JP2012502874A - 屈折率が異なる二つのドメインを有するオブジェクトを分散した状態で含む反射防止コーティング - Google Patents
屈折率が異なる二つのドメインを有するオブジェクトを分散した状態で含む反射防止コーティング Download PDFInfo
- Publication number
- JP2012502874A JP2012502874A JP2011527389A JP2011527389A JP2012502874A JP 2012502874 A JP2012502874 A JP 2012502874A JP 2011527389 A JP2011527389 A JP 2011527389A JP 2011527389 A JP2011527389 A JP 2011527389A JP 2012502874 A JP2012502874 A JP 2012502874A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- core
- coating
- substrate
- layer
- skin
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000006117 anti-reflective coating Substances 0.000 title description 8
- 238000000576 coating method Methods 0.000 claims abstract description 91
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 claims abstract description 85
- 238000000034 method Methods 0.000 claims abstract description 77
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 76
- 230000005670 electromagnetic radiation Effects 0.000 claims abstract description 16
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 claims abstract description 7
- 239000010410 layer Substances 0.000 claims description 50
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 claims description 41
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 claims description 34
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 claims description 33
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 32
- 229910052500 inorganic mineral Inorganic materials 0.000 claims description 21
- 239000011707 mineral Substances 0.000 claims description 21
- 150000004703 alkoxides Chemical class 0.000 claims description 18
- 239000000178 monomer Substances 0.000 claims description 18
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 18
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 15
- 239000011247 coating layer Substances 0.000 claims description 14
- 239000011521 glass Substances 0.000 claims description 13
- BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N Silane Chemical compound [SiH4] BLRPTPMANUNPDV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 10
- 229910000077 silane Inorganic materials 0.000 claims description 9
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 239000002356 single layer Substances 0.000 claims description 7
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 claims description 6
- 239000002966 varnish Substances 0.000 claims description 6
- 238000006460 hydrolysis reaction Methods 0.000 claims description 5
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 claims description 5
- 230000007062 hydrolysis Effects 0.000 claims description 4
- 238000004132 cross linking Methods 0.000 claims description 3
- 238000010030 laminating Methods 0.000 claims description 3
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 claims description 3
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 3
- 239000011162 core material Substances 0.000 description 76
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 30
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 27
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 26
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 23
- 239000000463 material Substances 0.000 description 23
- 238000000151 deposition Methods 0.000 description 18
- LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N tetramethyl orthosilicate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)OC LFQCEHFDDXELDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 16
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 14
- -1 object Substances 0.000 description 12
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 description 12
- 230000003667 anti-reflective effect Effects 0.000 description 11
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 10
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 10
- 239000012429 reaction media Substances 0.000 description 10
- 239000002904 solvent Substances 0.000 description 10
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 10
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 8
- 239000012153 distilled water Substances 0.000 description 8
- 238000011282 treatment Methods 0.000 description 8
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 7
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 7
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 7
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 7
- 229920003229 poly(methyl methacrylate) Polymers 0.000 description 7
- 229920000728 polyester Polymers 0.000 description 7
- 239000004926 polymethyl methacrylate Substances 0.000 description 7
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 6
- 230000005855 radiation Effects 0.000 description 6
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 description 6
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 5
- 238000000149 argon plasma sintering Methods 0.000 description 5
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 5
- FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N hexamethyldisilazane Chemical compound C[Si](C)(C)N[Si](C)(C)C FFUAGWLWBBFQJT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N Tetraethyl orthosilicate Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)OCC BOTDANWDWHJENH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N Trimethylolpropane Chemical compound CCC(CO)(CO)CO ZJCCRDAZUWHFQH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 4
- 239000002775 capsule Substances 0.000 description 4
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 4
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 4
- 239000000839 emulsion Substances 0.000 description 4
- 230000004927 fusion Effects 0.000 description 4
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 4
- 125000005842 heteroatom Chemical group 0.000 description 4
- 229910010272 inorganic material Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011147 inorganic material Substances 0.000 description 4
- 229910052976 metal sulfide Inorganic materials 0.000 description 4
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 4
- GUGNSJAORJLKGP-UHFFFAOYSA-K sodium 8-methoxypyrene-1,3,6-trisulfonate Chemical compound [Na+].[Na+].[Na+].C1=C2C(OC)=CC(S([O-])(=O)=O)=C(C=C3)C2=C2C3=C(S([O-])(=O)=O)C=C(S([O-])(=O)=O)C2=C1 GUGNSJAORJLKGP-UHFFFAOYSA-K 0.000 description 4
- QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N (1-hydroxycyclohexyl)-phenylmethanone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1(O)CCCCC1 QNODIIQQMGDSEF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 3
- LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofurfuryl methacrylate Chemical compound CC(=C)C(=O)OCC1CCCO1 LCXXNKZQVOXMEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 3
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 3
- 229920001577 copolymer Polymers 0.000 description 3
- ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N guanidine group Chemical group NC(=N)N ZRALSGWEFCBTJO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000000623 heterocyclic group Chemical group 0.000 description 3
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 229910052760 oxygen Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000002243 precursor Substances 0.000 description 3
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 3
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 3
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 3
- 238000001308 synthesis method Methods 0.000 description 3
- 239000010936 titanium Substances 0.000 description 3
- 229910052719 titanium Inorganic materials 0.000 description 3
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M Acrylate Chemical compound [O-]C(=O)C=C NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- 101710141544 Allatotropin-related peptide Proteins 0.000 description 2
- QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N Ammonia Chemical compound N QGZKDVFQNNGYKY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical group [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MUXOBHXGJLMRAB-UHFFFAOYSA-N Dimethyl succinate Chemical compound COC(=O)CCC(=O)OC MUXOBHXGJLMRAB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000801643 Homo sapiens Retinal-specific phospholipid-transporting ATPase ABCA4 Proteins 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M Methacrylate Chemical compound CC(=C)C([O-])=O CERQOIWHTDAKMF-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 2
- VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N Methyl methacrylate Chemical compound COC(=O)C(C)=C VVQNEPGJFQJSBK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229920003171 Poly (ethylene oxide) Polymers 0.000 description 2
- 102100033617 Retinal-specific phospholipid-transporting ATPase ABCA4 Human genes 0.000 description 2
- WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N Tetrahydrofuran Chemical compound C1CCOC1 WYURNTSHIVDZCO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010413 TiO 2 Inorganic materials 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N acrylic acid group Chemical group C(C=C)(=O)O NIXOWILDQLNWCW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFVVNPBBFUSSHL-UHFFFAOYSA-N alexidine Chemical group CCCCC(CC)CNC(=N)NC(=N)NCCCCCCNC(=N)NC(=N)NCC(CC)CCCC LFVVNPBBFUSSHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003342 alkenyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000000304 alkynyl group Chemical group 0.000 description 2
- 125000003368 amide group Chemical group 0.000 description 2
- 150000001412 amines Chemical class 0.000 description 2
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 2
- 238000010560 atom transfer radical polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 125000004069 aziridinyl group Chemical group 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N chlorotrimethylsilane Chemical compound C[Si](C)(C)Cl IJOOHPMOJXWVHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000009833 condensation Methods 0.000 description 2
- 230000005494 condensation Effects 0.000 description 2
- 125000004093 cyano group Chemical group *C#N 0.000 description 2
- 238000003618 dip coating Methods 0.000 description 2
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 2
- 125000003700 epoxy group Chemical group 0.000 description 2
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 2
- 239000012948 isocyanate Substances 0.000 description 2
- 150000002513 isocyanates Chemical class 0.000 description 2
- 229910001507 metal halide Inorganic materials 0.000 description 2
- 150000005309 metal halides Chemical class 0.000 description 2
- 239000000693 micelle Substances 0.000 description 2
- 150000004767 nitrides Chemical class 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 2
- 229920000136 polysorbate Polymers 0.000 description 2
- 238000003672 processing method Methods 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000036555 skin type Effects 0.000 description 2
- 125000004149 thio group Chemical group *S* 0.000 description 2
- 125000005068 thioepoxy group Chemical group S(O*)* 0.000 description 2
- 150000003573 thiols Chemical class 0.000 description 2
- 239000012780 transparent material Substances 0.000 description 2
- 229910052725 zinc Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000011701 zinc Substances 0.000 description 2
- WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N (3-aminopropyl)triethoxysilane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCN WYTZZXDRDKSJID-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 2-(diethylamino)ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCN(CC)CCOC(=O)C(C)=C SJIXRGNQPBQWMK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DCQBZYNUSLHVJC-UHFFFAOYSA-N 3-triethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCS DCQBZYNUSLHVJC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropan-1-amine Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCN SJECZPVISLOESU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropane-1-thiol Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCS UUEWCQRISZBELL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 3-trimethoxysilylpropyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOC(=O)C(C)=C XDLMVUHYZWKMMD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TXGWXGNDXYPWLF-UHFFFAOYSA-N 6-triethoxysilylhex-1-en-3-one Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCC(=O)C=C TXGWXGNDXYPWLF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UNPYQHQUDMGKJW-UHFFFAOYSA-N 6-trimethoxysilylhex-1-en-3-one Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCC(=O)C=C UNPYQHQUDMGKJW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N Acrylamide Chemical group NC(=O)C=C HRPVXLWXLXDGHG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M Carbamate Chemical compound NC([O-])=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N Carbamic acid Chemical group NC(O)=O KXDHJXZQYSOELW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004215 Carbon black (E152) Substances 0.000 description 1
- 239000005046 Chlorosilane Substances 0.000 description 1
- JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N Ethyl acrylate Chemical compound CCOC(=O)C=C JIGUQPWFLRLWPJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N Ethylene oxide Chemical compound C1CO1 IAYPIBMASNFSPL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003771 Gold(I) chloride Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004425 Makrolon Substances 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 229910004298 SiO 2 Inorganic materials 0.000 description 1
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N Vinyl ether Chemical group C=COC=C QYKIQEUNHZKYBP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N ZrO Inorganic materials [Zr]=O GEIAQOFPUVMAGM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L [dibutyl(dodecanoyloxy)stannyl] dodecanoate Chemical compound CCCCCCCCCCCC(=O)O[Sn](CCCC)(CCCC)OC(=O)CCCCCCCCCCC UKLDJPRMSDWDSL-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 239000013543 active substance Substances 0.000 description 1
- 230000002411 adverse Effects 0.000 description 1
- 229950010221 alexidine Drugs 0.000 description 1
- 125000002877 alkyl aryl group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910021529 ammonia Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000003710 aryl alkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 125000004429 atom Chemical group 0.000 description 1
- CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N butyl acrylate Chemical compound CCCCOC(=O)C=C CQEYYJKEWSMYFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 1
- 125000003178 carboxy group Chemical group [H]OC(*)=O 0.000 description 1
- KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N chlorosilane Chemical compound Cl[SiH3] KOPOQZFJUQMUML-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000084 colloidal system Substances 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000000295 complement effect Effects 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 239000000470 constituent Substances 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 239000007771 core particle Substances 0.000 description 1
- 150000004292 cyclic ethers Chemical class 0.000 description 1
- 150000004294 cyclic thioethers Chemical class 0.000 description 1
- 125000000753 cycloalkyl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000011161 development Methods 0.000 description 1
- 229920000359 diblock copolymer Polymers 0.000 description 1
- 239000012975 dibutyltin dilaurate Substances 0.000 description 1
- 150000005690 diesters Chemical class 0.000 description 1
- ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N diethanolamine Chemical compound OCCNCCO ZBCBWPMODOFKDW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZXPDYFSTVHQQOI-UHFFFAOYSA-N diethoxysilane Chemical compound CCO[SiH2]OCC ZXPDYFSTVHQQOI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005906 dihydroxylation reaction Methods 0.000 description 1
- YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N dimethoxysilane Chemical compound CO[SiH2]OC YQGOWXYZDLJBFL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004205 dimethyl polysiloxane Substances 0.000 description 1
- 238000004090 dissolution Methods 0.000 description 1
- 150000004662 dithiols Chemical class 0.000 description 1
- 238000002296 dynamic light scattering Methods 0.000 description 1
- 238000001493 electron microscopy Methods 0.000 description 1
- 125000006575 electron-withdrawing group Chemical group 0.000 description 1
- 238000004945 emulsification Methods 0.000 description 1
- 238000010556 emulsion polymerization method Methods 0.000 description 1
- 238000005538 encapsulation Methods 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000004185 ester group Chemical group 0.000 description 1
- 150000002148 esters Chemical class 0.000 description 1
- SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N ethyl 2-methylprop-2-enoate Chemical compound CCOC(=O)C(C)=C SUPCQIBBMFXVTL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 230000004907 flux Effects 0.000 description 1
- 238000009472 formulation Methods 0.000 description 1
- 238000001879 gelation Methods 0.000 description 1
- 150000002343 gold Chemical class 0.000 description 1
- FDWREHZXQUYJFJ-UHFFFAOYSA-M gold monochloride Chemical compound [Cl-].[Au+] FDWREHZXQUYJFJ-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- 229920000578 graft copolymer Polymers 0.000 description 1
- 125000004438 haloalkoxy group Chemical group 0.000 description 1
- 229910052736 halogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000002367 halogens Chemical class 0.000 description 1
- DCAYPVUWAIABOU-NJFSPNSNSA-N hexadecane Chemical group CCCCCCCCCCCCCCC[14CH3] DCAYPVUWAIABOU-NJFSPNSNSA-N 0.000 description 1
- 229930195733 hydrocarbon Natural products 0.000 description 1
- 150000002430 hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 125000004435 hydrogen atom Chemical group [H]* 0.000 description 1
- APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N indium atom Chemical compound [In] APFVFJFRJDLVQX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910003437 indium oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000003999 initiator Substances 0.000 description 1
- 230000000977 initiatory effect Effects 0.000 description 1
- IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N isocyanate group Chemical group [N-]=C=O IQPQWNKOIGAROB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AZQGFVRDZTUHBU-UHFFFAOYSA-N isocyanic acid;triethoxy(propyl)silane Chemical compound N=C=O.CCC[Si](OCC)(OCC)OCC AZQGFVRDZTUHBU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000003475 lamination Methods 0.000 description 1
- 239000003446 ligand Substances 0.000 description 1
- 229920002521 macromolecule Polymers 0.000 description 1
- 150000002734 metacrylic acid derivatives Chemical class 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 238000005649 metathesis reaction Methods 0.000 description 1
- 125000005641 methacryl group Chemical group 0.000 description 1
- 238000010327 methods by industry Methods 0.000 description 1
- 239000004530 micro-emulsion Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 239000002086 nanomaterial Substances 0.000 description 1
- 239000002105 nanoparticle Substances 0.000 description 1
- 150000002894 organic compounds Chemical class 0.000 description 1
- SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N oxygen(2-);titanium(4+) Chemical class [O-2].[O-2].[Ti+4] SOQBVABWOPYFQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 description 1
- PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N pent‐4‐en‐2‐one Natural products CC(=O)CC=C PNJWIWWMYCMZRO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000035699 permeability Effects 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 229920003023 plastic Polymers 0.000 description 1
- 239000004033 plastic Substances 0.000 description 1
- 229920003213 poly(N-isopropyl acrylamide) Polymers 0.000 description 1
- 229920000435 poly(dimethylsiloxane) Polymers 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920001610 polycaprolactone Polymers 0.000 description 1
- 229920001223 polyethylene glycol Polymers 0.000 description 1
- 239000003505 polymerization initiator Substances 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 229920002635 polyurethane Polymers 0.000 description 1
- 239000004814 polyurethane Substances 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 230000001376 precipitating effect Effects 0.000 description 1
- IZSFVWCXDBEUQK-UHFFFAOYSA-N propan-2-ol;zinc Chemical compound [Zn].CC(C)O.CC(C)O IZSFVWCXDBEUQK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OGHBATFHNDZKSO-UHFFFAOYSA-N propan-2-olate Chemical compound CC(C)[O-] OGHBATFHNDZKSO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000001681 protective effect Effects 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- 238000010526 radical polymerization reaction Methods 0.000 description 1
- 230000009467 reduction Effects 0.000 description 1
- 238000011160 research Methods 0.000 description 1
- 229920006395 saturated elastomer Polymers 0.000 description 1
- 238000001338 self-assembly Methods 0.000 description 1
- 238000005389 semiconductor device fabrication Methods 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
- 238000003980 solgel method Methods 0.000 description 1
- 230000002269 spontaneous effect Effects 0.000 description 1
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 1
- YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N tetrahydrofuran Natural products C=1C=COC=1 YLQBMQCUIZJEEH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000002813 thiocarbonyl group Chemical group *C(*)=S 0.000 description 1
- 150000003568 thioethers Chemical class 0.000 description 1
- NONOKGVFTBWRLD-UHFFFAOYSA-N thioisocyanate group Chemical group S(N=C=O)N=C=O NONOKGVFTBWRLD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N tin dioxide Chemical compound O=[Sn]=O XOLBLPGZBRYERU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001887 tin oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N titanium oxide Inorganic materials [Ti]=O OGIDPMRJRNCKJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N triethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OCC)(OCC)OCC NBXZNTLFQLUFES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N triethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CCO[Si](OCC)(OCC)CCCOCC1CO1 JXUKBNICSRJFAP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N triethoxysilane Chemical compound CCO[SiH](OCC)OCC QQQSFSZALRVCSZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N trimethoxy(propyl)silane Chemical compound CCC[Si](OC)(OC)OC HQYALQRYBUJWDH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N trimethoxy-[3-(oxiran-2-ylmethoxy)propyl]silane Chemical compound CO[Si](OC)(OC)CCCOCC1CO1 BPSIOYPQMFLKFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N trimethoxysilane Chemical compound CO[SiH](OC)OC YUYCVXFAYWRXLS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005051 trimethylchlorosilane Substances 0.000 description 1
- 238000009281 ultraviolet germicidal irradiation Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B1/00—Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
- G02B1/10—Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
- G02B1/11—Anti-reflection coatings
- G02B1/111—Anti-reflection coatings using layers comprising organic materials
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Surface Treatment Of Optical Elements (AREA)
- Surface Treatment Of Glass (AREA)
Abstract
Description
この第一の方法によれば、事前に用意した無機コア(通常、無機コロイド状粒子)から出発し、事前に用意した重合体鎖(または事前に用意したグラフト)がこれらの無機コアの表面上に固定される。こうするためには、固定することが望ましい重合体鎖またはグラフトは、一般に無機コアの表面と共有結合または静電結合を形成する、またはコアの表面上に存在する基と共有結合または静電結合を形成する、化学的な官能基を有する。
この第二の方法によれば、重合体鎖が、有機基を有する、官能基が付加されたコアの粒子から成長する。
念入りに攪拌を行って、大きさが15nmに等しいシリカ粒子(Sigma Aldrich)の20質量%の水性分散液を作製した。
フラスコ内で、室温(25℃)において、0.340gの蒸留水、6.053gのエタノール、およびSigma Aldrich社が参照番号310331で市販する30mgの塩酸(37%)を混合した。次に、1.446gのTMOS(Sigma Aldrich社が参照番号218472で市販する、純度が99%に等しいテトラメチルオルトケイ酸塩)と0.076gのMPTS(ABCR社が参照番号AB117674で市販する、純度が97%に等しい3−(メタクリルオキシ)プロピルトリメトキシシラン)との混合物を添加した。
フラスコ内で、室温(25℃)において、0.340gの蒸留水および6.053gのエタノールを混合した。次に、1.446gのTMOSと、0.076gのMPTSと、0.152gのテトラヒドロフルフリルメタクリレート(Sartomer Europe社が参照番号SR203で市販)との混合物を添加した。
フラスコ内で、室温(25℃)において、Tween85を2質量%含有する0.340gの蒸留水と、6.053gのエタノールとを混合した。次に、1.446gのTMOS、0.076gのMPTS、0.009gのIrgacure184、および0.152gのテトラヒドロフルフリルメタクリレート(Sartomer Europe社が参照番号SR203で市販)の混合物を添加した。フラスコを密閉して、混合物を攪拌しながら室温(25℃)で4時間反応させた。
フラスコ内で、室温(25℃)において、0.340gの蒸留水および6.053gのエタノールを混合した。次に、1.446gのTMOSと、0.076gのMPTSと、0.009gのIrgacure184と、0.152gのテトラヒドロフルフリルメタクリレート(Sartomer Europe社が参照番号SR203で市販)との混合物を添加した。
本実施例では、ポリカーボネート製の基板を、浸漬コーティング法でプレート上に堆積させた「硬質のコーティング」タイプのコーティングで前もって被覆する以外は、実施例3で作製したコーティングと同様にして、反射防止コーティングを透明な平面状のポリカーボネート製プレート上に作製した。
比較することを目的として、PMMA(ポリメチルメタクリレート)製の堆積物を、先述の実施例で使用したような透明な平面状のポリカーボネート製プレート上に作製した。
Claims (15)
- 基板の表面を処理して、電磁放射に対する反射防止特性を基板の表面に付与する基板の表面処理方法であって、
該電磁放射に対して透明なコーティングを該表面上に積層するステップを含み、
該コーティングが、5μm未満、好ましくは2μm未満の寸法を有する複数のオブジェクトを上記積層ステップにおいて形成されたコーティング層内に分散した状態で含有し、
該オブジェクトが、該電磁放射に対して透明な基材からなる領域であり、かつ、下記のように異なる屈折率を有する領域を少なくとも二つ備え、該二つの領域は、コアと、コアを囲むスキンと呼ぶ層であり、
上記コアは第一の屈折率nC を有し、
上記スキンは、コアの屈折率nC とは異なる第二の屈折率nE を有し、
コア/スキンのアッセンブリーの寸法に対するコアの寸法の比が1:1.5〜1:5である、基板の表面処理方法。 - 表面を処理する上記基板が、透明な基板、例えばガラス基板またはポリカーボネート基板である、請求項1に記載の方法。
- 上記積層した透明なコーティングが単一層のコーティングであり、好ましくは、厚さが10nm〜10μmの範囲の単一層のコーティングである、請求項1または2に記載の方法。
- 上記分散したオブジェクトにおいて、
上記コアの寸法が1nm〜800nmであり、
上記コアを囲み第二の屈折率nE を有する層によって囲まれた、第一の屈折率nC を有する上記コアによって形成される上記コア/スキンのアッセンブリーの寸法が、2nm〜1μmであり、
上記コア/スキンのアッセンブリーの寸法に対するコアの寸法の比が1:1.5〜1:5である、請求項1〜3の何れか一項に記載の方法。 - 上記コアの屈折率とコアを囲むコーティング層の屈折率との差(nC −nE )が、絶対値で少なくとも0.01、好ましくは少なくとも0.1である、請求項1〜4の何れか一項に記載の方法。
- 上記透明なコーティングが、ワニスの層または重合体の層である、請求項1〜5の何れか一項に記載の方法。
- 上記透明なコーティングが、鉱物アルコキシド(mineral alkoxide)の加水分解によって得られるゾル/ゲルのコーティングである、請求項1〜5の何れか一項に記載の方法。
- 上記ゾル/ゲルのコーティングが、初期段階では(i)少なくとも一つの鉱物アルコキシドと、(ii)UVによってまたは熱処理の影響下において架橋結合が可能な少なくとも一つの単量体とを備えた混合物から得られる、請求項7に記載の方法。
- 上記ゾル/ゲルのコーティングが、少なくとも一つの界面活性剤の存在下で合成される、請求項7または8に記載の方法。
- 通常、上記ゾル/ゲルのコーティングの合成を、四つの加水分解可能な基を有する少なくとも一つのシランと、四つ未満の加水分解可能な基を有し、好ましくは、式Rn SiX4−nで表わされる(但し、nは1,2または3に等しい整数であって、各基Rは加水分解不可能な有機基を示し、互いに同じであっても異なっていてもよく、Xは加水分解可能な基である)少なくとも一つのシランとを備えた複数のアルコキシドの混合物を、鉱物アルコキシドとして使用することによって行う、請求項7〜9の何れか一項に記載の方法。
- 本発明に従って処理される基板上に堆積した透明なコーティング中に存在するオブジェクトのコアが、有機性を有し、
この有機コアを囲む層(スキン)が重合体の層である、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - 本発明に従って処理される基板上に堆積した透明なコーティング中に存在するオブジェクトのコアが、無機性を有し、
この無機コアを囲む層(スキン)が重合体の層である、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - 本発明に従って処理される基板上に堆積した透明なコーティング中に存在するオブジェクトのコアが、無機性を有し、
この無機コアを囲む層(スキン)が、コア中に存在する無機物質とは異なる無機物質からなる、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - 本発明に従って処理される基板上に堆積した透明なコーティング中に存在するオブジェクトのコアが、中空の空洞であり、
上記コアを囲む層(スキン)が無機物質からなる、請求項1〜10の何れか一項に記載の方法。 - 請求項1〜14の何れか一項に記載の方法によって得られる、反射防止特性を有する表面を有する基板。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
FR0856406A FR2936321B1 (fr) | 2008-09-23 | 2008-09-23 | Revetements anti-reflet comprenant des objets disperses presentant deux domaines separes ayant des indices de refraction distincts. |
FR0856406 | 2008-09-23 | ||
PCT/FR2009/051802 WO2010034936A1 (fr) | 2008-09-23 | 2009-09-23 | Revêtements anti-reflet comprenant des objets dispersés présentant deux domaines séparés ayant des indices de réfraction distincts |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012502874A true JP2012502874A (ja) | 2012-02-02 |
Family
ID=40467229
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2011527389A Pending JP2012502874A (ja) | 2008-09-23 | 2009-09-23 | 屈折率が異なる二つのドメインを有するオブジェクトを分散した状態で含む反射防止コーティング |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US20120038989A1 (ja) |
EP (1) | EP2335096A1 (ja) |
JP (1) | JP2012502874A (ja) |
CN (1) | CN102209915B (ja) |
FR (1) | FR2936321B1 (ja) |
WO (1) | WO2010034936A1 (ja) |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR101399535B1 (ko) * | 2009-11-02 | 2014-05-27 | 고오 가가쿠고교 가부시키가이샤 | 하이브리드형 폴리에스테르 수지, 피막 형성용 수지 조성물, 폴리에스테르 필름 및 섬유 |
FR2987051B1 (fr) * | 2012-02-22 | 2016-12-09 | Commissariat Energie Atomique | Procede de synthese in-situ de nanoparticules de silice |
WO2017157136A1 (zh) * | 2016-03-17 | 2017-09-21 | 异视科技(北京)有限公司 | 显示成像系统及方法、带该系统的交通工具 |
US20200181413A1 (en) * | 2016-10-18 | 2020-06-11 | 3M Innovative Properties Company | Particles with variable refractive index |
EP3809191A1 (en) | 2019-10-17 | 2021-04-21 | Université Claude Bernard Lyon 1 | Non-linear optical structure |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4015A (en) * | 1845-04-26 | Hand-loom for weaving figured fabrics | ||
WO1998045734A1 (fr) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Films antireflet et afficheur correspondant |
JPH116902A (ja) * | 1997-04-04 | 1999-01-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止膜およびそれを用いた画像表示装置 |
JP2004345278A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Sony Corp | 透明導電性基材、抵抗膜方式タッチパネルおよび表示素子 |
JP2007193323A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-08-02 | Fujifilm Corp | 反射防止フィルム、及びそれを用いたプラズマディスプレイパネル用前面板、プラズマディスプレイパネル表示装置、画像表示装置 |
Family Cites Families (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1057611C (zh) * | 1993-08-31 | 2000-10-18 | 住友水泥株式会社 | 抗反射膜 |
CA2285944A1 (en) * | 1997-04-10 | 1998-10-15 | Corning Incorporated | Optical article with anti-reflecting coating, corresponding coating material and coating method |
FR2762097B1 (fr) * | 1997-04-10 | 1999-07-02 | Corning Sa | Dispositif optique a revetement antireflechissant, materiau de revetement et procede de revetement correspondants |
WO2002075373A1 (fr) * | 2001-03-21 | 2002-09-26 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Couche mince antireflet et dispositif d'affichage d'images |
JP2005186568A (ja) * | 2003-12-26 | 2005-07-14 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止フィルム、偏光板及び液晶表示装置 |
JP5017775B2 (ja) * | 2004-11-29 | 2012-09-05 | コニカミノルタアドバンストレイヤー株式会社 | 防眩性反射防止フィルム、防眩性反射防止フィルムの製造方法、それを用いた偏光板及び表示装置 |
KR101182002B1 (ko) * | 2005-02-16 | 2012-09-11 | 코니카 미놀타 어드밴스드 레이어즈 인코포레이티드 | 반사 방지 필름, 반사 방지 필름의 제조 방법, 편광판 및표시 장치 |
TW200732691A (en) * | 2005-12-22 | 2007-09-01 | Fujifilm Corp | Antireflection film, front plate for plasma display panel using the same, plasma display panel-display device, and image display device |
-
2008
- 2008-09-23 FR FR0856406A patent/FR2936321B1/fr active Active
-
2009
- 2009-09-23 CN CN200980144540.4A patent/CN102209915B/zh active Active
- 2009-09-23 EP EP09748431A patent/EP2335096A1/fr not_active Withdrawn
- 2009-09-23 JP JP2011527389A patent/JP2012502874A/ja active Pending
- 2009-09-23 US US13/120,246 patent/US20120038989A1/en not_active Abandoned
- 2009-09-23 WO PCT/FR2009/051802 patent/WO2010034936A1/fr active Application Filing
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US4015A (en) * | 1845-04-26 | Hand-loom for weaving figured fabrics | ||
WO1998045734A1 (fr) * | 1997-04-04 | 1998-10-15 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Films antireflet et afficheur correspondant |
JPH116902A (ja) * | 1997-04-04 | 1999-01-12 | Fuji Photo Film Co Ltd | 反射防止膜およびそれを用いた画像表示装置 |
JP2004345278A (ja) * | 2003-05-23 | 2004-12-09 | Sony Corp | 透明導電性基材、抵抗膜方式タッチパネルおよび表示素子 |
JP2007193323A (ja) * | 2005-12-22 | 2007-08-02 | Fujifilm Corp | 反射防止フィルム、及びそれを用いたプラズマディスプレイパネル用前面板、プラズマディスプレイパネル表示装置、画像表示装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2335096A1 (fr) | 2011-06-22 |
FR2936321B1 (fr) | 2011-05-27 |
US20120038989A1 (en) | 2012-02-16 |
WO2010034936A1 (fr) | 2010-04-01 |
FR2936321A1 (fr) | 2010-03-26 |
CN102209915B (zh) | 2014-06-11 |
CN102209915A (zh) | 2011-10-05 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6685987B2 (ja) | ナノ構造化材料及びその作製方法 | |
Lü et al. | High refractive index organic–inorganic nanocomposites: design, synthesis and application | |
JP6199864B2 (ja) | ナノ構造物品及びそれを製造するための方法 | |
JP6110319B2 (ja) | ナノ構造化物品 | |
TWI575249B (zh) | 抗反射物件及其製作方法 | |
JP2005514487A (ja) | 屈折率勾配型フィルムを製造するためのナノ複合材料 | |
JP5749789B2 (ja) | 異なる屈折率を備えた領域を有する分散した物体を含む反射防止層を含む光起電装置 | |
JP6298042B2 (ja) | 物品及びその作製方法 | |
JP6868103B2 (ja) | 反射防止フィルム、偏光板、及び画像表示装置 | |
CN101069109A (zh) | 由用于以快速动力学产生折射率梯度层的有机-无机混合材料制成的光学元件及其制造方法 | |
JP6360836B2 (ja) | シロキサン化合物を含む反射防止コーティング組成物、それを用いて表面エネルギーが調節された反射防止フィルム | |
JP2007529769A (ja) | 結晶性支持体に適用される耐引掻性光学多層系 | |
JP2012502874A (ja) | 屈折率が異なる二つのドメインを有するオブジェクトを分散した状態で含む反射防止コーティング | |
JP2015533911A (ja) | コポリマーのナノ複合体および誘電材料 | |
CN108139668B (zh) | 用于形成低折射率层的可光固化的涂层组合物 | |
JP2013521534A (ja) | ナノ構造化表面を有するコーティングされた偏光子、及びこれを作製する方法 | |
Mizoshita et al. | Versatile antireflection coating for plastics: partial embedding of mesoporous silica nanoparticles onto substrate surface | |
JP2020515060A (ja) | ナノインプリントリソグラフィプロセスと、それから得られるパターン化基板 | |
Rombaut et al. | Nanostructured hybrid-material transparent surface with antireflection properties and a facile fabrication process | |
JP2012086477A (ja) | 薄膜転写材及びその製造方法並びに薄膜付き成形体及びその製造方法 | |
JP2001281475A (ja) | 光導波路用有機・無機複合材料及びそれを用いた光導波路の製造方法 | |
JP2012086476A (ja) | 薄膜転写材及びその製造方法並びに薄膜付き成形体及びその製造方法 | |
Kang et al. | Photocurable, Solventless, Solution-Processable, Silica-Nanoparticle-Dispersed Acryl Hybrid Materials |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20120216 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20130516 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20130625 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20130925 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20140701 |
|
A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20141125 |