つの異なるタイプの市場に影響を及ぼす。
様々な塩素高感度センサが既に存在する:電位差センサ、イオン化センサ、光化学センサおよび半導体材料による抵抗センサを挙げることができる。
電位差センサは、固体電解質、例えば、SrCl−KClまたはPbCl−KClまたはBaClKClを製造することに基づいている。これらのセンサの操作原理は、塩素含有量に依存して変動する電位の測定に基づく。通常、これらのセンサの応答は、1ppmを超える濃度範囲にわたって試験される。そのため、このタイプのセンサの主な欠点は、感度が低いことである。さらに、検出が特定の試験において[1]室温で報告される場合であっても、システムは、一般に、通常300℃を超える温度に加熱される。
イオン化センサの原理は、塩素が電子供給源の近くを通るときに塩素をイオン化することからなる(熱イオン放出)。塩素含有量は、回収された電流から見積もることができる。この技術によれば、温度および湿度からは独立して、100ppb未満の非常に低い塩素含有量を検出できる。しかし、この方法の欠点は、測定方法が非携帯性であることであり、その場での測定を妨げる。
光化学センサの原理は、検出されるべきガスに対して高感度の薄膜の光学特性の試験に基づき、これらの膜は、特に単一ガスに対して高い感度を有することができる(選択性センサの原理)。高感度膜におけるガスの吸着または反応は、特定の波長でのその蛍光または吸光特性に有効な変化をもたらす。吸光度または蛍光の変化の割合を用いて、試験された化学剤の濃度をたどることができる。塩素の特定の場合においては、成形された高感度膜は、フェニルポルフィリン、o−トルイジン、トリス−ビピリジルルテニウム錯体またはその他には特定分子またはイオン(Br、I)を含有するナノ多孔性膜であってもよい[2]。これらの光化学的デバイスを用いて、50ppbまでの低含有量の塩素を検出できる[2]。さらに、検出は室温で行われることに留意する。このタイプのセンサの欠点は、特に高感度膜、ダイオードおよび検出器を含む完全なデバイスの製造コストである。
半導体による抵抗センサに関して、それはデバイスの抵抗の測定であり、ガス状試剤の検出を可能にする。これは、文献において、特に塩素の検出に関して最も頻繁に使用される化学センサのタイプである。半導体表面におけるガスの吸着は、電荷移動をもたすことができ、それがキャリアの発生およびシステムの伝導度における変更をもたらす。高感度層は、有機半導体、例えば、金属フタロシアニンまたはその他の金属酸化物半導体、例えばInO、WOまたはSnOであってもよい。半導体に基づく検出器は、塩素に対して非常に高感度であるデバイスである。文献には、50ppbからの非常に低い検出閾値を有するデバイスが報告されている[3]。しかし、この検出は、これらのセンサが通常150℃を超える温度に加熱された場合にのみ有効になることに留意する。それらが室温において操作できないという事実は、主な欠点である。さらに、塩素の特定の場合において、このタイプのセンサの選択性については全く記載されていないことに留意する。
要約すれば、上述された様々なデバイスのうち、先に確立された基準を満たすものは全くない。
ここ数年来、非常に見込みのある新規な材料としてのカーボンナノチューブが、化学センサにおける高感度成分として多くの試験に使用されている。
カーボンナノチューブに基づくデバイスは、この材料の特異な特性からの利益を得る。まず、カーボンナノチューブは、非常に大きな比表面積を有し、それは1,500m/gに達することができ、それによって周囲雰囲気と相互作用するための非常に大きな表面を与える。第2に、カーボンナノチューブは、非常に高い電気伝導度を有し、それらの表面における分子の吸着に対して、ひいてはより一般にはそれらの環境に対して極めて高感度であることが分かる。これらの特性の組み合わせにより、カーボンナノチューブは、化学センサにおける高感度成分として非常に興味深い材料となる。さらに、小さいサイズのカーボンナノチューブは、小型化デバイスを製造するために有利である。
ナノチューブに基づく多くのタイプの化学センサは、文献に列挙されている。これらは、CNTFET(カーボンナノチューブ電界効果トランジスタ)原理に基づくセンサ、システムの抵抗の測定に基づく抵抗タイプのセンサ、音響センサ、インピーダンスを測定するためのセンサ、イオン化センサ等であってもよい。カーボンナノチューブに基づくCNTFETタイプのセンサおよび抵抗タイプのセンサだけを以降で説明するが、両方のタイプが本発明に最も近い。
第1の手法は、高感度アレイでの分散(単層または多層)カーボンナノチューブからなる。操作原理は、抵抗半導体センサと同じである(システムの抵抗における変化を測定)。試験されたマトリックスは、酸化スズ(SnO)またはポリマー(PMMA、ポリスチレン)またはさらに酸化タングステン(WO)のいずれかである[4,5]。これらのデバイスによって検出されるガスは、二酸化窒素(NO)、テトラヒドロフラン(THF)、クロロメタンおよび他の揮発性有機化合物(VOCs)である。コントロール(ナノチューブを含まない)とデバイスを比較することによって、ナノチューブを含むセンサは、特に感度の観点から非常に強い競争力があることは明らかである[4]。室温にて観察される検出閾値は、最良で1ppm未満となり得る(参照文献[5]ではNOに関して500ppb)。
別の手法は、「センサ」デバイス内におけるカーボンナノチューブの直接合成に関心がある。このタイプのセンサの原理は、特許出願US2007/0145356[6]に示される;しかし、こうしたデバイスによる検出例はこの文献に示されていない。このタイプのデバイスにおいて、その成長は、リソグラフィによって堆積した2つの金属電極間の接合を与える特有のシングルシートのカーボンナノチューブを得るために制御され得る。バイアスをかけることができるケイ素基材は、グリッドとして作用する。Kong et al.により2000年に行われたこれらのデバイスにおける最初の試験は、ガス環境に対する室温でのナノチューブのコンダクタンスを測定する[7]。観測された検出限界は、NOに関して2ppmであり、NHに関して0.1%である。同じタイプのデバイスを用いることによるが、ポリエチレンイミンの薄層で覆われたカーボンナノチューブを用いた場合、Qi et al.は、NO感度閾値を100pptまで低下できた[8]。
多層ナノチューブはまた、デバイス内で直接合成される高感度成分として使用できる。同じ方法において、先行する段落におけるように、多層ナノチューブは、2つの電極間で横方向に低密度で合成されてもよい[9]。特にアンモニアに対して高感度のこれらのセンサは、50ppmの検出閾値を有する[9]。大部分のデバイスにおいて、その精密化は、多層ナノチューブの合成段階を含み、ナノチューブの成長は広範囲であり、触媒薄層(数ナノメートル)から基材(Si、SiOまたはSi)上で直接行われる。システムの抵抗の測定は、(触媒層の下で)予め堆積された、またはその他にはナノチューブによって形成された膜上に2つの金属電極を堆積させることによって、互いにかみ合う電極によって行われる。このタイプのセンサは、検出性能を改善するために加熱されてもよい。参照文献[10]に示される実施例において、デバイスは、165℃の温度にて操作され、二酸化窒素に関して約10ppbの非常に低い検出閾値を示す。同じセンサによって試験される他のガス、エタノールおよびベンゼンについては、相当高い検出閾値(>>1ppm)を有する。同じタイプのデバイスを用いて他のグループにより測定されたメタン(CH)および水素(H)に関する検出閾値も非常に高い(>1,000ppm)。この段落にて示されたデバイスのうち、メタンに対して高感度のセンサだけが、室温で調査される[11]。
いくつかの工程を有する第3の手法は、第1の段階においてカーボンナノチューブの合成を行う工程、および次いで溶媒中にそれらを分散させる工程、および最終的に先に得られた分散液からナノチューブをリソグラフィ処理された電極のネットワーク上に堆積させる工程からなり、次いで電極間の抵抗の発生により、試験によって標的とされる汚染物質の検出が可能になる。互いにかみ合う電極間の接続を達成する単層ナノチューブ集合体からなるデバイスも開発された。室温にて操作され、ナノチューブがクロロスルホン化ポリエチレンポリマーの層で覆われているこうしたデバイスを用いて、観察された塩素検出閾値は非常に高いままである:>2ppm[12]。
多層ナノチューブはまた、分散され、次いで電極上にランダムに堆積させることができる[13]。こうしたデバイス(2つの電極を有する)を用いて、Wang et al.は、5ppm以降で室温でのアンモニアの検出を報告している。
この第3の手法において、センサの成形中に電極上に堆積したカーボンナノチューブはランダムに配向されていることに留意する。いくつかの調査では、優先的方法で電極に対して垂直にナノチューブを整列させるための誘電泳動技術を使用している。誘電泳動技術は、電極間に交互電界を適用することからなる。多層カーボンナノチューブに関するこうした堆積方法を用いることによって、Suehiro et al.は、アンモニアを室温で500ppb以降で検出可能にしたデバイスを製造した[14]。
いくつかの特許文献は、シングルシートのカーボンナノチューブの伝導の測定に基づく化学センサを有し、このナノチューブは、個々に存在するまたはリソグラフィ処理された電極間のネットワークとして組織化されている[15−17]。これらの文献において、高感度層が、電極に接続されたナノチューブに加えられる。特許出願US2006/0263255には、水素を検出するための、パラジウム粒子で覆われた単層ナノチューブの使用が報告されている[17]。国際出願WO2005/026694およびWO2005/062031は、ポリエチレンイミンの層で覆われた単層カーボンナノチューブに基づくCOに対して高感度のデバイスを示す[15,16]。ポリマーは、デバイス上に溶液の液滴を単に添加することによって堆積される。他の機能化剤がこれらの特許に示されているが(金属炭酸塩、芳香族化合物、種々のアミン化合物など)、それらに関連する実施例はない。機能化剤は、含浸(物理的吸着)によって堆積され、共有結合方法においてナノチューブにグラフトされているのではないことに留意することが重要である。特許US7,312,095には、特定のガスに高感度であると想定される試薬に曝しながら、強い電流をセンサデバイスに流すことによる、センサデバイスに一体化されたシングルシートのナノチューブの機能化が提案されている[18]。しかし、この特許においても実施例は示されていない。
先に列挙した制約全体を満たすデバイス設計は、依然として現在も、一部だけが明らかになっている課題を残している。そのため、こうしたセンサの製造は非常に重要な問題である。
本発明は、先に述べた必要性および技術的問題を満たす化学センサタイプのデバイス、すなわち化学剤、特に場合により毒性のガス状化学剤に対して高感度のデバイスを提供することを目的とする。
本発明のデバイスは、室温であっても選択性および極めて高感度であるという事実によって特に区別される。そのためエネルギーの観点からコストが高い加熱システムを加える必要性が全くない。さらに、本発明のデバイスは、形成するのが簡便である。
故に、本発明によって解決される技術的問題の全体は、次の通りである:
−先行技術のセンサの変動するまたはさらには低い感度;
−先行技術のセンサの所与のガスに関する非選択性;
−その場での検出ができず、サンプリングによってのみ検出が可能である先行技術のセンサの嵩高性;
−化学剤を検出するための「抵抗センサ」タイプの先行技術のセンサを加熱する必要性;
−カーボンナノチューブに基づく先行技術のセンサを製造するために適用されるべきコスト高のリソグラフィ技術の使用。
さらに、本発明に従うデバイスは、塩素だけでなく、毒性であるかどうかに拘わらずあらゆるガス化学化合物を検出するために使用できるので、注目に値する。
そのため、本発明は、少なくとも1つの化学化合物を検出することを目的とするデバイスに関し、このデバイスは、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも1つのカーボンナノチューブを含み、そこに化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1つの分子がグラフトされている。
有利なことには、本発明に従うデバイスは、いくつかのグラフェン層を有する、少なくとも2個のナノチューブ;特に少なくとも10個のナノチューブ;とりわけ少なくとも50個のナノチューブ;より詳細には少なくとも100個のナノチューブおよび最も詳細には少なくとも200個のカーボンナノチューブを含み、それぞれのナノチューブは、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1個の分子、および好ましくはいくつかの分子がグラフトしている。「いくつかの分子」とは、本発明の範囲内において、少なくとも5個、特に少なくとも10個、とりわけ少なくとも50個、および最も詳細には少なくとも100個の分子を意味する。
本発明の範囲内に適用されるカーボンナノチューブは、いくつかのグラフェン層を有するナノチューブである。これらのナノチューブはまた、名称:多層ナノチューブ、マルチシートのナノチューブまたは「多層ナノチューブ」に関してMWNTの下で既知である。興味深い注目に値する事実として、いくつかの機能化グラフェン層を有するナノチューブ、すなわちその表面が共有結合方法にて改質されているナノチューブの使用は、シングルシートのカーボンナノチューブとは異なり、それらの伝導特性を損なわない。
当業者は、こうしたカーボンナノチューブを調製できる種々の技術を認知している。例として、特に国際出願WO2004/000727[19]の目的である熱分解方法のようなCVD方法と同様であり、金属触媒上での炭素供給源の熱分解からなる化学的方法を挙げることができる。この方法は、トルエン中に溶解したフェロセンの溶液(5重量%)から得られた混合液体エアロゾルの触媒分解に基づく。超音波エアロゾル発生器(Pyrosol 7901,RBI Company,France)または注入器(例えば自動車用注入器タイプのもの)が使用できる。キャリアガス(1L/分)として使用されるアルゴンは、850℃に加熱された石英反応器にてエアロゾルを運ぶ。長さが数百マイクロメートルであるいくつかのグラフェン層を有し、その直径が10〜100ナノメートルである整列したナノチューブは、合成後に反応器の壁にて獲得される。
本発明に従うデバイスが含むカーボンナノチューブは、長いナノチューブである:それらは、1μm〜1mm、特に10μm〜800μm、とりわけ15μm〜600μm、および最も詳細には20μm以上の長さを有する。これらのナノチューブの直径は、2〜150nm、特に5〜130nm、およびとりわけ10〜100nmである。
最後に、本発明に従うデバイスが含むカーボンナノチューブは、有利なことには、アニールされたナノチューブである。「アニールされたナノチューブ」とは、本発明の範囲内において、調製された後、800℃を超える温度、特に1,000℃を超える、とりわけ1,500℃を超える、およびより詳細には約2,000℃(すなわち、2,000℃±200℃)の温度で、不活性雰囲気下に数時間供されるカーボンナノチューブを意味する。「数時間」とは、本発明の範囲内において、少なくとも1、特に少なくとも6、特にとりわけ少なくとも12、および最も詳細には少なくとも18時間を意味する。これらの条件は、特に、以降の方法の工程(a)中に適用される条件である。オーブン中にて有利に行われるこのアニールを用いて、いずれかの合成副生成物、例えば鉄に基づく触媒材料、を含まず、それらはより長い長距離構造秩序を有するので、良好に結晶化したナノチューブを得ることができる。アニールされたナノチューブに基づくセンサは、非常に良好な構造特性を有し、それにより粗製ナノチューブ、すなわちアニールに供されていないナノチューブと比較した場合にそれらの感度を改善できる(以降の実施例を参照のこと)。
本発明は、特にカーボンナノチューブに基づくセンサタイプの異なるデバイスに関して独創的な地位を占める。本発明は、デバイスの高感度成分としていくつかのグラフェン層を有する長いナノチューブの使用に基づく。一方で、本発明は、機能化されることができ、すなわち化学機能またはポリマー鎖の共有結合グラフトによって、それらの表面を改質できるカーボンナノチューブからの利益を享受する。そのため、提案されたデバイスは、標的とするガスに対して親和性を有するいくつかのグラフェン層を有する機能化されたカーボンナノチューブを一体化する。このデバイスの革新的観点によれば、選択性を保証できる。
共有結合方法にて、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する分子を、この化合物の選択された検出のためにグラフトすることによる、カーボンナノチューブの表面の化学的改質は、ポリマー層がナノチューブ/電極システムの精密化後にセンサデバイスの全体に堆積する先行技術[12]のデバイスとは異なる手法であることに留意すべきである。
「化学化合物と反応できる基Gを保持する分子」とは、任意の天然または合成分子、有利なことには数個の原子から数十またはさらには数百個の原子を含む有機分子意味する。そのため、この分子は、化学的機能、単純な分子またはより複雑な構造、例えばポリマー構造を有する分子であってもよい。この分子の構造に拘わらず、本発明の範囲内にある本質的な特徴は:
−一方で、分子は、この分子の原子とカーボンナノチューブの原子とが関与する結合によって、共有結合方法にて実施されるカーボンナノチューブに結合され、そのためこの分子は、ナノチューブの表面での共有結合に関与する機能を含むこと;
−他方で、分子は、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を含むこと
という事実である。
基Gまたはこうした基の前駆体は、ナノチューブの表面で共有結合に関与する機能とは異なることは、当業者に明らかである。
本発明の第1の代替例において、カーボンナノチューブにグラフトされるべき、化学化合物と反応できる基Gを保持する、またはこうした基Gの前駆体を含む分子(以降は分子Mとして識別される)は、特定条件下で、ラジカル反応、例えばラジカル化学グラフト化によってカーボンナノチューブの表面にグラフトされることができるいずれかの有機分子に対応し、この分子Mはさらに、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を含む。こうした分子Mは、一般に、ラジカルと反応できる少なくとも1つの官能基を含む。
「ラジカル化学グラフト化」という用語は特に、ナノチューブの表面と共有結合タイプの結合を形成するために不対電子を有する分子体の使用を指し、この分子体は、グラフトされることを目的とする表面とは独立に、生じる。こうして、ラジカル反応は、ナノチューブの表面と、グラフトされた分子Mの誘導体との間の共有結合の形成をもたらす。
「分子Mの誘導体」とは、本発明の範囲内において、分子Mから得られる化学ユニットであって、この分子が、本発明の範囲内で適用されるナノチューブ表面とラジカル化学グラフト化によって反応するユニットを意味する。分子Mによって保持される基Gまたはこの基の前駆体は、ナノチューブの表面との共有結合に関与する機能とは異なることは当業者に明らかである。
カーボンナノチューブ上にグラフトされるべき、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する分子(分子M)は、有利なことには、アリールジアゾニウム塩、アリールアンモニウム塩、アリールホスホニウム塩およびアリールスルホニウム塩によって形成される群から選択される開裂可能なアリール塩であり、このアリール基は、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する。これらの塩において、アリール基は、以降で定義されるように、Rによって表すことができるアリール基である。
開裂可能なアリール塩のうち、次の式(I)の化合物を特に挙げることができる:
R−N ,A (I)
式中:
−Aは、一価アニオンを表す
−Rは、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持するアリール基を表す。
開裂可能なアリール塩、および特に上記式(I)の化合物のアリール基として、有利なことには、1つ以上の芳香族またはヘテロ芳香族環からなる、場合により一置換または多置換された芳香族またはヘテロ芳香族炭素構造を挙げることができ、各環は3〜8個の原子を含み、ヘテロ原子はN、O、PまたはSであってもよい。置換基は、1つ以上のヘテロ原子、例えば、N、O、F、Cl、P、Si、BrまたはS、ならびに特にC−Cアルキル基を含有してもよい。本発明の範囲内において、こうした炭素構造および/またはそれらの任意の置換基は、所与の化学化合物と反応できる少なくとも1つの基Gまたはこうした基の前駆体を保持するべきであることは明らかである。
開裂可能なアリール塩および特に上記式(I)の化合物内において、Rは、好ましくは、電子求引性基、例えば、NO、COH、ケトン、CN、COH、NH(NH として)、エステルおよびハロゲンで置換されたアリール基から選択される。アリールタイプのより好ましい基Rは、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体をさらに保持するニトロフェニルおよびフェニルラジカルである。
上記式(I)の化合物内において、Aは、特に、無機アニオン、例えば、I、BrおよびClのようなハライド、テトラフルオロボレートのようなハロボレート、パークロレート、およびスルホネート、ならびに有機アニオン、例えばアルコラート、カルボキシレートから選択できる。
式(I)の化合物として、フェニルジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−ニトロフェニルジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−ブロモフェニルジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−アミノフェニルジアゾニウムクロリド、4−アミノメチルフェニル−ジアゾニウムクロリド、2−メチル−4−クロロフェニルジアゾニウムクロリド、4−ベンゾイルベンゼンジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−シアノフェニルジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−カルボキシフェニルジアゾニウムテトラフルオロボレート、4−アセトアミドフェニル−ジアゾニウムテトラフルオロボレート、ジアゾニウム4−フェニル酢酸テトラフルオロボレート、2−メチル−4−[(2−メチルフェニル)ジアゼニル]ベンゼンジアゾニウムスルフェート、9,10−ジオキソ−9,10−ジヒドロ−1−アントラセンジアゾニウムクロリド、4−ニトロナフタレンジアゾニウムテトラフルオロボレートおよびナフタレンジアゾニウムテトラフルオロボレートによって形成される群から選択される化合物を使用するのが特に有利であり、これらすべての化合物は、必要により、検出されるべき化学化合物と反応できる基またはこうした基の前駆体で置換される。実際、上記で列挙された化合物のうち特定の化合物が所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を有していない場合、こうした基またはこうした前駆体は、それらが本発明の範囲内で使用可能であるように、例えば置換によってこの化合物に導入されるべきであることは明らかである。
本発明の第2の代替例において、化学化合物と反応できる基Gを保持するまたはこうした基の前駆体を含み、カーボンナノチューブにグラフトした分子は、いくつかの同一および/または異なるモノマーユニットから主に誘導されるポリマーまたはコポリマーであり、このポリマーまたはコポリマーは、化学化合物と反応できる少なくとも1つの基Gまたはこうした基の前駆体を保持する。
有利なことには、本発明の範囲内で適用されるモノマーユニットの全てまたは一部は、ラジカル経路により重合可能なモノマーである。「ラジカル経路により重合可能なモノマー」とは、ラジカル化学物質体によって開始された後のラジカル条件下で重合可能なモノマーを意味する。通常、これらは、エチレンタイプの少なくとも1つの結合を含む分子、すなわちエチレンタイプの分子である。ビニルモノマー、特に国際出願WO2005/033378およびWO2006/097611に記載されるモノマーが、特に関連している[20,21]。
本発明の特に有利な実施形態によれば、ビニルモノマーは、次の式(II)のモノマーから選択される:
式中、基R〜Rは、それぞれ同一または異なって、非金属一価原子、例えば、ハロゲン原子、水素原子、飽和または不飽和化学基、例えば、アルキル、アリール基、ニトリル、カルボニル、アミン、アミドまたは−COOR基を表し、Rは、水素原子またはC−C12または好ましくはC−Cアルキル基を表す。
上記式(II)のモノマーは、特に、ビニルアセテート、アセトニトリル、メタクリロニトリル、メチルメタクリレート、エチルメタクリレート、ブチルメタクリレート、プロピルメタクリレート、ヒドロキシエチルメタクリレート、ヒドロキシプロピルメタクリレート、グリシジルメタクリレートおよびそれらの誘導体;アクリルアミドおよび特にアミノ−エチル、プロピル、ブチル、ペンチルおよびヘキシルメタクリルアミド、シアノアクリレート、ジアクリレートおよびジメチルアクリレート、トリアクリレートおよびトリメタクリレート、テトラアクリレートおよびテトラメタクリレート(例えば、ペンタエリスリトールテトラ−メタクリレート)、スチレンおよびその誘導体、パラクロロスチレン、ペンタフルオロ−スチレン、N−ビニルピロリドン、4−ビニルピリジン、2−ビニルピリジン、ビニル、アクリロイルまたはメタクリロイルハライド、ジビニルベンゼン(DVB)およびより一般的にはビニル架橋剤またはアクリレート、メタクリレート、およびそれらの誘導体に基づくものによって形成された群から選択される。
ポリマーまたはコポリマーは、直接または間接のいずれかにおいてナノチューブの表面にグラフトされてもよい。「直接グラフト化」とは、ナノチューブ表面とポリマーまたはコポリマーとの間の共有結合がこのポリマーまたはコポリマーを構成するモノマーの1つの原子およびナノチューブ表面の原子を含む場合を意味する。「間接グラフト化」とは、分子体がポリマーをナノチューブの表面から分離させている場合を意味する。故に、この分子体は、ナノチューブの表面に、共有結合を介して、および、ポリマーまたはコポリマーに結合した別の共有結合を介して結合する。こうした分子体は、有利なことには、分子体が必ずしも基Gまたはこうした基の前駆体を含まない場合を除いて、先に定義されたような分子Mから誘導される。より詳細には、この分子体は、分子体が必ずしも基Gまたはこうした基の前駆体を含まない場合を除いて、先に定義されたような分子Mの誘導体の誘導体に対応する。実際、この誘導体が、ナノチューブの表面とのラジカル化学グラフト化によって反応したら、グラフトされた誘導体は、先に定義されたようなモノマーとのラジカル反応によって反応する。この代替例において、ポリマーは、場合により、それを構成する一部のモノマーユニット間に、ポリマーをナノチューブ表面にグラフトするために使用される1つ以上の分子体を含有してもよいことは明らかである。
それによって得られたナノチューブの表面にグラフトされたポリマーまたはコポリマーは、化学化合物と反応できる少なくとも1つの基Gまたはこうした基の前駆体を保持する。この基は、特にモノマーユニットの少なくとも1つによって保持されてもよい。故に、例として式(II)のモノマーを含むポリマーまたはコポリマーに関して、少なくとも1つのこれらのモノマーが、検出されるべき化学化合物と反応できる基を保持し、ラジカル重合に関与しない基R〜Rの少なくとも1つを含む。あるいは、得られたポリマーまたはコポリマーは、必要に応じて、基Gまたはこうした基の前駆体で置換されてもよい。
それによって得られたナノチューブの表面にグラフトしたポリマーまたはコポリマー膜は、50nm未満、有利なことには40nm未満、特に30nm未満、およびとりわけ20nm未満の長さを有する。
本発明の範囲内で適用される、検出されるべき化学化合物と反応できる基Gは、検出されるべき化学化合物の存在下に置く場合に、化学化合物と直接または間接的に反応できるあらゆるタイプの基であってもよい。
本発明の第1の実施形態において、基Gは、化学化合物に対して親和性を有し、化学化合物と反応する。この反応中、結合、特にファンデルワールスタイプの弱い結合が、基Gと化学化合物との間に現れる。この場合、基Gは、化学化合物と錯体を形成するまたは基G上で化学化合物を物理的に吸収するために、化学化合物と反応できる。
本発明の第2の実施形態において、基Gは、基Gとは異なる別の基Gを与えるために、化学化合物と直接または間接的に反応する。化学化合物の存在下での反応中、基Gは、基Gに対応する異なる基で置換されてもよい。あるいは、化学化合物の存在下、基Gを基Gに対応する異なる基に変換するために、少なくとも1つの原子を加えてもよく、または基Gから取り除いてもよく、この基Gは荷電されていてもいなくてもよい。
基G上の化学化合物の物理的吸収、基Gおよび化学化合物との錯体形成、または基Gの基Gによる置換は、化学化合物の不存在下での基Gを含むナノチューブの抵抗と比較した場合に、ナノチューブの抵抗を変更する結果となる。
本発明の範囲内で適用できるこうした基Gは、一般に、ヘテロ原子と、炭素、水素または別のヘテロ原子に対応する別の元素との間に少なくとも1つの共有結合を含む基に対応する。ヘテロ原子は、一般に、N、O、S、Cl、BrおよびSiから選択される。
有利なことには、この基Gは、ヒドロキシル、チオール、アジド、エポキシド、アジリジン、アミン、ニトリル、イソシアネート、チオシアネート、ニトロ、アミド、ハライド、特にアルキルハライド、カルボン酸およびエステル機能によって形成される群から選択される。
「化学化合物と反応できる基Gの前駆体」とは、本発明の範囲内において、その性質上化学化合物と直接反応できないが、単純な化学反応を介して基Gを与えることができる基を意味する。こうした前駆体は、例えば、保護基によって保護されたG基であってもよい。当業者は、様々な種類の前駆体およびそれらを所与の化学化合物と反応できる特定のG基に変換する様々な方法について認知している。
例として、表1は、化学化合物、それらと関連する基G、適用される反応、および場合によりその化合物の存在下で得られる任意の基Gを示し、R’は基Gを保持する分子部分を表す。
本発明に従うデバイスはさらに:
−支持体、
−およびその支持体上に配置された2つの電極
−本発明のデバイスが含むカーボンナノチューブであって、これらの両方の電極の間の電気的接触を確実にするナノチューブ
を含む。
実際、本発明のデバイスは、抵抗センサであり、すなわち所与の化学化合物を検出するための変換手段として、いくつかのグラフェン層を有するカーボンナノチューブの抵抗を使用するセンサである。これらの電極両方の間の接触を確実にする、グラフトされたカーボンナノチューブの抵抗が測定される。カーボンナノチューブ上にグラフトされた分子によって保持される基Gと反応する化学化合物の作用の下で、この基Gに物理的に吸収されるために、基Gと錯体を形成するために、または基Gを与えるために、ナノチューブの抵抗は、その性質および検出される化合物の含有量に依存して特定の方法で変動する。
本発明に従うデバイスが含む支持体は、本発明に適用が可能な任意の支持体であり得る。それはまた、実質的に平坦であってもよく、任意の形状、例えば、正方形、長方形、円形または楕円形状を有していてもよい。有利なことには、シリカ、ガラス、ポリマー、プラスチックなどのような絶縁材料製であってもよい。
本発明に従うデバイスが含む電極は、伝導材料からなる。この電極は、あらゆる金属または金属材料、有利なことには、Au、Pd、Pt、Al、Cr、Ni、Ti、ITO、Wおよび鋼によって形成される群から選択される材料の多層材料製、または金属/金属材料複合材料、例えば、Ti/Au、Cr/Au、Ti/PdまたはTi/Au製であってもよい。
電極はまた、本発明の適用を可能にする任意の形状を有することができる。有利なことには、本発明のデバイスに適用される電極は、らせん状または同心状に互いにかみ合った櫛型形状を有する。好ましくは本発明に従うデバイスが含む電極は、有利なことには、それぞれの電極が、少なくとも3個のアーム、特に少なくとも5個のアーム、およびとりわけ少なくとも10個のアームを含む互いにかみ合った櫛型形状を有する。
支持体表面に2つの電極を調製可能にする当業者に既知のあらゆる技術が、本発明の範囲内で使用できる。しかし、有利なことには、長さが20μm以上のいくつかのグラフェン層を有する長いカーボンナノチューブの使用は、大きい電極間空間を想定可能にする。有利なことには、これらの空間は1〜300μm;特に5〜200μm;とりわけ20μmを超え、より詳細には50μmを超える。これに関して、電極を精密化するための簡便で相対的に安価な簡便な技術、例えば真空中での金属堆積技術、例えばプラズマによる熱蒸着によるもの(またはPECVD「プラズマ増強化学蒸着」)またはスパッタリングによるものに利用可能である。
本発明に従うデバイスの電極を調製するための代表的な方法として、電極を、蒸着チャンバー中のガラスプレート上に予め堆積させる。それらは、2つの薄層:ガラス表面との接着を確実にする数ナノメートルのクロムまたはチタン接着層にある金属薄層のスタックからなる。
本発明のデバイスが含むカーボンナノチューブは、2つの電極に関して実質的に垂直である配向を有する。さらに、これらのナノチューブは、この電極上に均質に配列されている。「均質配列」とはカーボンナノチューブが、ナノチューブのクラスターをほとんどまたは全く有さずに電極間に規則的に分配されることを意味する。図8Bは、ナノチューブの均質配列の例示である。故に、電極上にナノチューブを配置するための誘電泳動技術のような技術の使用は、有利なことには互いにかみ合った電極間に優先的に垂直に配向させたカーボンナノチューブの均質な配列を導く。この技術を用いればまた、電極間の接触を確実にするために少量のカーボンナノチューブを使用するだけでよく、デバイスの製造コストを削減し、周囲空気と接触する比表面積を増大させる。
最後に、本発明の目的であるデバイスはさらに、電流または所与の電位を電極に適用でき、デバイスの抵抗が制御できる手段を含む。これらの手段は、有利なことには、次から選択される1つ以上の成分を含む:
−電池のような電源、
−回路のような、電極と電源とを接続するための手段、
−電極に適用される電位および/またはナノチューブの抵抗を調節、追跡および/またはモニターすることができる制御手段および測定手段。
図1は、本発明に従うデバイスの概略図である。このデバイスは、支持体(1)に対応するガラスプレート、それぞれが3つのアームを有する2つの互いにかみ合った伝導電極(2)、両方の電極間の電気的接触を達成するグラフトしたマルチシートのカーボンナノチューブ(3)、およびナノチューブの抵抗の変化、ひいてはデバイスの抵抗の変化を追跡できる手段(4)からなる。電極間の有用な空間は、1〜300μmである。電極の櫛は、支持体上で約100mmの表面積を占め、この表面は400mm〜10cmであり、特に400mm〜1cmである。
本発明の目的であるデバイスは、特に毒性のガス状化学剤、例えば、とりわけ塩素の選択的および低含有量検出(<1ppm)を可能にする。この検出は、適当な温度、有利なことには100℃未満、特に80℃未満、とりわけ60℃未満、およびより詳細には40℃未満にて可能である。より好ましくは、検出は、室温、すなわち20℃±5℃の温度にて行われる。こうした条件下、例として塩素は、27ppb未満の含有量に関して検出できる。室温にて検出を行うことができることにより、その適切な操作のためにデバイスに加熱システムを加えなくてもよい。
追加の基準が、本発明に従うデバイスについて先に議論された特徴に加えられる。デバイスの適切な操作に関する、および検出および定量の再現性に関する主要パラメータであるデバイスの初期抵抗は、電極上に堆積させるためにカーボンナノチューブを取り出す分散液の濃度を介して、細かく制御できる(±100Ω)。有利なことには、同じ特徴を有するように連続して本発明に従うデバイスを製造できる。そのため、すなわち製造されたそれぞれのデバイスに関して個別の較正をしなくてもよい。
本発明はまた、先に定義されるような少なくとも2つのデバイスを含むシステムに関する。有利なことには、こうしたシステムは、少なくとも3個、特に少なくとも5個のデバイス、とりわけ少なくとも10個のデバイス、およびより詳細には少なくとも15個のデバイス、例えば先に定義されたようなデバイスを含む。これらのデバイスのうち、それらの一部またはさらには全ては、標的とするガスによって、すなわちナノチューブが保持する基Gによって差別化される。本発明に従うシステムが有するデバイスは、組み立てられてもよく、それらは同時に操作される。この場合システムは、一般に「電子鼻」と呼ばれるマルチセンサシステムになる。結局、このシステムは、多くの化学剤の検出を可能にし、それぞれの化学剤は、システムを構成する各デバイスに特異な応答を有する。
本発明はまた、1つ以上のガス状化学化合物を検出、および場合により定量するために先に規定されたようなデバイスまたはシステムの使用に関する。いずれかのガス状化学化合物は、本発明に従うデバイスまたはシステムを用いることによって検出および/または定量できる。有利なことには、このガス化学化合物は、揮発性有機化合物、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、塩素および塩素化化合物、アンモニア、有機リンガス、例えばサリンおよびジメチルメチルホスホネート、青酸、塩化チオニル、ホスフィン、テトラヒドロフラン、メタンおよびジメチルメチルホスホネートによって形成される群から選択される。
そのため、本発明は、本発明に従うデバイスをガス状化学化合物が存在するか、または存在し得る環境に置き、デバイスの少なくとも1つの電気的特徴の変化を追跡することからなる、このガス状化学化合物を検出および場合により定量するための方法に関する。例として、この特徴は、デバイスの抵抗、インピーダンスおよび/または静電容量であってもよい。
最後に、本発明は、先に定義されたような少なくとも1つの化学的化合物を検出することを目的としたデバイスを調製するための方法に関する。
この方法は、2つの電極上に、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも1つのカーボンナノチューブを堆積させることからなる工程を含み、ナノチューブ上に、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1つの分子がグラフトしており、このカーボンナノチューブは電極間の電気的接触を確実にできる。
予め調製され、グラフトされたカーボンナノチューブを堆積させるいずれかの既知の技術は、本発明の範囲内で使用できる。しかし、既に述べた利点を考慮すると、こうした堆積は、誘電泳動により行われる。有利なことには、こうした堆積工程は、(i)電極上に、先に定義されたような予め調製され、グラフトされたカーボンナノチューブが分散した所与の体積の溶液Sを配置すること;(ii)電極間に、ピークからピークが正弦曲線状に変化する交流電圧を適用すること、および(iii)工程(ii)にて得られたデバイスをオーブン中で乾燥させることからなる。
工程(i)中、適用された電極は、先に定義されたようなものであり、先に定義されたような支持体上に配置される。故に、「デバイス」という用語は、支持体、電極、および電極上に配置されたグラフトされたカーボンナノチューブを含む。グラフトされたカーボンナノチューブが分散した溶液Sは、溶媒として、有機溶媒または別の方法として界面活性剤を含有する水性溶媒を含有する。当業者に既知の任意の有機溶媒が使用できる。しかし、この溶媒は、有利なことには、メタノール、エタノール、プロパノール、イソプロパノール、トルエン、エチルアセテート、テトラヒドロフラン、アセトン、ジメチルホルムアミド、およびイソプロピル1,4−ジオキサンによって形成される群から選択される。溶媒として、界面活性剤を含有する水性溶媒を含有する溶液Sの場合、当業者に既知の任意の界面活性剤が使用できる。有利なことには、この界面活性剤は、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、両性イオン性界面活性剤および中性(非イオン性)界面活性剤、および特に国際出願WO2008/078052[22]に記載される界面活性剤から選択されるタイプに属する。
グラフトされたカーボンナノチューブは、溶液S中に、溶液Sの0.1〜1,000mg/L、特に1〜500mg/L、とりわけ5〜250mg/L、およびより詳細には10〜100mg/Lの量で存在する。
グラフトされたカーボンナノチューブは、当業者に既知の任意の技術によって溶液S中に維持され、および分散されることができる。例として、超音波を用いる簡単な撹拌、手動撹拌、ロッド、ブレード、プロペラなどを有する機械的撹拌器による機械的撹拌、または撹拌技術の組み合わせを挙げることができる。カーボンナノチューブがグラフトされる事実は、溶液S中のそれらの分散を促進することに留意すべきである(以降の実施例1を参照のこと)。
電極上に堆積させた溶液Sの体積は、有利なことには、0.1μL〜10mL、特に0.5μL〜1mL、とりわけ1μL〜100μL、最も詳細には5μL〜50μLである。溶液Sは、有利なことには1または数滴の液滴の形態で堆積される。
工程(ii)は、有利なことには、電極上に堆積した溶液Sの液滴によって形成されたメニスカスの蒸発中に適用される。電極間に適用されるピークからピークが正弦曲線状に変化する交流電圧は、5〜50V、特に10〜30V、およびとりわけ20Vのオーダー(すなわち、20±5V)である。工程(ii)中に使用される周波数範囲は、100kHz〜100MHz、および特に5〜30MHzである。
工程(iii)中、デバイスは、50〜200℃、特に100〜150℃、およびとりわけ120℃のオーダー(すなわち120±5℃)の温度でのオーブン中に、15分〜36時間、特に8〜24時間、およびとりわけ12時間のオーダー(すなわち12時間±30分)の期間、使用前に置かれる。化学センサの操作が最適である(最良の感度、シグナル対ノイズ比および安定性)初期抵抗範囲は、100〜500Ωに位置する。
本発明の方法は、カーボンナノチューブ上に、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する分子をグラフトさせることからなる予備工程を含む。
当業者に既知のあらゆるグラフト化技術が、本発明の範囲内で使用できる。しかし、有利に適用される技術は、国際出願WO2008/078052[22]に記載されるものである。
故に、この予備グラフト化工程は、少なくとも1つのカーボンナノチューブの存在下、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する少なくとも1つの分子またはこうした分子の前駆体を含有する溶液Sを、この分子または前駆体から少なくとも1つのラジカル体を形成できる条件に供することからなる。
本発明に従う方法のグラフト化工程に適用される溶液Sは、次のものであってもよい溶媒を、溶媒として含有する:
−プロトン性溶媒、すなわちプロトンとして放出され得る少なくとも1つの水素原子を含む溶媒、および有利なことには水、脱イオン水、酸性化または塩基性化の蒸留水、酢酸、ヒドロキシル溶媒、例えばメタノールおよびエタノール、低分子量液体グリコール、例えばエチレングリコール、およびこれらの混合物によって形成される群から選択される溶媒;
−または非プロトン性溶媒、すなわち非極限条件下でプロトンを放出できない、および、プロトンを受容できない溶媒、および有利なことには、ジメチルホルミド(DMF),アセトン、アセトニトリル、およびジメチルスルホキシド(DMSO)から選択される溶媒;
−または少なくとも1つのプロトン性溶媒および少なくとも1つの非プロトン性溶媒の混合物。
本発明の方法のグラフト化工程において少なくとも1つのラジカル体の形成を可能にする条件は、溶媒、少なくとも1つのナノチューブ、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する少なくとも1つの分子またはこうした分子の前駆体を含む反応混合物に、電圧を適用することなしに、ラジカル体形成を可能にする条件である。
これらの条件は、例えば、温度、溶媒の性質、特定の添加剤の存在、撹拌、圧力のようなパラメータを含むが、電流は、ラジカル体の形成中に関与しない。ラジカル体の形成を可能にする条件は、多数あり、このタイプの反応は、既知であり、先行技術に詳細に試験されている。
それにより、ラジカル体を形成するように脱安定化させるために、例えば、所与の化学化合物と反応できる基Gを保持する分子またはこの基の前駆体(またはこうした分子の前駆体)の熱的、動力学的、化学的、光化学的または放射線化学的環境に作用させることができる。もちろん、これらのパラメータのいくつかに対して同時に作用させることもできる。
本発明の範囲内において、本発明に従うグラフト化工程中のラジカル体を形成可能な条件は、通常、熱的条件、動力学的条件、化学的条件、光化学的条件、放射線化学的条件およびそれらの組み合わせによって形成される群から選択され、その条件に、分子またはその前駆体を供する。有利なことには、本発明に従う方法のグラフト化工程の範囲内において適用される条件は、熱的条件、化学的条件、光化学的条件、放射線化学的条件ならびに互いの組み合わせおよび/または動力学的条件との組み合わせによって形成される群から選択される。本発明の方法に従う方法のグラフト化工程の範囲内で適用される条件は、より詳細には化学的条件である。
熱的環境は、温度に依存する。当業者に慣用的に使用される加熱手段を用いて温度を制御することは容易である。恒温環境の使用は、反応条件を正確に制御できるので、特に有利である。
動力学的環境は、本質的に、システムの撹拌および摩擦力に対応する。ここでの問題は、分子自体の撹拌(結合の伸長など)ではなく、分子の全体的な動きである。
故に、このグラフト化工程の間、溶液Sは、機械的撹拌および/または超音波による処理に供される。第1の代替例において、グラフト化工程中に適用される懸濁液は、磁性撹拌器によって、および磁性棒によって高速回転に供され、これは5分〜24時間、特に10分〜12時間、およびとりわけ15分〜6時間の期間の撹拌である。第2の代替例において、グラフト化工程の間に適用される懸濁液は、典型的に500Wの吸収および25または45kHzの周波数での超音波パンを用いることによって超音波処理に供され、これは、5分〜24時間、特に15分〜12時間、およびとりわけ30分〜6時間の期間の撹拌である。
最後に、種々の放射線、例えば、電磁放射線、γ線、UV線、電子線またはイオンビームの作用も、ラジカルを形成させるために十分、分子Mを脱安定化できる。使用される波長は、いかなる発明的努力も必要とせずに、使用される分子Mに従って選択される。例えば約306nmの波長は、4−ヘキシルベンゼンジアゾニウムに使用される。
化学的条件の範囲内において、1つ以上の化学開始剤が反応媒体中で使用される。化学開始剤の存在は、多くの場合、上記で議論されたように、非化学的環境条件と組み合わせられる。通常、化学的開始剤は、その安定性が選択された環境条件の下で適用される分子または前駆体よりも小さく、不安定な形態になり、分子または前駆体に作用し、ラジカル体の形成を生じる。また、化学的開始剤の使用が可能であり、その作用は本質的には環境条件に関連せず、広範囲の熱またはさらには動力学的条件にわたって作用し得る。開始剤は、好ましくは反応環境、例えば使用される溶媒に適合される。
多くの化学的開始剤が存在する。3つのタイプが、一般に使用される環境条件に依存して区別される:
−熱開始剤であって、この最も一般的なものは、過酸化物またはアゾ化合物である。熱の作用下で、これらの化合物は解離してフリーラジカルになる。この場合、反応は、開始剤からラジカルを形成するために必要とされる温度に対応する最低温度にて行われる。このタイプの化学開始剤は、一般に、それらの分解動力学に依存して、特定の温度間隔にて特に使用される;
−照射によって引き起こされる放射線により励起される光化学または放射線化学開始剤(ほとんどの場合UVによるだけでなく、γ線または電子線による)が、多少複雑な機構によってラジカル生成を可能にする。BuSnHおよびIは、光化学または放射線化学開始剤に属する;
−本質的な化学開始剤であって、このタイプの開始剤は、ラジカルを形成可能にするために、標準の温度および圧力条件下で、分子またはその前駆体に素早く作用する。こうした開始剤は、一般に、酸化還元電位を有し、それは、反応条件下で使用されるこの分子または前駆体を還元するための電位未満である。故に、分子またはその前駆体の性質に依存して、これは、分子またはその前駆体の脱安定化を可能にするのに十分な割合での、還元性金属、例えば鉄、亜鉛、ニッケル;メタロセン;有機還元剤、例えば次亜リン酸(HPO)またはアスコルビン酸;有機または無機塩基であってもよい。有利なことには、化学開始剤として使用される還元性金属は、微細に分割された形態、例えば金属ウール(より一般的には「スケール」とも呼ばれる)または金属削りくずである。一般に、有機または無機塩基が、化学開始剤として使用される場合、4以上のpHが一般に十分である。先に述べた電子線または重イオンビームおよび/または照射手段全体を用いて予め照射処理されたポリマーマトリックスのようなラジカル貯蔵体タイプの構造はまた、分子またはその前駆体を脱安定化し、それらからラジカル体の形成を導くために化学的開始剤としても使用されてもよい。
本発明に従う方法のグラフト化工程の間、カーボンナノチューブは、溶液Sの1.10−5g/mL〜1.10−1g/mL、および有利なことには溶液Sの1.10−4g/mL〜1.10−2g/mLの量で、溶液S中に存在する。
さらに、本発明に従う方法のグラフト化工程の間、使用される固体化合物、特にカーボンナノチューブおよび化学開始剤、例えば鉄ウールの濃度は、溶液Sの1.10−5g/mL〜1g/mL、および有利なことには溶液Sの1.10−4g/mL〜1.10−1g/mLの量で溶液S中に存在する。
より詳細には、本発明に従う方法は、次の連続工程を含む:
a)場合により、いくつかのグラフェン層を有するカーボンナノチューブを、特に先に記載の条件下にてアニールする工程;
b)工程(a)にて場合によりアニールされたナノチューブを、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する少なくとも1つの分子またはこうした分子の少なくとも1つの前駆体を含む溶液Sと接触させる工程;
c)このナノチューブ上に、この分子またはこの前駆体をグラフトさせるために工程(b)の混合物を非電気化学条件に供する工程;
d)工程(c)の後に得られたグラフトされたナノチューブを回収し、2つの電極間に、特に誘電泳動によって堆積させる工程。
本発明に従う方法にて適用される所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する分子は、有利なことには、先に定義されたような分子Mである。
「この前駆体」とは、本発明の範囲内において、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこの基の前駆体を保持する分子の前駆体を意味する。
第1の代替例において、「この前駆体」とは、より詳細には、適用するのが容易な単一操作工程によって分子Mから分離される分子を意味する。
一般に、前駆体は、同じ環境条件下にて分子Mよりも高い安定性を有する。当業者は、種々の「分子Mの前駆体」/「分子M」対を認知する。故に、例えばアリールアミンは、アリールジアゾニウム塩の前駆体である。実際、簡便な反応により、例えば酸性水性媒体中のNaNOを用いるまたは有機媒体中のNOBFを用いる反応によって、対応するアリールジアゾニウム塩を形成できる。
分子Mの前駆体として、特にアリールジアゾニウム塩の前駆体を挙げることができ、この分子の前駆体は次の式(II)を有する:
R−NH(II)、
Rは、先に定義されたようなアリール基である。
本発明の範囲内で適用できる分子Mの前駆体としては、フェニルアミン、4−ニトロフェニルアミン、4−ブロモフェニルアミン、4−アミノフェニルアミン、2−メチル−4−クロロフェニルアミン、4−ベンゾイルベンゼンアミン、4−シアノフェニルアミン、4−カルボキシフェニルアミン、4−アセトアミドフェニルアミン、ジアゾニウム4−フェニル酢酸テトラフルオロボレート、2−メチル−4−[(2−メチル−フェニル)−ジアゼニル]アミン、9,10−ジオキソ−9,10−ジヒドロ−1−アントラセン−アミン、4−ニトロナフタレン−アミンおよびナフタレン−アミンによって形成される群から選択される前駆体を使用するのが特に有利であり、これらすべての化合物は、必要により、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体で置換されている。実際、上記で列挙した化合物のうち、特定の化合物は、所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を有していない場合、こうした基は、この化合物が本発明の範囲内で使用可能となるように、置換によってこうした基を化合物に導入しなければならないことは明らかである。
当業者は、発明的な努力を必要とせずに、適用される前駆体のタイプおよび得られるべき分子Mに依存して、方法のグラフト化工程(すなわち工程(c))の間に、使用されるべき適切な条件を如何にして決定するかがわかる。故に、アミン機能のジアゾニウム機能への変換は、酸性水性媒体中のNaNOによって、または有機媒体中のNOBFによって単一工程にて行われてもよい。
特に所与の化学化合物と反応できる基Gを保持する分子がポリマーまたはコポリマーである場合に適用される第2の代替例において、その前駆体は次のものである:
−ラジカル経路を介して重合可能なモノマー、および特に先に定義された式(II)のモノマー;
−またはラジカル反応を開始する接着剤プライマーであって、その反応により最終的にポリマーまたはコポリマーにすることができ、こうした接着剤プライマーは、分子Mが必ずしも所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する必要はない場合を除いて、先に定義された分子Mであってもよい;
−または、前駆体が必ずしも所与の化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する必要はない場合を除いて、こうした接着剤プライマーの前駆体、およびより詳細には先に定義されたような分子Mの前駆体、
−または、これらの混合物の1つ。
分子M、分子Mの前駆体、接着剤プライマーまたは接着剤プライマーの前駆体の溶液S中の量は、実験者が所望することに応じて変更できる。この量は、溶液S内において、有利なことには、約10−6〜5M、好ましくは5.10−2〜10−1Mである。
溶液S中の重合可能なモノマーの量は、実験者が所望することに依存して変更できる。この量は、使用される溶液Sの溶媒中の関連モノマーの溶解度よりも大きくてもよく、例えば所与の温度、一般に室温または反応温度にて溶液S中のモノマーの溶解度の18〜40倍を示してもよい。これらの条件下、溶液中のモノマー分子の分散を可能にする手段、例えば界面活性剤または超音波を使用するのが有利である。使用可能な界面活性剤は、特に、アニオン性界面活性剤、カチオン性界面活性剤、両性イオン性界面活性剤、両性界面活性剤および中性(非イオン性)界面活性剤、および特に国際出願WO2008/078052[22]に記載される界面活性剤である。
本発明に従う方法の工程(b)中、カーボンナノチューブは、先に定義されたような少なくとも1つの分子Mまたは先に定義されたような分子の少なくとも1つの前駆体と接触させる。この接触は、化学反応における標準的な工程である。
本発明に従う方法の工程(c)は、先に定義されたようなグラフト化工程に対応する。
グラフトされるべき分子またはその前駆体が溶液S中に多量に存在する場合、グラフト化工程は、すべての分子がカーボンナノチューブに付着する前に停止してもよい。当業者は、グラフト化工程を停止できる種々の技術を認知し、工程(c)において適用されるグラフトされるべき分子またはその前駆体に依存して最も好適な技術を如何にして決定するかがわかる。こうした技術の例として、溶液SのpHの変化、特に塩基性溶液をそこに添加することによるもの(例えばpHが10を超える塩基性の水)、溶液S中に存在するグラフトされるべき分子またはその前駆体の除去(例えば、濾過による、沈殿により、または錯化によるもの)を挙げることができる。
本発明に従う調製方法において、工程(d)は、まず最初に、工程(c)の後に、グラフトされたカーボンナノチューブを、溶液Sにそれらを配置する前に回収し、先に記載されたような電極にそれらを堆積させることからなる。カーボンナノチューブの回収を可能にする任意の技術は、本発明の範囲内で適用できる。
例として、工程(c)において適用される溶液の濾過による、特にテフロン膜または折り畳まれたクレープの状態の紙フィルターを用いることによる、ナノチューブの回収を挙げることができる。この濾過工程を数回繰り返すことが必要な場合がある。
さらに、それによって回収されたグラフトされたカーボンナノチューブを懸濁させる前に、これらのナノチューブの乾燥が考慮できる。この乾燥工程は、80℃〜150℃、および特に100℃〜130℃の温度にてオーブンまたはストーブ中で適用されてもよい。
本発明の他の特徴および利点はさらに、添付の図面を参照して、限定としてではなく例示として以下に与えられる実施例を通して読む際に当業者に明らかになる。
本発明に従うデバイスの原理の概略図である。 誘電泳動を用いてまたは用いずに電極上に堆積させた液滴(液滴あたり8μL)の数に対するセンサの初期抵抗を示す。 懸濁液滴の堆積後の誘電泳動による(図3A)、および16個の懸濁液滴を堆積させた後に誘電泳動を用いない(図3B)、互いにかみ合った電極上に堆積された多層カーボンナノチューブの光学顕微鏡画像を示す。 懸濁液滴(5mg/L)を堆積させた後の誘電泳動により互いにかみ合った電極上に堆積させた多層カーボンナノチューブの光学顕微鏡画像を示すが、このカーボンナノチューブは、粗製(図4A)またはアニールされている(図4B)のいずれかである。 「粗製」および「アニールされた」ナノチューブに基づくセンサの100ppb(窒素で希釈)の含有量における塩素検出に関する曲線を示す。規格化された抵抗、すなわち初期抵抗で除した測定抵抗を、分で表現される時間に対して縦座標にプロットする。 アニールされたナノチューブに基づく本発明に従うセンサの手段によって27ppb(窒素で希釈)の含有量における塩素検出に関する曲線を示す。規格化された抵抗、すなわち初期抵抗で除した測定抵抗を、分で表現される時間に対して縦座標にプロットする。 「粗製」ナノチューブ(図7Aでは矢印はナノチューブのコアにおける鉄系粒子の存在を示す)、機能化された「粗製」ナノチューブ(図7B)、アニールされたナノチューブ(鉄の除去)(図7C)および機能化されたアニールされたナノチューブ(図7D)の走査電子顕微鏡画像を示す。 基−Ph−CH−NHによって機能化された粗製マルチシートのカーボンナノチューブ(図8A)、またはアニールされ、基−Ph−CH−NHで機能化されたマルチシートのカーボンナノチューブ(図8B)の光学顕微鏡画像を示す。 「粗製」ナノチューブに基づくセンサと、機能化されたナノチューブに基づく本発明に従うセンサとの間の、100ppb(窒素で希釈)含有量における塩素検出に関する曲線の比較を示す。 アニールされたナノチューブに基づくセンサと、アニールされ、機能化されたナノチューブに基づく本発明に従うセンサとの間の、100ppb(窒素で希釈)含有量における塩素検出に関する曲線の比較を示す。 機能化されたナノチューブに基づく、アニールされているか、アニールされていないかのいずれかである本発明に従うセンサ間の、100ppb(窒素で希釈)含有量における塩素検出に関する曲線の比較を示す。
実施例1:長いマルチシートのカーボンナノチューブの懸濁液の調製
イソプロパノール中の異なる濃度(1〜100mg/L)の長いマルチシートのカーボンナノチューブ(400μm)の懸濁液を、超音波プローブを用いて調製する。この実施例において、懸濁液を250Wの出力の超音波に8分間供する。10mg/Lまで、懸濁液は、数時間(視覚的に)安定である。
より濃縮された懸濁液に関して、ナノチューブの凝集または沈降が数十分後に見られる。5〜10mg/Lのナノチューブ濃度を有する懸濁液は、非機能化ナノチューブの使用に基づくセンサを製造するために使用される。
それらについて、機能化されたナノチューブの懸濁液は、100mg/L未満の濃度において、数時間またはさにらは数日イソプロパノール中で安定である。20〜100mg/Lの範囲のナノチューブ濃度を有する懸濁液は、機能化されたナノチューブに基づくセンサを調製するために使用される。
実施例2:本発明に従うセンサの調製中での誘電泳動の効果
適用される誘電泳動条件は、5MHzで正弦曲線状に変化する20Vのピークからピークの電圧である。
誘電泳動ありおよびなしで、電極上に堆積した液滴(液滴あたり8μL)の数に依存するセンサの初期抵抗を調査した(図2)。両方のセンサに使用される懸濁液のナノチューブ濃度は5mg/Lである。
この実施例において、誘電泳動を用いると、適切な初期抵抗値を得るために堆積させる液滴の数を16倍低減できる。
さらに、懸濁液滴を堆積させた後、誘電泳動により互いにかみ合った電極に堆積した多層カーボンナノチューブの光学顕微鏡画像から、ナノチューブが外見上個々にあり、電極に対して垂直に優先的に配向していることが明らかである(図3A)。反対に、16個の懸濁液滴を堆積させた後、誘電泳動を用いずに互いにかみ合った電極に堆積させた多層カーボンナノチューブの光学顕微鏡画像に見られるように、ナノチューブはクラスターとして組織化されている(図3B)。
実施例3:カーボンナノチューブでのアニールの効果
この実施例は、「粗製」カーボンナノチューブに基づくデバイスと、アルゴン下、2,000℃で1時間アニールされたカーボンナノチューブに基づくデバイスとを比較することを目的とする。
図4Aおよび4Bは、1つの懸濁液滴(5mg/L)を堆積させた後、誘電泳動により互いにかみ合った電極に堆積させた「粗製」または「アニールされた」多層カーボンナノチューブそれぞれに関して得られた光学顕微鏡画像である。
100ppbの含有量にて窒素中に希釈された塩素に対して、「粗製」および「アニールされた」ナノチューブに基づくこうしたセンサの感度も比較した。図5に示される結果は、「アニールされた」ナノチューブに基づくセンサの50分での感度(S=(R−R)/R)*100)は、「粗製」ナノチューブに基づくセンサの場合と比較した場合に、2倍大きい(26対12.5)。
さらに27ppbの含有量で窒素中に希釈された塩素に対する、「アニールされた」ナノチューブに基づくセンサの50分にて測定された感度(S=(R−R)/R)*100)は、7%である(図6)。
実施例4:−Ph−CH−NH基によって機能化されたマルチシートのカーボンナノチューブに基づくセンサの精密化
ナノチューブの機能化は、以降に記載される手順に従って行われる。
15mgのナノチューブを、3.10−3モルの4−アミノベンジルアミンを用いて、0.5MのHCl30mL中にて、250Wで8分間超音波処理に供する。次いでこの混合物に、蒸留水30mL中に溶解した亜硝酸ナトリウム3.10−3モルを添加した。4gの鉄粉末を全体に添加し、それを超音波パンに移す。
90分の反応後、鉄粉末は、磁性棒によって除去され、混合物を濾過し、次いでエタノール、アセトンおよび蒸留水で完全に洗浄する。次いでナノチューブを120℃のオーブン中で乾燥させる。機能化されたナノチューブを、20〜100mg/Lの量で、イソプロパノールを用いて250Wで8分間の超音波処理に再び供する。懸濁液は、数時間またはさらには一日安定である。
機能化されている、または、されていないのいずれかである粗製または「アニールされた」ナノチューブを、透過電子顕微鏡によって観察する。鉄系粒子は、機能化されていない「粗製」ナノチューブのコアに存在し(図7A)、ポリマー薄層(<10nm)は、機能化された「粗製」ナノチューブの表面を覆う(図7B)。鉄は、「アニールされた」ナノチューブから除去され(図7C)、ポリマー薄層(<20nm)は、機能化された「アニールされた」ナノチューブの表面を覆う。
粗製または「アニールされた」機能化(−Ph−CH−NH)マルチシートのナノチューブは、それぞれ20mg/Lおよび40mg/L懸濁液(図8Aおよび8B)を用いて、3つの液滴(8μL)による誘電泳動により互いにかみ合った電極上に堆積させた。
機能化は、機能化されていない粗製ナノチューブに基づくセンサと比較した場合、センサにおいて、100ppbの含有量で窒素中に希釈した塩素に対して、120%の感度(S=(R−R)/R)*100)増加(200分にて)を導く(図9)。
機能化は、機能化されていない「アニールされた」ナノチューブに基づくセンサと比較して、「アニールされた」機能化ナノチューブに基づくセンサにおいて、100ppbの含有量で窒素中に希釈した塩素に対して、35%の感度(S=(R−R)/R)*100)増加(200分にて)を導く(図10)。
「アニールされた」および機能化されたナノチューブに基づくセンサは、予めアニールされていないが、機能化されたナノチューブに基づくセンサと比較した場合、100ppbの含有量で窒素中に希釈した塩素に対して、40%の感度(S=(R−R)/R)*100)増加(200分にて)を有する(図11)。
引用文献
[1]Niizeki et al. Journal of the electrochemical Society 145 (1998) 2445‐2447 “Room temperature operating solid‐state sensor for chlorine gas”.

[2]Banet et al. Sensors and transducers 83 (2007) 1541 “Efficient probes for a fast detection of chlorine gas at ppb level”.

[3]Bender et al. Sensors and actuators B 77 (2001) 281−286 “Characterization of a WO3 thin film chlorine sensor”.

[4]Wei et al. Sensors and actuators B 101 (2004) 81‐89 “A novel SnO gas sensor doped with carbon nanotubes operating at room temperature”.

[5]Bittencourt et al. Sensors and actuators B 115 (2005) 33 “WO films modified with functionalised multi‐wall carbon nanotubes:Morphological, compositional and gas response studies”.

[6]特許出願US2007/0145356(Amlani et al.) 2007年7月28日発行

[7]Kong et al. Science 287 (2000) 622 “Nanotube Molecular Wires as Chemical Sensors”.

[8]Qi et al. Nanoletters 3 (2003) 347 “Toward Large Arrays of Multiplex Functionalized Carbon Nanotube Sensors for Highly Sensitive and Selective Molecular Detection”.

[9]Jang et al. Sensors and actuators B 99 (2004) 118 “A simple approach in fabricating chemical sensor using laterally grown multi‐walled carbon nanotubes”.

[10]Valentini et al. Appl. Phys. Lett. 82 (2003) 961 “Sensors for sub‐ppm NO gas detection based on carbon nanotube thin films”.

[11]Roy et al. Vacuum 77 (2005) 223 “Room temperature sensor based on carbon nanotubes and nanofibres for methane detection”.

[12]Li et al. IEEE Sensors Journal 6 (2006) 1047‐1049 “Nano‐Chemical Sensors With Polymer‐Coated Carbon Nanotubes”.

[13]Wang et al. Diam. Relat. Mater. 13 (2004) 1327 “Multi‐walled carbon nanotube−based gas sensors for NH detection”.

[14]Suehiro et al. Appl. Phys D:Appl. Phys 36(2003) 109 “Fabrication of a carbon nanotube‐based gas sensor using dielectrophoresis and its application for ammonia detection by impedance spectroscopy”.

[15]国際出願WO2005/026694(NANOMIX,INC.) 2005年3月24日発行

[16]国際出願WO2005/062031(NANOMIX,INC.) 2005年7月7日発行

[17]特許出願US2006/0263255(Amlani et al.) 2006年11月23日発行

[18]米国特許7,312,095(NANOMIX,INC.) 2007年12月25日発行

[19]国際出願WO2004/000727(CEA) 2003年12月31日発行

[20]国際出願WO2005/033378(CEA) 2005年4月14日発行

[21]国際出願WO2006/097611(CEA) 2006年9月21日発行

[22]国際出願WO2008/078052(CEA) 2008年7月3日発行

Claims (21)

  1. 少なくとも1つの化学化合物を検出するためのデバイスであって、このデバイスが、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも1つのカーボンナノチューブを含み、そこに化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1つの分子がグラフトされていることを特徴とする、デバイス。
  2. カーボンナノチューブが1μm〜1mmの長さを有することを特徴とする、請求項1に記載のデバイス。
  3. カーボンナノチューブがアニールされたナノチューブであることを特徴とする、請求項1または2のいずれか一項に記載のデバイス。
  4. グラフトされるべき分子が、アリールジアゾニウム塩、アリールアンモニウム塩、アリールホスホニウム塩およびアリールスルホニウム塩によって形成される群から選択される開裂可能なアリール塩であり、このアリール基が、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持することを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のデバイス。
  5. グラフトされるべき分子が、次の式(I)の開裂可能なアリール塩であることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のデバイス:
    R−N ,A (I)
    式中:
    −Aは、一価アニオンを表す、および
    −Rは、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持するアリール基Rを表す。
  6. このアリール基が、1つ以上の芳香族またはヘテロ芳香族環からなる、場合により一置換または多置換された芳香族またはヘテロ芳香族炭素構造から選択され、各環は3〜8個の原子を含み、ヘテロ原子はN、O、PまたはSであってもよく、置換基は、場合により1つ以上ヘテロ原子、またはC−Cアルキル基を含有することを特徴とする、請求項4または5のいずれか一項に記載のデバイス。
  7. Aが、ハライド、ハロボレート、パークロレート、スルホネート、アルコラートおよびカルボキシレートから選択されることを特徴とする、請求項5または6のいずれか一項に記載のデバイス。
  8. カーボンナノチューブ上にグラフトした分子が、主にいくつかの同一および/または異なるモノマーユニットから誘導されるポリマーまたはコポリマーであり、このポリマーまたはコポリマーが、少なくとも1つの化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持することを特徴とする、請求項1から3のいずれか一項に記載のデバイス。
  9. モノマーユニットが、ラジカル経路を介して重合可能なモノマー、好ましくはエチレンタイプの分子であることを特徴とする、請求項8に記載のデバイス。
  10. このモノマーが、次の式(II)のモノマーから選択されることを特徴とする、請求項9に記載のデバイス:
    式中、基R〜Rは、それぞれ同一または異なって、非金属一価原子、例えば、ハロゲン原子、水素原子、飽和または不飽和化学基、例えば、アルキル、アリール基、ニトリル、カルボニル、アミン、アミドまたは−COOR基を表し、Rは、水素原子またはC−C12または好ましくはC−Cアルキル基を表す。
  11. 化学化合物と反応できる基Gが、ヒドロキシル、チオール、アジド、エポキシド、アジリジン、アミン、ニトリル、イソシアネート、チオシアネート、ニトロ、アミド、ハライド、特にアルキルハライド、カルボン酸およびエステル機能によって形成される群から選択されることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のデバイス。
  12. さらに:
    −支持体、
    −およびその支持体上に配置された2つの電極
    を含み、カーボンナノチューブが、その2つの電極間の電気的接触を確実にすることを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のデバイス。
  13. 電極が互いにかみ合った櫛型構造を有することを特徴とする、請求項12に記載のデバイス。
  14. ナノチューブが、2つの電極に対して実質的に垂直な配向を有することを特徴とする、先行する請求項のいずれか一項に記載のデバイス。
  15. 先行する請求項のいずれか一項に記載の少なくとも2つのデバイスを含むシステム。
  16. 1つ以上のガス状化学化合物を検出および場合により定量するための、請求項1から14のいずれか一項に記載のデバイスの使用、または請求項15に記載のシステムの使用。
  17. ガス状化学化合物が、揮発性有機化合物、水素、一酸化炭素、二酸化炭素、塩素および塩素化化合物、アンモニア、有機リンガス、青酸、塩化チオニル、ホスフェン、テトラヒドロフラン、メタンおよびジメチルメチルホスホネートによって形成される群から選択されることを特徴とする、請求項16に記載の使用。
  18. 請求項1から14のいずれか一項に記載の少なくとも1つの化学化合物を検出することを目的とするデバイスを調製するための方法であって、この方法が、2つの電極上に、いくつかのグラフェン層を有する少なくとも1つのカーボンナノチューブを堆積させることからなる工程を含み、ナノチューブ上に、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基Gの前駆体を保持する少なくとも1つの分子がグラフトしており、このカーボンナノチューブは電極間の電気的接触を確実にすること特徴とする、方法。
  19. 堆積が誘電泳動によって行われることを特徴とする、請求項18に記載の方法。
  20. 方法が、カーボンナノチューブ上に、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する分子をグラフトすることからなる予備工程を含むことを特徴とする、請求項18または19のいずれか一項に記載の方法。
  21. 方法が、次の連続工程を含むことを特徴とする、請求項18から20のいずれか一項に記載の方法:
    a)場合により、いくつかのグラフェン層を有するカーボンナノチューブをアニールする工程;
    b)工程(a)にて場合によりアニールされたナノチューブを、化学化合物と反応できる基Gまたはこうした基の前駆体を保持する少なくとも1つの分子またはこうした分子の少なくとも1つの前駆体を含有する溶液Sと接触させる工程;
    c)このナノチューブ上に、この分子またはこの前駆体をグラフトさせるために工程(b)の混合物を非電気化学条件に供する工程;
    d)工程(c)の後に得られたグラフトされたナノチューブを回収し、2つの電極間に、特に誘電泳動によって堆積させる工程。
JP2011528359A 2008-09-29 2009-09-28 カーボンナノチューブを含有する化学センサ、その製造方法、およびその使用 Expired - Fee Related JP5475786B2 (ja)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR0856519 2008-09-29
FR0856519A FR2936604B1 (fr) 2008-09-29 2008-09-29 Capteurs chimiques a base de nanotubes de carbone, procede de preparation et utilisations
PCT/EP2009/062562 WO2010034840A1 (fr) 2008-09-29 2009-09-28 Capteurs chimiques a base de nanotubes de carbone, procede de preparation et utilisations

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2012504227A true JP2012504227A (ja) 2012-02-16
JP5475786B2 JP5475786B2 (ja) 2014-04-16

Family

ID=40627009

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2011528359A Expired - Fee Related JP5475786B2 (ja) 2008-09-29 2009-09-28 カーボンナノチューブを含有する化学センサ、その製造方法、およびその使用

Country Status (6)

Country Link
US (1) US10106403B2 (ja)
EP (1) EP2340430B1 (ja)
JP (1) JP5475786B2 (ja)
CN (1) CN102203593A (ja)
FR (1) FR2936604B1 (ja)
WO (1) WO2010034840A1 (ja)

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014521081A (ja) * 2011-07-12 2014-08-25 サーントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェ シャーンティフィク(セーエンヌエールエス) ピレン系糖複合体を含む非共有結合性分子構造体、それを含む装置、及びレクチンを検出するためのその使用
JP2016008820A (ja) * 2014-06-22 2016-01-18 株式会社 京都モノテック ガスセンサとガス検出装置
JP2017106886A (ja) * 2015-12-11 2017-06-15 台湾ナノカーボンテクノロジー股▲ふん▼有限公司Taiwan Carbon Nano Technology Corporation 気体センサ及びその製作方法
JP2017104487A (ja) * 2015-12-11 2017-06-15 台湾ナノカーボンテクノロジー股▲ふん▼有限公司Taiwan Carbon Nano Technology Corporation 気体識別を利用し且つ肺炎感染及び肺炎菌種の疾患分析機能を有する人工呼吸器
JP2017534474A (ja) * 2014-11-11 2017-11-24 ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド 2次元および3次元構造物内にナノスケールおよびマイクロスケール物体をアセンブリする方法
JP2020505304A (ja) * 2017-01-09 2020-02-20 ナショナル リサーチ カウンシル オブ カナダ 単層カーボンナノチューブ用途のための分解可能なs−テトラジン系ポリマー
JP2021520480A (ja) * 2018-05-04 2021-08-19 マテリアルズ センター レオーベン フォルシャン ゲーエムベーハー センサの製造方法及びそれにより製造されたセンサ
US11740198B2 (en) 2017-09-08 2023-08-29 National Institute For Materials Science Formaldehyde detecting sensor and system using the same

Families Citing this family (22)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US8312759B2 (en) * 2009-02-17 2012-11-20 Mcalister Technologies, Llc Methods, devices, and systems for detecting properties of target samples
CN102033089A (zh) * 2010-10-27 2011-04-27 清华大学 生物传感器,其封装结构及检测系统
CN102127324B (zh) * 2011-01-13 2013-05-29 中国科学技术大学 改性氧化石墨烯的制备方法及含有改性氧化石墨烯的复合材料的制备方法
FR2980982B1 (fr) 2011-10-07 2014-10-24 Commissariat Energie Atomique Dispositif comprenant un materiau composite presentant des nanotubes soumis a un champ electrique et ses utilisations
TWI458464B (zh) * 2012-02-01 2014-11-01 Nat Univ Tsing Hua 可早期偵測及辨識肺炎種類之呼吸器、其氣體辨識晶片、及其氣體辨識方法
CN102661981A (zh) * 2012-03-31 2012-09-12 无锡百灵传感技术有限公司 一种检测NOx电化学传感器的制备方法
US10921314B2 (en) * 2012-04-20 2021-02-16 The Trustees Of Columbia University In The City Of New York Method of making an integrated circuit for a single-molecule nucleic-acid assay platform
US20140004617A1 (en) * 2012-06-29 2014-01-02 Luke Perkins Radiation Generator Including Sensor To Detect Undesirable Molecules And Associated Methods
US9498656B2 (en) 2012-07-11 2016-11-22 B/E Aerospace, Inc. Aircraft crew member protective breathing apparatus
CN102866178A (zh) * 2012-09-07 2013-01-09 清华大学 气体传感器及其形成方法
FR2996308B1 (fr) 2012-10-02 2015-05-29 Commissariat Energie Atomique Dispositif de detection et/ou de quantification du chlorure de thionyle, son procede de fabrication et procede de detection et/ou de quantification du chlorure de thionyle
GB201309639D0 (en) * 2013-05-30 2013-07-17 Univ Manchester Electrochemical process for production of graphene
GB2519110B (en) 2013-10-09 2018-04-18 Nokia Technologies Oy An apparatus and associated methods for analyte detection
CN103832963B (zh) * 2014-01-15 2015-12-09 华中科技大学 一种微气泡发生器的制备方法
FR3018046A1 (fr) 2014-02-28 2015-09-04 Commissariat Energie Atomique Procede de preparation d'une suspension contenant des nanotubes de carbone et suspension stable ainsi obtenue
US10466218B2 (en) * 2014-03-02 2019-11-05 Massachusetts Institute Of Technology Gas sensors based upon metal carbon complexes
CN104237345B (zh) * 2014-09-30 2017-01-11 上海第二工业大学 低密度碳纳米管阵列复合电极制备及其在葡萄糖传感器中的应用
KR102399680B1 (ko) * 2015-08-19 2022-05-19 에스케이이노베이션 주식회사 탄소나노튜브 품질 평가 방법
FR3064999B1 (fr) 2017-04-10 2020-08-07 Ecole Polytech Capteurs chimiques a base de nanotubes de carbone fonctionnalises par des polymeres conjugues pour l'analyse en milieu aqueux
WO2020061109A1 (en) * 2018-09-17 2020-03-26 Massachusetts Institute Of Technology Switchable single-walled carbon nanotube-polymer composites for co2 sensing
US20200096396A1 (en) 2018-09-26 2020-03-26 Ams Sensors Uk Limited Gas Sensors
CN110031519A (zh) * 2019-04-28 2019-07-19 河海大学常州校区 一种基于介电泳原理的石墨烯沉积聚集并行装置、操作方法及其应用

Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004071654A (ja) * 2002-08-01 2004-03-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd カーボンナノチューブ半導体素子の作製方法
JP2004530646A (ja) * 2001-01-29 2004-10-07 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ ジアゾニウム種を用いてカーボンナノチューブを誘導体化する方法及びその組成物
JP2007526474A (ja) * 2004-03-04 2007-09-13 アイシス・イノベーション・リミテッド 電気化学センサー
EP1884770A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of manufacturing a gas sensor using a metal ligand and carbon nanotubes
JP2008508183A (ja) * 2004-07-29 2008-03-21 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ バンドギャップによるカーボンナノチューブのバルク分離
WO2008078052A2 (fr) * 2006-12-19 2008-07-03 Commissariat A L'energie Atomique Procédé de préparation d'un film organique à la surface d'un support solide dans des conditions non-électrochimiques, support solide ainsi obtenu et kit de préparation
JP2008184595A (ja) * 2007-01-31 2008-08-14 Pilot Corporation 水性ボールペン用インキ組成物

Family Cites Families (14)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000516708A (ja) * 1996-08-08 2000-12-12 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ ナノチューブ組立体から作製された巨視的操作可能なナノ規模の装置
AU6545698A (en) * 1997-03-07 1998-09-22 William Marsh Rice University Carbon fibers formed from single-wall carbon nanotubes
KR20080005303A (ko) * 2000-12-11 2008-01-10 프레지던트 앤드 펠로우즈 오브 하버드 칼리지 나노센서
US7318908B1 (en) * 2001-11-01 2008-01-15 The Board Of Trustees Of The Leland Stanford Junior University Integrated nanotube sensor
US7312095B1 (en) 2002-03-15 2007-12-25 Nanomix, Inc. Modification of selectivity for sensing for nanostructure sensing device arrays
US7955483B2 (en) * 2002-03-18 2011-06-07 Honeywell International Inc. Carbon nanotube-based glucose sensor
FR2841233B1 (fr) 2002-06-24 2004-07-30 Commissariat Energie Atomique Procede et dispositif de depot par pyrolyse de nanotubes de carbone
US20060263255A1 (en) 2002-09-04 2006-11-23 Tzong-Ru Han Nanoelectronic sensor system and hydrogen-sensitive functionalization
WO2005031299A2 (en) * 2003-05-14 2005-04-07 Nantero, Inc. Sensor platform using a non-horizontally oriented nanotube element
WO2005062031A1 (en) 2003-09-05 2005-07-07 Nanomix, Inc. Nanoelectronic capnometer adapter
JP2007505323A (ja) 2003-09-12 2007-03-08 ナノミックス・インコーポレーテッド 二酸化炭素用ナノ電子センサー
FR2860523B1 (fr) 2003-10-01 2006-01-13 Commissariat Energie Atomique Procede de formation d'un film polymere sur une surface conductrice ou semi-conductrice de l'electricite par electro-greffage, surfaces obtenues et applications
FR2883299B1 (fr) 2005-03-15 2007-06-15 Commissariat Energie Atomique Formation de films ultraminces greffes sur des surfaces conductrices ou semi-conductrices de l'electricite
US20070145359A1 (en) 2005-12-07 2007-06-28 Chi Ming Che Materials for organic thin film transistors

Patent Citations (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004530646A (ja) * 2001-01-29 2004-10-07 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ ジアゾニウム種を用いてカーボンナノチューブを誘導体化する方法及びその組成物
JP2004071654A (ja) * 2002-08-01 2004-03-04 Semiconductor Energy Lab Co Ltd カーボンナノチューブ半導体素子の作製方法
JP2007526474A (ja) * 2004-03-04 2007-09-13 アイシス・イノベーション・リミテッド 電気化学センサー
JP2008508183A (ja) * 2004-07-29 2008-03-21 ウィリアム・マーシュ・ライス・ユニバーシティ バンドギャップによるカーボンナノチューブのバルク分離
EP1884770A1 (en) * 2006-07-31 2008-02-06 Samsung Electronics Co., Ltd. Method of manufacturing a gas sensor using a metal ligand and carbon nanotubes
WO2008078052A2 (fr) * 2006-12-19 2008-07-03 Commissariat A L'energie Atomique Procédé de préparation d'un film organique à la surface d'un support solide dans des conditions non-électrochimiques, support solide ainsi obtenu et kit de préparation
JP2008184595A (ja) * 2007-01-31 2008-08-14 Pilot Corporation 水性ボールペン用インキ組成物

Non-Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
JPN6013023385; Junya Suehiro et al.: 'Controlled fabtication of carbon nanotube NO2 gas sensor using dielectrophoretic impedance measureme' Sensors and Actuators B Vol.108, 2005, p.398-403 *
JPN6013023386; L.Valentini et al.: 'Effects of oxygen annealing on cross sensitivity of carbon nanotubes thin films for gas sensing appl' Sensors and Actuators B Vol.100, 2004, p.33-40 *

Cited By (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2014521081A (ja) * 2011-07-12 2014-08-25 サーントル ナシオナル ドゥ ラ ルシェルシェ シャーンティフィク(セーエンヌエールエス) ピレン系糖複合体を含む非共有結合性分子構造体、それを含む装置、及びレクチンを検出するためのその使用
JP2016008820A (ja) * 2014-06-22 2016-01-18 株式会社 京都モノテック ガスセンサとガス検出装置
JP2017534474A (ja) * 2014-11-11 2017-11-24 ザ・チャールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテッド 2次元および3次元構造物内にナノスケールおよびマイクロスケール物体をアセンブリする方法
JP2017106886A (ja) * 2015-12-11 2017-06-15 台湾ナノカーボンテクノロジー股▲ふん▼有限公司Taiwan Carbon Nano Technology Corporation 気体センサ及びその製作方法
JP2017104487A (ja) * 2015-12-11 2017-06-15 台湾ナノカーボンテクノロジー股▲ふん▼有限公司Taiwan Carbon Nano Technology Corporation 気体識別を利用し且つ肺炎感染及び肺炎菌種の疾患分析機能を有する人工呼吸器
JP2020505304A (ja) * 2017-01-09 2020-02-20 ナショナル リサーチ カウンシル オブ カナダ 単層カーボンナノチューブ用途のための分解可能なs−テトラジン系ポリマー
US11740198B2 (en) 2017-09-08 2023-08-29 National Institute For Materials Science Formaldehyde detecting sensor and system using the same
JP2021520480A (ja) * 2018-05-04 2021-08-19 マテリアルズ センター レオーベン フォルシャン ゲーエムベーハー センサの製造方法及びそれにより製造されたセンサ

Also Published As

Publication number Publication date
CN102203593A (zh) 2011-09-28
WO2010034840A1 (fr) 2010-04-01
FR2936604B1 (fr) 2010-11-05
US10106403B2 (en) 2018-10-23
EP2340430B1 (fr) 2015-11-25
US20110244585A1 (en) 2011-10-06
FR2936604A1 (fr) 2010-04-02
JP5475786B2 (ja) 2014-04-16
EP2340430A1 (fr) 2011-07-06

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP5475786B2 (ja) カーボンナノチューブを含有する化学センサ、その製造方法、およびその使用
Zhang et al. Recent progress in carbon nanotube-based gas sensors
Mao et al. Electrochemical sensor for dopamine based on a novel graphene-molecular imprinted polymers composite recognition element
Robinson et al. Reduced graphene oxide molecular sensors
Zhu et al. An overview of the engineered graphene nanostructures and nanocomposites
Long et al. In situ localized growth of porous tin oxide films on low power microheater platform for low temperature CO detection
Wang et al. Alternating current dielectrophoresis optimization of Pt-decorated graphene oxide nanostructures for proficient hydrogen gas sensor
Lin et al. Properties of Pd nanoparticles-embedded polyaniline multilayer film and its electrocatalytic activity for hydrazine oxidation
JP5650638B2 (ja) 2つの表面または1つの表面と対象分子を集成する方法
Zang et al. A disposable simultaneous electrochemical sensor array based on a molecularly imprinted film at a NH 2-graphene modified screen-printed electrode for determination of psychotropic drugs
Yu et al. Fabrication and optimization of conductive paper based on screen-printed polyaniline/graphene patterns for nerve agent detection
Zhao et al. Preparation of hydrophilic surface-imprinted ionic liquid polymer on multi-walled carbon nanotubes for the sensitive electrochemical determination of imidacloprid
Soman et al. Covalently modified graphene quantum dot using a thiourea based imprinted polymer for the selective electrochemical sensing of Hg (II) ions
Sapountzi et al. One-step fabrication of electrospun photo-cross-linkable polymer nanofibers incorporating multiwall carbon nanotubes and enzyme for biosensing
Anirudhan et al. Surface modified multiwalled carbon nanotube based molecularly imprinted polymer for the sensing of dopamine in real samples using potentiometric method
Wei et al. High yield controlled synthesis of nano-graphene oxide by water electrolytic oxidation of glassy carbon for metal-free catalysis
Meenakshi et al. Simultaneous voltammetry detection of dopamine and uric acid in pharmaceutical products and urine samples using ferrocene carboxylic acid primed nanoclay modified glassy carbon electrode
Han et al. A porous organic framework composite embedded with Au nanoparticles: an ultrasensitive electrochemical aptasensor toward detection of oxytetracycline
Ponnaiah et al. Effective and reliable platform for nonenzymatic nanomolar-range quinol detection in water samples using ceria doped polypyrrole nanocomposite embedded on graphitic carbon nitride nanosheets
Silva et al. Preparation and characterization of nanofibers of polyvinyl alcohol/polyaniline-montmorillonite clay
Majumder et al. Enhanced electrostatic modulation of ionic diffusion through carbon nanotube membranes by diazonium grafting chemistry
Dai et al. An electrochemical impedimetric sensor based on biomimetic electrospun nanofibers for formaldehyde
Wu et al. Manipulating polyaniline fibrous networks by doping tetra-β-carboxyphthalocyanine cobalt (II) for remarkably enhanced ammonia sensing
Balasubramanian et al. Tuning the functional interface of carbon nanotubes by electrochemistry: Toward nanoscale chemical sensors and biosensors
Wu et al. Strategies to achieve a ferrocene-based polymer with reversible redox activity for chiral electroanalysis of nonelectroactive amino acids

Legal Events

Date Code Title Description
A621 Written request for application examination

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621

Effective date: 20120810

A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20130225

A131 Notification of reasons for refusal

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131

Effective date: 20130522

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130816

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130823

A601 Written request for extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601

Effective date: 20130918

A602 Written permission of extension of time

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602

Effective date: 20130926

A521 Request for written amendment filed

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523

Effective date: 20131122

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20140129

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20140206

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 5475786

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees