JP2012252893A - 半導体素子用ソケット - Google Patents
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims abstract description 114
- 239000000523 sample Substances 0.000 claims abstract description 143
- 230000004308 accommodation Effects 0.000 claims description 27
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 12
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 46
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 8
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 2
- 229910000639 Spring steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000005452 bending Methods 0.000 description 1
- 239000000463 material Substances 0.000 description 1
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 1
- 238000004804 winding Methods 0.000 description 1
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Abstract
【解決手段】コンタクトプローブ11は、半導体素子73の電極部72が接触される接点部16を有するプランジャ12と、プランジャ12を半導体素子73の電極部72に向けて付勢するコイルスプリング25とを備え、接点部16は、プランジャ12に設けられプローブ収容孔61の軸方向に延びた片持形状の接触片15の先端に設けられ、接触片15は、プローブ収容孔61より接点部16側の位置に軸方向と直交する方向に突出した突起部18を有し、突起部18の頂点18aの位置が、軸方向で見てプローブ収容孔61より外側にある。
【選択図】図2
Description
このため、特許文献1,2に記載の技術のように、プランジャの接触子を電極部に点接触させて突き刺す構造では、プランジャの接触子に設けられた複数の接点部が半田ボールに均一に接触することは稀であり、接触にばらつきが生じ易く不安定となる傾向がある。
また、電極部の表面は、酸化被膜で覆われているだけでなく、異物が付着していることもあるため、電極部に接触子を安定的に接触させるためには、大きな圧力を付与して電極部に接触子を食い込ませなければならず、電極部を損傷させてしまうおそれもある。
前記コンタクトプローブを収容する収容孔が形成されたプローブ収容ブロックと、を備えた半導体素子用ソケットであって、
前記コンタクトプローブは、前記半導体素子の電極部が接触される接点部を有するプランジャと、前記プランジャを前記半導体素子の電極部に向けて付勢する弾性部材とを備え、
前記接点部は、前記プランジャに設けられ前記収容孔の軸方向に延びた片持形状の接触片の先端に設けられ、
前記接触片は、前記収容孔より前記接点部側の位置に前記軸方向と直交する方向に突出した突起部を有し、前記突起部の頂点の位置が、前記軸方向で見て前記収容孔より外側にあり、
前記プランジャが前記弾性部材の付勢力に対抗して前記軸方向に変位すると、前記突起部が前記収容孔の縁部に対して接触して摺動することにより、前記接触片が前記軸方向と直交する方向に変位されることを特徴とする。
図1に示すように、半導体素子用ソケット41は、複数のコンタクトプローブ11を収容したプローブ収容ブロック43を有し、検査装置の検査回路基板や、電子機器の回路基板などの基板42上に、位置決めピン(図示省略)によって位置決めされて締結ボルト45によって固定されている。
図4(a)に示すものは、プランジャ12の接触片15の突出部18を、接点部16の先端部16a側、つまり、摺接面17と反対側に形成したコンタクトプローブ11Aである。
図8に示すように、この半導体素子用ソケット81では、複数のコンタクトプローブ11を収容したプローブ収容ブロック83を有している。このプローブ収容ブロック83は、検査装置の検査回路基板や、電子機器の回路基板などの基板82上に、位置決めピン84を位置決め穴85へ嵌合させることによって位置決めされて固定される。
Claims (5)
- 半導体素子の電極部と基板の電極部とを導通させるコンタクトプローブと、
前記コンタクトプローブを収容する収容孔が形成されたプローブ収容ブロックと、を備えた半導体素子用ソケットであって、
前記コンタクトプローブは、前記半導体素子の電極部が接触される接点部を有するプランジャと、前記プランジャを前記半導体素子の電極部に向けて付勢する弾性部材とを備え、
前記接点部は、前記プランジャに設けられ前記収容孔の軸方向に延びた片持形状の接触片の先端に設けられ、
前記接触片は、前記収容孔より前記接点部側の位置に前記軸方向と直交する方向に突出した突起部を有し、前記突起部の頂点の位置が、前記軸方向で見て前記収容孔より外側にあり、
前記プランジャが前記弾性部材の付勢力に対抗して前記軸方向に変位すると、前記突起部が前記収容孔の縁部に対して接触して摺動することにより、前記接触片が前記軸方向と直交する方向に変位されることを特徴とする半導体素子用ソケット。 - 請求項1に記載の半導体素子用ソケットであって、
前記突起部は、前記接点部側から前記収容孔側に向かって前記突出した長さが短くなる傾斜部を備えていることを特徴とする半導体素子用ソケット。 - 請求項1または2に記載の半導体素子用ソケットであって、
前記プランジャには、前記接触片が一対並設され、各前記突起部の突出方向が逆であることを特徴とする半導体素子用ソケット。 - 請求項1または2に記載の半導体素子用ソケットであって、
前記プランジャには、前記接触片より短い補助片が前記接触片と並んで設けられていることを特徴とする半導体素子用ソケット。 - 請求項4に記載の半導体素子用ソケットであって、
前記補助片は、前記収容孔より前記接点部側の位置に前記軸方向と直交する方向に突出した補助片突起部を有し、前記補助片突起部の突出方向は、前記接触片の前記突起部の突出方向と逆であることを特徴とする半導体素子用ソケット。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011124924A JP5673366B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体素子用ソケット |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011124924A JP5673366B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体素子用ソケット |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2012252893A true JP2012252893A (ja) | 2012-12-20 |
JP5673366B2 JP5673366B2 (ja) | 2015-02-18 |
Family
ID=47525527
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2011124924A Active JP5673366B2 (ja) | 2011-06-03 | 2011-06-03 | 半導体素子用ソケット |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5673366B2 (ja) |
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---|---|
JP5673366B2 (ja) | 2015-02-18 |
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