JP2012250276A - レーザ加工方法及びレーザ加工装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】熱影響を嫌う赤外線受光部100を有する基板1に対して、その近傍領域200にレーザ光を照射して加工を行う、レーザ加工方法であって、近傍領域200の内、赤外線受光部100に近い領域部分201に、アブレーション加工条件でレーザ光を照射するアブレーション加工工程と、近傍領域200の内、赤外線受光部100から遠い領域部分202に、熱加工条件でレーザ光を照射する熱加工工程と、を有する。
【選択図】図4
Description
(a)前記アブレーション加工工程を実施した後に、前記熱加工工程を実施する。
(b)前記アブレーション加工工程と前記熱加工工程とを同時に実施する。
(c)前記熱加工工程を実施した後に、前記アブレーション加工工程を実施する。
(d)前記アブレーション加工工程を、100フェトム秒〜100ピコ秒のパルス幅のレーザ光を出力する超短パルスレーザ発振器を用いて実施する。
(e)前記第1レーザ発振器が、100フェトム秒〜100ピコ秒のパルス幅のレーザ光を出力する超短パルスレーザ発振器である。
図1は、本実施形態に係るレーザ加工装置を示す側面略図である。このレーザ加工装置5は、第1レーザ発振器51Aと第2レーザ発振器51Bと加工ステージ52と作動制御部53とを備えている。
本実施形態は、第1実施形態に比して、アブレーション加工工程と熱加工工程とを実施するタイミングが異なるだけである。すなわち、本実施形態では、熱加工工程を実施した後に、アブレーション加工工程を実施している。
本実施形態は、第1実施形態に比して、アブレーション加工工程と熱加工工程とを実施するタイミングが異なるだけである。すなわち、本実施形態では、アブレーション加工工程と熱加工工程とを同時に実施している。
Claims (7)
- 熱影響を嫌う嫌熱性部分を有する基板に対して、前記嫌熱性部分の近傍領域にレーザ光を照射して加工を行う、レーザ加工方法であって、
前記近傍領域の内、前記嫌熱性部分に近い領域部分に、アブレーション加工条件でレーザ光を照射するアブレーション加工工程と、
前記近傍領域の内、前記嫌熱性部分から遠い領域部分に、熱加工条件でレーザ光を照射する熱加工工程と、
を有することを特徴とするレーザ加工方法。 - 前記アブレーション加工工程を実施した後に、前記熱加工工程を実施する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記アブレーション加工工程と前記熱加工工程とを同時に実施する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記熱加工工程を実施した後に、前記アブレーション加工工程を実施する、
請求項1記載のレーザ加工方法。 - 前記アブレーション加工工程を、100フェトム秒〜100ピコ秒のパルス幅のレーザ光を出力する超短パルスレーザ発振器を用いて実施する、
請求項1〜4のいずれか一つに記載のレーザ加工方法。 - 熱影響を嫌う嫌熱性部分を有する基板に対して、前記嫌熱性部分の近傍領域にレーザ光を照射して加工を行う、レーザ加工装置であって、
アブレーション加工条件でレーザ光を出力する第1レーザ発振器と、
熱加工条件でレーザ光を出力する第2レーザ発振器と、
前記第1レーザ発振器から出力されるレーザ光の照射位置を、前記近傍領域の内、前記嫌熱性部分に近い領域部分に、設定し、且つ、前記第2レーザ発振器から出力されるレーザ光の照射位置を、前記近傍領域の内、前記嫌熱性部分から遠い領域部分に、設定する、位置制御部と、
前記第1レーザ発振器と前記第2レーザ発振器とを、同時に作動するように、又は、時間的に前後して作動するように、制御する、タイミング制御部と、
を備えていることを特徴とするレーザ加工装置。 - 前記第1レーザ発振器が、100フェトム秒〜100ピコ秒のパルス幅のレーザ光を出力する超短パルスレーザ発振器である、
請求項6記載のレーザ加工装置。
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WO2022249532A1 (ja) * | 2021-05-24 | 2022-12-01 | ソニーグループ株式会社 | 配線基板、低誘電率構造体及び配線基板の製造方法 |
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