JP2012235037A - 基板温調固定装置 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本基板温調固定装置は、基体に内蔵された電極に電圧を印加して吸着対象物を前記基体上に吸着保持する静電チャックと、接着層を介して前記静電チャックを固定するベースプレートと、前記電極と電気的に接続された給電部と、前記給電部を保持する保持部と、を有する基板温調固定装置であって、前記保持部は、保持部本体と、封止部と、を有し、前記保持部本体は、前記ベースプレートに固定され、前記接着層の反対側に開口する凹部と、前記凹部内から前記接着層側に貫通する貫通孔と、を備え、前記給電部は、電極ピンと、電線と、を有し、前記電極ピンは、前記凹部内に固定され、前記電線は、前記接着層内、前記貫通孔内、及び前記凹部内に配線されて、前記電極と前記電極ピンとを電気的に接続し、前記封止部は、少なくとも前記凹部に充填されている。
【選択図】図6
Description
まず、第1の実施の形態に係る基板温調固定装置の全体像について説明し、次に、第1の実施の形態に係る基板温調固定装置の給電部等について説明する。
図12は、第1の実施の形態の変形例1に係る基板温調固定装置の給電部等を簡略化して例示する部分断面図である。なお、第1の実施の形態の変形例1において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
図13は、第1の実施の形態の変形例2に係る基板温調固定装置の給電部等を簡略化して例示する部分断面図である。なお、第1の実施の形態の変形例2において、既に説明した実施の形態と同一構成部品についての説明は省略する。
11 静電チャック
12 基体
12a 基体の上面
12b 外周シールリング
12c 突起部
13 電極
14 水路
14a 冷却水導入部
14b 冷却水排出部
15 接着層
16 ベースプレート
16b ベースプレートの下面
16x、21d 貫通孔
16y、21a、21b、21c 凹部
17 基板
18 ガス路
18a ガス導入部
18b ガス排出部
19 ガス充填部
20 保持部
21、21A、21B ソケット
21e 凸部
21f 段差部
22 封止部
23 蓋部
30 給電部
31 電極ピン
31a 固定部
31b 突出部
32 電線
32a 導体部
32b 被覆部
33 接合部
40 空間部
50 製造装置
51 直流電源
h1 高さ
φ1、φ2 径
t1 厚さ
Claims (6)
- 基体に内蔵された電極に電圧を印加して吸着対象物を前記基体上に吸着保持する静電チャックと、接着層を介して前記静電チャックを固定するベースプレートと、前記電極と電気的に接続された給電部と、前記給電部を保持する保持部と、を有する基板温調固定装置であって、
前記保持部は、保持部本体と、封止部と、を有し、
前記保持部本体は、前記ベースプレートに固定され、前記接着層の反対側に開口する凹部と、前記凹部内から前記接着層側に貫通する貫通孔と、を備え、
前記給電部は、電極ピンと、電線と、を有し、
前記電極ピンは、前記凹部内に固定され、
前記電線は、前記接着層内、前記貫通孔内、及び前記凹部内に配線されて、前記電極と前記電極ピンとを電気的に接続し、
前記封止部は、少なくとも前記凹部に充填されていることを特徴とする基板温調固定装置。 - 前記電極ピンは、固定部と、前記固定部から突出する突出部と、を有し、
前記突出部を前記接着層の反対側に突出させる貫通孔を備えた蓋部が、前記固定部、前記電線の一部、及び前記封止部を、前記凹部内に閉じこめるように、前記保持部本体の前記接着層の反対側に固定されていることを特徴とする請求項1記載の基板温調固定装置。 - 前記凹部は、前記接着層の反対側に開口する第1凹部と、前記接着層の反対側に開口すると共に一端側が前記第1凹部の側壁の一部に連通する第2凹部と、を有し、前記貫通孔は前記第2凹部の他端側から前記接着層側に貫通しており、
前記電極ピンは、前記第1凹部内に固定され、
前記電線は、前記接着層内、前記貫通孔内、及び前記第2凹部内に配線されて、前記電極と前記電極ピンとを電気的に接続していることを特徴とする請求項1又は2記載の基板温調固定装置。 - 前記第1凹部は、前記第2凹部よりも深いことを特徴とする請求項3記載の基板温調固定装置。
- 前記接着層と前記保持部本体との間に空間部を設けたことを特徴とする請求項1乃至4の何れか一項記載の基板温調固定装置。
- 前記電線は、導体部と、前記導体部の周囲を被覆する被覆部と、を有し、
前記電線の少なくとも前記貫通孔内及び前記空間部内に配線される部分において、前記導体部は前記被覆部から露出していないことを特徴とする請求項5記載の基板温調固定装置。
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